JP3348561B2 - 研削加工におけるギャップ測定方法および装置 - Google Patents
研削加工におけるギャップ測定方法および装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研削加工における研削
砥石とワークとの間等のギャップを測定するのに好適な
ギャップ測定方法およびこれに用いるギャップ測定装置
に関するものである。
砥石とワークとの間等のギャップを測定するのに好適な
ギャップ測定方法およびこれに用いるギャップ測定装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、固体の接触により発せられるＡＥ
（アコースティックエミッション）を利用して固体同士
の接触検知を行なうものとして、例えば、特開平６−１
０６４７６号公報や特開平６−１１４６９２号公報に開
示されたものがある。
（アコースティックエミッション）を利用して固体同士
の接触検知を行なうものとして、例えば、特開平６−１
０６４７６号公報や特開平６−１１４６９２号公報に開
示されたものがある。
【０００３】これらは、検知ピン先端に回転体である研
削砥石が接触することにより生じるＡＥを利用して接触
を検知する際に、研削砥石に供給されたクーラントが検
知ピンに接触することにより発生するＡＥが接触検知精
度を悪化させるのを防止するため、クーラントが検知ピ
ンに接触することにより発生するＡＥができるだけＡＥ
センサに伝わらないように工夫して、砥石と被検出体と
の接触点を正確に検出するものである。
削砥石が接触することにより生じるＡＥを利用して接触
を検知する際に、研削砥石に供給されたクーラントが検
知ピンに接触することにより発生するＡＥが接触検知精
度を悪化させるのを防止するため、クーラントが検知ピ
ンに接触することにより発生するＡＥができるだけＡＥ
センサに伝わらないように工夫して、砥石と被検出体と
の接触点を正確に検出するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の固体の接触により発せられるＡＥ（アコース
ティックエミッション）を利用して固体同士の接触検知
を行なう手段にあっては、固体間に供給されたクーラン
トにより発生したＡＥはノイズとみなし、固体同士の接
触、即ち、検知ピンと研削砥石との接触により発生する
アコースティックエミッションのみを検知するものとし
ているため、固体同士が接触していないときの位置関
係、例えば、研削砥石とワークとの間に存在するギャッ
プ等の大きさを知ることができないという問題があっ
た。このため、高速でワークに研削砥石に接近させた際
に研削砥石とワークとの衝突を回避することができず、
研削砥石の送り時間の短縮が困難であるという問題もあ
り、これらの問題を解決することが課題であった。
うな従来の固体の接触により発せられるＡＥ（アコース
ティックエミッション）を利用して固体同士の接触検知
を行なう手段にあっては、固体間に供給されたクーラン
トにより発生したＡＥはノイズとみなし、固体同士の接
触、即ち、検知ピンと研削砥石との接触により発生する
アコースティックエミッションのみを検知するものとし
ているため、固体同士が接触していないときの位置関
係、例えば、研削砥石とワークとの間に存在するギャッ
プ等の大きさを知ることができないという問題があっ
た。このため、高速でワークに研削砥石に接近させた際
に研削砥石とワークとの衝突を回避することができず、
研削砥石の送り時間の短縮が困難であるという問題もあ
り、これらの問題を解決することが課題であった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、このような従来の課題に鑑み
てなされたもので、アコースティックエミッションを利
用して固体間の接触検知を行なうと同時に、固体間のギ
ャップの大きさを測定することができる研削加工におけ
るギャップ測定方法およびこれに用いられる装置を提供
することを目的とする。
てなされたもので、アコースティックエミッションを利
用して固体間の接触検知を行なうと同時に、固体間のギ
ャップの大きさを測定することができる研削加工におけ
るギャップ測定方法およびこれに用いられる装置を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
研削加工におけるギャップ測定方法は、回転する研削砥
石によるワークの研削加工またはドレッシング工具によ
る回転する研削砥石の修正作業において、ワークと研削
砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との間の
ギャップを測定する際に、ワークと研削砥石との間また
はドレッシング工具と研削砥石との間にクーラントを供
給した状態で研削砥石をワークまたはドレッシング工具
に接近させ、ワークと研削砥石との間またはドレッシン
グ工具と研削砥石との間のギャップの大きさに応じて発
生するアコースティックエミッションをＡＥセンサによ
り検出し、このＡＥセンサより検出された検出信号を整
流回路により包絡線検波し、この整流回路により包絡線
検波された信号とあらかじめ求めておいたギャップとＡ
Ｅ信号の大きさとの関係を示す校正曲線とに基づいてワ
ークと研削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥
石との間のギャップを測定する構成とし、請求項２とし
て、研削砥石をワークまたはドレッシング工具に接近さ
せる際に、整流回路からの出力信号があらかじめ設定さ
れた減速用設定値のレベルを越えた場合には研削砥石の
ワークまたはドレッシング工具に対する接近速度を減速
する構成とし、請求項３として、研削砥石をワークまた
はドレッシング工具に接近させる際に、整流回路からの
出力信号があらかじめ設定された停止・後退用設定値の
レベルを越えた場合には研削砥石をワークまたはドレッ
シング工具に対して停止または後退させる構成とし、請
求項４として、ワークと研削砥石との接触位置またはワ
ークとドレッシング工具との接触位置から研削砥石を徐
々に後退させてギャップとアコースティックエミッショ
ン信号の大きさとの関係を示す校正曲線を求める構成と
し、請求項５として、ギャップとアコースティックエミ
ッション信号の大きさとの関係を示す校正曲線に基づい
て減速用設定値および／または停止・後退用設定値を決
定する構成とし、請求項６として、研削砥石の外径寸法
の変化に応じてギャップとアコースティックエミッショ
ン信号の大きさとの関係を示す校正曲線が常にほぼ一致
するようにクーラントを供給する位置を修正する構成と
し、請求項７として、研削砥石のドレッシング工具によ
る修正作業において、ドレッシング工具の総切り込み量
を決定する際に、研削砥石の外周面のうち研削加工で使
用された部分とドレッシング工具またはワークとの間の
