JPS592140U - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPS592140U
JPS592140U JP6747283U JP6747283U JPS592140U JP S592140 U JPS592140 U JP S592140U JP 6747283 U JP6747283 U JP 6747283U JP 6747283 U JP6747283 U JP 6747283U JP S592140 U JPS592140 U JP S592140U
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JP
Japan
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lead
out wiring
semiconductor equipment
diffusion layer
wiring
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Pending
Application number
JP6747283U
Other languages
English (en)
Inventor
一ノ瀬　松雄
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
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Publication date
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Publication of JPS592140U publication Critical patent/JPS592140U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図から第４図は、本考案の一例を工程順をおって説
明した工程で、その断面略図である。 １・・・Ｎ型（１００）基板、２・・・Ｐ−拡散層、３
・・・Ｗｅｔ酸化膜、４・・・Ｇａｔｅ酸化膜、５・・
・モリブデンゲート電極、６・・・多結晶シリコン層、
７・・・Ｐ十拡散層、８・・・Ｎ」−拡散層、９，１０
．１２・・・ｃｖＤＳｉＯ２膜、１１・・・アルミ配線
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゲート部及びゲート部からの引出し用配線はモリブデン
    又はモリブデンシリサイドで形成され、拡散層からの引
    出し配線は多結晶シリコンで形成され、該ゲート引出し
    配線と該拡散層からの引出し配線との配線接続はアルミ
    ニウムで形成されてなる半導体装置。
JP6747283U 1983-05-06 1983-05-06 半導体装置 Pending JPS592140U (ja)

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JP6747283U JPS592140U (ja) 1983-05-06 1983-05-06 半導体装置

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JP6747283U JPS592140U (ja) 1983-05-06 1983-05-06 半導体装置

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Publication Number Publication Date
JPS592140U true JPS592140U (ja) 1984-01-09

Family

ID=30197660

Family Applications (1)

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JP6747283U Pending JPS592140U (ja) 1983-05-06 1983-05-06 半導体装置

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JP (1) JPS592140U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6147837A (ja) * 1984-08-11 1986-03-08 日本製箔株式会社 電磁波シ−ルド用紡績糸

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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