JPS59199581A - 耐摩耗性のすぐれたサイアロン基セラミツクス - Google Patents
耐摩耗性のすぐれたサイアロン基セラミツクスInfo
- Publication number
- JPS59199581A JPS59199581A JP58073535A JP7353583A JPS59199581A JP S59199581 A JPS59199581 A JP S59199581A JP 58073535 A JP58073535 A JP 58073535A JP 7353583 A JP7353583 A JP 7353583A JP S59199581 A JPS59199581 A JP S59199581A
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- JP
- Japan
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- sialon
- powder
- ceramics
- cutting
- sintering
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、鋳鉄の高速フライス切削やNi基の耐熱合
金用の切削工具、あるいは111117#耗工具などと
して用いた場合に著しくすぐれたlli’l’摩耗性を
示すサイアロン基セラミックスに関するものである、−
1近年、切削工具用および耐摩耗工具用材料として、窒
化けい素(以下Sj、3N4で示す)基セラミックスが
注目されているが、このセラミックスは、Si3N4が
共有結合性の強い化合物であることから、焼結性か悪く
、したかつてその製造に際してはホットプレス法を用い
る場合が多く、この場合複雑4・形状のものを製造する
ことはgi; t、 < 、かつ生産・L’、lEの低
いものとなる。
金用の切削工具、あるいは111117#耗工具などと
して用いた場合に著しくすぐれたlli’l’摩耗性を
示すサイアロン基セラミックスに関するものである、−
1近年、切削工具用および耐摩耗工具用材料として、窒
化けい素(以下Sj、3N4で示す)基セラミックスが
注目されているが、このセラミックスは、Si3N4が
共有結合性の強い化合物であることから、焼結性か悪く
、したかつてその製造に際してはホットプレス法を用い
る場合が多く、この場合複雑4・形状のものを製造する
ことはgi; t、 < 、かつ生産・L’、lEの低
いものとなる。
さらに、Si3N4よりも焼結性が高く、かつ4熱衝撃
性および耐酸化性などにもすぐれた、β−8j3N 、
格子の81の一部をAP、で、Nの一部な○で置換した
化合物、すなわち組成式 Sj、6 zAf!zozNa−2(ただし○〈2≦4
3)。
性および耐酸化性などにもすぐれた、β−8j3N 、
格子の81の一部をAP、で、Nの一部な○で置換した
化合物、すなわち組成式 Sj、6 zAf!zozNa−2(ただし○〈2≦4
3)。
で表わされるβ−サイアロンを主成分とするサイアロン
基セラミックスを、切削工具や耐摩耗工具として用いる
試みもなされているか、このサイアロン基セラミックス
は、靭性は高いものの硬さがロックウェル硬さAスケー
ルで92程度とあ−1ニジ向くないため、所望の耐摩耗
性を示さ安いのが現状である。
基セラミックスを、切削工具や耐摩耗工具として用いる
試みもなされているか、このサイアロン基セラミックス
は、靭性は高いものの硬さがロックウェル硬さAスケー
ルで92程度とあ−1ニジ向くないため、所望の耐摩耗
性を示さ安いのが現状である。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、上記の
β−サイアロンを主成分とする従来サイアロン基セラミ
ックスに着目し、これに、これのもつ良好な焼結性を損
なうことなく、高硬度な伺与し、もってすぐれた而」摩
耗性を確保すべくイυ(究を行なった結果、 (a)上記のβ−サイアロンと共に、α−3j、3N4
格子の81の一部をAP、で、Nの一部な○で置換し、
さらに同格子間にLi、Na 、 Ca、 Mg’:’
BおよO・希土類元素のうちの1種甘たは2種以上(以
下、これらの元素を総合してMで示す)が侵入し固溶し
た構造をもつ化合物、すなわち組成式。
β−サイアロンを主成分とする従来サイアロン基セラミ
ックスに着目し、これに、これのもつ良好な焼結性を損
なうことなく、高硬度な伺与し、もってすぐれた而」摩
耗性を確保すべくイυ(究を行なった結果、 (a)上記のβ−サイアロンと共に、α−3j、3N4
格子の81の一部をAP、で、Nの一部な○で置換し、
さらに同格子間にLi、Na 、 Ca、 Mg’:’
BおよO・希土類元素のうちの1種甘たは2種以上(以
下、これらの元素を総合してMで示す)が侵入し固溶し
た構造をもつ化合物、すなわち組成式。
MX(Si、 A(り12(0,N)x6(ただしO(
x≦2)。
x≦2)。
で表わされるα−サイアロンを共存させると、この結果