ギャップおよび研削加工で使用されていない部分とドレ
ッシング工具またはワークとの間のギャップを各々測定
し、測定した各々のギャップの差をドレッシング工具の
総切り込み量とする構成としている。
研削加工におけるギャップ測定方法は、回転する研削砥
石によるワークの研削加工またはドレッシング工具によ
る回転する研削砥石の修正作業において、ワークと研削
砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との間の
ギャップを測定する際に、ワークと研削砥石との間また
はドレッシング工具と研削砥石との間にクーラントを供
給した状態で研削砥石をワークまたはドレッシング工具
に接近させ、ワークと研削砥石との間またはドレッシン
グ工具と研削砥石との間のギャップの大きさに応じて発
生するアコースティックエミッションをＡＥセンサによ
り検出し、このＡＥセンサより検出された検出信号を整
流回路により包絡線検波し、この整流回路により包絡線
検波された信号とあらかじめ求めておいたギャップとＡ
Ｅ信号の大きさとの関係を示す校正曲線とに基づいてワ
ークと研削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥
石との間のギャップを測定する構成とし、請求項２とし
て、研削砥石をワークまたはドレッシング工具に接近さ
せる際に、整流回路からの出力信号があらかじめ設定さ
れた減速用設定値のレベルを越えた場合には研削砥石の
ワークまたはドレッシング工具に対する接近速度を減速
する構成とし、請求項３として、研削砥石をワークまた
はドレッシング工具に接近させる際に、整流回路からの
出力信号があらかじめ設定された停止・後退用設定値の
レベルを越えた場合には研削砥石をワークまたはドレッ
シング工具に対して停止または後退させる構成とし、請
求項４として、ワークと研削砥石との接触位置またはワ
ークとドレッシング工具との接触位置から研削砥石を徐
々に後退させてギャップとアコースティックエミッショ
ン信号の大きさとの関係を示す校正曲線を求める構成と
し、請求項５として、ギャップとアコースティックエミ
ッション信号の大きさとの関係を示す校正曲線に基づい
て減速用設定値および／または停止・後退用設定値を決
定する構成とし、請求項６として、研削砥石の外径寸法
の変化に応じてギャップとアコースティックエミッショ
ン信号の大きさとの関係を示す校正曲線が常にほぼ一致
するようにクーラントを供給する位置を修正する構成と
し、請求項７として、研削砥石のドレッシング工具によ
る修正作業において、ドレッシング工具の総切り込み量
を決定する際に、研削砥石の外周面のうち研削加工で使
用された部分とドレッシング工具またはワークとの間の
ギャップおよび研削加工で使用されていない部分とドレ
ッシング工具またはワークとの間のギャップを各々測定
し、測定した各々のギャップの差をドレッシング工具の
総切り込み量とする構成としている。
【０００７】また、本発明の請求項８に係る研削加工に
おけるギャップ測定装置は、回転する研削砥石によるワ
ークの研削加工またはドレッシング工具による回転する
研削砥石の修正作業におけるワークと研削砥石との間ま
たはドレッシング工具と研削砥石との間のギャップを測
定するのに用いられる装置であって、ワークと研削砥石
との間またはドレッシング工具と研削砥石との間にクー
ラントを供給するクーラント供給ノズルと、ワークと研
削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との間
のギャップの大きさに応じて発生するアコースティック
エミッションを検出するＡＥセンサと、ＡＥセンサで検
出された検出信号を包絡線検波する整流回路と、ギャッ
プとアコースティックエミッション信号の大きさとの関
係を示す校正曲線データを保持する保持手段と、整流回
路で包絡線検波された信号および校正曲線データからギ
ャップの大きさを算出する演算手段を備えた構成とし、
請求項９として、研削砥石のワークまたはドレッシング
工具に対する位置、接近速度および後退速度を制御する
ＮＣ装置に対して研削砥石の接近速度を切り替える信号
を出力する接近速度切換信号出力手段を備えた構成と
し、請求項１０として、研削砥石のワークまたはドレッ
シング工具に対する位置、接近速度および後退速度を制
御するＮＣ装置に対して研削砥石を停止または後退させ
る信号を出力する停止・後退信号出力手段を備えた構成
とし、請求項１１として、研削砥石の外径寸法の変化に
応じてギャップとアコースティックエミッション信号の
大きさとの関係を示す校正曲線が常にほぼ一致するよう
にクーラントを供給するノズルの位置を修正するクーラ
ント供給ノズル位置修正手段を備えた構成としており、
上記の構成を課題を解決するための手段としている。
おけるギャップ測定装置は、回転する研削砥石によるワ
ークの研削加工またはドレッシング工具による回転する
研削砥石の修正作業におけるワークと研削砥石との間ま
たはドレッシング工具と研削砥石との間のギャップを測
定するのに用いられる装置であって、ワークと研削砥石
との間またはドレッシング工具と研削砥石との間にクー
ラントを供給するクーラント供給ノズルと、ワークと研
削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との間
のギャップの大きさに応じて発生するアコースティック
エミッションを検出するＡＥセンサと、ＡＥセンサで検
出された検出信号を包絡線検波する整流回路と、ギャッ
プとアコースティックエミッション信号の大きさとの関
係を示す校正曲線データを保持する保持手段と、整流回
路で包絡線検波された信号および校正曲線データからギ
ャップの大きさを算出する演算手段を備えた構成とし、
請求項９として、研削砥石のワークまたはドレッシング
工具に対する位置、接近速度および後退速度を制御する
ＮＣ装置に対して研削砥石の接近速度を切り替える信号
を出力する接近速度切換信号出力手段を備えた構成と
し、請求項１０として、研削砥石のワークまたはドレッ
シング工具に対する位置、接近速度および後退速度を制
御するＮＣ装置に対して研削砥石を停止または後退させ
る信号を出力する停止・後退信号出力手段を備えた構成
とし、請求項１１として、研削砥石の外径寸法の変化に
応じてギャップとアコースティックエミッション信号の
大きさとの関係を示す校正曲線が常にほぼ一致するよう
にクーラントを供給するノズルの位置を修正するクーラ
ント供給ノズル位置修正手段を備えた構成としており、
上記の構成を課題を解決するための手段としている。
【０００８】
【発明の作用】本発明の請求項１に係る研削加工におけ
るギャップ測定方法は、ワークと研削砥石との間または
ドレッシング工具と研削砥石との間のギャップを測定す
る際に、ワークと研削砥石との間またはドレッシング工
具と研削砥石との間にクーラントを供給した状態とする
