JPS59200786A - 硫酸銅メツキ浴及びこれを使用するメツキ方法 - Google Patents
硫酸銅メツキ浴及びこれを使用するメツキ方法Info
- Publication number
- JPS59200786A JPS59200786A JP7519783A JP7519783A JPS59200786A JP S59200786 A JPS59200786 A JP S59200786A JP 7519783 A JP7519783 A JP 7519783A JP 7519783 A JP7519783 A JP 7519783A JP S59200786 A JPS59200786 A JP S59200786A
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- JP
- Japan
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- general formula
- hydrogen atom
- copper sulfate
- plating
- bath
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- Pending
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- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高速度メッキの可能な硫酸銅メッキ浴及び該メ
ッキ浴を使用するメッキ方法に関する。
ッキ浴を使用するメッキ方法に関する。
従来公知の硫酸銅メッキ浴は一般に20〜30℃の浴温
度で使用することを基本としているため、電流密度を高
くすることに限界があり高速度化が困難であった。例え
ば平均的な陰極電流密度1.5〜3A/dII12では
銅膜厚20〜30μを得るのに50〜80分間のメッキ
fI間が必要とされていた。又、現在市販されている多
くの添加剤は殆んどが20〜30℃のメッキ浴湿度で使
用することを前提条件としており高温に於ては均一な光
沢が得られず高電流密度の使用は困難であった。
度で使用することを基本としているため、電流密度を高
くすることに限界があり高速度化が困難であった。例え
ば平均的な陰極電流密度1.5〜3A/dII12では
銅膜厚20〜30μを得るのに50〜80分間のメッキ
fI間が必要とされていた。又、現在市販されている多
くの添加剤は殆んどが20〜30℃のメッキ浴湿度で使
用することを前提条件としており高温に於ては均一な光
沢が得られず高電流密度の使用は困難であった。
本発明の目的は新規な添加剤を開発することにより、従
来のメッキ浴使用条件に於ても十分な性能を有し且つ高
い浴温及び高い陰極電流密度の使用条件に於ても均一な
光沢及び表面平滑性並びに均−電着性等のすぐれたメッ
キ性能を有する高速度メッキ可能な硫酸銅、硫酸及び塩
素イオンを基本組成とする硫酸銅メッキ浴及びこれを使
用するメッキ方法を提供することにある。
来のメッキ浴使用条件に於ても十分な性能を有し且つ高
い浴温及び高い陰極電流密度の使用条件に於ても均一な
光沢及び表面平滑性並びに均−電着性等のすぐれたメッ
キ性能を有する高速度メッキ可能な硫酸銅、硫酸及び塩
素イオンを基本組成とする硫酸銅メッキ浴及びこれを使
用するメッキ方法を提供することにある。
斯かる本発明の目的は、硫酸銅、硫酸及び塩素イオンを
基本組成とする硫酸銅メッキ浴に、(1) 一般式 %式% () (式中、R1は水素原子又は (CH2)Ilt CH3;R2は水素原子又は−(
CH2)III CH3;Ill及びnはそれぞれO又
は1〜10の整数:Mは水素原子又はアルカリ金属原子
を示す) で示される化合物及び (2) 一般式 %式%() ) () (式中、Xは1〜4の整数、yは1〜10の整数、p及
びqはそれぞれ1〜100の整数を示す)で表わされる
ポリオキシアルキレン及び所望により (3) 一般式 2 1 R+ C=CH−CH−(CH2)n S03
M(III) (式中、R1、R2,81及びMは上記ニ同シ)で表わ
される化合物 を含有せしめることにより達成される。
基本組成とする硫酸銅メッキ浴に、(1) 一般式 %式% () (式中、R1は水素原子又は (CH2)Ilt CH3;R2は水素原子又は−(
CH2)III CH3;Ill及びnはそれぞれO又
は1〜10の整数:Mは水素原子又はアルカリ金属原子
