JPS5978540A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
- Publication number
- JPS5978540A JPS5978540A JP57188601A JP18860182A JPS5978540A JP S5978540 A JPS5978540 A JP S5978540A JP 57188601 A JP57188601 A JP 57188601A JP 18860182 A JP18860182 A JP 18860182A JP S5978540 A JPS5978540 A JP S5978540A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- speed
- shaft
- arm
- rotary motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はたとえばＩＣ組立工程においてペレットとリ
ード部とを金属ワイヤで接続する場合に用いるワイヤデ
ンディング装置に関する。
ード部とを金属ワイヤで接続する場合に用いるワイヤデ
ンディング装置に関する。
ワイヤはンディング装置のがンディングヘッドには、キ
ャピラリを有するデンディングツールが設けられ、この
ポンディングツールを駆動源によって上下動させている
。この駆動源は一般にモータとこのモータの回転運動を
往復運動蔵する必要があシ、構造が複雑化し・Ｃ大形化
するという欠点がある。また、カムやリンクを採用する
と動力伝達の追従性が悪く高速ポンディングには限度が
あシ、さらに、機械的摩耗が著しく高精度のポンディン
グが期待できないという事情がある。
ャピラリを有するデンディングツールが設けられ、この
ポンディングツールを駆動源によって上下動させている
。この駆動源は一般にモータとこのモータの回転運動を
往復運動蔵する必要があシ、構造が複雑化し・Ｃ大形化
するという欠点がある。また、カムやリンクを採用する
と動力伝達の追従性が悪く高速ポンディングには限度が
あシ、さらに、機械的摩耗が著しく高精度のポンディン
グが期待できないという事情がある。
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、ツールリフタアームを駆動する駆動
源を簡素化し、全体として小形化を図ることができると
ともに、常に安定１、Ｔｈ、Ｎンディングができるワイ
ヤｌポンディング装置を提供することにある。
的とするところは、ツールリフタアームを駆動する駆動
源を簡素化し、全体として小形化を図ることができると
ともに、常に安定１、Ｔｈ、Ｎンディングができるワイ
ヤｌポンディング装置を提供することにある。
この発明は駆動源として回転形モータを設け、この回転
形モータの回転軸にツールリフタアームを軸支して駆動
するとともに、上記回転軸に位置検出器および速度検出
器を設け、これら、両検出器からの検出信号によって回
転形モータを制御するようにしたことにある。
形モータの回転軸にツールリフタアームを軸支して駆動
するとともに、上記回転軸に位置検出器および速度検出
器を設け、これら、両検出器からの検出信号によって回
転形モータを制御するようにしたことにある。
以下、この発明を図面に示す一実施例にもとづいて設問
する。第１図中１はＸテーブル２とＹテーブル３とから
なるＸＹテーブルである。
する。第１図中１はＸテーブル２とＹテーブル３とから
なるＸＹテーブルである。
上記Ｘテーブル２にはＸ軸モータ４．ＹテーブルＪＩＣ
はＹ軸モータ５が設けられ、デンディングヘッド６全体
をＸＹ方向に移動してデンディング点に位置決めするよ
うになっている。上記Ｙテーブル３の上部にはモータ取
付台７が設けられ、このモータ取付台７にはＩ） Ｃサ
ー社？モータなどの正逆回転可能な回転形モータ８が水
平に取付けられている。この回転形モータ８の回転軸９
はモータケーシング８ａの両端から突出しておシ、この
回転軸９の両端部にはツールリフタアームＩＯが軸支さ
れている。すなわち、このツールリフタブーム１００基
端部には下方へ折曲した一対の支持脚１１．１１が設け
られ、これら支持脚１１．１１が上記回転軸９の両端部
に嵌着されている。そして、このソールリフタアーム１
０は回転形モータ８によってその回転軸９を支点として
上下方向に回動するようになっており、このツールリフ
タアーム１０にはキャピラリを有するツールアーム（図
示しない。）が設けられている。さらに、回転形モータ
８のモータケーシング８ａの両端部には位置検出器ノ２
と速度検出器１３が設けられ、回転形モータ８の回転角
および回転速度を検出するようになっている。この位置
検出器１２は第２図に示すように、位置検出信号を位置
制御回路１４に入力し、速度検出器１３はその速度検出
信号をザーー？増幅器１５に入力するようになっている
。
はＹ軸モータ５が設けられ、デンディングヘッド６全体
をＸＹ方向に移動してデンディング点に位置決めするよ
うになっている。上記Ｙテーブル３の上部にはモータ取
付台７が設けられ、このモータ取付台７にはＩ） Ｃサ
ー社？モータなどの正逆回転可能な回転形モータ８が水
平に取付けられている。この回転形モータ８の回転軸９
はモータケーシング８ａの両端から突出しておシ、この
回転軸９の両端部にはツールリフタアームＩＯが軸支さ
れている。すなわち、このツールリフタブーム１００基
端部には下方へ折曲した一対の支持脚１１．１１が設け
られ、これら支持脚１１．１１が上記回転軸９の両端部
に嵌着されている。そして、このソールリフタアーム１
０は回転形モータ８によってその回転軸９を支点として
上下方向に回動するようになっており、このツールリフ
タアーム１０にはキャピラリを有するツールアーム（図
示しない。）が設けられている。さらに、回転形モータ
８のモータケーシング８ａの両端部には位置検出器ノ２
と速度検出器１３が設けられ、回転形モータ８の回転角
および回転速度を検出するようになっている。この位置
検出器１２は第２図に示すように、位置検出信号を位置
