JPS5977621A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS5977621A JPS5977621A JP57188512A JP18851282A JPS5977621A JP S5977621 A JPS5977621 A JP S5977621A JP 57188512 A JP57188512 A JP 57188512A JP 18851282 A JP18851282 A JP 18851282A JP S5977621 A JPS5977621 A JP S5977621A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- recording medium
- perpendicular magnetic
- substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性の優れた、垂直磁気記録用の媒
体に関する。
体に関する。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の憂れだ磁気記録方式として、垂直磁気
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる
。垂直磁気記録媒体として、基板上に、Co−Cr垂直
磁化膜を、スパッタリング法や真空蒸着法で形成したも
のがよく知られている。しかし、基板上にα−Cr 膜
を直接形成する吉、hap構造におけるC軸の、膜面に
垂直方向への配向性が悪く、その結果、良い記録再生特
性は得られ難いという問題点がある。この問題を解決す
るためにid第1図に示すように、基板1とCo−0r
垂直磁化膜2との間にTi 膜3を形成すれば良いこと
が知られている。
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる
。垂直磁気記録媒体として、基板上に、Co−Cr垂直
磁化膜を、スパッタリング法や真空蒸着法で形成したも
のがよく知られている。しかし、基板上にα−Cr 膜
を直接形成する吉、hap構造におけるC軸の、膜面に
垂直方向への配向性が悪く、その結果、良い記録再生特
性は得られ難いという問題点がある。この問題を解決す
るためにid第1図に示すように、基板1とCo−0r
垂直磁化膜2との間にTi 膜3を形成すれば良いこと
が知られている。
このような構造にすることにより、C軸配向性の良いC
o−Cr垂直磁化膜が得られ、優れた記録内生特性が得
られる。
o−Cr垂直磁化膜が得られ、優れた記録内生特性が得
られる。
以上のように、第1図に示したまうなt1〜造のC。
−Cr 垂直磁気記録媒体により、優れた記録書ノド
特性が得られるが、オーディオテープレコーダーやビデ
オテープレコーダー等の磁気記録再生装置の小型化を考
えると、まだ十分な特性とは訂えず、更なる記録再生特
性の向上が望まれている。
特性が得られるが、オーディオテープレコーダーやビデ
オテープレコーダー等の磁気記録再生装置の小型化を考
えると、まだ十分な特性とは訂えず、更なる記録再生特
性の向上が望まれている。
発明の目的
本発明は従来の垂直磁気記録媒体に比べ、更に記録再生
特性の優れた垂直磁気記録媒体を提供することを目的と
する。
特性の優れた垂直磁気記録媒体を提供することを目的と
する。
発明の構成
本発明は基板上にTi 膜が形成され、その上にCo−
Cr垂直磁化膜が形成された垂直磁気記録媒体において
、前記Ti 膜が多層構造を有することを特徴とする垂
直磁気記録媒体である。本発明の構成にすることにより
、従来の垂直磁気記録媒体に比べ、Co−Cr垂直磁化
膜の配向性が良くなり、その結果記録再生特性が向上す
る。
Cr垂直磁化膜が形成された垂直磁気記録媒体において
、前記Ti 膜が多層構造を有することを特徴とする垂
直磁気記録媒体である。本発明の構成にすることにより
、従来の垂直磁気記録媒体に比べ、Co−Cr垂直磁化
膜の配向性が良くなり、その結果記録再生特性が向上す
る。
実施例の説明
第2図、第3図を用いて本発明の説明を行なう。
第2図は本発明による垂直磁気記録媒体の基本構成を示
し、第1図に示したような従来の垂直磁気記録媒体に対
し、Ti膜の構造が異なる。すなわち、従来の垂直磁気
記録媒体におけるTi 膜は単層構造になっているのに
対し、本発明では多層構造になっている。なお、ここで
言う単層構造とは、全膜厚にわたってTi が連続的に
