SU1210090A1 - Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени - Google Patents
Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1210090A1 SU1210090A1 SU833604229A SU3604229A SU1210090A1 SU 1210090 A1 SU1210090 A1 SU 1210090A1 SU 833604229 A SU833604229 A SU 833604229A SU 3604229 A SU3604229 A SU 3604229A SU 1210090 A1 SU1210090 A1 SU 1210090A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- rotation
- concave mirror
- sample holder
- autocollimation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
f
Изобретение относитс к области исследовани материалов оптическими методами и может быть использовано ,цл автоматического измерени спектрального распределени абсолютного коэффициента зеркального отражени при различных углах падени и коэффициента пропускани в широком температурном и спектральном диапазоне
Цель изобретени - повышение точности измерений.
На фиг.1 представлена оптическа схема устройства дл измерени абсолю гных коэффициентов отражени } на фиг.2 - механизмы дл держател образца и вогнутого зеркала.
Устройство содержит источник 1 излучени , светоделитель 2, модул тор 3, электромотор 4э неподвижное вогнутое зеркало 5, поворотное вогнутое зеркало 6, подвижку 7 с прикрепленным к ней исследуемым образцом 8 фо гоприемник 9, кинематический узел 10 и гониометр 11.
Элементы 2, 3 и 5 образуют опорную автоколлимационную систему, а элементы 2, 3, 8 и 6 - измерительную автоколлимационную систему. Обе. ав- гоко1шимгШ,ионные системы (опорна и измерительна ) разделены во времени с помощью общего дл них модул тора 3,
Светоделителем 2 слуткит тонка плоскопараллельна пластика из оптического материала, прозрачного в спектральной области измерений., котора работает как на пропускание, так и на отражение в двух автоколли мацион1шх системах.
Кроме того, вогнутое зеркапо б установлено на рассто нии равном его двойному фокусу от исследуемого образца 8, св зано при помощи кине- ма ического узла 10 с подвижкой 7 дл исследуемого образца 8 и может зт чворачиватьс из положени I в по- Л1.;.;ние II относительно оси, перпендикул рной к падак цему на исследуе- ь -ш образец 8 излучению и совпадаюкгей с его отражающей поверхностью. I
С помощью кинематически св занной
с вогнутым зеркалом 6 подвижки 7,, прикрепленный к ней исследуемый образец В может быть введен или выведен из светового луча ( положение III и IV соответственно).
Вогнутые зеркала 5 и 6 имеют аналогичные оптические параметры, рас02
положены на равных оптических пут х от светоделител 2 и установлены при нулевых углах к падающему на них излучению.
Гониометр 11 имеет жесткую механическую св зь с осью поворота кинематически св занных между собой подвижки 7 с исследуемым образцом 8 и вогнутого зеркала 6 и служит дл
измерени углов падени излучени на исследуемый образец 8, которьй во врем измерений коэффициента отражени или пропускани остаетс неподвижным .
Устройство работает следующим образом ,.
Пучок света от источника 1 излучени с помощью светоделител 2 расщепл етс на два пучка (пропущенный
и отраженный лучи) и поочередно во времени с помощью модул тора 3 пропускаетс в опорную и измерительную автоколлимационные системы. В первый момент времени световой пучок попадает в опорную автоко.тглимац онную систему, где, отразившись от неподвижного вогнутого зеркала 5, проходит светоделитель 2 и попадает на фотоприемник 9. Величина выходного
сигнала М, фотоприемника 9 дл опор- ной автоколлимационной системы при этом равна
35
,№,-Ka-(f-t.n, , где К - )ициент пропоргщональносТИ;
3 - сила света источника излучени j
коэффициент пропускани светоделител ,
f ,- коэффициент отражени неподвижного вогнутого зеркала 5. Во второй момент времени световой Пучок попадает в измерительную авто- коллимационную систему, где последовательно отражаетс от исследуемого образца 8, поворотного вогнутого зеркала 6, снова от исследуемого образца 8, светоделител 2 и попадает на фотоприемник 9. Величина выходного сих нала Mg фотоприемника 9 дл змерительной автоколлимационной системь при этом равна
55
Mj n-(
где К коэффициент пропорциональности
3
3 - сила света источника излучени ; - коэффициент пропускани све
тоделител 2/
2 коэффициент отражени поворотного вогнутого зеркала 6, R - коэффициент отражени исследуемого образца 8, Оптические параметры вогнутых зер т,е. г, и R
кал аналогичны, М М, R , откуда
Чм,/м,.
При измерении коэффициента зеркального отражени при различных углах падени с исследуемый образец 8 на подвижке 7 и вогнутое зеркало б, св занные с помощью кинематического узла 10 между собой и гониометром 11 одновременно разворачиваютс относительно оси, перпендикул рной к падающему на исследуемый образец 8 излучению и совпадающей с его отражающей поверхностью. При развороте исследуемого образца 8 на угол oi кинематический узел 10 обеспечивает поворот .вогнутого зеркала на необходимый угол 2 oi . Диапазон изменени углов падени на исследуемый образец 8 лежит от некоторого начального угла падени « , отличного от нул , вплоть до (). Отсчет углов падени производитс с помощью гониометра 1 1 .
