SU1210090A1 - Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени - Google Patents

Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени Download PDF

Info

Publication number
SU1210090A1
SU1210090A1 SU833604229A SU3604229A SU1210090A1 SU 1210090 A1 SU1210090 A1 SU 1210090A1 SU 833604229 A SU833604229 A SU 833604229A SU 3604229 A SU3604229 A SU 3604229A SU 1210090 A1 SU1210090 A1 SU 1210090A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
measuring
rotation
concave mirror
sample holder
autocollimation
Prior art date
Application number
SU833604229A
Other languages
English (en)
Inventor
Владислав Иванович Донецких
Валентин Викторович Соболев
Михаил Валерьевич Турышев
Original Assignee
Институт Прикладной Физики Ан Мсср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Прикладной Физики Ан Мсср filed Critical Институт Прикладной Физики Ан Мсср
Priority to SU833604229A priority Critical patent/SU1210090A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1210090A1 publication Critical patent/SU1210090A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

f
Изобретение относитс  к области исследовани  материалов оптическими методами и может быть использовано ,цл  автоматического измерени  спектрального распределени  абсолютного коэффициента зеркального отражени  при различных углах падени  и коэффициента пропускани  в широком температурном и спектральном диапазоне
Цель изобретени  - повышение точности измерений.
На фиг.1 представлена оптическа  схема устройства дл  измерени  абсолю гных коэффициентов отражени } на фиг.2 - механизмы дл  держател  образца и вогнутого зеркала.
Устройство содержит источник 1 излучени , светоделитель 2, модул тор 3, электромотор 4э неподвижное вогнутое зеркало 5, поворотное вогнутое зеркало 6, подвижку 7 с прикрепленным к ней исследуемым образцом 8 фо гоприемник 9, кинематический узел 10 и гониометр 11.
Элементы 2, 3 и 5 образуют опорную автоколлимационную систему, а элементы 2, 3, 8 и 6 - измерительную автоколлимационную систему. Обе. ав- гоко1шимгШ,ионные системы (опорна  и измерительна ) разделены во времени с помощью общего дл  них модул тора 3,
Светоделителем 2 слуткит тонка  плоскопараллельна  пластика из оптического материала, прозрачного в спектральной области измерений., котора  работает как на пропускание, так и на отражение в двух автоколли мацион1шх системах.
Кроме того, вогнутое зеркапо б установлено на рассто нии равном его двойному фокусу от исследуемого образца 8, св зано при помощи кине- ма ического узла 10 с подвижкой 7 дл  исследуемого образца 8 и может зт чворачиватьс  из положени  I в по- Л1.;.;ние II относительно оси, перпендикул рной к падак цему на исследуе- ь -ш образец 8 излучению и совпадаюкгей с его отражающей поверхностью. I
С помощью кинематически св занной
с вогнутым зеркалом 6 подвижки 7,, прикрепленный к ней исследуемый образец В может быть введен или выведен из светового луча ( положение III и IV соответственно).
Вогнутые зеркала 5 и 6 имеют аналогичные оптические параметры, рас02
положены на равных оптических пут х от светоделител  2 и установлены при нулевых углах к падающему на них излучению.
Гониометр 11 имеет жесткую механическую св зь с осью поворота кинематически св занных между собой подвижки 7 с исследуемым образцом 8 и вогнутого зеркала 6 и служит дл 
измерени  углов падени  излучени  на исследуемый образец 8, которьй во врем  измерений коэффициента отражени  или пропускани  остаетс  неподвижным .
Устройство работает следующим образом ,.
Пучок света от источника 1 излучени  с помощью светоделител  2 расщепл етс  на два пучка (пропущенный
и отраженный лучи) и поочередно во времени с помощью модул тора 3 пропускаетс  в опорную и измерительную автоколлимационные системы. В первый момент времени световой пучок попадает в опорную автоко.тглимац онную систему, где, отразившись от неподвижного вогнутого зеркала 5, проходит светоделитель 2 и попадает на фотоприемник 9. Величина выходного
сигнала М, фотоприемника 9 дл  опор- ной автоколлимационной системы при этом равна
35
,№,-Ka-(f-t.n, , где К - )ициент пропоргщональносТИ;
3 - сила света источника излучени  j
коэффициент пропускани  светоделител ,
f ,- коэффициент отражени  неподвижного вогнутого зеркала 5. Во второй момент времени световой Пучок попадает в измерительную авто- коллимационную систему, где последовательно отражаетс  от исследуемого образца 8, поворотного вогнутого зеркала 6, снова от исследуемого образца 8, светоделител  2 и попадает на фотоприемник 9. Величина выходного сих нала Mg фотоприемника 9 дл  змерительной автоколлимационной системь при этом равна
55
Mj n-(
где К коэффициент пропорциональности
3
3 - сила света источника излучени ; - коэффициент пропускани  све
тоделител  2/
2 коэффициент отражени  поворотного вогнутого зеркала 6, R - коэффициент отражени  исследуемого образца 8, Оптические параметры вогнутых зер т,е. г, и R
кал аналогичны, М М, R , откуда
Чм,/м,.
При измерении коэффициента зеркального отражени  при различных углах падени  с исследуемый образец 8 на подвижке 7 и вогнутое зеркало б, св занные с помощью кинематического узла 10 между собой и гониометром 11 одновременно разворачиваютс  относительно оси, перпендикул рной к падающему на исследуемый образец 8 излучению и совпадающей с его отражающей поверхностью. При развороте исследуемого образца 8 на угол oi кинематический узел 10 обеспечивает поворот .вогнутого зеркала на необходимый угол 2 oi . Диапазон изменени  углов падени  на исследуемый образец 8 лежит от некоторого начального угла падени  « , отличного от нул , вплоть до (). Отсчет углов падени  производитс  с помощью гониометра 1 1 .
Дл  контрол  идентичности двух автоколлимационных систем вогнутое зеркало 6 разворачиваетс  из положени  I в положение II, а исследуемьш образец 8, прикрепленньй к подвижке 7, вьшодитс  последней из светового луча и занимает положение III. В это случае сигнал на выходе приемника 9 излучени  представл ет собой поправ0
ку к измер емой величине, определ ющую идентичность двух автоколл1-1маци- онных систем оптического устройства. Предлагаемое устройство позвол ет
проводить измерени  коэффициента пропускани , дл  этого вогнутое зеркало 6 разворачиваетс  на угол (180- 2 oi), занима  при этом положение II, а исследуемьш образец 8 устанавливаетс  нормально или под небольшим углом к падающему на него излучению. При этом аналогично измерению коэффициента зеркального отражени  выходной сигнал с фотоприемника 9 дл 
опорной автоколлимационной системы
равен
М
5
а дл  измерительной ав
токоллимационной системы
M,-K3 (..r.j.T
где К - коэффициент пропорциональности; 3 - сила света источника излз чени 
- коэффициент пропускани  светоделител  2,
2 коэффициент отражени  поворотного вогнутого зеркала 6; Т - коэффициент пропускани  исследуемого образца 8. Оптические параметры вогнз тых зеркал аналогичны; т.е. i г р и М М,Т откуда Т л М J / М , .
При низкотемпературных измерени х коэффициентов отражени  и пропускани  подвижка 7 и прикрепленный к ней исследуемьй образец 8 располагаютс  в оптическом криостате. Компенсаци  оптической среды окон криостата осуществл етс  установкой аналогичных оптических окон в двух автоколлимационных системах.
ВНИИПИ Тираж 778
Заказ 513/53 Подписное
Тч 2.
{.. X , Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул.Проектна  4