ことにより、ギャップの大きさに応じたＡＥが発生し、
このＡＥをＡＥセンサにより検出しその検出信号を整流
回路により包絡線検波した信号を得る。そして、この信
号とあらかじめ求めておいたギャップとＡＥ信号の大き
さとの関係からギャップの大きさが特定されることとな
る。
るギャップ測定方法は、ワークと研削砥石との間または
ドレッシング工具と研削砥石との間のギャップを測定す
る際に、ワークと研削砥石との間またはドレッシング工
具と研削砥石との間にクーラントを供給した状態とする
ことにより、ギャップの大きさに応じたＡＥが発生し、
このＡＥをＡＥセンサにより検出しその検出信号を整流
回路により包絡線検波した信号を得る。そして、この信
号とあらかじめ求めておいたギャップとＡＥ信号の大き
さとの関係からギャップの大きさが特定されることとな
る。
【０００９】本発明の請求項２に係る研削加工における
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、例
えば、ワークに対し研削砥石を接近させてワークと研削
砥石との接触検知を行なう場合に、ＡＥ信号があらかじ
め設定された減速用設定値を越えるまでは研削砥石は高
速でワークに対して接近するため、ワークに対する研削
砥石の送り時間が短縮されることとなる。
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、例
えば、ワークに対し研削砥石を接近させてワークと研削
砥石との接触検知を行なう場合に、ＡＥ信号があらかじ
め設定された減速用設定値を越えるまでは研削砥石は高
速でワークに対して接近するため、ワークに対する研削
砥石の送り時間が短縮されることとなる。
【００１０】本発明の請求項３に係る研削加工における
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、例
えば、研削砥石をワークに接近させていった際、一定の
距離（ギャップ）になると整流回路により包絡線検波さ
れたＡＥ信号があらかじめ設定された停止・後退用設定
値を越えるため、研削砥石は停止または後退することと
なり、研削砥石とワークとの衝突が確実に防止されるこ
ととなる。
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、例
えば、研削砥石をワークに接近させていった際、一定の
距離（ギャップ）になると整流回路により包絡線検波さ
れたＡＥ信号があらかじめ設定された停止・後退用設定
値を越えるため、研削砥石は停止または後退することと
なり、研削砥石とワークとの衝突が確実に防止されるこ
ととなる。
【００１１】本発明の請求項４に係る研削加工における
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、ギ
ャップとＡＥ信号の大きさとの関係が求められることと
なる。
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、ギ
ャップとＡＥ信号の大きさとの関係が求められることと
なる。
【００１２】本発明の請求項５に係る研削加工における
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、減
速用設定値および停止・後退用設定値がより正確なもの
となる。
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、減
速用設定値および停止・後退用設定値がより正確なもの
となる。
【００１３】本発明の請求項６に係る研削加工における
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、安
定して研削砥石とワークとの間のギャップの測定がされ
ることとなり、さらにクーラントが研削点に確実に供給
されることとなり、高い研削加工品質が保たれることと
なる。
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、安
定して研削砥石とワークとの間のギャップの測定がされ
ることとなり、さらにクーラントが研削点に確実に供給
されることとなり、高い研削加工品質が保たれることと
なる。
【００１４】本発明の請求項７に係る研削加工における
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、研
削砥石の修正作業の際に研削砥石の摩耗量が各々のギャ
ップの差として求まるため、ドレッシング工具によって
切り込むべき量が最小限に抑えられることとなり、無駄
な研削砥石の消耗が防止されることとなる。
ギャップ測定方法は、上記の構成とすることにより、研
削砥石の修正作業の際に研削砥石の摩耗量が各々のギャ
ップの差として求まるため、ドレッシング工具によって
切り込むべき量が最小限に抑えられることとなり、無駄
な研削砥石の消耗が防止されることとなる。
【００１５】本発明の請求項８に係る研削加工における
ギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、当
該ギャップ測定装置を使用することにより請求項１のギ
ャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
ギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、当
該ギャップ測定装置を使用することにより請求項１のギ
ャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
【００１６】本発明の請求項９に係る研削加工における
ギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、当
該ギャップ測定装置を使用することにより請求項２のギ
ャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
ギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、当
該ギャップ測定装置を使用することにより請求項２のギ
ャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
【００１７】本発明の請求項１０に係る研削加工におけ
るギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、
当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項３の
ギャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
るギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、
