JPS5956739A - ウエハ装填装置 - Google Patents
ウエハ装填装置Info
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- JPS5956739A JPS5956739A JP57166680A JP16668082A JPS5956739A JP S5956739 A JPS5956739 A JP S5956739A JP 57166680 A JP57166680 A JP 57166680A JP 16668082 A JP16668082 A JP 16668082A JP S5956739 A JPS5956739 A JP S5956739A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、イオン注入装置１工のディスク等の部Ｈに初
数枚のウェハを装」真するウェハ装填装置ｒノに閥する
。
数枚のウェハを装」真するウェハ装填装置ｒノに閥する
。
従来例えば第１図及び第２図示のようにイオン注入Ｄ
ａを設けた真空￥ｂ内で７す数枚のウェハＣ奢取イ；］
けたディスクｄを回転芒ゼで、多数枚のウェハＣにイオ
ン注入中１４１１ ’ｉ−行なう装置Ｉｉが知られるが
、この柚装置ｉ：′ｌでシ、１．テイスクｄ等の部（ツ
にその１ｌ１１方のマツプジンから自動釣にウェハＣを
１゛定の枚数だけ必ず装填（〜、イオン注入中にイ副ン
ビームがディスクｄの開化ｅを介して背後のウェハ冷却
装置ｒｉ： ｆを照射し、Ｌ！ｃ空￥ｂ内を汚ｔｉｔす
る奢防止することが望−！、増！る。而してディスクｄ
に装＠芒れるべく用０．されたウェハＣの枚数に不足を
生じた用台、ｒ＋１．Ｅｌ、ｌイオン注入処理−４べき
ウェハの枚数がディスクｄＫ装填されるウェハＣの枚数
の整数倍でないときたとでは、イオン注入作菜が１￥れ
或（，１余Ｓｔにウェハを処理しなければならない等の
小部Ｈｉ、を伴う。
ａを設けた真空￥ｂ内で７す数枚のウェハＣ奢取イ；］
けたディスクｄを回転芒ゼで、多数枚のウェハＣにイオ
ン注入中１４１１ ’ｉ−行なう装置Ｉｉが知られるが
、この柚装置ｉ：′ｌでシ、１．テイスクｄ等の部（ツ
にその１ｌ１１方のマツプジンから自動釣にウェハＣを
１゛定の枚数だけ必ず装填（〜、イオン注入中にイ副ン
ビームがディスクｄの開化ｅを介して背後のウェハ冷却
装置ｒｉ： ｆを照射し、Ｌ！ｃ空￥ｂ内を汚ｔｉｔす
る奢防止することが望−！、増！る。而してディスクｄ
に装＠芒れるべく用０．されたウェハＣの枚数に不足を
生じた用台、ｒ＋１．Ｅｌ、ｌイオン注入処理−４べき
ウェハの枚数がディスクｄＫ装填されるウェハＣの枚数
の整数倍でないときたとでは、イオン注入作菜が１￥れ
或（，１余Ｓｔにウェハを処理しなければならない等の
小部Ｈｉ、を伴う。
本発明はかかる）不都合をＰｆｌ消することをその目的
としたもので、伽数枚のウェハが装填されるべき部材の
側方に畑数枚のウェハを貯蔵したマガジンｆ：設け、該
マガジンのウェハを該ｉ４１〜材にｌｌｌＬｌ次装填す
る式のものに於て、該部材と該マガジンとの中間に、該
ウェハと１ｊ１６同形のダミーウェハを上方に備えると
共にその上方にウェハ紮ド面から★承Ｊ−るｌ＆ｊ位楢
とに開閉自在の腕片を備えた中間ステーションｆ：設け
たこと含特徴とする。