Дл контрол идентичности двух автоколлимационных систем вогнутое зеркало 6 разворачиваетс из положени I в положение II, а исследуемьш образец 8, прикрепленньй к подвижке 7, вьшодитс последней из светового луча и занимает положение III. В это случае сигнал на выходе приемника 9 излучени представл ет собой поправ0
ку к измер емой величине, определ ющую идентичность двух автоколл1-1маци- онных систем оптического устройства. Предлагаемое устройство позвол ет
проводить измерени коэффициента пропускани , дл этого вогнутое зеркало 6 разворачиваетс на угол (180- 2 oi), занима при этом положение II, а исследуемьш образец 8 устанавливаетс нормально или под небольшим углом к падающему на него излучению. При этом аналогично измерению коэффициента зеркального отражени выходной сигнал с фотоприемника 9 дл
опорной автоколлимационной системы
равен
М
5
а дл измерительной ав
токоллимационной системы
M,-K3 (..r.j.T
где К - коэффициент пропорциональности; 3 - сила света источника излз чени
- коэффициент пропускани светоделител 2,
2 коэффициент отражени поворотного вогнутого зеркала 6; Т - коэффициент пропускани исследуемого образца 8. Оптические параметры вогнз тых зеркал аналогичны; т.е. i г р и М М,Т откуда Т л М J / М , .
При низкотемпературных измерени х коэффициентов отражени и пропускани подвижка 7 и прикрепленный к ней исследуемьй образец 8 располагаютс в оптическом криостате. Компенсаци оптической среды окон криостата осуществл етс установкой аналогичных оптических окон в двух автоколлимационных системах.
ВНИИПИ Тираж 778
Заказ 513/53 Подписное
Тч 2.
{.. X , Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул.Проектна 4
Claims (1)
- УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ АБСОЛЮТНЫХ КОЭФФИЦИЕНТОВ ОТРАЖЕНИЯ, содержащее источник излучения и расположенные по ходу излучения оптическую систему для формирования опор- ного и измерительного с держателем образца автоколлимационных каналов, фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, в измерительный автоколлимационный канал введено вогнутое зеркало, а держатель образца снабжен механизмами, обеспечивающими его вращение и перемещение вдоль оси вращения, при этом вогнутое зеркало расположено за держателем образца по ходу излучения на двойном фокусном расстоянии от держателя образца и снабжено механизмом поворота, имеющим общую с держателем образца ось вращения и о связанным кинематически с механизмом, © обеспечивающим вращение держателя образца.SU ,.,,1210090 (put 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833604229A SU1210090A1 (ru) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833604229A SU1210090A1 (ru) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1210090A1 true SU1210090A1 (ru) | 1986-02-07 |
Family
ID=21068027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833604229A SU1210090A1 (ru) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1210090A1 (ru) |
-
1983
- 1983-04-01 SU SU833604229A patent/SU1210090A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 401914, кл. G 01 М 21/55, 1974. Авторское свидетельство СССР № 661312, кл. G 01 N 21/55, 1979. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4247202A (en) | Automatic computing color meter | |
US4790659A (en) | Optical sample illumination device for a spectroscopic ellipsometer having a high lateral resolution | |
US4453827A (en) | Optical distortion analyzer system | |
JPS6355020B2 (ru) | ||
CN103344416A (zh) | 一种体全息透射光栅衍射效率测试仪 | |
US6618145B1 (en) | Spectroplarimetric reflectometer | |
CN205607626U (zh) | 一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置 | |
SU1210090A1 (ru) | Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени | |
JPS62266439A (ja) | 分光偏光測定装置 | |
RU222790U1 (ru) | Устройство определения показателя преломления образца | |
RU1824547C (ru) | Рефлектометр дл вогнутых зеркал | |
SU823989A1 (ru) | Устройство дл измерени абсолют-НыХ КОэффициЕНТОВ ОТРАжЕНи и пРОпуС-КАНи | |
AI-Marzouk et al. | New absolute reflectometer | |
RU2102702C1 (ru) | Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок | |
RU2018112C1 (ru) | Устройство для измерения коэффициентов отражения и пропускания | |
SU1368661A1 (ru) | Устройство дл получени дифференциальных спектров отражени | |
SU1057776A1 (ru) | Интерферометрическа установка | |
SU1260693A1 (ru) | Устройство дл измерени индикатрисы рассто ни света | |
SU808835A1 (ru) | Интерференционный датчик измерени углОВ пОВОРОТА Об'ЕКТА | |
RU1775602C (ru) | Интерференционный способ измерени геометических параметров образца и устройство дл его осуществлени | |
SU1286963A1 (ru) | Способ измерени абсолютного коэффициента отражени зеркала и устройство дл его осуществлени | |
SU1500920A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента зеркального отражени | |
SU1281952A1 (ru) | Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объективов | |
SU1187031A1 (ru) | Устройство дл измерени абсолютного коэффициента отражени | |
RU2054620C1 (ru) | Способ измерения углов двугранных отражателей |