を示す) で示される化合物及び (2) 一般式 %式%() ) () (式中、Xは1〜4の整数、yは1〜10の整数、p及
びqはそれぞれ1〜100の整数を示す)で表わされる
ポリオキシアルキレン及び所望により (3) 一般式 2 1 R+ C=CH−CH−(CH2)n S03
M(III) (式中、R1、R2,81及びMは上記ニ同シ)で表わ
される化合物 を含有せしめることにより達成される。
本発明に依る硫酸銅メッキ浴の基本浴組成としては硫酸
銅(CuSOL・5H20)50〜250Q/Q、硫酸
10〜220(J/Q及び塩素イオンo、oi〜0.2
L;J/Qの組成を通常使用する。
銅(CuSOL・5H20)50〜250Q/Q、硫酸
10〜220(J/Q及び塩素イオンo、oi〜0.2
L;J/Qの組成を通常使用する。
上記の基本浴に添加する上記の一般式(I)で表わされ
る化合物(以下、化合物Aという)の具体例としては、
プロパギルスルホン酸ソーダ(HC:CCH2803N
a ) 、α−メチルプロパギルスルホン酸ソーダ (HC:CC503Na )等が挙げられる。
る化合物(以下、化合物Aという)の具体例としては、
プロパギルスルホン酸ソーダ(HC:CCH2803N
a ) 、α−メチルプロパギルスルホン酸ソーダ (HC:CC503Na )等が挙げられる。
CH3
本発明に於いて上記の化合物Aは0.01〜10!J
/9の濃度で使用され、0.019/G!以下の濃度で
は高電流密度部に生ずるヤケの範囲が最小にならずまた
10g/Qを超えると光沢が不均一となり平滑性も低下
する。
/9の濃度で使用され、0.019/G!以下の濃度で
は高電流密度部に生ずるヤケの範囲が最小にならずまた
10g/Qを超えると光沢が不均一となり平滑性も低下
する。
本発明の基本浴に添加する上記一般式(n)又は(■′
)で表わされるポリオキシアルキレンとしては、例えば
−(C2H40) 25 。
)で表わされるポリオキシアルキレンとしては、例えば
−(C2H40) 25 。
(C2HA O)2 o (C3Hs O)+ 5−
の如きポリオキシエチレン又はポリオキシエチレンポリ
オキシプロビレンポリマーが挙げられ、なかんずくポリ
オキシエチレンポリオキシブロビレンブロツクボリマー
(HO(C2HA O)+ 4−(03H60) 3
0 (C2Ht O) I A H
,) が好ましい。本発明に於いて上記ポリオキシア
ルキレンは0.01〜10Q /Qの濃度で使用され、
0.01Ω/Q未満の濃度では高電流密度部のヤケが広
く且つ粗雑な析出となり平滑性が悪い。また1 0(]
/Qを超える濃度では低N流密度部と他の部分との光
沢差が激しくなる。
の如きポリオキシエチレン又はポリオキシエチレンポリ
オキシプロビレンポリマーが挙げられ、なかんずくポリ
オキシエチレンポリオキシブロビレンブロツクボリマー
(HO(C2HA O)+ 4−(03H60) 3
0 (C2Ht O) I A H
,) が好ましい。本発明に於いて上記ポリオキシア
ルキレンは0.01〜10Q /Qの濃度で使用され、
0.01Ω/Q未満の濃度では高電流密度部のヤケが広
く且つ粗雑な析出となり平滑性が悪い。また1 0(]
/Qを超える濃度では低N流密度部と他の部分との光
沢差が激しくなる。
更に、本発明に於いて上記の化合物A及びポリオキシア
ルキレンに加えて、所望により一般式(I[[)で表わ
される化合物(以下化合物Bという)を添加することが
できる。斯かる化合物Bを配合することによって、高電
流密度部のヤケはより減少し使用範囲が広くなる。
ルキレンに加えて、所望により一般式(I[[)で表わ
される化合物(以下化合物Bという)を添加することが
できる。斯かる化合物Bを配合することによって、高電
流密度部のヤケはより減少し使用範囲が広くなる。
本発明に於て使用する化合物Bとして、例えばアリルス
ルホン酸ソーダ(CH2−CHCH25O3Na)、γ
−メチルアリルスルホン酸ソーダ(CH3−CH=CH
−CH2−803Na )等が挙げられる。本発明に於
て斯かる化合物Bの添加ωは0.01〜5Q /Qの範
囲であり、0.01079未満では高電流密度部のヤケ
の減少効果が少なく、また5Q /Qの濃度を超えると
平滑性が低下する。
ルホン酸ソーダ(CH2−CHCH25O3Na)、γ
−メチルアリルスルホン酸ソーダ(CH3−CH=CH
−CH2−803Na )等が挙げられる。本発明に於
て斯かる化合物Bの添加ωは0.01〜5Q /Qの範
囲であり、0.01079未満では高電流密度部のヤケ
の減少効果が少なく、また5Q /Qの濃度を超えると
