JPS5933630A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS5933630A JPS5933630A JP14455382A JP14455382A JPS5933630A JP S5933630 A JPS5933630 A JP S5933630A JP 14455382 A JP14455382 A JP 14455382A JP 14455382 A JP14455382 A JP 14455382A JP S5933630 A JPS5933630 A JP S5933630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- permalloy
- curling
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は膜面に垂直方向に磁化容易軸を有しＧ。
とＯｒを主成分とする磁性層が高分子拐料より成る基板
−ヒに、パーマロイ膜あるいはＴｉ膜とパーマロイ膜を
介（２て形成された磁気記録媒体におけるパーマロイ膜
の製造方法に関する。
−ヒに、パーマロイ膜あるいはＴｉ膜とパーマロイ膜を
介（２て形成された磁気記録媒体におけるパーマロイ膜
の製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として。
垂直記録方式がある。この方式においては媒体の膜面に
垂直方向が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる
。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の
膜面に垂直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒
体内反磁界は減少し。
垂直方向が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる
。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の
膜面に垂直方向を向き、従って信号が短波長になる程媒
体内反磁界は減少し。
優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体は高分子材料
あるいは非磁性金属等の非磁性イ：Ａ刺から成る基板上
に、ＧＯと（Ｃｒ ｆ主成分とし垂直方向に磁化容易軸
を有する磁性層（以下この磁性層をＣｊｏ−Ｏｒ 垂直
磁化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいけ真空蒸着法
により形成したものである。しかし基板上に直接にＧｏ
−Ｏｒ垂直磁化膜を形成した垂直記録媒体（以下この
媒体を単層膜媒体と１１ヱぶ）は、信号を配録丙午する
際の効率が低い。これを改善するために第１図に示すよ
うな構造の媒体（以下この媒体を２層媒体と呼ぶ）が開
発されている。これｔま高分子伺料あるいは非磁性金属
等の非磁＋１４′）Ｊ才・１から成る基板１とＧｏ −
Ｏｒ重面直磁化膜３の間に、膜面内に磁化容易軸を有す
るパーマロイ膜より成る磁性層２を設けたものである。
あるいは非磁性金属等の非磁性イ：Ａ刺から成る基板上
に、ＧＯと（Ｃｒ ｆ主成分とし垂直方向に磁化容易軸
を有する磁性層（以下この磁性層をＣｊｏ−Ｏｒ 垂直
磁化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいけ真空蒸着法
により形成したものである。しかし基板上に直接にＧｏ
−Ｏｒ垂直磁化膜を形成した垂直記録媒体（以下この
媒体を単層膜媒体と１１ヱぶ）は、信号を配録丙午する
際の効率が低い。これを改善するために第１図に示すよ
うな構造の媒体（以下この媒体を２層媒体と呼ぶ）が開
発されている。これｔま高分子伺料あるいは非磁性金属
等の非磁＋１４′）Ｊ才・１から成る基板１とＧｏ −
Ｏｒ重面直磁化膜３の間に、膜面内に磁化容易軸を有す
るパーマロイ膜より成る磁性層２を設けたものである。
