JPS59221828A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

垂直磁気記録媒体の製造方法

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JPS59221828A
JPS59221828A JP58097154A JP9715483A JPS59221828A JP S59221828 A JPS59221828 A JP S59221828A JP 58097154 A JP58097154 A JP 58097154A JP 9715483 A JP9715483 A JP 9715483A JP S59221828 A JPS59221828 A JP S59221828A
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JP
Japan
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film
recording medium
permalloy
magnetic recording
thickness
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JP58097154A
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Ryuji Sugita
龍二 杉田
Fumiaki Ueno
植野 文章
Kazuyoshi Honda
和義 本田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/66Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
    • G11B5/672Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
    • GPHYSICS
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は高密度記録特性の優れた垂直磁気記録媒体、
特に薄肉な垂直磁気テープを製造する方法に関するもの
である。
従来例の構成とその問題点 短波長記録特性の優れた磁気記録方式として垂直記録方
式がある。この方式には、記録媒体の膜面に対しほぼ垂
直な方向に残留磁化が残る垂直磁気記録媒体が必要であ
る、垂直磁気゛記録媒体は、高分子材料あるいは非磁性
金属等の非磁性材料からなる基板上に、coとCrを主
成分として膜面にほぼ垂直方向に残留磁化が残る磁性層
(以下この磁性層をCo−Cr垂直磁化膜と称す)をス
パッタリング法あるbは真空蒸着法(イオンブレーティ
ング法のように蒸発原子の一部をイオン化して膜を堆積
する方法も含む)によ膜形成したものである。
高分子材料よりなる基板上にCo −Cr垂直磁化膜を
真壁蒸着法によ膜形成する場合には、この基板上にまず
Ti膜全全蒸着、その上にCo −Cr膜を蒸着するこ
とにより、Co−Cr垂直磁化膜の特性が改善されるこ
とが知られている。また、基板とCo−Cr垂直磁化膜
との間にパーマロイ膜を設けると、パーマロイ膜がない
場合に比べて、記録効率と再生出力が同上する。
第1図(ハ)に示す媒体は、高分子材料よシなる基板1
上にパーマロイ膜3が形成され、その上にTi膜4を介
してCo −Cr垂直磁化膜2が形成された構造をもち
、第1図(b)に示す媒体は高分子材料よりなる基板l
上にTi膜4が形成され、その上にパーマロイ膜3t−
介してCo −Cr垂直磁化膜2が形成された構造をも
つ。
一般に高分子材料よりなる基板上に金属薄膜を形成する
と、第2図のe) 、 (b)に示すように金属薄膜5
が内側あるいは外側になるようなカールを生じる。以下
、第2図(B)の場合を正カール、同図(b)の場合を
逆カールと呼ぶ。このようなカールが生じると、薄膜と
して強磁性金属を蒸着し、磁気テープとして使用する際
に走行性9巻き取シ性、磁気へラドタッチ等が悪くなる
という問題を生じる。
磁気テープとして使用するためには、テープ幅方向にお
いて(Lo−L)/Loが4%以下になることが必要で
ある。ただし、Lは第2図(B) 、 (b)に示され
るようにカールした状態での長さであり、LOはカール
がない状態での長さである。上記の条件を満たすために
は、磁気テープにおいて強磁性金属薄膜が形成されてい