平滑性が低下する。
本発明に係る@波調メッキ浴はプリント基板を含む各種
金属に適用することができ、従来の使用条件を含む広範
囲な浴温度及び陰極電流密度においてきわめて均一な光
沢及び表面平滑性並びに何れだ均一電着性を有する銅メ
ッキを高速度を以て得ることを可能ならしめる。
金属に適用することができ、従来の使用条件を含む広範
囲な浴温度及び陰極電流密度においてきわめて均一な光
沢及び表面平滑性並びに何れだ均一電着性を有する銅メ
ッキを高速度を以て得ることを可能ならしめる。
本発明の硫酸銅メッキ浴は通常下記の作業条件で使用づ
ることができる。
ることができる。
陰極電流密度 1.5〜30A/dff12浴 電
圧 0.5〜6■ 浴 温 度 15〜60℃ 撹 拌 空気撹拌及び綴械撹拌併用以下に実施例
及び比較例を示して本発明を具体的に説明する。
圧 0.5〜6■ 浴 温 度 15〜60℃ 撹 拌 空気撹拌及び綴械撹拌併用以下に実施例
及び比較例を示して本発明を具体的に説明する。
実施例1〜15及び比較例1〜3
下記第1表に示す組成のメッキ浴を調製した。
第1表註
化合物A−1
プOバギルスルホン酸ソーダ
hc=c CH2803Na
化合物A−2
α−メチルプロパギルスルホン酸ソーダH3
言
+c=c−C−8O3Na
化合物B−1
アリルスルホン酸ソーダ
CH2=CHCH2−8Os Na
化合物B−2
γ−メチルアリルスルホン酸ソーダ
CH3CH=CH−CH2−3O3Naポリオキシアル
キレンC−1 ポリオキシエチレンポリオキシブロビレンブロツクポリ
マー Ho (C2HA O) + t −(C3He O
)g 。
キレンC−1 ポリオキシエチレンポリオキシブロビレンブロツクポリ
マー Ho (C2HA O) + t −(C3He O
)g 。
(02Ha O) 1a H
(平均分子量約3000)
添加剤S、J及びEは市販の銅メツキ用光沢剤である。
上記の実施例及び比較例に於て得られた各メッキ浴を使
用し、被メッキ物として20X20XO,16cmのP
C,F3基板を用いて第2表に示す条件下に銅メッキし
た。
用し、被メッキ物として20X20XO,16cmのP
C,F3基板を用いて第2表に示す条件下に銅メッキし
た。
斯くして得られたメッキ試料につき下記の方法により試
験した結果を第2表に示す。
験した結果を第2表に示す。
試験方法
1、 光沢の均−性
第1図に示す如く、メッキ試料片(20X20cm)
iの上に1CI11間隔の基盤目を記入したトレーシン
グペーパー2を密着させ上方よりランプ3の光を当てて
光沢の均一性を下記の基準によって判定する。
iの上に1CI11間隔の基盤目を記入したトレーシン
グペーパー2を密着させ上方よりランプ3の光を当てて
光沢の均一性を下記の基準によって判定する。
O:光沢ムラが試料面積の10%以内である。
Δ:光沢ムラが試料面積の20%以内である。
×:光沢ムラが試料面積の20%以上である。
2、 均−電着性
第2図に示す如く、メッキ試料片(20X20cm)の
中心点A及びメッキ試料片の辺より3cm内側の中央点
Bにおける膜厚を測定し、膜厚比率((A点膜厚/B点
膜厚)xiOO)を求め、下記の基準によって評価する
。
中心点A及びメッキ試料片の辺より3cm内側の中央点
Bにおける膜厚を測定し、膜厚比率((A点膜厚/B点
膜厚)xiOO)を求め、下記の基準によって評価する
。
O:膜厚比率が90以上である。
Δ:膜厚比率が80以上90以下である。
x:lli厚比率が80以下である。
1、 平滑性
第3図に示す如く、メッキ試料片(20X20cm)
iの上に1cm間隔の基盤目を記入した白紙2上に垂直
に立て約45°の角度位置により目視により下記基準に
依って判定する。
iの上に1cm間隔の基盤目を記入した白紙2上に垂直
に立て約45°の角度位置により目視により下記基準に
依って判定する。
O:はぼ全面に基盤目が確認できる。
Δ:はぼ90%以上基盤目が確認できる。
X:10%以上M盤目が確認できない。
4、 総合評価
◎:実用に十分たえる(上記1〜3の評価がすべてOの
場合) ○:実用にざしつかえない(上記1〜3の中少なくとも
1項目の評価がΔの場合) ×:実用不可能(上記1〜3の中少なくとも1項目の評
価が×の場合) 上記の結果から明らかな如く、本発明のメッキ浴を使用
した場合、広範囲な浴温及び陰極電流密度条件を使用す
ることができ、高い浴温、高陰極電流密度の条件採用が
可能となり、メッキ時間の大幅短縮による銅メッキの高
速度化が実現できる。