としたもので、伽数枚のウェハが装填されるべき部材の
側方に畑数枚のウェハを貯蔵したマガジンｆ：設け、該
マガジンのウェハを該ｉ４１〜材にｌｌｌＬｌ次装填す
る式のものに於て、該部材と該マガジンとの中間に、該
ウェハと１ｊ１６同形のダミーウェハを上方に備えると
共にその上方にウェハ紮ド面から★承Ｊ−るｌ＆ｊ位楢
とに開閉自在の腕片を備えた中間ステーションｆ：設け
たこと含特徴とする。
本発明の実（１１ａ例を図面につき説明するに、その第
３図に於゛］１１はシリコンその他の円形のウェハ、（
２）は該ウェハ（Ｌｌの一数−４’ｋが装填さ）（るべ
きディスクその他の部材、（３１該部材（２）に環状に
配設したウェハｆｉ＋の取伺孔を示し、該ウェハ（ＩＩ
に１該取伺孔（３）を塞ぐように装ｊｉ誓れ、周囲の２
叉状の押え杆（４）により押筆固定ぢれる。
３図に於゛］１１はシリコンその他の円形のウェハ、（
２）は該ウェハ（Ｌｌの一数−４’ｋが装填さ）（るべ
きディスクその他の部材、（３１該部材（２）に環状に
配設したウェハｆｉ＋の取伺孔を示し、該ウェハ（ＩＩ
に１該取伺孔（３）を塞ぐように装ｊｉ誓れ、周囲の２
叉状の押え杆（４）により押筆固定ぢれる。
該部材（２）はその中心孔（５）に挿ｉｉＢ した駆動
軸（６うで水平に間歇的に回転芒れるものとし、ウェハ
（１）１１その四方の観数救のウェハ（１）を貯藏した
“７ガジンｆ’／ｌから供給腕（８）１”中聞ス戸−シ
ョン（９）に引き出され、さらに給排腕片（ｌｌｌ＋で
部←（（２）の取付孔１；（）へ装填される。こｊｌｉ
□史に、説明すれば、該マカジン（刀は第４し１示のよ
うに内ｒ、１〜に蚊数段のウェハ収容棚 （ＩＩ）を設
けて層状にウェハ＋ｌｌ ｋ １１′！、容しフイｕる
（１１／７成を１ＩｉＮえると共に九〇〇田方及び−ｈ
方に該ウェハｔｌｌ ｆｆｉ引き出す開口０３及び吸盤
０３）を設けだ供給腕（８）が降下進入うるＩｊｒｌ敢
部α（イ）を備え、また該供給腕（８）ｔｉ昇降自石の
軸枠（］５）の案内＋［（田に１ｒ）−）でリンク０カ
に上り往複摺動するスライダ（１８）に固足さ°れ、か
くて該１＜ｉ枠（１５）が側方のシリンダＧ！ｉｔによ
り降干爆れると供給腕（８）がマガジン（刀の１）ｄ放
部ａイ）からｉ（４人してウェハ（１１の」：而に吸＃
ｉ ＋Ｉ：ｉｌを吸屓し、続いてリンク（１７）が「１
１５口１！Ｉ＋・、、’Ｊ ｆ２１１により揺ルυされ
ると供給腕（８）が水平移動してウェハ＋］Ｉをマガジ
ン（刀からその前方の中間ステーション（９）の上方へ
と引き出す。
軸（６うで水平に間歇的に回転芒れるものとし、ウェハ
（１）１１その四方の観数救のウェハ（１）を貯藏した
“７ガジンｆ’／ｌから供給腕（８）１”中聞ス戸−シ
ョン（９）に引き出され、さらに給排腕片（ｌｌｌ＋で
部←（（２）の取付孔１；（）へ装填される。こｊｌｉ
□史に、説明すれば、該マカジン（刀は第４し１示のよ
うに内ｒ、１〜に蚊数段のウェハ収容棚 （ＩＩ）を設
けて層状にウェハ＋ｌｌ ｋ １１′！、容しフイｕる
（１１／７成を１ＩｉＮえると共に九〇〇田方及び−ｈ
方に該ウェハｔｌｌ ｆｆｉ引き出す開口０３及び吸盤
０３）を設けだ供給腕（８）が降下進入うるＩｊｒｌ敢
部α（イ）を備え、また該供給腕（８）ｔｉ昇降自石の
軸枠（］５）の案内＋［（田に１ｒ）−）でリンク０カ