る側と反対側に非磁性層を形成するか、あるいは正カー
ルの場合には強磁性金属薄膜形成後に熱処理を施して基
板を収縮させればよいが、いずれにしても工程が少なく
とも一つ増加してしまう。
現在、磁気テープの基板としては、主にポリエチレンテ
レフタレートフィルムが使用されている。
ポリエチレンテレフタレートフィルムハ、コスト面およ
び安定性がともに優れており、垂直磁気テープ用基板と
してこのフィルムを使用スるコトが望ましい。そこで、
ポリエチレンテレフタレートフィルムを基板として用い
、真空蒸着法によシ垂直磁気記録媒体を作製してみると
、一般に曳=L)/L0が4%を越えてしまい、磁気テ
ープとして使用することが困難であった。
発明の目的 この発明は基板としてポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを用いて、真空蒸着法によシ垂直磁気記録媒体を作
製する際に、Ti膜、ツクーマロイ膜およびCO−Cr
膜の膜厚と各膜蒸着時の円筒状キャンの周面温度を適当
に設定することによシ、(Lo−L)/Loが4%以下
で、カールの殆ど生じない性状の優れた垂直磁気記録媒
体を得ることを目的とする。
発明の構成 この発明の垂直磁気記録媒体の、製造方法は次のように
行うものである。すなわち、ポリエチレンテレフタレー
トフィルムとして膜厚約5〜16μmnのものを用い、
このフィルムをキャンの周面に沿わせて走行させながら
、そのフィルム上に膜厚約300〜SOO人のTi膜お
よび膜厚約600〜2000人のパーマロイ膜をそれぞ
れ真空蒸着によ膜形成する。パーマロイ膜については前
記キャンの局面温度が約10〜80℃の状態で形成する
。次いで膜厚約500〜1500人のCo−Cr垂直磁
化膜を前記キャンの周面温度が約120〜250℃の状
態で真空蒸着ic、Jニジ形成する。なお、Ttとパー
マロイ膜とでは何れを先に形成してもよきものである。
実施例の説明 真空蒸着法においては、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを円筒状キャンの周面に沿わせて走行させつつ蒸
着を行うと、長尺の垂直磁気記録媒体を作製することが
できる。第3図は連続巻取式真空蒸着装置の内部構造の
概略構成図である。
基板トしてのポリエチレンテレフタレートフィルム10
は、円筒状キャン6の周面に沿って走行する。7.8は
基板を巻くロール、9は蒸発源である。このような真空
蒸着装置にて二層膜媒体を作製する際に、この発明の方
法を用いることにより、カールの少ない媒体が得られる
ことを以下に説明する。
磁気テープにおいて、基板としてポリエチレンテレフタ
レートフィルム10を用い、その表面に金属薄膜からな
る磁性層を形成する場合には、このフィルム10の膜厚
を約5〜16μmの範囲内にすることが好ましい。5μ
mよシも薄いとステイフネスが弱すぎ、16μmを越え
るとスティフネスが強すぎる。その結果、約5〜16μ
mの範囲外のフィルム10全用いると、走行性等の機械
的特性や磁気ヘッドタッチが悪くなシ、磁気テープとし
て使用することが困難になる。
垂直磁気テープとしてのCo −Cr垂直磁化膜2、パ
ーマロイ膜3およびTi膜4の膜厚は、それぞれ約50
0〜1500人、約600〜2000人および約300
〜800人にする必要がある。いずれの膜も、上記の範
囲未満の膜厚にすると、結晶配向性の劣化や総磁束量の
低下によシ磁気テープとしての充分な記録再生特性が得
られない。また、上記の範囲を越える膜厚にすると、基
板として膜厚5〜16μmのポリエチレンテレフタレー
トフィルムを用馳た場合に、膜にクラックが入り、磁気
テープとしての使用は不可能になる。
上記の膜厚の条件で、第4図に示される構造の連続巻取
式真空蒸着装置にて、第1図t8) 、 (b)のよう
な二層膜媒体を作製し、カールの検討を行った結果につ
いて表を用いて説明する。なお第4図の装置は第3図の
装置とほぼ同じであるが、蒸発原子の高入射角成分が基
板(フィルム)10に付着するのを防止するために遮蔽
板11が設置されている。表はパーマロイ膜3およびC
o −Cr垂直磁化膜2蒸着時の、円筒状キャン6の周
面の温度とカールの状a (Lo−L)/I、oとの関
係を示してhる。
表 Tiは膜厚が約3(i0〜800 Aの範囲内にあれば
、カールには殆ど影響を与えなかった。まだ、第1図(
11) 、 (b)いずれの構造においても、カールに
差はなく表の結果が得らり、た。なおCo −Cr ;