のセラミックスは、硬さが向上し、すぐれた耐摩耗性を
もつようになること1) 々お、この場合α−サイアロンとβ−サイアロンの比率
(α/β)は、容量比で1.5795〜25/75とす
るのがよく、これは、α−サイアロンの割合が5未満で
は所望の硬さ向上効果が得られす、一方25を越えた割
合になると靭性が低下するようになシ、例えば鋳鉄の高
速フライス切削では欠損する場合を生じるという理由に
もとつくものであること。
のセラミックスは、硬さが向上し、すぐれた耐摩耗性を
もつようになること1) 々お、この場合α−サイアロンとβ−サイアロンの比率
(α/β)は、容量比で1.5795〜25/75とす
るのがよく、これは、α−サイアロンの割合が5未満で
は所望の硬さ向上効果が得られす、一方25を越えた割
合になると靭性が低下するようになシ、例えば鋳鉄の高
速フライス切削では欠損する場合を生じるという理由に
もとつくものであること。
寸だ、β−サイアロンは、上記のように組成式%式%
条件をhニア1足する必要があり、これは、2の値が4
3を越え/ζ組成は存在しないという理由によるもので
あるが、この範囲内でも2が大きくなると、セラミック
ス中に粗大な巣が発生しやすくなると共に、強度も低下
するようになるので、望脣しくはO(z≦20が好捷し
いこと。
3を越え/ζ組成は存在しないという理由によるもので
あるが、この範囲内でも2が大きくなると、セラミック
ス中に粗大な巣が発生しやすくなると共に、強度も低下
するようになるので、望脣しくはO(z≦20が好捷し
いこと。
さらに、α−サイアロンは、上記のように、組成式:
Mx(Si、 AQ)xz (0+ N)16で表わさ
れ、0〈X≦2の条件で存在するのが望1しく、これは
Xが2を越えた組成になると、1Jを格子間隙に侵入し
た状態で完全に固溶させることができないという月1山
にもとづくものであること。なお、α−サイアロンにお
けるSi、 AI!、 O,およびNの比率(d、1
・4の杜類とXの値により変化し、正負の価数が等しく
なるように定まるものと推定されること。
Mx(Si、 AQ)xz (0+ N)16で表わさ
れ、0〈X≦2の条件で存在するのが望1しく、これは
Xが2を越えた組成になると、1Jを格子間隙に侵入し
た状態で完全に固溶させることができないという月1山
にもとづくものであること。なお、α−サイアロンにお
けるSi、 AI!、 O,およびNの比率(d、1
・4の杜類とXの値により変化し、正負の価数が等しく
なるように定まるものと推定されること。
(b) 上fi己(a)のα−サイアロンとβ−サイ
アロンとか共存するセラミックスに、結合相形成成分と
して、上記Mに含1れる元素、Si、およびAAの酸化
物および窒化物のうちの1種甘だば2種以上(以下、こ
れらを総称して全屈の酸・窒化物という)を含有させる
と、これらの結合相形成成分は、低融点を有し、したが
って焼結時に液相を形成して焼結を促進し、かつ焼結後
はサイアロンの粒界部にガラス質または結晶質として存
在するようになることから、セラミックスは十分に緻密
化し、より高い強度をもつようになること。
アロンとか共存するセラミックスに、結合相形成成分と
して、上記Mに含1れる元素、Si、およびAAの酸化
物および窒化物のうちの1種甘だば2種以上(以下、こ
れらを総称して全屈の酸・窒化物という)を含有させる
と、これらの結合相形成成分は、低融点を有し、したが
って焼結時に液相を形成して焼結を促進し、かつ焼結後
はサイアロンの粒界部にガラス質または結晶質として存
在するようになることから、セラミックスは十分に緻密
化し、より高い強度をもつようになること。
なお、この場合、上記結合相形成成分の含有量は、1〜
20容量係とするのがよく、これは、その含有量が1容
量係未満では所望の高密度化をはかることができず、一
方20容量%を越えて含有させるとセラミックスの強度
が低下するようになるという理由によるものであること
。
20容量係とするのがよく、これは、その含有量が1容
量係未満では所望の高密度化をはかることができず、一
方20容量%を越えて含有させるとセラミックスの強度
が低下するようになるという理由によるものであること
。
す、上(a)および(b)に示される知見を’t4Jだ
のである。
のである。
したがって、この発明は、上記知見にもとついてなされ
たものであって、 (1)組成式: 5i6−zA的0□N8−2(ただし
0 (Z≦43)で表わされるβ−サイアロンと、組成
式: M)((Si、 Alりx2(0,N)16 (
ただしくつ〈X≦2)で衣わされるα−サイアロンとか
らなり、α−サイアロン/β−ザイアロンの容量比が5
/95〜2.57 ’i’ 5の範囲にある面4摩粍性
のすぐれたサイアロン基、(、セラミックス。
たものであって、 (1)組成式: 5i6−zA的0□N8−2(ただし
0 (Z≦43)で表わされるβ−サイアロンと、組成
式: M)((Si、 Alりx2(0,N)16 (
ただしくつ〈X≦2)で衣わされるα−サイアロンとか
