JPS59119541A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59119541A JPS59119541A JP23154382A JP23154382A JPS59119541A JP S59119541 A JPS59119541 A JP S59119541A JP 23154382 A JP23154382 A JP 23154382A JP 23154382 A JP23154382 A JP 23154382A JP S59119541 A JPS59119541 A JP S59119541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- magnetic recording
- recording medium
- permalloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性の優れた垂直磁気記録媒体をカ
ールのない状態で作製するだめの製造方法に関する。
ールのない状態で作製するだめの製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては、磁気記録媒体の膜面
に垂直方向が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要とな
る。垂直記録媒体は、高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料からなる基板上に、ＣｏとＯｒを主成分と
して膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性層（以下
この磁性層をＣｏ−０ｒ垂直磁化膜と称す）をスパッタ
リング法あるいは責空蒸着法により形成したものである
。高分子材料よりなる基板上にＣｏ ＝ＯｒＣｒ垂直磁
化膜空蒸着法により形成する場合には、この基板上にま
ずＴｉ膜を蒸着し、その上ＫＯｏ−Ｏｒ膜を蒸着するこ
とにより、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の特性が改善されるこ
とが知られている。また、基板とｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
との間にパーマロイ膜を設けると、パーマロイ膜がない
場合に比べて、記録効率と再生出力が向上する。なお、
前者は二層膜媒体、後者は単層膜媒体とそれぞれ呼ばれ
ている。
方式がある。この方式においては、磁気記録媒体の膜面
に垂直方向が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要とな
る。垂直記録媒体は、高分子材料あるいは非磁性金属等
の非磁性材料からなる基板上に、ＣｏとＯｒを主成分と
して膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性層（以下
この磁性層をＣｏ−０ｒ垂直磁化膜と称す）をスパッタ
リング法あるいは責空蒸着法により形成したものである
。高分子材料よりなる基板上にＣｏ ＝ＯｒＣｒ垂直磁
化膜空蒸着法により形成する場合には、この基板上にま
ずＴｉ膜を蒸着し、その上ＫＯｏ−Ｏｒ膜を蒸着するこ
とにより、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の特性が改善されるこ
とが知られている。また、基板とｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
との間にパーマロイ膜を設けると、パーマロイ膜がない
場合に比べて、記録効率と再生出力が向上する。なお、
前者は二層膜媒体、後者は単層膜媒体とそれぞれ呼ばれ
ている。
このような二層膜媒体においても、第１図に示されるよ
うにＴｉ膜を設けることにより記録再生特性が改善され
る。第１図（ａ）に示す媒体は、高分子材料よりなる基
板１上にパーマロイ膜３が形成され、その上にＴｉ膜４
を介してＧ ｏ −Ｏｒ垂直磁化膜２が形成された構造
であり、第１図（ｂ）に示す媒体は高分子材料よりなる
基板１上にＴｉ膜４が形成され、その上にパーマロイ膜
３を介してＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２が形成された構造で
ある。
うにＴｉ膜を設けることにより記録再生特性が改善され
る。第１図（ａ）に示す媒体は、高分子材料よりなる基
板１上にパーマロイ膜３が形成され、その上にＴｉ膜４
を介してＧ ｏ −Ｏｒ垂直磁化膜２が形成された構造
であり、第１図（ｂ）に示す媒体は高分子材料よりなる
基板１上にＴｉ膜４が形成され、その上にパーマロイ膜
３を介してＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２が形成された構造で
ある。
一般に高分子材料より成る基板上に金属薄膜を形成する
と、第２図に示すように金属薄膜６が内側あるいは外側
になるようなカールを生じる。以下、第２図（ａ）の場
合を正カール、同図（ｂ）の場合を逆カールと呼ぶ。こ
のようなカールが生じると、薄膜として強磁性金属を蒸
着し、磁気テープとして使用する際に走行性２巻き取り
性、磁気へソドタッチ等が悪くなるという問題を生じる
。Ｔｉ下地層のある単層膜媒体あるいは第１図に示され
るような構造の二層膜媒体を真空蒸着法で作製する際に
は、高分子材料よりなる基板上にＴｉ膜あるいはパーマ
ロイ膜が蒸着された状態で（ｔｏ−１）／ｌｏが６チ以
