JPS5979841A - 絶対反射率測定装置 - Google Patents
絶対反射率測定装置Info
- Publication number
- JPS5979841A JPS5979841A JP57191306A JP19130682A JPS5979841A JP S5979841 A JPS5979841 A JP S5979841A JP 57191306 A JP57191306 A JP 57191306A JP 19130682 A JP19130682 A JP 19130682A JP S5979841 A JPS5979841 A JP S5979841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- window
- integrating sphere
- wor
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/065—Integrating spheres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は積分球を用いた絶対反射率測定装置に関する。
反射率の測定には標準試料の反射率を１００％としたと
きの任意試料の反射率を測定する相対反射率測定と、試
料の真の反射率を測定する絶対反射率測定とがあシ、通
常は相対反射率を測定し、そ庇に標準試料の絶対反射率
を掛算して任意試料の絶対反射率を求めている。しかし
標準試料の絶対反射率自体は一つの一資料として提供さ
れているだけで反射率が経時的に変化していても測定者
には判らないから、このような方法では真の絶対反射率
は求められず、絶対反射率測定が必要となる。
きの任意試料の反射率を測定する相対反射率測定と、試
料の真の反射率を測定する絶対反射率測定とがあシ、通
常は相対反射率を測定し、そ庇に標準試料の絶対反射率
を掛算して任意試料の絶対反射率を求めている。しかし
標準試料の絶対反射率自体は一つの一資料として提供さ
れているだけで反射率が経時的に変化していても測定者
には判らないから、このような方法では真の絶対反射率
は求められず、絶対反射率測定が必要となる。
絶対反射率の測定は原理的には単純であっても実際にそ
れを実施するのは大へん困難である。その中で積分球を
用いる方法は原理は稍複雑であるが比較的実施容易な方
法である。しかしそれでも積分球に対して光検出器或は
入射光路を移動させる必要があるので、装置構成は大型
化し研究室的には実行可能でも、日常業務としての測定
には不向きであり、分光光度計の一アダプターとして用
いられるような構成にすることはなお更困難なことであ
る。
れを実施するのは大へん困難である。その中で積分球を
用いる方法は原理は稍複雑であるが比較的実施容易な方
法である。しかしそれでも積分球に対して光検出器或は
入射光路を移動させる必要があるので、装置構成は大型
化し研究室的には実行可能でも、日常業務としての測定
には不向きであり、分光光度計の一アダプターとして用
いられるような構成にすることはなお更困難なことであ
る。
本発明は上述したような状況に鑑み、小型に構成できて
測定操作も簡単であり、分光光度計の一アダプターとし
ても構成可能なような積分球式絶対反射率測定装置を提
供するものである。
測定操作も簡単であり、分光光度計の一アダプターとし
ても構成可能なような積分球式絶対反射率測定装置を提
供するものである。
まず積分球を用いた絶対反射率測定の原理について略述
する。第１図で工が積分球で左の窓Ｗｉから光が入射す
る。この入射光束が直接積分球内面を照射している部分
をＷａとする。Ｗｓは試料窓、Ｗｏｅは、試料光出口窓
、Ｗｏｒは対照光出口窓である。また球内には入射光束
の球内面Ｗａで直接反射した（−回目の反射）光が試料
窓Ｗｅに入射しないように衝立Ｂｆが設けである。この
衝立は２つの光の出ロ窓Ｗｏｅ、Ｗｏｒ何れにおいても
測光系を通しては見えないような位置にある。
する。第１図で工が積分球で左の窓Ｗｉから光が入射す
る。この入射光束が直接積分球内面を照射している部分
をＷａとする。Ｗｓは試料窓、Ｗｏｅは、試料光出口窓
、Ｗｏｒは対照光出口窓である。また球内には入射光束
の球内面Ｗａで直接反射した（−回目の反射）光が試料
窓Ｗｅに入射しないように衝立Ｂｆが設けである。この
衝立は２つの光の出ロ窓Ｗｏｅ、Ｗｏｒ何れにおいても
測光系を通しては見えないような位置にある。
例えば図は対照光を測光している状態であるが、レンズ
Ｌが積分球■の内面の窓Ｗｏｒと反対側の面の像を受光
素子りの前面の絞りＦ上に形成しており、この絞りＦの
開口と共役な積分球Ｉの内面領域をＷｒとすると、衝立
ＢｆはＷｒＯ像を絞り立Ｂｆも反射率ｒになるように塗
装しである。
Ｌが積分球■の内面の窓Ｗｏｒと反対側の面の像を受光
素子りの前面の絞りＦ上に形成しており、この絞りＦの
開口と共役な積分球Ｉの内面領域をＷｒとすると、衝立
ＢｆはＷｒＯ像を絞り立Ｂｆも反射率ｒになるように塗
装しである。
入射光の光量：Ｐ
積分球内面積二Ｓ
窓Ｗｏｒ、Ｗｏｓの面積：ｂ
試料窓面積、領域Ｗｒの面積：ａ
ａ／５＝ｋｌ＋ ｂ／Ｓ＝に２
試料反射率：ｒｌ
をレンズＬを通して測光する（第１図の状態）。
積分球に入射した光がＷａで各方向一様に反射され、そ
の全反射光量はＰ＠ｒである。このＰ＠ｒのうち領域Ｗ
ｒに入射するものはＰｅｒ＠ａ ／ Ｓ ＝ Ｐ＠ｒｅ
ｋ１゜このうちＷｒで反射されて窓Ｗｏｒから出射す名
光量は ｒｓＰｓｒｓｋｌ ｘｋ２ −・・・・・・・（１）他
方ＷａからＷｒ以外の方向に反射される光量はＰ＠ｒ・