に上り往複摺動するスライダ（１８）に固足さ°れ、か
くて該１＜ｉ枠（１５）が側方のシリンダＧ！ｉｔによ
り降干爆れると供給腕（８）がマガジン（刀の１）ｄ放
部ａイ）からｉ（４人してウェハ（１１の」：而に吸＃
ｉ ＋Ｉ：ｉｌを吸屓し、続いてリンク（１７）が「１
１５口１！Ｉ＋・、、’Ｊ ｆ２１１により揺ルυされ
ると供給腕（８）が水平移動してウェハ＋］Ｉをマガジ
ン（刀からその前方の中間ステーション（９）の上方へ
と引き出す。
Ｊ中ｊ１）１ステーシヨン（５すは第５しＪに帥、られ
るようにそのド方にアルミニウムその他でウェハ（１１
ト同徒に〕１ジ成ネれた略四形のダミーウェハ（２１）
の複数枚を収容Ｊるボット（“シ２）４備λ、ると共に
その上刃に１え１の開閉自在の円弧状の１掩Ｍｃ３１
’２：”ｊを（１１ｉｉえ、各腕片（２１）を５１第６
図示の如く内１１１］ｊＦカにその開位ｂｌに於てはウ
ェハ（１１の下面周囲に支承するが−ｔの開位置では下
方のタミーウェハＣυの仙台を妨げない程度のフランジ
２４＋をＧ ｋｊるようにした。各腕ハ２３ｉ（ハ）は
、第７図及び第８図示の如くその根部（２３ａ）（２５
ａ、ｌ ｆシリンダ本体（２５）の左右に突設した条内
ビンｔ２１ｉ１ （ＡＧＩに伸着さｉｌ、該シリンダ本
体（２５１内のヒストン（２７）が室（至）内に導入さ
れた圧力流体に、ＬりはねＣ／９１に抗して移動すると
ピストン杆（廊と一体のスライド軸Ｃ’ｌｌ）のローラ
いシが該根部（２５ａ）カム（，３勺を押し、腕ハ（２
，ｉｌ Ｆよシリンダ本体（ハ）から離れた回位１１゛
ｌに移１！Ｉ−ｊる。丑だ該ピストン（２０に作用する
ＥＥ力流体が排除されると該ピストンＣＡ７）ｔまばね
（、：ｐ＋）に押されで戻るのでローラ（３４のカム（
３：Ｑ Ｋ １−する押圧が解かれ腕片（２３１ＣＪ３
１ ｔｊこＪｌらの間に張殺し、た戻しシ、１、ねｔｉ
（４１に引かれ゛Ｃ閉開位１゛ｆに移動する。
るようにそのド方にアルミニウムその他でウェハ（１１
ト同徒に〕１ジ成ネれた略四形のダミーウェハ（２１）
の複数枚を収容Ｊるボット（“シ２）４備λ、ると共に
その上刃に１え１の開閉自在の円弧状の１掩Ｍｃ３１
’２：”ｊを（１１ｉｉえ、各腕片（２１）を５１第６
図示の如く内１１１］ｊＦカにその開位ｂｌに於てはウ
ェハ（１１の下面周囲に支承するが−ｔの開位置では下
方のタミーウェハＣυの仙台を妨げない程度のフランジ
２４＋をＧ ｋｊるようにした。各腕ハ２３ｉ（ハ）は
、第７図及び第８図示の如くその根部（２３ａ）（２５
ａ、ｌ ｆシリンダ本体（２５）の左右に突設した条内
ビンｔ２１ｉ１ （ＡＧＩに伸着さｉｌ、該シリンダ本
体（２５１内のヒストン（２７）が室（至）内に導入さ
れた圧力流体に、ＬりはねＣ／９１に抗して移動すると
ピストン杆（廊と一体のスライド軸Ｃ’ｌｌ）のローラ
いシが該根部（２５ａ）カム（，３勺を押し、腕ハ（２
，ｉｌ Ｆよシリンダ本体（ハ）から離れた回位１１゛
ｌに移１！Ｉ−ｊる。丑だ該ピストン（２０に作用する
ＥＥ力流体が排除されると該ピストンＣＡ７）ｔまばね
（、：ｐ＋）に押されで戻るのでローラ（３４のカム（
３：Ｑ Ｋ １−する押圧が解かれ腕片（２３１ＣＪ３
１ ｔｊこＪｌらの間に張殺し、た戻しシ、１、ねｔｉ
（４１に引かれ゛Ｃ閉開位１゛ｆに移動する。
該腕片０．Ｗ ０３）の１；ｉ］閉作６１ｂの指令は例