下と、カールが小さくなければならないことが実験の結
果間らかにな−た。ただし、ｔは第２図に示されるよう
にカールした状態での長さであり、Ｌｏはカールがない
状態での長さである。（ｔｏ−ｔ）／ｌｏが６％を越え
る状態であると、この基板の上［Ｃｏ−０ｒ垂直磁化膜
を真空蒸着法により形成した場合に、カールがさらに大
きくなるか、あるいは、このような大きなカールを熱処
理等の方法により除去しようとすると、磁性層にクラッ
クが入ってしまい、磁気記録媒体として使用することが
できなくなる。一方、Ｔｉ膜あるいはパーマロイ膜が蒸
着された状態におけるカール（ｉｏ −ｔ ） ／ ｔ
ｏがｅｑ６以下になっていれば、これらの膜の上にさら
にＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した場合に、カールが非
常に少なく、かつクラックのない膜が得られる。
と、第２図に示すように金属薄膜６が内側あるいは外側
になるようなカールを生じる。以下、第２図（ａ）の場
合を正カール、同図（ｂ）の場合を逆カールと呼ぶ。こ
のようなカールが生じると、薄膜として強磁性金属を蒸
着し、磁気テープとして使用する際に走行性２巻き取り
性、磁気へソドタッチ等が悪くなるという問題を生じる
。Ｔｉ下地層のある単層膜媒体あるいは第１図に示され
るような構造の二層膜媒体を真空蒸着法で作製する際に
は、高分子材料よりなる基板上にＴｉ膜あるいはパーマ
ロイ膜が蒸着された状態で（ｔｏ−１）／ｌｏが６チ以
下と、カールが小さくなければならないことが実験の結
果間らかにな−た。ただし、ｔは第２図に示されるよう
にカールした状態での長さであり、Ｌｏはカールがない
状態での長さである。（ｔｏ−ｔ）／ｌｏが６％を越え
る状態であると、この基板の上［Ｃｏ−０ｒ垂直磁化膜
を真空蒸着法により形成した場合に、カールがさらに大
きくなるか、あるいは、このような大きなカールを熱処
理等の方法により除去しようとすると、磁性層にクラッ
クが入ってしまい、磁気記録媒体として使用することが
できなくなる。一方、Ｔｉ膜あるいはパーマロイ膜が蒸
着された状態におけるカール（ｉｏ −ｔ ） ／ ｔ
ｏがｅｑ６以下になっていれば、これらの膜の上にさら
にＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した場合に、カールが非
常に少なく、かつクラックのない膜が得られる。
発明の目的
本発明は高分子材料よりなる基板上［Ｔｉ膜あるいはＴ
ｉ膜とパーマロイ膜を蒸着する際に、基板の線膨張係数
と蒸着時のキャンの周側面の温度を最適に設定すること
により、（ｔｏ−ｔ）／Ｌ。
ｉ膜とパーマロイ膜を蒸着する際に、基板の線膨張係数
と蒸着時のキャンの周側面の温度を最適に設定すること
により、（ｔｏ−ｔ）／Ｌ。
を６％以下にすることを目的とする。
発明の構成
本発明は、高分子材料よりなる基板上［Ｔ ｉ膜を介し
て垂直磁気記録用のＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜が形成された
垂直磁気記録媒体におけるＴｉ膜をこの基板を円筒状キ
ャンの周側面に沿わせて走行させつつ真空蒸着法により
形成する際に、基板と５ して線膨張係数が１．ｏｘｌｏ −ｇ９．ｘｌｏ
７℃の範囲内のものを使用し、かつキャンの周側面の温
度を１０〜１２０℃とすることを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法であり、本発明の方法を用いることにより
、カールが非常に少なく、かつクラックのない垂直磁気
記録媒体を得ることができる。
て垂直磁気記録用のＧｏ−Ｃｒ垂直磁化膜が形成された
垂直磁気記録媒体におけるＴｉ膜をこの基板を円筒状キ
ャンの周側面に沿わせて走行させつつ真空蒸着法により
形成する際に、基板と５ して線膨張係数が１．ｏｘｌｏ −ｇ９．ｘｌｏ
７℃の範囲内のものを使用し、かつキャンの周側面の温
度を１０〜１２０℃とすることを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法であり、本発明の方法を用いることにより
、カールが非常に少なく、かつクラックのない垂直磁気
記録媒体を得ることができる。
実施例の説明
真空蒸着法においては、高分子材料よりなる基板を円筒
状キャンの周側面に沿わせて走行させつつ蒸着を行なう
と、長尺の垂直磁気記録媒体を作図である。基板１は円
筒状キャン６の周側面に沿−で走行する。７，８は基板
を巻くロール、９は蒸発源である。
状キャンの周側面に沿わせて走行させつつ蒸着を行なう
と、長尺の垂直磁気記録媒体を作図である。基板１は円
筒状キャン６の周側面に沿−で走行する。７，８は基板
を巻くロール、９は蒸発源である。
以下に表を用いて本発明の説明を行なう。第１表に高分
子材料よりなる基板の線膨張係数ま、蒸ただし、基板の
膜厚を１２μｍ、Ｔｉ膜の膜厚を６０ＯＡとした。
子材料よりなる基板の線膨張係数ま、蒸ただし、基板の
膜厚を１２μｍ、Ｔｉ膜の膜厚を６０ＯＡとした。
第１表から明らかなように、高分子材料よりな５
る基板の線膨張係数ｄを１．Ｑ Ｘ １０ 〜Ｊ９Ｘ１
０／℃とし、かつキャンの周側面の温度を１０〜１２０
℃とした場合に（ｉｏ−１） ／ ｔｏがｅｑ６以下で
ある膜を得ることができる。なお、高分子材料よりなる
基板の膜厚を９〜２６μｍの範囲内で変化音せても、ま
たＴｉ膜の膜厚を３００〜１５００λの範囲内で変化さ
せても、第１表に示しだものとほとんど同じ結果が得ら
れた０ 第２表に、α＋ Ｔｋ変えて、第３図に示される真空