bるいはパーマロイ膜3蒸着時の円筒状キャン6の周面
を250℃を越える温度にすると、ポリエチレンテレフ
タレートの融点にきわめて近づくために、フィルムに穴
があいたシ、切れたシして、蒸着が不可能であった。
表から明らかなように、パーマロイ膜3蒸着時およびC
o−Cr垂直磁化膜2蒸着時の円筒状キャン6の局面の
温度を、それぞれ約10〜80℃および約120−25
0°Cとした場合に、(Lo−L)/Loが4%以下の
二層膜媒体が得られる。この温度範囲以外で膜を形成す
ると、カールが大きくなシ磁気テープとして使用するこ
とは困難である。
第4図に示すような連続巻取式真空蒸着装置においては
、フィルム10に張力を加えて走行させテイル。この張
力が強すぎるとフィルム10KLわが入シ易い。特に、
C(l  C1垂直磁化膜2蒸着時には、ポリエチレン
テレフタレートフィルム10は16−0°C以上の温度
になり、ガラス転移点(約70〜80℃)を越えている
。このような状態では、しわが非常に入シ易く、これを
防ぐためには張力を8009/sd以下にする必要のあ
ることが実験の結果明らかになった。
次によ)具体的な例について述べる。第4図に示すよう
な真空蒸着装置にて、膜厚10μmのポリエチレンテレ
フタレートフィルム10上に、膜厚400人のTi膜4
を形成し、その上に膜厚1200人のパーマロイ膜3を
介して、膜厚900人のCo −Cr垂直磁化膜2を形
成した。ただしパーマロイ膜3の蒸着時およびCo −
Cr垂直磁化膜2の蒸着時の円筒状キャン6の周面の温
度を−それぞれ20°Cおよび200℃とし、蒸着時の
フィルム100走行速度を10m、z分とした。また張
力は500g/+dとした。
得られた二層膜媒体(垂直磁気記録媒体)は逆カールを
していたが、その(Lo〜L)/I、oは2%(詐宣範
囲)であった。またクラックやしわ等は仝〈存在せず、
磁気テープとしての走行特性および記録再生特性は非常
に優れていた。
発明の効果 この発明によれば、基板としてコスト面および安定性の
優れたポリエチレンテレフタレートフィルムを用いなが
らカールの殆どない二層膜構造の、特に磁気テープとし
て有用な垂直磁気記録媒体を容易に製造できるという効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図の(B)および(b)は二層膜媒体の構造を示す
部分断面図、第2図(a)および(b)は一般的な記録
媒体のカール状bw示す部分断面図、第3図および第4
図はそれぞれ連続巻取式真空蒸着装置の内部構造を示す
概略構成図である。 2・・・Co”Cr垂直磁化膜、3・・・パーマロイ膜
、4・・・Ti膜、6・・・キャン、10・・・ポリエ
チレンテレフタレートフィルム (a)           (b) 第 1 図 (a)           (b) 第 2 ]司 第3図 第 4 図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  膜Ji約5〜16μmのポリエチレンテレフ
    タレートフィルムをキャンの周面に沿わせて走行すせな
    がら、そのフィルム上に膜厚約300〜800人のTi
    膜および膜厚約600〜2000人のパーマロイ膜を、
    パーマロイ膜については前記キャンの局面温度が約10
    〜80°Cの状態でそれぞれ真空蒸着によ多形成し、次
    いで膜厚約500〜1500人のCo −Cr垂直磁化
    膜を前記キャンの局面温度が約120〜250℃の状態
    で真空蒸着によ多形成することを特徴とする垂直磁気記
    録媒体の製造方法。
  2. (2)前記Co−Cr垂直磁化膜形成時に前記ポリエチ
    レンテレフタレートフィルムに加える張力を約8009
    /lA以下とする特許請求の範囲第(1)項記載の垂直
    磁気記録媒体の製造方法。
  3. (3)前記Ti膜とパーマロイ膜のうちTi膜の方を特
    徴とする特許請求の範囲第(1)項または第(2)項記
    載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
  4. (4)前記Ti膜とパーマロイ膜のうちパーマロイ膜の
    方を特徴とする特許請求の範囲第(1)項または第(2
    )項記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
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