この様な構造を有する２層膜媒体を用いれば、単層膜媒
体に比べ記録効率及び再生効率が改善される。
体に比べ記録効率及び再生効率が改善される。
第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （０）には第１図に示
される以外の構造の２層膜媒体を示す。第２図（Ｉａ）
、 （ｂ） 、 （０）の４ばＴｉ 膜である。第
２図（２Ｌ） 、 （ｂ）、（Ｃ）のような構成にする
ことにより、Ｇｏ −Ｏｒｒ直磁化膜のＣ軸配向慴が改
善され、記録再生特性が向上する。
される以外の構造の２層膜媒体を示す。第２図（Ｉａ）
、 （ｂ） 、 （０）の４ばＴｉ 膜である。第
２図（２Ｌ） 、 （ｂ）、（Ｃ）のような構成にする
ことにより、Ｇｏ −Ｏｒｒ直磁化膜のＣ軸配向慴が改
善され、記録再生特性が向上する。
ところで金属薄膜を形成する方法には、メッキ法、スパ
ッタリング法、および真空蒸着法等があるが、量産性や
安定性を考慮すると真空蒸着法が最も優れている。真空
蒸着法にて生産性が良くかつ安定に薄膜を形成するには
、第３図に示すように１円筒状キャン６の周側面に清わ
せて基板６を矢印Ａの方向へ走行させつつ蒸着を行なえ
ばよい。
ッタリング法、および真空蒸着法等があるが、量産性や
安定性を考慮すると真空蒸着法が最も優れている。真空
蒸着法にて生産性が良くかつ安定に薄膜を形成するには
、第３図に示すように１円筒状キャン６の周側面に清わ
せて基板６を矢印Ａの方向へ走行させつつ蒸着を行なえ
ばよい。
なお、７，８はそれぞれ基板６の供給ロールおよび巻き
取りロール、９は蒸発源である。
取りロール、９は蒸発源である。
しかし、上記の方法で薄膜を形成すると、一般に第４図
に示す、薄膜１０が内側あるいは外側になるようなカー
ルを生じる。以下第４図（ａ） 、 （ｂ） ”ｃそれ
ぞれ正カール及び逆カールと呼ぶ。このようなカールが
生じると、薄膜として強磁性金属全蒸着し、磁気テープ
として使用する際に走行性９巻＠１１ｙり性、磁気へラ
ドタッチ等が悪くなるという問題を生じる。第１図ある
いは第２図（２Ｌ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）に示され
るような構造の２層膜媒体を、第３図に示すような真空
蒸着装置にて作製する際には、パーマロイ膜が蒸着され
た状態でカールを小さクシ。
に示す、薄膜１０が内側あるいは外側になるようなカー
ルを生じる。以下第４図（ａ） 、 （ｂ） ”ｃそれ
ぞれ正カール及び逆カールと呼ぶ。このようなカールが
生じると、薄膜として強磁性金属全蒸着し、磁気テープ
として使用する際に走行性９巻＠１１ｙり性、磁気へラ
ドタッチ等が悪くなるという問題を生じる。第１図ある
いは第２図（２Ｌ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）に示され
るような構造の２層膜媒体を、第３図に示すような真空
蒸着装置にて作製する際には、パーマロイ膜が蒸着され
た状態でカールを小さクシ。
（ｇｏ−４） ／ （ｌｏが６チ以下になる必要のある
ことが実験の結果間らかになった。たたし、ｅは第４図
（ａ） 、 （ｂ）に示されるようにカールした状態で
の長さであり、ｅｏはカールがない状態での長さである
。
ことが実験の結果間らかになった。たたし、ｅは第４図
（ａ） 、 （ｂ）に示されるようにカールした状態で
の長さであり、ｅｏはカールがない状態での長さである
。
（７１１□ （１）／ ｌｌｏが６係を越える状態で
あると、パーマロイ膜の上にさらにＣｒｏ −Ｏｒｒ直
磁化膜を真空蒸着法により形成し７た場合に、カールが
さらに大きくなるか、あるいはこのような大きなカール
を熱処理等の方法により除去すると磁性層にクラｙりが
入ってしまい、磁気記録媒体として使用することが不可
能である。一方、パーマロイが形成された状態における
カール（（ｌｏ −ｇ） ／ ｇｏが６％以−トになっ
ていれば、パーマロイの」二にさらにＣ〇−Ｃｒ 垂直
磁化膜を形成した場合に、カールが非常に少なく、かつ
クラックのない膜が得られる。
あると、パーマロイ膜の上にさらにＣｒｏ −Ｏｒｒ直
磁化膜を真空蒸着法により形成し７た場合に、カールが