制御回路１４に入力し、速度検出器１３はその速度検出
信号をザーー？増幅器１５に入力するようになっている
。
そして、上記位置制御回路１４は第３図にツ１ミす変位
曲線に相当する指令信号をザー？」・ｄ幅器ノ５に伝送
し、ここで増幅して上記回転形モータ８に供給するよう
になっている。
曲線に相当する指令信号をザー？」・ｄ幅器ノ５に伝送
し、ここで増幅して上記回転形モータ８に供給するよう
になっている。
しかして、回転形モータ８に通電すると、回転軸９は一
定回動角で正逆回転する。したがって、回転軸９に固定
されたソールリフタアーム１０は回転軸９を支点として
上下動し、キャピラリを上下動きせることができる。こ
のとき、回転軸９の回転角は位置検出器１２、回転速度
は速度検出器１３によって検出され、位置制御回路１４
およびザーボ増幅器１５を介して回転形モータ８に入力
（フィードバック建れるため、回転形モータ８の位置お
よび速度は常に一定Ｋ。
定回動角で正逆回転する。したがって、回転軸９に固定
されたソールリフタアーム１０は回転軸９を支点として
上下動し、キャピラリを上下動きせることができる。こ
のとき、回転軸９の回転角は位置検出器１２、回転速度
は速度検出器１３によって検出され、位置制御回路１４
およびザーボ増幅器１５を介して回転形モータ８に入力
（フィードバック建れるため、回転形モータ８の位置お
よび速度は常に一定Ｋ。
保たれる。したがって、ツールリフタアーム１０を常に
一定の速度で上下動でき、安定したデンディングが可能
となる。
一定の速度で上下動でき、安定したデンディングが可能
となる。
なお、上記一実施例においては、回転形モータとしてＤ
ＣＣサーブモータ採用したが、これに限定されず、ＡＣ
モータ、ステッピングモーフ等でもよく、また、回転形
モータをツールリフタアームの外部に設けてもよい。
ＣＣサーブモータ採用したが、これに限定されず、ＡＣ
モータ、ステッピングモーフ等でもよく、また、回転形
モータをツールリフタアームの外部に設けてもよい。
この発明は以上散切したように、ツールリフタアームを
駆動する駆動源として回転形モータを設け、この回転軸
にツールリフタアームを軸支するとともに位置検出器お
よび速度検出器を設けたから、従来のように、カム、リ
ンクなどの動力伝達機構が不要となシ、構造の簡素化と
小形化を図ることができ、丑だ、上記両検出器によって
回転形モータを制御することに、ｉｔ）、常に安定した
高精度の７１ｐンデイングができるという効果を奏する
。
駆動する駆動源として回転形モータを設け、この回転軸
にツールリフタアームを軸支するとともに位置検出器お
よび速度検出器を設けたから、従来のように、カム、リ
ンクなどの動力伝達機構が不要となシ、構造の簡素化と
小形化を図ることができ、丑だ、上記両検出器によって
回転形モータを制御することに、ｉｔ）、常に安定した
高精度の７１ｐンデイングができるという効果を奏する
。
図面はこの発明の一実施例を示すもので１、第１図は一
部切欠した斜視図、第２図はブロック回路図、第３図は
変位曲線を示すグラフ図である。 ８・・・回転形モータ、９・・・回転軸、ノ０・・・ツ
ールリフタアーム、１２・・・位置検出器、Ｊ３・・・
速度検出器。
部切欠した斜視図、第２図はブロック回路図、第３図は
変位曲線を示すグラフ図である。 ８・・・回転形モータ、９・・・回転軸、ノ０・・・ツ
ールリフタアーム、１２・・・位置検出器、Ｊ３・・・
速度検出器。
Claims (1)
- 駆動源と連動して上下動するツールリフタアームによっ
てギヤピラリを有するツールアームを回動させ、ワイヤ
ボンディングするものにおいて、上記駆動源として回転
形モータを設け、この回転形モータの回転軸に上記ツー
ルリフタアームを軸支するとともに位置検出器および速
度検出器を設けたことを特徴とするワイヤデンディング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57188601A JPS5978540A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57188601A JPS5978540A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5978540A true JPS5978540A (ja) | 1984-05-07 |
Family
ID=16226512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57188601A Pending JPS5978540A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5978540A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5547726B2 (ja) * | 1976-12-07 | 1980-12-02 | ||
| JPS57183047A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Nec Corp | Method for wire bonding and device thereof |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP57188601A patent/JPS5978540A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5547726B2 (ja) * | 1976-12-07 | 1980-12-02 | ||
| JPS57183047A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Nec Corp | Method for wire bonding and device thereof |
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