蒸着装置にて、高分子材料よりなる基板上にパーマロイ
膜を形成した場合のカールの状態（ｚｏ −ｔ ） ／
ｔｏの実験結果を示す。
０／℃とし、かつキャンの周側面の温度を１０〜１２０
℃とした場合に（ｉｏ−１） ／ ｔｏがｅｑ６以下で
ある膜を得ることができる。なお、高分子材料よりなる
基板の膜厚を９〜２６μｍの範囲内で変化音せても、ま
たＴｉ膜の膜厚を３００〜１５００λの範囲内で変化さ
せても、第１表に示しだものとほとんど同じ結果が得ら
れた０ 第２表に、α＋ Ｔｋ変えて、第３図に示される真空
蒸着装置にて、高分子材料よりなる基板上にパーマロイ
膜を形成した場合のカールの状態（ｚｏ −ｔ ） ／
ｔｏの実験結果を示す。
第 ２ 表
ただし、基板の膜厚を１２μｍ１パーマロイ膜の膜厚を
１００ＯＡとした。
１００ＯＡとした。
第２表から明らかなように、〆を１．ＯＸ １０〜２，
９Ｘ１♂５／℃とし、かつＴを１２０〜２６０℃とした
場合に、（ｔｏ−ｔ）７ｔ、が６％以下である膜を得る
ことができる。なお、高分子材料よりなる基板の膜厚を
９〜２６μｍ の範囲内で変化させても、またパーマロ
イ膜の膜厚を６００〜３０００λの範囲内で変化させて
も、第２表に示したものとはとんと同じ結果が得られた
。
９Ｘ１♂５／℃とし、かつＴを１２０〜２６０℃とした
場合に、（ｔｏ−ｔ）７ｔ、が６％以下である膜を得る
ことができる。なお、高分子材料よりなる基板の膜厚を
９〜２６μｍ の範囲内で変化させても、またパーマロ
イ膜の膜厚を６００〜３０００λの範囲内で変化させて
も、第２表に示したものとはとんと同じ結果が得られた
。
Ｔｉ膜およびパーマロイ膜（ｔｏ−’ｔ ）７ｔｏが６
チ以下になるような条件で形成することにより、両膜′
ｆＸ−重ねて形成しても、（ｉｏ −ｔ ）／ｌｏが６
チ以下にな−た。
チ以下になるような条件で形成することにより、両膜′
ｆＸ−重ねて形成しても、（ｉｏ −ｔ ）／ｌｏが６
チ以下にな−た。
より具体的な例について述べる。
第３図に示すような真空蒸着装置にて、膜厚１０ｔｒｍ
の耐熱性高分子材料より成る基板上に、膜厚６００Ａの
Ｔ１膜を形成し、その上に膜厚１２００Ａのパーマロイ
膜を形成した。ただし、蒸着時の基板の走行速度全１０
ｍ／分、Ｔｉ膜及びパーマロイ膜蒸着時のキャンの周側
面の温度をそれぞれ８０℃、２２０℃とした。なお、前
記基板の線膨張係数は１．９×１０／℃である。得られ
た膜は正カールをしており、その（ｔｏ−・ｔ）／ｌＯ
は４係であ−た。
の耐熱性高分子材料より成る基板上に、膜厚６００Ａの
Ｔ１膜を形成し、その上に膜厚１２００Ａのパーマロイ
膜を形成した。ただし、蒸着時の基板の走行速度全１０
ｍ／分、Ｔｉ膜及びパーマロイ膜蒸着時のキャンの周側
面の温度をそれぞれ８０℃、２２０℃とした。なお、前
記基板の線膨張係数は１．９×１０／℃である。得られ
た膜は正カールをしており、その（ｔｏ−・ｔ）／ｌＯ
は４係であ−た。
発明の効果
本発明の方法によれば、カールのほとんどない状態でＴ
１膜さらにはパーマロイ膜を蒸着することができ、その
結果、カールがほとんどなくかつクラックのない垂直磁
気記録媒体を作製することができる。
１膜さらにはパーマロイ膜を蒸着することができ、その
結果、カールがほとんどなくかつクラックのない垂直磁
気記録媒体を作製することができる。
第１図は二層膜媒体の構造を示す図、第２図はカールの
状態を示す図、第３図は連続巻取式真空蒸着装置内部の
構造の概略図である。 １・・・・高分子材料よりなる基板、２・・・・・Ｇｏ
−Ｏｒ垂直磁化膜、３・・・・パーマロイ膜、４・・・
・Ｔｉ膜、６・・・・円筒状キャン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名。 第１図 ？ ２ （（１）
（ｂ）第２図 ノ 第３図 旨７
状態を示す図、第３図は連続巻取式真空蒸着装置内部の
構造の概略図である。 １・・・・高分子材料よりなる基板、２・・・・・Ｇｏ
−Ｏｒ垂直磁化膜、３・・・・パーマロイ膜、４・・・
・Ｔｉ膜、６・・・・円筒状キャン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名。 第１図 ？ ２ （（１）
（ｂ）第２図 ノ 第３図 旨７
Claims (1)
- 高分子材料よりなる基板上にπ膜を介して垂直磁気記録
用の（３ｏ −Ｃｒ垂直磁化膜が形成された垂直磁気記
録媒体における前記ＴＪを、前記基板を円筒状キャンの
周、側面に沿わせて走行させつつ真のを使用し、かつ前
記キャンの周側面の温度を１０〜１２０℃とすることを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23154382A JPS59119541A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/473,766 US4477488A (en) | 1982-03-16 | 1983-03-10 | Method of manufacturing magnetic recording medium |
| DE8383102560T DE3382296D1 (de) | 1982-03-16 | 1983-03-15 | Magnetisches aufzeichnungsmedium und verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungsmediums. |
| EP83102560A EP0089609B1 (en) | 1982-03-16 | 1983-03-15 | Magnetic recording medium and method of manufacturing a magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23154382A JPS59119541A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119541A true JPS59119541A (ja) | 1984-07-10 |
Family
ID=16925140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23154382A Pending JPS59119541A (ja) | 1982-03-16 | 1982-12-27 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119541A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5059930A (en) * | 1989-03-29 | 1991-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electromagnetic contactor and fabrication method therefor |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP23154382A patent/JPS59119541A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5059930A (en) * | 1989-03-29 | 1991-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electromagnetic contactor and fabrication method therefor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0373054B2 (ja) | ||
| JPH05342553A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS59119541A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0518180B2 (ja) | ||
| JPS58115634A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5933630A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS59221829A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5924448A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS59221828A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0526249B2 (ja) | ||
| JPH0393024A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH01264632A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 | |
| JPS63140424A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS62112226A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH04366421A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS63206912A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5922225A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS5975429A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS6260127A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5977621A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH01205716A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62202315A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS58102333A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5984346A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04258809A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法及び磁気記録媒体への磁気記録方法 |