場合) ○:実用にざしつかえない(上記1〜3の中少なくとも
1項目の評価がΔの場合) ×:実用不可能(上記1〜3の中少なくとも1項目の評
価が×の場合) 上記の結果から明らかな如く、本発明のメッキ浴を使用
した場合、広範囲な浴温及び陰極電流密度条件を使用す
ることができ、高い浴温、高陰極電流密度の条件採用が
可能となり、メッキ時間の大幅短縮による銅メッキの高
速度化が実現できる。
第1図はメッキ試料の光沢均一性の試験方法の説明図、
第2図は均一電着性の試験方法の説明図及び第3図は平
滑性の試験方法の説明図である。 (以 上)
第2図は均一電着性の試験方法の説明図及び第3図は平
滑性の試験方法の説明図である。 (以 上)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■ 硫酸銅、硫酸及び塩素イオンを基本組成とする硫酸
鋼メッキ浴に (1〉 一般式 %式% (式中、R1は水素原子又は −(CH2)m −CH3:R2は水素原子又は−(C
H2)m CH3;In及びrlLそttぞれO又は1
〜10の整数二Mは水素原子又はアルカリ金属原子を示
す) で示される化合物を0.01〜10g/Q及び〈2)
一般式 %式%) ) (式中、Xは1〜4の整数、yは1〜10の整数、ρ及
びqはそれぞれ1〜100の整数を示す) で表わされるポリオキシアルキレンを0.01〜10a
/Q 含有せしめることを特徴とする硫酸銅メッキ浴。 ■ 硫酸銅、硫酸及び塩素イオンを基本組成とする硫酸
銅メッキ浴に (1) 一般式 %式% (式中、R1は水素原子又は (CH2)l −CH3; R2は水素原子又は−(C
H2) ffl CHa : ral及びn ハそレソ
れO又は1〜10の整数:Mは水素原子又はアルカリ金
属原子を示す) で示される化合物を0.01〜10g/Q(2) 一般
式 %式% (式中、R+ s R2、”及びMは上記に同じ)で表
わされる化合物を0.01〜50 / Q及び(3ン
一般式 一(CX R2X 0)p−又は (CX R2x O)p (CyH2V O)Q
−(式中、Xは1〜4の整数、yは1〜1oの整数、p
及びqはそれぞれ1〜100の整数を示す) で表わされるポリオキシアルキレンを0.01〜10g
/Q 含有せしめることを特徴とする@波調メッキ浴。 ■ 硫酸銅、硫酸及び塩素イオンを基本組成とする硫酸
mメッキ浴に (1) 一般式 %式% (式中、R1は水素原子又は (CH2)III CH3;R2は水素原子又は−(
CH2)Ill CH3:Ill及びnはそれぞれO又
は1〜10の整数1Mは水素原子又はアルカリ金属原子
を示す) で示される化合物を0.01〜10a /a及び(2)
一般式 %式% ) (式中、Xは1〜4の整数、yは1〜10の整数、p及
びqはそれぞれ1〜100の整数を示す) で表わされるポリオキシアルキレンを0.01〜10g
/Q及び所望により (3) 一般式 (式中、RI 、R2、m及びMは上記に同じ)で表わ
される化合物を0.01〜!M /Q金含有しめた浴を
用い15〜60℃の浴温度及び1.5〜30A/dll
12の陰極電流密度に於てメッキすることを特徴とする
硫酸銅メッキ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7519783A JPS59200786A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 硫酸銅メツキ浴及びこれを使用するメツキ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7519783A JPS59200786A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 硫酸銅メツキ浴及びこれを使用するメツキ方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59200786A true JPS59200786A (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=13569225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7519783A Pending JPS59200786A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 硫酸銅メツキ浴及びこれを使用するメツキ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59200786A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000014306A1 (en) * | 1998-09-03 | 2000-03-16 | Ebara Corporation | Method for plating substrate and apparatus |