（１−ｋｌ）でこれが積分球内面で反射される全光量は
Ｐ＠ｒ・（１−ｋｌ：）ｒであり、このうち領域Ｗｒに
入射する光量はＰ＠ｒ（１−ｋｌ ） ｒ＠ｋｌで、こ
のうち窓Ｗｏｒに向けて反射される光量は射される光の
うち領域Ｗｒに入射し、窓ＷＯｒに向は反射される光量
は Ｐ＠ｒ（１−ｋｌ）ｒ（１−ｋｌ）ｒ＊ｋｌｓｒ＠に２
・川・（３）以下多重反射に対して上と同じ考え方を操
返し、窓Ｗａｒから取出される全光素工ｒは上記（１）
、 （２）、（３）等の総和であシ、級数の形で Ｉｒ＝Ｐ＠ｒ２・ｋｌｓｋ２ １＋ｒ（１−ｋｌ）＋ｒ
２（１−に１）２＋−−−−−−となる。次にり、Ｆ、
Ｄ等の測光装置を光出口窓ＷＯｓの側に移し、−゛、
−′ 字昧畦４窓Ｗａｓを通して測光装置によって窓Ｗ８にセ
ットされた試料を望む。このとき試料光出口窓Ｗ Ｏｅ
から出射する光素工θは上と同じ考え方で 料には積分球への入射光のＷａでの一回目の反射光は衝
立３手によって遮蔽されて入射していないと云うことで
、このだめ（５）式の誘導においては、積り、それはＰ
ｅｒ２・ｋｌであり、そのうち窓ＷＯｓへ向けて反射さ
れる光量は Ｐ＠ｒ２・に１・ｒｌ・に２・・・・・・・曲・・・・
（６）でこれが対照光の場合の（１）式に対応する。こ
＼で工ｒと工θとの比工Ｓ／工ｒをとると、〔（５）式
、］ ／ （（４）式〕−ｒ１となる。従って測光装置
を窓ｗ ｏ ｒの位置において工ｒを測定し、次に測光
装置を窓Ｗ ｏ ｓに置いて工θを測定し両側定値の比
をとればぺ料の絶対反射率ｒ“が求まる。
の全反射光量はＰ＠ｒである。このＰ＠ｒのうち領域Ｗ
ｒに入射するものはＰｅｒ＠ａ ／ Ｓ ＝ Ｐ＠ｒｅ
ｋ１゜このうちＷｒで反射されて窓Ｗｏｒから出射す名
光量は ｒｓＰｓｒｓｋｌ ｘｋ２ −・・・・・・・（１）他
方ＷａからＷｒ以外の方向に反射される光量はＰ＠ｒ・
（１−ｋｌ）でこれが積分球内面で反射される全光量は
Ｐ＠ｒ・（１−ｋｌ：）ｒであり、このうち領域Ｗｒに
入射する光量はＰ＠ｒ（１−ｋｌ ） ｒ＠ｋｌで、こ
のうち窓Ｗｏｒに向けて反射される光量は射される光の
うち領域Ｗｒに入射し、窓ＷＯｒに向は反射される光量
は Ｐ＠ｒ（１−ｋｌ）ｒ（１−ｋｌ）ｒ＊ｋｌｓｒ＠に２
・川・（３）以下多重反射に対して上と同じ考え方を操
返し、窓Ｗａｒから取出される全光素工ｒは上記（１）
、 （２）、（３）等の総和であシ、級数の形で Ｉｒ＝Ｐ＠ｒ２・ｋｌｓｋ２ １＋ｒ（１−ｋｌ）＋ｒ
２（１−に１）２＋−−−−−−となる。次にり、Ｆ、
Ｄ等の測光装置を光出口窓ＷＯｓの側に移し、−゛、
−′ 字昧畦４窓Ｗａｓを通して測光装置によって窓Ｗ８にセ
ットされた試料を望む。このとき試料光出口窓Ｗ Ｏｅ
から出射する光素工θは上と同じ考え方で 料には積分球への入射光のＷａでの一回目の反射光は衝
立３手によって遮蔽されて入射していないと云うことで
、このだめ（５）式の誘導においては、積り、それはＰ
ｅｒ２・ｋｌであり、そのうち窓ＷＯｓへ向けて反射さ
れる光量は Ｐ＠ｒ２・に１・ｒｌ・に２・・・・・・・曲・・・・
（６）でこれが対照光の場合の（１）式に対応する。こ
＼で工ｒと工θとの比工Ｓ／工ｒをとると、〔（５）式
、］ ／ （（４）式〕−ｒ１となる。従って測光装置
を窓ｗ ｏ ｒの位置において工ｒを測定し、次に測光
装置を窓Ｗ ｏ ｓに置いて工θを測定し両側定値の比
をとればぺ料の絶対反射率ｒ“が求まる。
積分球を用いる絶対反射率測定の原理は上述しだような
もので、上の説明からも明かなように、測光系を２つの
光出口窓ＷｏｒからＷａｓへ移し変えねばならないと云
う難点がある。これは操作としても大へんおおげさであ
る上、装置が広い場所をとり、分光光度計の一つのアダ
プタとして装置を構成することを困難にする。測光系を
先出ロ窓Ｗｏｒ、Ｗｏｓ夫々に設ければ、少くとも測光
系を動かす手間は省けそうであるが、この場合２つの測
光系の感度の違いを補正する手段がなく、この補正をす
るだめに結局２つの測光系の位置を入れ替える必要があ
るから、２つの測光系を用いることは何等の意味もない
のである。
もので、上の説明からも明かなように、測光系を２つの
光出口窓ＷｏｒからＷａｓへ移し変えねばならないと云
う難点がある。これは操作としても大へんおおげさであ
る上、装置が広い場所をとり、分光光度計の一つのアダ
プタとして装置を構成することを困難にする。測光系を
先出ロ窓Ｗｏｒ、Ｗｏｓ夫々に設ければ、少くとも測光
系を動かす手間は省けそうであるが、この場合２つの測
光系の感度の違いを補正する手段がなく、この補正をす
るだめに結局２つの測光系の位置を入れ替える必要があ
るから、２つの測光系を用いることは何等の意味もない
のである。
本発明はきわめて簡単な方法で上述した難点を解消した
ものであ′る。即ち本発明は第１図の装置で測光系を窓
ＷＯｒからＷｏｓへ移す代りに積分理工を軸Ａｘを軸と
して回転させることにより窓Ｗｏｓの方を測光系の所へ
持って来るようにしだものである。第２図はこのように
積分理工を回転させた状態を示し、第１図の状態におけ
る測光量カニｒと第２図の状態における測光量カニＳと
の化工ｓ／工ｒを求めれば上述した原理によって試料の
絶対反射率ｒ１が測定できる。
ものであ′る。即ち本発明は第１図の装置で測光系を窓
ＷＯｒからＷｏｓへ移す代りに積分理工を軸Ａｘを軸と
して回転させることにより窓Ｗｏｓの方を測光系の所へ
持って来るようにしだものである。第２図はこのように
積分理工を回転させた状態を示し、第１図の状態におけ
る測光量カニｒと第２図の状態における測光量カニＳと
の化工ｓ／工ｒを求めれば上述した原理によって試料の