えば給排腕片ｔｌｉｌ＋の先端のセンヤから出され、そ
の指令によりピストン本体（２１ｉ１へのＩＩ−、力流
体の流路の開閉弁が作動１１．ことにより行ない？Ｕる
。
えば給排腕片ｔｌｉｌ＋の先端のセンヤから出され、そ
の指令によりピストン本体（２１ｉ１へのＩＩ−、力流
体の流路の開閉弁が作動１１．ことにより行ない？Ｕる
。
尚、ポット（２乃のｌＩ′に１都にリフト（、（））（
ｒ設けてダミーウェハ（２１Ｊの最上層のものが１１奄
片Ｃ１（）のＪぐ下刃に’７：１時位１１１するように
押し上ｔ〕られるようにした。
ｒ設けてダミーウェハ（２１Ｊの最上層のものが１１奄
片Ｃ１（）のＪぐ下刃に’７：１時位１１１するように
押し上ｔ〕られるようにした。
牛た給排腕片（１１＋１１：Ｅ先端に吸盤（，１ｌｉｌ
ケ有する略１ｆｆ角に、拡いた２本の１ｉｔ（１０ａ）
（１０ｂ）にて１７′・ν成さｊＬ、該腕ハ（１０）が
その根部の昇降及び９００の旋回を行なう駆動軸（３７
）によシ作ルリされると一方の腕（１０ａ）の吸ａ ４
３ｆｉ）が中間ステーションを田土ｆ、 ）ウェハｉｌ
＋若１．＜はダミーウェハ（２１ｊを吸糸してＩ・昇す
ると同時に、部ｔｌＦ２＋上のイＡン注入済みのウェハ
（１＋を他方の腕（１０ｂ）の吸盤（支）′１で吸７ｒ
ｊ Ｌ −（’−に１１シ、続＜９０°の旋回と５１降
で腕（ｊｏｂ）のウェハ（１）Ｓを部材（２）から排１
」１シ腕（１０ａ）のウェハｉｌ＋等を部材（２）に装
填する。
ケ有する略１ｆｆ角に、拡いた２本の１ｉｔ（１０ａ）
（１０ｂ）にて１７′・ν成さｊＬ、該腕ハ（１０）が
その根部の昇降及び９００の旋回を行なう駆動軸（３７
）によシ作ルリされると一方の腕（１０ａ）の吸ａ ４
３ｆｉ）が中間ステーションを田土ｆ、 ）ウェハｉｌ
＋若１．＜はダミーウェハ（２１ｊを吸糸してＩ・昇す
ると同時に、部ｔｌＦ２＋上のイＡン注入済みのウェハ
（１＋を他方の腕（１０ｂ）の吸盤（支）′１で吸７ｒ
ｊ Ｌ −（’−に１１シ、続＜９０°の旋回と５１降
で腕（ｊｏｂ）のウェハ（１）Ｓを部材（２）から排１
」１シ腕（１０ａ）のウェハｉｌ＋等を部材（２）に装
填する。
この場合部組（２）の押え杆（・Ｉｌｉ適当な手段によ
り押し上げられてイの（１（す方から該部組（ＩＩと押
え杆（４）との間にウェハｆｉ＋等が４１人［るを許容
する。
り押し上げられてイの（１（す方から該部組（ＩＩと押
え杆（４）との間にウェハｆｉ＋等が４１人［るを許容
する。
腕（１０ｂ）で関口（２）から排出４れるウェハけ）戊
はダミーウェハ（２Ｄｔよ！’ｌｉｔ記中間ステーショ
ン（９＋とト１６同構成の排出中間ステーション（」）
Ｑ上にｔＭかね、６に中間ステーション（）〜の腕片Ｃ
Ｉ！Ｎ ｔ、＋！Ｉｔは載せられたものがウェハ（１）
であるとき？、Ｊ、 ｌ＆１ ｆ１’／、置に存して＋
ｉｉＪ記供給腕（８１と略同構成の排出腺（１０で柴の
マカジン（４１）にｆｉ「″を次下段から収容し、載せ
られたものがダミーウェハ（２υであると＠ ｒ、１．
１４シ片いり （＋！ｊが開位置ｔに開き、下方のポッ
ト１４々内に’１．’／ 谷する。
はダミーウェハ（２Ｄｔよ！’ｌｉｔ記中間ステーショ
ン（９＋とト１６同構成の排出中間ステーション（」）
Ｑ上にｔＭかね、６に中間ステーション（）〜の腕片Ｃ
Ｉ！Ｎ ｔ、＋！Ｉｔは載せられたものがウェハ（１）