当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項３の
ギャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
【００１８】本発明の請求項１１に係る研削加工におけ
るギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、
当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項６の
ギャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
るギャップ測定装置は、上記の構成とすることにより、
当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項６の
ギャップ測定方法と同様の作用を奏することとなる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００２０】図１は、本発明の一実施例を示す説明図で
あって、研削砥石カバー１１内に設けられた回転する研
削砥石１によってテーブル２上に設けられたワーク固定
用治具３に固定されたワークＷを研削加工する際のワー
クＷと研削砥石１との接触検知を行なう様子を示した説
明図である。
あって、研削砥石カバー１１内に設けられた回転する研
削砥石１によってテーブル２上に設けられたワーク固定
用治具３に固定されたワークＷを研削加工する際のワー
クＷと研削砥石１との接触検知を行なう様子を示した説
明図である。
【００２１】研削砥石１は周速度２００ｍ／ｓで高速回
転しており、研削加工を行うときにはクーラント供給ノ
ズル１０から研削点に向けてクーラントＣがいきおいよ
く供給される。
転しており、研削加工を行うときにはクーラント供給ノ
ズル１０から研削点に向けてクーラントＣがいきおいよ
く供給される。
【００２２】一方、ＡＥセンサ５はワーク固定用治具３
の上面に取り付けられているが、ワーク固定用治具３の
側面に取り付けることも可能である。
の上面に取り付けられているが、ワーク固定用治具３の
側面に取り付けることも可能である。
【００２３】そして、ＡＥセンサ５で検出されたＡＥ
（アコースティックエミッション）信号は図２に示す手
順で信号処理される。即ち、プリアンプ２１により増幅
された後、ハイパスフィルタ２２により低周波のノイズ
成分が除去され、次いでメインアンプ２３で増幅され、
整流回路２４で包絡線検波されて出力される。
（アコースティックエミッション）信号は図２に示す手
順で信号処理される。即ち、プリアンプ２１により増幅
された後、ハイパスフィルタ２２により低周波のノイズ
成分が除去され、次いでメインアンプ２３で増幅され、
整流回路２４で包絡線検波されて出力される。
【００２４】ここで、整流回路２４で包絡線検波された
ＡＥ信号出力を監視しながら研削砥石１をワークＷに接
近させ、砥石１がワークＷに接触する点を検出する。こ
の位置から徐々に砥石１を矢印Ａ1 方向に上昇させてい
くと、研削砥石１とワークＷとの間に供給されるクーラ
ントＣと高速回転する研削砥石１との摩擦によってＡＥ
が発せられる。
ＡＥ信号出力を監視しながら研削砥石１をワークＷに接
近させ、砥石１がワークＷに接触する点を検出する。こ
の位置から徐々に砥石１を矢印Ａ1 方向に上昇させてい
くと、研削砥石１とワークＷとの間に供給されるクーラ
ントＣと高速回転する研削砥石１との摩擦によってＡＥ
が発せられる。
【００２５】このＡＥをＡＥセンサ５により逐次検出す
ることにより、研削砥石１とワークＷとの間のギャップ
δに対するＡＥ信号出力との関係が求まり、図３に示す
ような校正曲線が得られる。
ることにより、研削砥石１とワークＷとの間のギャップ
δに対するＡＥ信号出力との関係が求まり、図３に示す
ような校正曲線が得られる。
【００２６】図３は、研削砥石１とワークＷとの間のギ
ャップδに対するＡＥ波信号出力の関係を示す校正曲線
の一例を表したものであり、例えばクーラント供給流量
３５Ｌ／ｍｉｎにおいては、ＡＥ信号出力が１．４Ｖな
らばギャップが０．０１ｍｍであり、ＡＥ信号出力が
１．０Ｖならばギャップが０．０５ｍｍであることを読
み取ることができる。
ャップδに対するＡＥ波信号出力の関係を示す校正曲線
の一例を表したものであり、例えばクーラント供給流量
３５Ｌ／ｍｉｎにおいては、ＡＥ信号出力が１．４Ｖな
らばギャップが０．０１ｍｍであり、ＡＥ信号出力が
１．０Ｖならばギャップが０．０５ｍｍであることを読
み取ることができる。
【００２７】また、この図によると、クーラントＣの流
量が多いほどＡＥ波信号出力はギャップδの変化に対し
て敏感に反応していることから、クーラントＣの流量は
できるだけ多くすることが望ましいと言える。さらに、
研削砥石１の周速度についても、高速にするほど測定感
度が高くなるが、低い周速度でも十分有効に測定でき
る。
量が多いほどＡＥ波信号出力はギャップδの変化に対し
て敏感に反応していることから、クーラントＣの流量は
できるだけ多くすることが望ましいと言える。さらに、
研削砥石１の周速度についても、高速にするほど測定感
度が高くなるが、低い周速度でも十分有効に測定でき
る。
【００２８】そして、以上のようにして得られた研削砥
石１とワークＷとの間のギャップδに対するＡＥ信号出
力の関係を示す校正曲線データと、実際に研削砥石１を
ワークＷに向けて下降接近させていく際にＡＥセンサ５
により検出し整流回路２４で包絡線検波されたＡＥ信号
出力とから、現在の研削砥石１とワークＷとの間のギャ
ップδを求めることができる。なお、上記の校正曲線デ
ータは、計算機のメモリに保持しておくとともに、ＡＥ
センサ５により検出され整流回路２４で包絡線検波され
たＡＥ信号出力と比較演算することにより、自動的に研
削砥石１とワークＷとの間のギャップδを求めることも
可能である。
石１とワークＷとの間のギャップδに対するＡＥ信号出
力の関係を示す校正曲線データと、実際に研削砥石１を
ワークＷに向けて下降接近させていく際にＡＥセンサ５
により検出し整流回路２４で包絡線検波されたＡＥ信号
出力とから、現在の研削砥石１とワークＷとの間のギャ
ップδを求めることができる。なお、上記の校正曲線デ
ータは、計算機のメモリに保持しておくとともに、ＡＥ
センサ５により検出され整流回路２４で包絡線検波され
たＡＥ信号出力と比較演算することにより、自動的に研
削砥石１とワークＷとの間のギャップδを求めることも
可能である。
【００２９】次に、図４および図５は、本発明の他の実
施例を示す説明図であって、研削砥石１をワークＷに接
近させる際に、ＡＥセンサ５により検出され整流回路２
４で包絡線検波されたＡＥ信号出力があらかじめ設定さ
れた減速用設定値のレベルを越えた場合には研削砥石１