絶対反射率ｒ１が測定できる。
上述した所は試料を拡散光で照明した場合の試料面に垂
直な方向の反射率Ｒｄ ／ ｏを測定するものである。
直な方向の反射率Ｒｄ ／ ｏを測定するものである。
本発明は直接光による垂直照明の場合の拡散反射率Ｒｏ
／ｄ、の測定にも適用できる。これは構造としては第１
図において測光系の光軸に沿って積分理工に光を入射さ
せ、窓Ｗｉの所に測光系を位置させる。即ち第１図の構
成における光源と測光系の位置を入れ替える。この場合
に積分理工をＡｘ軸の周ｂＫ回転させて２つの測光値を
得て割算する所は上述した所と全く同じである。まだ第
３図に示すように、窓Ｗ Ｏｒ及びＷｏｓが領域Ｗｒ及
び試料窓Ｗｓを望む方向が積分球の中心を通らないよう
にしておくと、拡散照射を斜反射の反射率Ｒｄ／θ の
測定ができ、更にこの構成で光源と測光系の場所を入れ
替えだ形にすると斜直接照明での拡散反射率Ｒψ／ｄを
測定すること永できる。第４図は第１図の構成で、鏡Ｍ
Ｒ，ＭＨＩを用いて絞ｐＦ及び光検出器りを積分理工へ
の入射光束の光軸の延長上に位置させたもので、分光光
度計のアダプタとして積分理工と鏡ＭＲ，ＭＨＩ、レン
ズＬ等やワンセットに構成して分光光度計の試料室に置
けるようＫし、光検出器は分光光度計に既設のものをそ
のま＼用いるようにしたものである。
／ｄ、の測定にも適用できる。これは構造としては第１
図において測光系の光軸に沿って積分理工に光を入射さ
せ、窓Ｗｉの所に測光系を位置させる。即ち第１図の構
成における光源と測光系の位置を入れ替える。この場合
に積分理工をＡｘ軸の周ｂＫ回転させて２つの測光値を
得て割算する所は上述した所と全く同じである。まだ第
３図に示すように、窓Ｗ Ｏｒ及びＷｏｓが領域Ｗｒ及
び試料窓Ｗｓを望む方向が積分球の中心を通らないよう
にしておくと、拡散照射を斜反射の反射率Ｒｄ／θ の
測定ができ、更にこの構成で光源と測光系の場所を入れ
替えだ形にすると斜直接照明での拡散反射率Ｒψ／ｄを
測定すること永できる。第４図は第１図の構成で、鏡Ｍ
Ｒ，ＭＨＩを用いて絞ｐＦ及び光検出器りを積分理工へ
の入射光束の光軸の延長上に位置させたもので、分光光
度計のアダプタとして積分理工と鏡ＭＲ，ＭＨＩ、レン
ズＬ等やワンセットに構成して分光光度計の試料室に置
けるようＫし、光検出器は分光光度計に既設のものをそ
のま＼用いるようにしたものである。
本発明反射率測定装置は上述したような構成で、測光系
を動かす必要がないから測定操作が簡単であり、測光系
が２重に場所をとることがないから従来装置よシ装置の
設置面積が小さくてすみ、積分球を回転可能に支承して
いるだけであるから構造的には簡単であり、通常の分光
光度計に付設することによシ、安価かつ簡単に絶対反射
率を測定することを可能にするものである。
を動かす必要がないから測定操作が簡単であり、測光系
が２重に場所をとることがないから従来装置よシ装置の
設置面積が小さくてすみ、積分球を回転可能に支承して
いるだけであるから構造的には簡単であり、通常の分光
光度計に付設することによシ、安価かつ簡単に絶対反射
率を測定することを可能にするものである。
第１図は積分球による絶対反射率測定の原理を説明する
と共に本発明の一実施例の対照光測光時の状態を示す平
面図、第２図は上記実施例の試料光測光時の状態を示す
平面図、第３図は本発明の他の一実施例の平面図、第４
図は更に他の実施例の平面図である。 ■・・・積分球、Ｗｌ・・・光入射窓、Ｗｓ・・・試料
窓、Ｗｏｒ・・・対照光出口窓、Ｗｏｓ・・・試料光出
口窓、Ｂｆ・・・衝立、Ｌ・・・レンズ、Ｆ・・・絞り
、Ｄ・・・光検出器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
と共に本発明の一実施例の対照光測光時の状態を示す平
面図、第２図は上記実施例の試料光測光時の状態を示す
平面図、第３図は本発明の他の一実施例の平面図、第４
図は更に他の実施例の平面図である。 ■・・・積分球、Ｗｌ・・・光入射窓、Ｗｓ・・・試料
窓、Ｗｏｒ・・・対照光出口窓、Ｗｏｓ・・・試料光出
口窓、Ｂｆ・・・衝立、Ｌ・・・レンズ、Ｆ・・・絞り
、Ｄ・・・光検出器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (3)
- （１）積分球の中心を通る一つの平面内において、光の
入射窓、試料窓、光の出口窓を設け、同積分球を上記平
面内にある一つの中心線を軸として回転可能にし、光源
及び測光系の位置を固定しておき、積分球を上記軸を中
心として１８０°回転させることにより、積分球に対す
る光源、測光系等の位置を変えるようにしたことを特徴
とする絶対反射率測定装置。 - （２）光の入射窓が一つで、この窓の中心を通る一つの
直径が積分球の回転軸であシ、光の出口窓が２つあって
上記軸に対して対称的である特許請求の範囲第１項記載
の絶対反射率測定装置。 - （３）光の出口窓が一つで、この窓の中心を通る一つの
直径が積分球の回転軸であり、光の入射窓が２つあって
上記軸に対して対称的である特許請求の範囲第１項記載
の絶対反射率測定装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191306A JPS5979841A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 絶対反射率測定装置 |
| US06/542,150 US4575252A (en) | 1982-10-29 | 1983-10-14 | Apparatus for measuring absolute reflectance |