さらに大きくなるか、あるいはこのような大きなカール
を熱処理等の方法により除去すると磁性層にクラｙりが
入ってしまい、磁気記録媒体として使用することが不可
能である。一方、パーマロイが形成された状態における
カール（（ｌｏ −ｇ） ／ ｇｏが６％以−トになっ
ていれば、パーマロイの」二にさらにＣ〇−Ｃｒ 垂直
磁化膜を形成した場合に、カールが非常に少なく、かつ
クラックのない膜が得られる。
発明の目的
本発明の目的とするところは磁気記録媒体の走行性１巻
き取り性、磁気へラドタッチ等に悪影響を及ぼすカール
、及びノイズの原因になるクラックの発生を防止した製
造方法を提供するものである。
き取り性、磁気へラドタッチ等に悪影響を及ぼすカール
、及びノイズの原因になるクラックの発生を防止した製
造方法を提供するものである。
発明の構成
本発明は−１−記のような構成の２層膜媒体の製造方法
において、基板を円筒状キャンの周側面に沿わせて走行
させつつパーマロイ膜を真空蒸着法により形成する際に
、高分子４Ａ旧」：り成る基板の熱収縮率とキャンの周
側面の温度を最適に設定することにより、パーマロイが
蒸着された基板においてカールの発生を防止するも・の
である。
において、基板を円筒状キャンの周側面に沿わせて走行
させつつパーマロイ膜を真空蒸着法により形成する際に
、高分子４Ａ旧」：り成る基板の熱収縮率とキャンの周
側面の温度を最適に設定することにより、パーマロイが
蒸着された基板においてカールの発生を防止するも・の
である。
本発明の方法によれば、膜厚６〜１８７７ｍの高分子月
利より成る基板」−に直接にあるいは膜厚３００〜１０
００人のＴｉ膜を介してパーマロイを蒸着する際に、基
板の熱収縮率とキャンの周側面の温度を最適に設定する
ことにより、 （（ｌｏ ｌ）／（Ｉｏを６係以下に
することができるものである。その結果。
利より成る基板」−に直接にあるいは膜厚３００〜１０
００人のＴｉ膜を介してパーマロイを蒸着する際に、基
板の熱収縮率とキャンの周側面の温度を最適に設定する
ことにより、 （（ｌｏ ｌ）／（Ｉｏを６係以下に
することができるものである。その結果。
パーマロイ膜の上に直接にあるいは膜厚３００〜１００
０人のＴｉ膜を介Ｉ〜でＧｏ −Ｏｒｒ直磁化膜を形成
することにより、カールが殆どなくかつクラックのない
２層膜媒体を提供できる。なお本発明においては高分子
月利」：り成る基板として膜厚を６〜１日ｌ１ｍ に
限定し１寸たＴｉ膜の膜厚を３００〜１０００人に限定
しているが、この理由を以下に述べる。まず、膜厚６〜
１８７７ｍの高分子拐料より成る基板を選ぶ理由は、本
発明の方法により得られた磁気記録媒体を磁気テープと
し、て使用する場合にシ１−１この膜厚範囲の基板が最
適であるためである。すなわち、膜厚が６７１ｍ Ｋ
満たない高分子基板ではスティフネスが小さすき゛、テ
ープ走行を安定にすることが困雑である。寸た。膜厚が
１８／／ｍ を越えるとスティフネスが大きすき゛て
、たとえカールがない状態であってもヘッドタッチが悪
くなる。次にＴｉ膜の膜厚’（（３００〜１０００人に
する理由は、３００人未満の膜厚ではＴ１膜の効果が殆
どなく、１０００人を越える膜厚ではＴ１膜にクラック
が入ってしまうためである。
０人のＴｉ膜を介Ｉ〜でＧｏ −Ｏｒｒ直磁化膜を形成
することにより、カールが殆どなくかつクラックのない
２層膜媒体を提供できる。なお本発明においては高分子
月利」：り成る基板として膜厚を６〜１日ｌ１ｍ に
限定し１寸たＴｉ膜の膜厚を３００〜１０００人に限定
しているが、この理由を以下に述べる。まず、膜厚６〜
１８７７ｍの高分子拐料より成る基板を選ぶ理由は、本
発明の方法により得られた磁気記録媒体を磁気テープと
し、て使用する場合にシ１−１この膜厚範囲の基板が最
適であるためである。すなわち、膜厚が６７１ｍ Ｋ
満たない高分子基板ではスティフネスが小さすき゛、テ
ープ走行を安定にすることが困雑である。寸た。膜厚が
１８／／ｍ を越えるとスティフネスが大きすき゛て
、たとえカールがない状態であってもヘッドタッチが悪
くなる。次にＴｉ膜の膜厚’（（３００〜１０００人に