析出された構造のことである。第2図は2層構造のT1
膜4を有する場合を示しており、この構造はTi
の全膜厚にわたって、連続的に膜を析出するのではなく
、析出途中で一旦析出を停止し、再び析出を開始して作
製された膜めことである。3層以上の構造の膜も同様で
ある。なお、2層以上の構造を多層構造と称する。この
ように析出途中で一旦析出を停止すると、析出が停止し
ている間に、表面酸化。
し、第1図に示したような従来の垂直磁気記録媒体に対
し、Ti膜の構造が異なる。すなわち、従来の垂直磁気
記録媒体におけるTi 膜は単層構造になっているのに
対し、本発明では多層構造になっている。なお、ここで
言う単層構造とは、全膜厚にわたってTi が連続的に
析出された構造のことである。第2図は2層構造のT1
膜4を有する場合を示しており、この構造はTi
の全膜厚にわたって、連続的に膜を析出するのではなく
、析出途中で一旦析出を停止し、再び析出を開始して作
製された膜めことである。3層以上の構造の膜も同様で
ある。なお、2層以上の構造を多層構造と称する。この
ように析出途中で一旦析出を停止すると、析出が停止し
ている間に、表面酸化。
表面温度の低下等が生じ、再び析出を開始して、全膜厚
を形成しても、析出を停止した部分に境界層が生じる。
を形成しても、析出を停止した部分に境界層が生じる。
この層は走査型電子顕微鏡等により観察される。
Ti 膜を多層構造にして、第2図に示すような構造を
有する垂直磁気記録媒体を作製し、Co −Cr膜の配
向性及び記録再生特性を測定すると、配向性は従来の膜
よりも良くなっており、また再生出力が増加することが
確かめられた。以下にこのことを説明する。Co−Cr
膜のC軸の配向性を定量化するために、一般的に(
002)面に関するロッキング曲線の半値幅△θ6oが
測定される。Δθ5゜はC軸の分散を表現しており、こ
の値が小さい程配向性が良い。基板の一例として耐熱性
の高分子利料よりなる非磁性基板を選び、その上にCo
−Cr膜全全直接形成ると、△θ6oは約15° で
あった。
有する垂直磁気記録媒体を作製し、Co −Cr膜の配
向性及び記録再生特性を測定すると、配向性は従来の膜
よりも良くなっており、また再生出力が増加することが
確かめられた。以下にこのことを説明する。Co−Cr
膜のC軸の配向性を定量化するために、一般的に(
002)面に関するロッキング曲線の半値幅△θ6oが
測定される。Δθ5゜はC軸の分散を表現しており、こ
の値が小さい程配向性が良い。基板の一例として耐熱性
の高分子利料よりなる非磁性基板を選び、その上にCo
−Cr膜全全直接形成ると、△θ6oは約15° で
あった。
また、上記基板上に、単層構造のTi 膜を介してCo
−Cr膜を形成すると、△θ6゜は約10° であった
。これらに対し、第2図のように、Ti 膜を2層構造
にすると△θ5゜は約60に減少しておシ、従来のCo
−0r膜よりも配向性が良くなっていた。
−Cr膜を形成すると、△θ6゜は約10° であった
。これらに対し、第2図のように、Ti 膜を2層構造
にすると△θ5゜は約60に減少しておシ、従来のCo
−0r膜よりも配向性が良くなっていた。
第3図はCo−Cr垂直磁気記録媒体において、Ti膜
の全膜厚と構造を変えた場合の再生出力を示している。
の全膜厚と構造を変えた場合の再生出力を示している。
なお、Co−Cr垂直磁化膜の膜厚は1500人一定に
しである。また、信号の記録再生はギャップ長0.12
7血のリング型フェライトLヘッドで行ない、記録密度
は50KFRPIとした。なお、60KFRPIとは1
インチ当たり50000回磁化反転のあるディジタル信
号の記録状態である。第3図の曲線6は、第1図に示し
たようにTi膜が単層構造の場合である。曲線6及び7
は本発明の媒体であり、Ti 膜がそれぞれ2層及び3
層構造の場合である。第3図から、Ti 膜の全膜厚が
一定である場合には、Ti 膜を多層構造にすることに
より、従来のCo−Cr垂直磁気記録媒体よりも再生出
力が鳥くなることがわかる。
しである。また、信号の記録再生はギャップ長0.12
7血のリング型フェライトLヘッドで行ない、記録密度
は50KFRPIとした。なお、60KFRPIとは1
インチ当たり50000回磁化反転のあるディジタル信
号の記録状態である。第3図の曲線6は、第1図に示し
たようにTi膜が単層構造の場合である。曲線6及び7
は本発明の媒体であり、Ti 膜がそれぞれ2層及び3
層構造の場合である。第3図から、Ti 膜の全膜厚が