| DE19833338203 DE3338203A1 (de) | 1982-10-29 | 1983-10-20 | Geraet zur messung des absoluten reflexionsgrades |
| CA000439966A CA1203399A (en) | 1982-10-29 | 1983-10-28 | Apparatus for measuring absolute reflectance |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191306A JPS5979841A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 絶対反射率測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979841A true JPS5979841A (ja) | 1984-05-09 |
| JPS6355020B2 JPS6355020B2 (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=16272362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57191306A Granted JPS5979841A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 絶対反射率測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4575252A (ja) |
| JP (1) | JPS5979841A (ja) |
| CA (1) | CA1203399A (ja) |
| DE (1) | DE3338203A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62132152A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Hitachi Ltd | 反射率測定方法 |
| JP2006519379A (ja) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 面を観察するスキャタロメータ及び方法 |
| JP2008516224A (ja) * | 2004-10-08 | 2008-05-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 検査表面の光学検査 |
| JP2018205231A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 一般財団法人雑賀技術研究所 | 積分球を用いた相対反射率測定装置及びその較正方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6276433A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Shimadzu Corp | 分光光度計における積分球測定装置 |
| US6927850B1 (en) * | 1987-10-09 | 2005-08-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Infrared integrating sphere |
| US5044754A (en) * | 1989-12-20 | 1991-09-03 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for use in determining the optical transmission factor or density of a translucent element |
| US5045704A (en) * | 1990-02-01 | 1991-09-03 | Nanometrics Incorporated | Method for determining absolute reflectance of a material in the ultraviolet range |
| DE4030836A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-02 | Kim Yoon Ok | Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe |
| US5386267A (en) * | 1994-02-16 | 1995-01-31 | Eastman Kodak Company | Light integrating cavity for a film scanner |
| GB2300257B (en) * | 1995-04-28 | 1999-08-25 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Method and device for determination of the albedo of particles |
| US5597237A (en) * | 1995-05-30 | 1997-01-28 | Quantum Logic Corp | Apparatus for measuring the emissivity of a semiconductor wafer |