する理由は、３００人未満の膜厚ではＴ１膜の効果が殆
どなく、１０００人を越える膜厚ではＴ１膜にクラック
が入ってしまうためである。
一般に高分’ｉ’ｌ′、Ａ利よりなる基板は加熱すると
熱収縮を生じるが１本発明はキャンの温度ヲ」−けるこ
とにより基板全加熱し、それに蒸発源子の刺着時の基板
の温度上昇を加えることにより基板ケ熱収縮σせ、その
収縮量をカールＣ３ｏｅ）／１．が６係以Ｆになるよう
にするものである。実験の結果。
熱収縮を生じるが１本発明はキャンの温度ヲ」−けるこ
とにより基板全加熱し、それに蒸発源子の刺着時の基板
の温度上昇を加えることにより基板ケ熱収縮σせ、その
収縮量をカールＣ３ｏｅ）／１．が６係以Ｆになるよう
にするものである。実験の結果。
高分子月利より成る基板を１Ｑ分間放置した後の熱収縮
率が０．１〜６係になる温度よりも１２０”Ｃ低い温度
にキャンの周側面の温度を設定してパーマロイの蒸着を
行なうと、（４゜−β）／ｅ０が６％以下になることが
明らかになった。この熱ｊＩｙ縮率がｏ、１％よりも小
さい値になる温度にキャンの周側面の温度を設定して蒸
着を行なうと、得られる磁気記録媒体は第４図（ａ）の
ように正カール１〜でおり。
率が０．１〜６係になる温度よりも１２０”Ｃ低い温度
にキャンの周側面の温度を設定してパーマロイの蒸着を
行なうと、（４゜−β）／ｅ０が６％以下になることが
明らかになった。この熱ｊＩｙ縮率がｏ、１％よりも小
さい値になる温度にキャンの周側面の温度を設定して蒸
着を行なうと、得られる磁気記録媒体は第４図（ａ）の
ように正カール１〜でおり。
（β。−ｅ）／４ｏが６係以上となった。また、熱収縮
率が６係より大きな値となる温度にキャンの周側面の温
度全設定して蒸着を行なうと、？４）られる磁気記録媒
体は第４図（ｂ）のように逆カールを（−でおり、
（ｉｔｏ−Ｕ）／ｌｏが６係以上となった。以上のこと
を図示したものが第５図である。縦軸は（ｅ。
率が６係より大きな値となる温度にキャンの周側面の温
度全設定して蒸着を行なうと、？４）られる磁気記録媒
体は第４図（ｂ）のように逆カールを（−でおり、
（ｉｔｏ−Ｕ）／ｌｏが６係以上となった。以上のこと
を図示したものが第５図である。縦軸は（ｅ。
−ｊ）＃０であり、正の場合が正カール、負の場合が逆
カールである。横軸はキャンの周側面の温度を高分子基
板の熱収縮率として表わしている。この結果は基板の膜
厚や中間層の膜厚に殆ど依存（〜なかった。
カールである。横軸はキャンの周側面の温度を高分子基
板の熱収縮率として表わしている。この結果は基板の膜
厚や中間層の膜厚に殆ど依存（〜なかった。
実施例の説明
第３図に示されるような真空蒸着装置にて、膜厚１６／
７ｍの酬熱性高分子利相より成る基板」二に。
７ｍの酬熱性高分子利相より成る基板」二に。
膜厚２０００人のパーマロイ膜を形成した。ただし蒸着
時の基板の走行速度１１０ｍ／分、キャンの周側面の温
度を１８０°Ｃとした。なお、この基板’ｉ＜ ３００
’Ｃで１０分間放置した後の熱収縮率は０．７％であ
る。得られた膜は１Ｆカールを（〜でおり。
時の基板の走行速度１１０ｍ／分、キャンの周側面の温
度を１８０°Ｃとした。なお、この基板’ｉ＜ ３００
’Ｃで１０分間放置した後の熱収縮率は０．７％であ
る。得られた膜は１Ｆカールを（〜でおり。
（−の（１０−ｊ）／ＩＯは２係であった。
発明の効果
以」二のように本発明の方法によれば、カールの殆どな
い状態でパーマロイ膜を蒸着することが可能であり、そ
の結果、カールが殆どなくかつクラックのない２層膜媒
体が得られる。
い状態でパーマロイ膜を蒸着することが可能であり、そ
の結果、カールが殆どなくかつクラックのない２層膜媒
体が得られる。
第１図は２層膜媒体の構造の一例を示す断面図。
第２図（ｉＬ） 、 （ｂ） 、 （０）は２層膜媒体
の構造の他の例を示す断面図５第３図は真空蒸着装置の
内部構造を示す図、第４図（＆） 、 （ｂ）は磁気記
録媒体のカールの状態を示す図、第５図は磁気記録媒体
のカール量とキャンの周側面の温度に対応する高分子基
板の熱収縮率との関係を示す図である。 １・・・・・・高分子利料より成る基板、２・・・・・