であるとき？、Ｊ、 ｌ＆１ ｆ１’／、置に存して＋
ｉｉＪ記供給腕（８１と略同構成の排出腺（１０で柴の
マカジン（４１）にｆｉ「″を次下段から収容し、載せ
られたものがダミーウェハ（２υであると＠ ｒ、１．
１４シ片いり （＋！ｊが開位置ｔに開き、下方のポッ
ト１４々内に’１．’／ 谷する。
−℃−の作ルＩＩを説明するに、用意された１個もしく
し、１、観数個のマガジン（７）にウェハｉｌ＋が４ち
る曲Ｖま該ウェハ＋ｌ１ｌ（、を口’＜ Ａ’＋ｉｆ
ｌ旧ン号１の昇降と水平本ＪＶｂで中間スＴ−ジョン（
９）の１掩片Ｈ（２増」二に引き出さ壇；、次で１．１
排１１ｉｉ１片ｔｌｌｌｌ（／Ｊう１．阿；と旋回によ
り移送されて部材（２）の数句孔（３）を′４）ぐよう
に装朧さＪｌ、その装填が終る１（Ｉ：に↑”ｒｌＳ４
’ｌ’ ＋２１ ＋；Ｉ、駆動軸（６）で１分角旋回し
て卵「たな取伺孔（３）が装填位１６に来る作動を繰返
す。
し、１、観数個のマガジン（７）にウェハｉｌ＋が４ち
る曲Ｖま該ウェハ＋ｌ１ｌ（、を口’＜ Ａ’＋ｉｆ
ｌ旧ン号１の昇降と水平本ＪＶｂで中間スＴ−ジョン（
９）の１掩片Ｈ（２増」二に引き出さ壇；、次で１．１
排１１ｉｉ１片ｔｌｌｌｌ（／Ｊう１．阿；と旋回によ
り移送されて部材（２）の数句孔（３）を′４）ぐよう
に装朧さＪｌ、その装填が終る１（Ｉ：に↑”ｒｌＳ４
’ｌ’ ＋２１ ＋；Ｉ、駆動軸（６）で１分角旋回し
て卵「たな取伺孔（３）が装填位１６に来る作動を繰返
す。
面してマノｊジン（７）のウニ八（１）が不足し、て部
材（２）の取伺孔（３）を満たし得なくなるとｔＪ（給
腕（８）は空送りとな？）が、中間ステーション（９）
上にウェハ（１）がないことが給排腕片（Ｉｆ）ｌのセ
ンサによりｔμ知芒れると圧力流体がシリンダ本体（２
匂に流入し、；ｌ・１１片ｆ！３＋ （ＪＡＷを回位１
ａに移動させる。こ７１によって午１）排腕片（則＆ｊ
、下方のボット＋２／Ｉ ｆ／′、！１内のタミーウェ
ハ（２１１’５１１’Ｊ着して上昇することが用来続く
旋回作動でこれを取１＝Ｊ孔（３）に装填し、かくてウ
ェハ（１）が不足するにも係わらずダミーウェハ（２１
）にて取（−Ｊ孔（３）が閉塞されるりで、該部材（２
）をイオン注入装置１’ｔに直ちに連ひ込み得、作業時
間のマＪス、余分のウェハ１１＋にイオンγに人するこ
とのロスを１１１ｊ止出来る。
材（２）の取伺孔（３）を満たし得なくなるとｔＪ（給
腕（８）は空送りとな？）が、中間ステーション（９）
上にウェハ（１）がないことが給排腕片（Ｉｆ）ｌのセ
ンサによりｔμ知芒れると圧力流体がシリンダ本体（２
匂に流入し、；ｌ・１１片ｆ！３＋ （ＪＡＷを回位１
ａに移動させる。こ７１によって午１）排腕片（則＆ｊ
、下方のボット＋２／Ｉ ｆ／′、！１内のタミーウェ
ハ（２１１’５１１’Ｊ着して上昇することが用来続く
旋回作動でこれを取１＝Ｊ孔（３）に装填し、かくてウ
ェハ（１）が不足するにも係わらずダミーウェハ（２１
）にて取（−Ｊ孔（３）が閉塞されるりで、該部材（２
）をイオン注入装置１’ｔに直ちに連ひ込み得、作業時
間のマＪス、余分のウェハ１１＋にイオンγに人するこ
とのロスを１１１ｊ止出来る。
部材（２）にイ副ン注入処理済みのウェハＩＩ＋が装填
されているときは、これを給排腕片（１０１の他方の腕
（１０ｂ）が部材（２）から取り夕）り作動を中間ステ