| US5745234A (en) * | 1995-07-31 | 1998-04-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Variable angle reflectometer employing an integrating sphere and a light concentrator |
| US7048424B2 (en) * | 2002-08-14 | 2006-05-23 | Cross Match Technologies, Inc. | Light integrating column |
| WO2007020554A1 (en) * | 2005-08-15 | 2007-02-22 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Dual beam set-up for scatterometer |
| EP2010043B1 (en) * | 2006-04-18 | 2011-11-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Optical measurement device |
| US8294898B2 (en) * | 2007-08-28 | 2012-10-23 | Trustees Of Princeton University | Rotationally asymmetric chaotic optical multi-pass cavity |
| DE102011050969A1 (de) * | 2011-06-09 | 2013-05-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Vorrichtung zur referenzierten Messung von reflektiertem Licht und Verfahren zum Kalibrieren einer solchen Vorrichtung |
| EP3746755B1 (en) | 2018-01-30 | 2022-09-28 | GrainSense Oy | A method for calibrating an integrating cavity |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1964365A (en) * | 1931-01-08 | 1934-06-26 | Razek Joseph | Method of and apparatus for determining the intensity of colors |
| US3327583A (en) * | 1962-07-16 | 1967-06-27 | Lion Res Corp | Apparatus with diffusely reflecting hollow housing for measuring absolute reflectivity of a surface and the like |
| US3502890A (en) * | 1965-06-10 | 1970-03-24 | Cary Instruments | Rotating sphere radiometer |
| DE1921432A1 (de) * | 1969-04-26 | 1970-11-12 | Licentia Gmbh | Reflexionsgradmesser |
| US3874799A (en) * | 1973-06-01 | 1975-04-01 | Color Control Inc | Method and apparatus for color spectrophotometry |
| US4035085A (en) * | 1973-06-29 | 1977-07-12 | Ppg Industries, Inc. | Method and apparatus for comparing light reflectance of a sample against a standard |
| DE2606675C3 (de) * | 1976-02-19 | 1979-02-22 | Vladimir Dipl.-Ing. 5100 Aachen Blazek | Anordnung zur spektralanalytischen Untersuchung des Remissionsvermögens einer Probe |
| US4093991A (en) * | 1977-01-26 | 1978-06-06 | Hunter Associates Laboratory, Inc. | Spectrophotometer-digital data processing system for appearance measurements providing fast and accurate standardization, ease of use for different appearance measurements and fast response |