一定である場合には、Ti 膜を多層構造にすることに
より、従来のCo−Cr垂直磁気記録媒体よりも再生出
力が鳥くなることがわかる。
次に第4図を用いて本発明のより具体的な実施例につい
て説明する。同図において8は膜厚12牌の耐熱性の高
分子材料より成るフィルム基板、9は膜厚1soO人の
Co−Cr垂直磁化膜、10は1層当たり300人のT
i膜を3層重ねた、3層構造の°rt 膜である。この
ような構造の垂直磁気記録媒体にギャップ長0.12μ
m のリング型フェライトヘッドで80KFRP Iの
信号を記録し再生すると、従来のCO含有酸化鉄塗布型
媒体に対し18dB高い再生出力が得られた。また、T
i膜が単層構造で膜厚900’Aである以外は、第4図
と同じ構造の2層膜界体に対しても、ts dB高い出
力が得られた。
て説明する。同図において8は膜厚12牌の耐熱性の高
分子材料より成るフィルム基板、9は膜厚1soO人の
Co−Cr垂直磁化膜、10は1層当たり300人のT
i膜を3層重ねた、3層構造の°rt 膜である。この
ような構造の垂直磁気記録媒体にギャップ長0.12μ
m のリング型フェライトヘッドで80KFRP Iの
信号を記録し再生すると、従来のCO含有酸化鉄塗布型
媒体に対し18dB高い再生出力が得られた。また、T
i膜が単層構造で膜厚900’Aである以外は、第4図
と同じ構造の2層膜界体に対しても、ts dB高い出
力が得られた。
発明の効果
本発明によれば、記録再生特性の優れた垂直磁気記録媒
体を提供できる。
体を提供できる。
第1図は従来の垂直磁気記録媒体の1例を示す図、第2
図V」本発明による垂直磁気記録媒体の基関係を示す。 第4図は本発明の一実施例である垂直磁気記録媒体を示
す図である。 1.8・・・・・・基板、2,9・・・・・・Co−C
r垂直磁化膜、3,4.10・・・・・・T1膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図
図V」本発明による垂直磁気記録媒体の基関係を示す。 第4図は本発明の一実施例である垂直磁気記録媒体を示
す図である。 1.8・・・・・・基板、2,9・・・・・・Co−C
r垂直磁化膜、3,4.10・・・・・・T1膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図
Claims (1)
- 基板上KTi 膜が形成されるとともに前記Ti膜上に
C0−Cr 垂直磁化膜が形成され、前記Ti膜が多
層構造を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57188512A JPS5977621A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57188512A JPS5977621A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5977621A true JPS5977621A (ja) | 1984-05-04 |
Family
ID=16225014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57188512A Pending JPS5977621A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5977621A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01130321A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 磁気ディスクの製造方法 |
-
1982
- 1982-10-26 JP JP57188512A patent/JPS5977621A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01130321A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 磁気ディスクの製造方法 |
JPH0450652B2 (ja) * | 1987-11-17 | 1992-08-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd |
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