WO2007086454A1 (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Okuno Chemical Industries Co., Ltd. | 含リン銅をアノードとする電解銅めっき液用添加剤、電解銅めっき液及び電解銅めっき方法 |
JP2010189733A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Okuno Chem Ind Co Ltd | Prパルス電解銅めっき用添加剤及びprパルス電解めっき用銅めっき液 |
JP2014221946A (ja) * | 2014-08-01 | 2014-11-27 | 奥野製薬工業株式会社 | Prパルス電解銅めっき用添加剤及びprパルス電解めっき用銅めっき液 |
JP2015168867A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 住友金属鉱山株式会社 | 硫酸系銅電解液、及びこの電解液を用いたデンドライト状銅粉の製造方法 |
JP2015168866A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 住友金属鉱山株式会社 | 硫酸系銅電解液、及びこの電解液を用いた粒状銅粉の製造方法 |
JP2019157154A (ja) * | 2018-03-07 | 2019-09-19 | トヨタ自動車株式会社 | 銅被膜の製造方法 |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7519783A patent/JPS59200786A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000014306A1 (en) * | 1998-09-03 | 2000-03-16 | Ebara Corporation | Method for plating substrate and apparatus |
WO2007086454A1 (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Okuno Chemical Industries Co., Ltd. | 含リン銅をアノードとする電解銅めっき液用添加剤、電解銅めっき液及び電解銅めっき方法 |
JPWO2007086454A1 (ja) * | 2006-01-27 | 2009-06-18 | 奥野製薬工業株式会社 | 含リン銅をアノードとする電解銅めっき液用添加剤、電解銅めっき液及び電解銅めっき方法 |
JP5659411B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2015-01-28 | 奥野製薬工業株式会社 | 含リン銅をアノードとする電解銅めっき液用添加剤、電解銅めっき液及び電解銅めっき方法 |
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JP2015168867A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 住友金属鉱山株式会社 | 硫酸系銅電解液、及びこの電解液を用いたデンドライト状銅粉の製造方法 |
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JP2014221946A (ja) * | 2014-08-01 | 2014-11-27 | 奥野製薬工業株式会社 | Prパルス電解銅めっき用添加剤及びprパルス電解めっき用銅めっき液 |
JP2019157154A (ja) * | 2018-03-07 | 2019-09-19 | トヨタ自動車株式会社 | 銅被膜の製造方法 |
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