のワークＷに対する接近速度を減速させる構成としたも
のである。
施例を示す説明図であって、研削砥石１をワークＷに接
近させる際に、ＡＥセンサ５により検出され整流回路２
４で包絡線検波されたＡＥ信号出力があらかじめ設定さ
れた減速用設定値のレベルを越えた場合には研削砥石１
のワークＷに対する接近速度を減速させる構成としたも
のである。
【００３０】ここで、図４は本実施例での信号処理の流
れを示したものであり、ＡＥセンサ５で検出されたＡＥ
信号は、プリアンプ２１，ハイパスフィルタ２２，メイ
ンアンプ２３を通って整流回路２４で包絡線検波されて
出力され、比較回路２５において上記のあらかじめ設定
された減速用設定値と整流回路２４で包絡線検波された
ＡＥ信号とを比較する。即ち、図５に示すように、研削
砥石１をワークＷに接近させていき（Ｓ１）、あらかじ
め設定された減速用設定値と整流回路２４で包絡線検波
されたＡＥ信号とを比較し（Ｓ２）、整流回路２４で包
絡線検波されたＡＥ信号があらかじめ設定された減速用
設定値を越えた場合には、研削砥石１のワークＷに対す
る位置、接近速度および後退速度を制御するＮＣ装置３
１に対して接近速度を減速するように指令する（Ｓ３）
ものであり、したがって、比較回路２５には、整流回路
２４で包絡線検波されたＡＥ信号とあらかじめ設定され
た減速用設定値とを比較演算する機能とＮＣ装置に対し
て接近速度切換信号を出力する手段が備わっている。
れを示したものであり、ＡＥセンサ５で検出されたＡＥ
信号は、プリアンプ２１，ハイパスフィルタ２２，メイ
ンアンプ２３を通って整流回路２４で包絡線検波されて
出力され、比較回路２５において上記のあらかじめ設定
された減速用設定値と整流回路２４で包絡線検波された
ＡＥ信号とを比較する。即ち、図５に示すように、研削
砥石１をワークＷに接近させていき（Ｓ１）、あらかじ
め設定された減速用設定値と整流回路２４で包絡線検波
されたＡＥ信号とを比較し（Ｓ２）、整流回路２４で包
絡線検波されたＡＥ信号があらかじめ設定された減速用
設定値を越えた場合には、研削砥石１のワークＷに対す
る位置、接近速度および後退速度を制御するＮＣ装置３
１に対して接近速度を減速するように指令する（Ｓ３）
ものであり、したがって、比較回路２５には、整流回路
２４で包絡線検波されたＡＥ信号とあらかじめ設定され
た減速用設定値とを比較演算する機能とＮＣ装置に対し
て接近速度切換信号を出力する手段が備わっている。
【００３１】このような構成により研削加工を行う場合
の１サイクルにおける研削砥石１の動作を図６に示す。
の１サイクルにおける研削砥石１の動作を図６に示す。
【００３２】まず、研削砥石１を始めに急速前進させ
て、ワークＷに接触する手前のＡ１地点まで移動させ、
続いて、中間送り速度に変更してさらに接近させ、研削
砥石１とワークＷが接触するＡ２地点において通常の切
り込み速度に変更し、次いでＡ３地点からスパークアウ
トを行い、所定の寸法に加工した後（Ａ４地点）に急速
後退させて研削加工サイクルを終了する。
て、ワークＷに接触する手前のＡ１地点まで移動させ、
続いて、中間送り速度に変更してさらに接近させ、研削
砥石１とワークＷが接触するＡ２地点において通常の切
り込み速度に変更し、次いでＡ３地点からスパークアウ
トを行い、所定の寸法に加工した後（Ａ４地点）に急速
後退させて研削加工サイクルを終了する。
【００３３】従来は、研削砥石１とワークＷとが接触す
ることを防止する必要性から、急速前進から中間送りに
切り替えるＡ１地点を早めに設定していたため、中間送
り速度の時間が長くなり、全体として研削砥石１の送り
に時間がかかっていたが、本発明によれば、ＡＥ信号の
出力を観測することにより、研削砥石１がワークＷと接
触する直前まで急速前進させることができ、このため、
Ａ１地点とＡ２地点との間の時間を短縮することが可能
になる。また場合によっては、中間送り速度の領域を削
除し、研削砥石１とワークＷとの接触の直前で急速前進
から通常送り速度に切り換えることも可能である。
ることを防止する必要性から、急速前進から中間送りに
切り替えるＡ１地点を早めに設定していたため、中間送
り速度の時間が長くなり、全体として研削砥石１の送り
に時間がかかっていたが、本発明によれば、ＡＥ信号の
出力を観測することにより、研削砥石１がワークＷと接
触する直前まで急速前進させることができ、このため、
Ａ１地点とＡ２地点との間の時間を短縮することが可能
になる。また場合によっては、中間送り速度の領域を削
除し、研削砥石１とワークＷとの接触の直前で急速前進
から通常送り速度に切り換えることも可能である。
【００３４】さらに、急速送り速度で研削砥石１がワー
クＷに接近する際に、研削砥石１とワークＷとのギャッ
プが小さくなり、ＡＥ信号出力があらかじめ設定された
停止・後退用設定値よりも大きくなった場合には、研削
砥石１を停止、または後退させるようにＮＣ装置３１に
対して停止・後退信号を出力することにより、研削砥石
１とワークＷとの衝突を防止することが可能になる。
クＷに接近する際に、研削砥石１とワークＷとのギャッ
プが小さくなり、ＡＥ信号出力があらかじめ設定された
停止・後退用設定値よりも大きくなった場合には、研削
砥石１を停止、または後退させるようにＮＣ装置３１に
対して停止・後退信号を出力することにより、研削砥石
１とワークＷとの衝突を防止することが可能になる。
【００３５】次に、図７は、本発明のさらに他の実施例
を示す説明図であって、センタ８により把持されたワー
クＷを研削砥石１により円筒研削加工する際に、研削砥
石１とワークＷとの間のギャップ測定を行うものであ
る。
を示す説明図であって、センタ８により把持されたワー
クＷを研削砥石１により円筒研削加工する際に、研削砥
石１とワークＷとの間のギャップ測定を行うものであ
る。
【００３６】この場合には、ＡＥセンサ５は、例えば、
センタ８に取り付けて測定することができる。そして、
研削砥石１をワークＷに向けて徐々に接近させると、研
削砥石１とワークＷとのギャップに応じてＡＥが発せら
れ、このＡＥがＡＥセンサ５によって検出され、このＡ
Ｅセンサ５で検出されたＡＥは上記の実施例の場合と同
様に図２に示す手順により信号処理され、整流回路２４
の出力信号とあらかじめ求めておいた校正曲線データと
から研削砥石１とワークＷとのギャップが検出されるこ
ととなる。
センタ８に取り付けて測定することができる。そして、
研削砥石１をワークＷに向けて徐々に接近させると、研
削砥石１とワークＷとのギャップに応じてＡＥが発せら
れ、このＡＥがＡＥセンサ５によって検出され、このＡ
Ｅセンサ５で検出されたＡＥは上記の実施例の場合と同
様に図２に示す手順により信号処理され、整流回路２４
の出力信号とあらかじめ求めておいた校正曲線データと
から研削砥石１とワークＷとのギャップが検出されるこ
ととなる。
【００３７】図８は、本発明のさらに他の実施例を示す