| DE3138878A1 (de) * | 1981-09-30 | 1983-04-14 | Boehringer Mannheim Gmbh, 6800 Mannheim | Messeinrichtung, insbesondere ulbricht'sche kugel |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP57191306A patent/JPS5979841A/ja active Granted
-
1983
- 1983-10-14 US US06/542,150 patent/US4575252A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-10-20 DE DE19833338203 patent/DE3338203A1/de not_active Ceased
- 1983-10-28 CA CA000439966A patent/CA1203399A/en not_active Expired
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62132152A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Hitachi Ltd | 反射率測定方法 |
| JPH0445103B2 (ja) * | 1985-12-04 | 1992-07-23 | Hitachi Ltd | |
| JP2006519379A (ja) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 面を観察するスキャタロメータ及び方法 |
| JP2008516224A (ja) * | 2004-10-08 | 2008-05-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 検査表面の光学検査 |
| JP4777992B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2011-09-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 検査表面の光学検査 |
| JP2018205231A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 一般財団法人雑賀技術研究所 | 積分球を用いた相対反射率測定装置及びその較正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4575252A (en) | 1986-03-11 |
| DE3338203A1 (de) | 1984-05-03 |
| CA1203399A (en) | 1986-04-22 |
| JPS6355020B2 (ja) | 1988-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5979841A (ja) | 絶対反射率測定装置 | |
| JPH0248054B2 (ja) | ||
| JPH0261701B2 (ja) | ||
| US6842251B1 (en) | Configurable metrology device that operates in reflectance mode, transmittance mode, or mixed mode | |
| EP0081651B1 (en) | Three-axis angle sensor | |
| JPH0783828A (ja) | 角度可変絶対反射率測定装置 | |
| US20040218261A1 (en) | Conduction and correction of a light beam | |
| JPS60142204A (ja) | 物体の寸法計測方法 | |
| JP3119622U (ja) | 分光光度計 | |
| JPS6244215B2 (ja) | ||
| JPH0518686Y2 (ja) | ||
| SU1500920A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента зеркального отражени | |
| JPS60107532A (ja) | 多波長分光光度計 | |
| SU922598A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента поглощени | |
| JPS63215923A (ja) | 分光測光装置における補助装置 | |
| JPS6270735A (ja) | ゴニオホトメ−タ | |
| JPS6183940A (ja) | 分光透過率測定方法 | |
| JPH03233338A (ja) | 積分球内壁面反射率測定方法 | |
| JPS61225620A (ja) | 積分球を用いる分光光度計 | |
| SU1281952A1 (ru) | Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объективов | |
| JPS62105017A (ja) | 分光光度計 | |
| JPH03223654A (ja) | 吸光光度計 | |
| JPS5839915A (ja) | 光センサ分光感度測定装置 | |
| SU1210090A1 (ru) | Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени | |
| JPS61226619A (ja) | 積分球を用いる分光光度計 |