ーション（９）から新たなウェハ（１）４−装、＋−ｆ
ｉｔするに先立って行なえ、この」船台処理済ののウエ
ノ柑１）は排用中間ステーション（ｐ（）にｉｌｉ’ｇ
、１られ、さらに１１出１１ｔｉｔ ＩＩ）でマガジ
ン゛１）に収めらＪｌる。森らにこの場６部材（２）に
ダミーウェハ（２１）が尼付けられていると排ｕ１中間
スＴ −ジョンｃ３Ｂ） ノｉｆ、ｉ！片（、（ｊｌ
（、ｊｌ−／）ｉ開イテこ１１ｋＦ方のポット（４ｚ（
に収ｊ↑させる。該腕片（）１珍（３１９の開作動り：
ダミーウエハ（２１）が取付けされた取付孔（３）を記
憶する記１．＋６装置ｉＩに４．り制御される。
されているときは、これを給排腕片（１０１の他方の腕
（１０ｂ）が部材（２）から取り夕）り作動を中間ステ
ーション（９）から新たなウェハ（１）４−装、＋−ｆ
ｉｔするに先立って行なえ、この」船台処理済ののウエ
ノ柑１）は排用中間ステーション（ｐ（）にｉｌｉ’ｇ
、１られ、さらに１１出１１ｔｉｔ ＩＩ）でマガジ
ン゛１）に収めらＪｌる。森らにこの場６部材（２）に
ダミーウェハ（２１）が尼付けられていると排ｕ１中間
スＴ −ジョンｃ３Ｂ） ノｉｆ、ｉ！片（、（ｊｌ
（、ｊｌ−／）ｉ開イテこ１１ｋＦ方のポット（４ｚ（
に収ｊ↑させる。該腕片（）１珍（３１９の開作動り：
ダミーウエハ（２１）が取付けされた取付孔（３）を記
憶する記１．＋６装置ｉＩに４．り制御される。
以」二のように本発明によるときはマガジンと部材との
間に上方に開閉自在のＩｆ；ｉｉ片と下方にタミウエハ
を備えた中小ｊステーションを設ｒＪたので、部材に装
填ずべきウエノ・に不足を来たしても腕片の開放によっ
て直ちに１・方のダミーウェハが取出されて部材に装」
猿ずＺ）ことが出来、Ｉｉｒ＋記した不ｆｉｌ） ８を
解消−することが出芽る効果がある。
間に上方に開閉自在のＩｆ；ｉｉ片と下方にタミウエハ
を備えた中小ｊステーションを設ｒＪたので、部材に装
填ずべきウエノ・に不足を来たしても腕片の開放によっ
て直ちに１・方のダミーウェハが取出されて部材に装」
猿ずＺ）ことが出来、Ｉｉｒ＋記した不ｆｉｌ） ８を
解消−することが出芽る効果がある。
４・ ＋３ｉ、１曲の１１０単な説明
ｒ４４１図ｔよ−ｆ−Ａン注入装置ｆ’、ｉノ載断乎而
図、面；ｌｉ２図ＶよそのＩＩ、 −１１式−ＩｉＴｉ
ｉＱ １ｉ７１ （Ｉｔ！１面＋ｘ１％ ｒｌ器６図は
本発明’２’！什ｉ （１） １ （４１ｔｉ） 平向
１８１、第４ ＋ｖ＜＋ ハソ゛ノ［Ｖ −ＩＶ線截１
］４［面図、第５Ｌ′へ１は中間ステーションのセ）＼
大平田１１ソ・１、第６図番、１そノＶＩ ＶＩ Ｋ
＋ｉｌ ｆ−断面ＩＡ 、’Ａ＜ ７ 図ｉＪ、’・！
１５５ト１の＋ｔｉ１１面し１、ｉ［巳８図は第５図の
１′■１−へ１１０１ｄ截１１ＪＩ ｍｌ ｔｙ＋ テ
、ｆ４＋ ル、。
図、面；ｌｉ２図ＶよそのＩＩ、 −１１式−ＩｉＴｉ
ｉＱ １ｉ７１ （Ｉｔ！１面＋ｘ１％ ｒｌ器６図は
本発明’２’！什ｉ （１） １ （４１ｔｉ） 平向
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（１；・・・・・・ウ エ ハ
（２１・・・・・・１ｌｌｉ材
（７）・・・・・・マガジン
Claims (1)
- 複数枚のウェハが装」ハされるべき部材の側方に暖数枚
のウェハを貯蔵したマガジンを設け、該マガジンのτク