説明図であって、本実施例は、ツルーイングと呼ばれる
研削砥石１の修正作業時に、研削砥石１とドレッシング
工具６との間のギャップの測定を行うものである。
説明図であって、本実施例は、ツルーイングと呼ばれる
研削砥石１の修正作業時に、研削砥石１とドレッシング
工具６との間のギャップの測定を行うものである。
【００３８】この場合には、ＡＥセンサ５は、例えば、
ドレッシング装置７の本体の側面に取り付けられ、研削
砥石１をドレッシング工具６に徐々に接近させると、研
削砥石１とドレッシング工具６との間のギャップに応じ
てＡＥが発せられ、このＡＥはＡＥセンサ５で検出さ
れ、上記の実施例の場合と同様に図２に示す手順で信号
処理される。
ドレッシング装置７の本体の側面に取り付けられ、研削
砥石１をドレッシング工具６に徐々に接近させると、研
削砥石１とドレッシング工具６との間のギャップに応じ
てＡＥが発せられ、このＡＥはＡＥセンサ５で検出さ
れ、上記の実施例の場合と同様に図２に示す手順で信号
処理される。
【００３９】そして、整流回路２４により得られた包絡
線検波された信号とあらかじめ求めておいた校正曲線デ
ータとから研削砥石１とドレッサ６との間のギャップが
検出されることとなる。
線検波された信号とあらかじめ求めておいた校正曲線デ
ータとから研削砥石１とドレッサ６との間のギャップが
検出されることとなる。
【００４０】次に、図９は、本発明のさらに他の実施例
を示す説明図であって、研削加工により研削砥石１の摩
耗が進行し、研削砥石１の外径寸法が当初に比べて減少
すると、クーラント供給ノズル１０から供給されるクー
ラントＣは研削点に到達しにくくなるが、この場合、ク
ーラント供給流量が減少したのと同じ効果を奏すること
となるため、研削砥石１とワークＷとの間のギャップに
応じて発せられるアコースティックエミッション量が減
少し、結果的にギャップ測定の感度が鈍くなる。
を示す説明図であって、研削加工により研削砥石１の摩
耗が進行し、研削砥石１の外径寸法が当初に比べて減少
すると、クーラント供給ノズル１０から供給されるクー
ラントＣは研削点に到達しにくくなるが、この場合、ク
ーラント供給流量が減少したのと同じ効果を奏すること
となるため、研削砥石１とワークＷとの間のギャップに
応じて発せられるアコースティックエミッション量が減
少し、結果的にギャップ測定の感度が鈍くなる。
【００４１】そこで、図９に示すように、研削砥石１の
外径寸法の変化に応じて、ギャップとＡＥ信号出力との
関係を示す校正曲線が常にほぼ一致するようにクーラン
ト供給ノズル１０の供給位置を修正することにより、安
定した研削砥石１とワークＷとの間のギャップの測定を
可能とする構成としたものである。
外径寸法の変化に応じて、ギャップとＡＥ信号出力との
関係を示す校正曲線が常にほぼ一致するようにクーラン
ト供給ノズル１０の供給位置を修正することにより、安
定した研削砥石１とワークＷとの間のギャップの測定を
可能とする構成としたものである。
【００４２】この結果、クーラントＣが確実に研削点に
供給されるようになるため、安定した加工品質を継続的
に得ることが可能になる。
供給されるようになるため、安定した加工品質を継続的
に得ることが可能になる。
【００４３】次に、図１０は、本発明のさらに他の実施
例を示す説明図であって、通常、研削加工によって研削
砥石１が摩耗すると、研削砥石１の外周面は、加工に使
用した部分と使用していない部分とで段差が生じ、ツル
ーイング作業においては、この段差がなくなるまで切り
込みを与えることが必要になる。
例を示す説明図であって、通常、研削加工によって研削
砥石１が摩耗すると、研削砥石１の外周面は、加工に使
用した部分と使用していない部分とで段差が生じ、ツル
ーイング作業においては、この段差がなくなるまで切り
込みを与えることが必要になる。
【００４４】そこで、図１０の（ａ）に示す研削砥石１
の研削加工に使用した部分で検出されるギャップδ1
と、図１０の（ｂ）に示す加工に使用していない部分で
検出されるギャップδ2 との差から研削砥石１の摩耗量
を求めてツルーイングを行う際の総切り込み量とするこ
とにより、総切り込み量を必要最小限に抑えることが可
能になり、無駄な研削砥石の消耗を防止することが可能
になる。
の研削加工に使用した部分で検出されるギャップδ1
と、図１０の（ｂ）に示す加工に使用していない部分で
検出されるギャップδ2 との差から研削砥石１の摩耗量
を求めてツルーイングを行う際の総切り込み量とするこ
とにより、総切り込み量を必要最小限に抑えることが可
能になり、無駄な研削砥石の消耗を防止することが可能
になる。
【００４５】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の請求
項１に係る研削加工におけるギャップ測定方法によれ
ば、ワークと研削砥石との間またはドレッシング工具と
研削砥石との間のギャップを測定する際に、ワークと研
削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との間
にクーラントを供給した状態とすることにより、ギャッ
プの大きさに応じたＡＥを発生させることができ、この
ＡＥをＡＥセンサにより検出しその検出信号を整流回路
により包絡線検波した信号とあらかじめ求めておいたギ
ャップとＡＥ信号の大きさとの関係からギャップの大き
さを正確に測定することが可能となるという優れた効果
がもたらされる。
項１に係る研削加工におけるギャップ測定方法によれ
ば、ワークと研削砥石との間またはドレッシング工具と
研削砥石との間のギャップを測定する際に、ワークと研
削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との間
にクーラントを供給した状態とすることにより、ギャッ
プの大きさに応じたＡＥを発生させることができ、この
ＡＥをＡＥセンサにより検出しその検出信号を整流回路
により包絡線検波した信号とあらかじめ求めておいたギ
ャップとＡＥ信号の大きさとの関係からギャップの大き
さを正確に測定することが可能となるという優れた効果
がもたらされる。
【００４６】本発明の請求項２に記載の構成とすれば、
例えば、ワークに対し研削砥石を接近させてワークと研
削砥石との接触検知を行なう場合に、ＡＥ信号があらか
じめ設定された減速用設定値を越えるまでは研削砥石は
高速でワークに対して接近させることができるため、ワ
ークに対する研削砥石の送り時間を短縮することがで
き、その結果、ワークと研削砥石との接触検知に要する
時間を短縮することができるという優れた効果がもたら
される。
例えば、ワークに対し研削砥石を接近させてワークと研
削砥石との接触検知を行なう場合に、ＡＥ信号があらか
じめ設定された減速用設定値を越えるまでは研削砥石は
高速でワークに対して接近させることができるため、ワ
ークに対する研削砥石の送り時間を短縮することがで