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ АБСОЛЮТНЫХ КОЭФФИЦИЕНТОВ ОТРАЖЕНИЯ, содержащее источник излучения и расположенные по ходу излучения оптическую систему для формирования опор- ного и измерительного с держателем образца автоколлимационных каналов, фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, в измерительный автоколлимационный канал введено вогнутое зеркало, а держатель образца снабжен механизмами, обеспечивающими его вращение и перемещение вдоль оси вращения, при этом вогнутое зеркало расположено за держателем образца по ходу излучения на двойном фокусном расстоянии от держателя образца и снабжено механизмом поворота, имеющим общую с держателем образца ось вращения и о связанным кинематически с механизмом, © обеспечивающим вращение держателя образца.
    SU ,.,,1210090 (put 1
SU833604229A 1983-04-01 1983-04-01 Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени SU1210090A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833604229A SU1210090A1 (ru) 1983-04-01 1983-04-01 Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833604229A SU1210090A1 (ru) 1983-04-01 1983-04-01 Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1210090A1 true SU1210090A1 (ru) 1986-02-07

Family

ID=21068027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833604229A SU1210090A1 (ru) 1983-04-01 1983-04-01 Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1210090A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 401914, кл. G 01 М 21/55, 1974. Авторское свидетельство СССР № 661312, кл. G 01 N 21/55, 1979. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4247202A (en) Automatic computing color meter
US4790659A (en) Optical sample illumination device for a spectroscopic ellipsometer having a high lateral resolution
US4453827A (en) Optical distortion analyzer system
JPS6355020B2 (ru)
CN103344416A (zh) 一种体全息透射光栅衍射效率测试仪
US6618145B1 (en) Spectroplarimetric reflectometer
CN205607626U (zh) 一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置
SU1210090A1 (ru) Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов отражени
JPS62266439A (ja) 分光偏光測定装置
RU222790U1 (ru) Устройство определения показателя преломления образца
RU1824547C (ru) Рефлектометр дл вогнутых зеркал
SU823989A1 (ru) Устройство дл измерени абсолют-НыХ КОэффициЕНТОВ ОТРАжЕНи и пРОпуС-КАНи
AI-Marzouk et al. New absolute reflectometer
RU2102702C1 (ru) Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок
RU2018112C1 (ru) Устройство для измерения коэффициентов отражения и пропускания
SU1368661A1 (ru) Устройство дл получени дифференциальных спектров отражени
SU1057776A1 (ru) Интерферометрическа установка
SU1260693A1 (ru) Устройство дл измерени индикатрисы рассто ни света
SU808835A1 (ru) Интерференционный датчик измерени углОВ пОВОРОТА Об'ЕКТА
RU1775602C (ru) Интерференционный способ измерени геометических параметров образца и устройство дл его осуществлени
SU1286963A1 (ru) Способ измерени абсолютного коэффициента отражени зеркала и устройство дл его осуществлени
SU1500920A1 (ru) Устройство дл измерени коэффициента зеркального отражени
SU1281952A1 (ru) Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объективов
SU1187031A1 (ru) Устройство дл измерени абсолютного коэффициента отражени
RU2054620C1 (ru) Способ измерения углов двугранных отражателей