エへを核部Ｈに順次装ゴ狙する式のものに於て、該部材
と該マガジンとの中間に、該ウェハと略同１１？のダミ
ーウェハを上方に（１１ｕえると共にその上刃にウェハ
をＦ面から支承する閉（＼（、ｌｉｉとダミーウェハの
］１０過をｉｔ１’谷する開位１？゛ｔとに開閉自ｆｊ
、のＩＩ’、Ｍｉハを備えた中１川ステーションＫ ｉ
＋ｉＥけたこと全特徴とするウェハ装填装着。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57166680A JPS5956739A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | ウエハ装填装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57166680A JPS5956739A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | ウエハ装填装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956739A true JPS5956739A (ja) | 1984-04-02 |
| JPS6246062B2 JPS6246062B2 (ja) | 1987-09-30 |
Family
ID=15835730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57166680A Granted JPS5956739A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | ウエハ装填装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956739A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63108713A (ja) * | 1986-10-27 | 1988-05-13 | Nec Kansai Ltd | イオン注入方法 |
| JPH0640517A (ja) * | 1985-10-24 | 1994-02-15 | Texas Instr Inc <Ti> | ウェーハ移送方法及び集積回路ステーション |
-
1982
- 1982-09-27 JP JP57166680A patent/JPS5956739A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640517A (ja) * | 1985-10-24 | 1994-02-15 | Texas Instr Inc <Ti> | ウェーハ移送方法及び集積回路ステーション |
| JPS63108713A (ja) * | 1986-10-27 | 1988-05-13 | Nec Kansai Ltd | イオン注入方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6246062B2 (ja) | 1987-09-30 |
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