き、その結果、ワークと研削砥石との接触検知に要する
時間を短縮することができるという優れた効果がもたら
される。
【００４７】本発明の請求項３に記載の構成とすれば、
例えば、研削砥石をワークに接近させていくと、一定の
ギャップになると整流回路により包絡線検波されたＡＥ
信号があらかじめ設定された停止・後退用設定値を越え
るため、研削砥石は停止または後退することとなり、高
速で接近させた場合でも、研削砥石とワークとの衝突を
確実に防止することができるという優れた効果がもたら
されることとなる。
例えば、研削砥石をワークに接近させていくと、一定の
ギャップになると整流回路により包絡線検波されたＡＥ
信号があらかじめ設定された停止・後退用設定値を越え
るため、研削砥石は停止または後退することとなり、高
速で接近させた場合でも、研削砥石とワークとの衝突を
確実に防止することができるという優れた効果がもたら
されることとなる。
【００４８】本発明の請求項４に記載の構成とすれば、
ギャップとＡＥ信号の大きさとの関係をあらかじめ求め
ることができ、このデータを用いることによりギャップ
の測定を正確に行なうことができるという効果がもたら
される。
ギャップとＡＥ信号の大きさとの関係をあらかじめ求め
ることができ、このデータを用いることによりギャップ
の測定を正確に行なうことができるという効果がもたら
される。
【００４９】本発明の請求項５に記載の構成とすれば、
減速用設定値および停止・後退用設定値をより正確なも
のとすることが可能になるという効果がもたらされる。
減速用設定値および停止・後退用設定値をより正確なも
のとすることが可能になるという効果がもたらされる。
【００５０】本発明の請求項６に記載の構成とすれば、
研削砥石とワークとの間のギャップを安定して測定する
ことができ、さらにクーラントを研削点に確実に供給す
ることができ、高品質な研削加工を行なうことができる
という効果がもたらされる。本発明の請求項７に記載の
構成とすれば、研削砥石の修正作業の際に研削砥石の摩
耗量を各々のギャップの差として求めることができるた
め、ドレッシング工具によって切り込むべき量を最小限
に抑えることが可能となり、無駄な研削砥石の消耗を防
止することができるという効果がもたらされる。
研削砥石とワークとの間のギャップを安定して測定する
ことができ、さらにクーラントを研削点に確実に供給す
ることができ、高品質な研削加工を行なうことができる
という効果がもたらされる。本発明の請求項７に記載の
構成とすれば、研削砥石の修正作業の際に研削砥石の摩
耗量を各々のギャップの差として求めることができるた
め、ドレッシング工具によって切り込むべき量を最小限
に抑えることが可能となり、無駄な研削砥石の消耗を防
止することができるという効果がもたらされる。
【００５１】本発明の請求項８に係る研削加工における
ギャップ測定装置によれば、当該ギャップ測定装置を使
用することにより請求項１のギャップ測定方法と同様の
効果を奏することとなる。
ギャップ測定装置によれば、当該ギャップ測定装置を使
用することにより請求項１のギャップ測定方法と同様の
効果を奏することとなる。
【００５２】本発明の請求項９に記載の構成とすれば、
当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項２の
ギャップ測定方法と同様の効果を奏することとなる。
当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項２の
ギャップ測定方法と同様の効果を奏することとなる。
【００５３】本発明の請求項１０に記載の構成とすれ
ば、当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項
３のギャップ測定方法と同様の効果を奏することとな
る。
ば、当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項
３のギャップ測定方法と同様の効果を奏することとな
る。
【００５４】本発明の請求項１１に記載の構成とすれ
ば、当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項
６のギャップ測定方法と同様の効果を奏することとな
る。
ば、当該ギャップ測定装置を使用することにより請求項
６のギャップ測定方法と同様の効果を奏することとな
る。
【図１】本発明の一実施例を示した説明図である。
【図２】本発明によるＡＥ信号の処理を示した説明図で
ある。
ある。
【図３】ギャップとＡＥ信号出力との関係を示した説明
図である。
図である。
【図４】本発明の他の実施例におけるＡＥ信号の処理手
順を示した説明図である。
順を示した説明図である。
【図５】図４の実施例の比較回路におけるフローチャー
トを示した説明図である。
トを示した説明図である。
【図６】図４の実施例における研削砥石の移動サイクル
を示した説明図である。
を示した説明図である。
【図７】本発明のさらに他の実施例を示した説明図であ
る。
る。
【図８】本発明のさらに他の実施例を示した説明図であ
る。
る。
【図９】本発明のさらに他の実施例を示した説明図であ
る。
る。
【図１０】本発明のさらに他の実施例を示した説明図で
ある。
ある。
１ 研削砥石 ２ テーブル ３ 固定用治具 ５ ＡＥセンサ ６ ドレッシング工具 ７ ドレッシング装置 ８ センタ １０ クーラント供給ノズル １１ 研削砥石カバー ２１ プリアンプ ２２ ハイパスフィルタ ２３ メインアンプ ２４ 整流回路 ２５ 比較回路 ３１ ＮＣ装置 Ｗ ワーク Ｃ クーラント
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 17/00 B24B 53/00 G01B 21/16 G01N 29/14
Claims (11)
- 【請求項１】 回転する研削砥石によるワークの研削加
工またはドレッシング工具による回転する研削砥石の修
正作業において、ワークと研削砥石との間またはドレッ
シング工具と研削砥石との間のギャップを測定する際
に、ワークと研削砥石との間またはドレッシング工具と
研削砥石との間にクーラントを供給した状態で研削砥石
をワークまたはドレッシング工具に接近させ、ワークと
研削砥石との間またはドレッシング工具と研削砥石との
間のギャップの大きさに応じて発生するアコースティッ
クエミッションをＡＥセンサにより検出し、このＡＥセ
ンサにより検出された検出信号を整流回路により包絡線
検波し、この整流回路により包絡線検波された信号とあ
らかじめ求めておいたギャップとアコースティックエミ
ッション信号の大きさとの関係を示す校正曲線とに基づ
いてワークと研削砥石との間またはドレッシング工具と
研削砥石との間のギャップを測定することを特徴とする
研削加工におけるギャップ測定方法。 - 【請求項２】 研削砥石をワークまたはドレッシング工