・パーマロイ膜、３・・・・・・Ｇｏ −Ｏｒ垂直磁化
膜、４・・・・・・Ｔｉ膜。 ６・・・・・円筒状キャン、９・・・・・・蒸発源。 第１図 第２図
の構造の他の例を示す断面図５第３図は真空蒸着装置の
内部構造を示す図、第４図（＆） 、 （ｂ）は磁気記
録媒体のカールの状態を示す図、第５図は磁気記録媒体
のカール量とキャンの周側面の温度に対応する高分子基
板の熱収縮率との関係を示す図である。 １・・・・・・高分子利料より成る基板、２・・・・・
・パーマロイ膜、３・・・・・・Ｇｏ −Ｏｒ垂直磁化
膜、４・・・・・・Ｔｉ膜。 ６・・・・・円筒状キャン、９・・・・・・蒸発源。 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）膜厚６〜１８／／ｍの高分子利料より成る基板上
に、少なくともパーマロイ膜を介して膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有しＧＯとＯｒを主成分とする磁性層が形
成されて成る磁気記録媒体を製造するに際し、上記基板
を円筒状キャンの周側面に沿わせて走行させつつ上記パ
ーマロイ膜を真空蒸着法により形成し、かつその際、上
記基板を１０分間放置した後における熱収縮率が０．１
〜６％である温度よりも１２０’Ｃ低い温度に上記キャ
ンの周側面の温度を設定することを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法０ - （２） パーマロイ膜の」三下両面の少なくとも一方
の法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14455382A JPS5933630A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14455382A JPS5933630A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933630A true JPS5933630A (ja) | 1984-02-23 |
Family
ID=15364952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14455382A Pending JPS5933630A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933630A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0178685A2 (en) * | 1984-10-19 | 1986-04-23 | Sony Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and method of making same |
| US4687712A (en) * | 1983-12-12 | 1987-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Vertical magnetic recording medium |
-
1982
- 1982-08-19 JP JP14455382A patent/JPS5933630A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4687712A (en) * | 1983-12-12 | 1987-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Vertical magnetic recording medium |
| EP0178685A2 (en) * | 1984-10-19 | 1986-04-23 | Sony Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and method of making same |
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