具に接近させる際に、整流回路からの出力信号があらか
じめ設定された減速用設定値のレベルを越えた場合には
研削砥石のワークまたはドレッシング工具に対する接近
速度を減速することを特徴とする請求項１に記載の研削
加工におけるギャップ測定方法。 - 【請求項３】 研削砥石をワークまたはドレッシング工
具に接近させる際に、整流回路からの出力信号があらか
じめ設定された停止・後退用設定値のレベルを越えた場
合には研削砥石をワークまたはドレッシング工具に対し
て停止または後退させることを特徴とする請求項１また
は２に記載の研削加工におけるギャップ測定方法。 - 【請求項４】 ワークと研削砥石との接触位置またはワ
ークとドレッシング工具との接触位置から研削砥石を徐
々に後退させてギャップとアコースティックエミッショ
ン信号の大きさとの関係を示す校正曲線を求めることを
特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の研削加
工におけるギャップ測定方法。 - 【請求項５】 ギャップとアコースティックエミッショ
ン信号の大きさとの関係を示す校正曲線に基づいて減速
用設定値および／または停止・後退用設定値を決定する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の研削加工に
おけるギャップ測定方法。 - 【請求項６】 研削砥石の外径寸法の変化に応じてギャ
ップとアコースティックエミッション信号の大きさとの
関係を示す校正曲線が常にほぼ一致するようにクーラン
トを供給する位置を修正することを特徴とする請求項１
ないし５のいずれかに記載の研削加工におけるギャップ
測定方法。 - 【請求項７】 研削砥石のドレッシング工具による修正
作業において、ドレッシング工具の総切り込み量を決定
する際に、研削砥石の外周面のうち研削加工で使用され
た部分とドレッシング工具またはワークとの間のギャッ
プおよび研削加工で使用されていない部分とドレッシン
グ工具またはワークとの間のギャップを各々測定し、測
定した各々のギャップの差をドレッシング工具の総切り
込み量とすることを特徴とする請求項１に記載の研削加
工におけるギャップ測定方法。 - 【請求項８】 回転する研削砥石によるワークの研削加
工またはドレッシング工具による回転する研削砥石の修
正作業におけるワークと研削砥石との間またはドレッシ
ング工具と研削砥石との間のギャップを測定するのに用
いられる装置であって、ワークと研削砥石との間または
ドレッシング工具と研削砥石との間にクーラントを供給
するクーラント供給ノズルと、ワークと研削砥石との間
またはドレッシング工具と研削砥石との間のギャップの
大きさに応じて発生するアコースティックエミッション
を検出するＡＥセンサと、ＡＥセンサで検出された検出
信号を包絡線検波する整流回路と、ギャップとアコース
ティックエミッション信号の大きさとの関係を示す校正
曲線データを保持する保持手段と、整流回路で包絡線検
波された信号および校正曲線データからギャップの大き
さを算出する演算手段を備えたことを特徴とする研削加
工におけるギャップ測定装置。 - 【請求項９】 研削砥石のワークまたはドレッシング工
具に対する位置、接近速度および後退速度を制御するＮ
Ｃ装置に対して研削砥石の接近速度を切り替える信号を
出力する接近速度切換信号出力手段を備えたことを特徴
とする請求項８に記載の研削加工におけるギャップ測定
装置。 - 【請求項１０】 研削砥石のワークまたはドレッシング
工具に対する位置、接近速度および後退速度を制御する
ＮＣ装置に対して研削砥石を停止または後退させる信号
を出力する停止・後退信号出力手段を備えたことを特徴
とする請求項８または９に記載の研削加工におけるギャ
ップ測定装置。 - 【請求項１１】 研削砥石の外径寸法の変化に応じてギ
ャップとアコースティックエミッション信号の大きさと
の関係を示す校正曲線が常にほぼ一致するようにクーラ
ントを供給するノズルの位置を修正するクーラント供給
ノズル位置修正手段を備えたことを特徴とする請求項８
ないし１０のいずれかに記載の研削加工におけるギャッ
プ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07665295A JP3348561B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 研削加工におけるギャップ測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07665295A JP3348561B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 研削加工におけるギャップ測定方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271242A JPH08271242A (ja) | 1996-10-18 |
| JP3348561B2 true JP3348561B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=13611344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07665295A Expired - Fee Related JP3348561B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 研削加工におけるギャップ測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3348561B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6541546B2 (ja) * | 2015-10-21 | 2019-07-10 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| US10794872B2 (en) | 2015-11-16 | 2020-10-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Acoustic measurement of fabrication equipment clearance |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP07665295A patent/JP3348561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08271242A (ja) | 1996-10-18 |
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