らなり、α−サイアロン/β−ザイアロンの容量比が5
/95〜2.57 ’i’ 5の範囲にある面4摩粍性
のすぐれたサイアロン基、(、セラミックス。
(2)組成式’、 S16−zAgzOzNs−z(た
だし○〈2≦7i3)で表わされるβ−サイアロンと、
組成式MX(SLt AQ) 12 (o+ N)16
(ただしO(x≦2)で表わされるα−サイアロンと
を主成分とし、このほかに、 結合相形成成分としての金属の酸・窒化物:1〜20容
量%。
だし○〈2≦7i3)で表わされるβ−サイアロンと、
組成式MX(SLt AQ) 12 (o+ N)16
(ただしO(x≦2)で表わされるα−サイアロンと
を主成分とし、このほかに、 結合相形成成分としての金属の酸・窒化物:1〜20容
量%。
を含有し、」二言己α−ザイアロン/β−ザイアロンの
容hf比が5/95〜25 / 75の範囲にある耐摩
耗性のすぐれたサイアロン基セラミックス。
容hf比が5/95〜25 / 75の範囲にある耐摩
耗性のすぐれたサイアロン基セラミックス。
以上(1)および(2)のサイアロン基セラミックスに
特徴を有するものである。
特徴を有するものである。
1だ、この発明のセラミックスは、原料粉末として、
■ 5L31何、粉末+AA203粉末+AtN粉末。
■ Si3N4粉末+5i02粉末十ACN粉末。
■ Si2ON2粉末+AoN粉末。
以上■〜■のいずれかに組合せたαおよびβ−サイアロ
ン形成化合物粉末(だたしSi3N4 (弓:α相含有
率の高いものが好捷しい)、 α−サイアロンに固溶し、また結合相も形成し得るMの
酸化物および窒化物粉末を用意し、これら原料粉末を、
所定組成に配合し、この場合β−サイアロンの組成式か
ら計算されるものよりAQおよびNが多くなるように配
合し、混合し、ついで、この混合粉末を、]550〜1
800℃の範囲内の温度でホットプレスするか、あるい
は前記混合粉末より成形した圧粉体を前記温度で焼結す
ることによって製造することができる1−7なお、上記
の焼結(r−1、通常の状態で行なってもよいが、この
場合焼結後のセラミックスの表面変質層の厚みが厚くな
るので、圧粉体をSi3N4粉末中に埋め込んで焼結す
るのが好ましい1、−17’j焼結は、焼結中にSi3
N4が分解するのを抑制するためにN2を含有した雰囲
気で行なう必要があり、この場合N2とH2+ また
はN2とArなどの混合力スでもよ ′いか、j\・
またけの雰囲気とした方が好ましい。さらに、雰囲気圧
力は、09気圧程度でもよいが、1気圧が好1しく、さ
らに1気圧以上ならば一層好丑しいか、この場合には將
別な焼結炉が必要となる。−1:/こ、焼結温度(d、
上記のように1550〜1800℃でよいか、好ましく
は1650 =1750°Cの範囲内の温度がよい1゜ さらに、焼結後のセラミックスに必要に応じて熱間静水
圧焼結を施すと、より一段と緻密化が進行するようにな
る。
ン形成化合物粉末(だたしSi3N4 (弓:α相含有
率の高いものが好捷しい)、 α−サイアロンに固溶し、また結合相も形成し得るMの
酸化物および窒化物粉末を用意し、これら原料粉末を、
所定組成に配合し、この場合β−サイアロンの組成式か
ら計算されるものよりAQおよびNが多くなるように配
合し、混合し、ついで、この混合粉末を、]550〜1
800℃の範囲内の温度でホットプレスするか、あるい
は前記混合粉末より成形した圧粉体を前記温度で焼結す
ることによって製造することができる1−7なお、上記
の焼結(r−1、通常の状態で行なってもよいが、この
場合焼結後のセラミックスの表面変質層の厚みが厚くな
るので、圧粉体をSi3N4粉末中に埋め込んで焼結す
るのが好ましい1、−17’j焼結は、焼結中にSi3
N4が分解するのを抑制するためにN2を含有した雰囲
気で行なう必要があり、この場合N2とH2+ また
はN2とArなどの混合力スでもよ ′いか、j\・
またけの雰囲気とした方が好ましい。さらに、雰囲気圧
力は、09気圧程度でもよいが、1気圧が好1しく、さ
らに1気圧以上ならば一層好丑しいか、この場合には將
別な焼結炉が必要となる。−1:/こ、焼結温度(d、
上記のように1550〜1800℃でよいか、好ましく
は1650 =1750°Cの範囲内の温度がよい1゜ さらに、焼結後のセラミックスに必要に応じて熱間静水
圧焼結を施すと、より一段と緻密化が進行するようにな
る。
つぎに、この発明のセラミックスを実施例により具体的
に説明する。
に説明する。
実施例 l
原オS1粉末として、平均粒径:08μmの5i3N4
(α相含有率:90容量%)粉末およびCaO粉末。
(α相含有率:90容量%)粉末およびCaO粉末。
同0.6 p 711のα−AQ203粉末およびMg
O粉末、同15μmのAεN粉末、いずれも同1.0μ
mを有するL120粉末、 Na2O粉末、および¥2
03粉末、同1.1/f +ILの1Σr 203粉末
を用意し、これらのH”A粉末を、それぞれ第1表に示
される配合組成に配合し、湿467− 式・J・−ルミルにて721乃間混合し/こ後、乾燥し
、ついてこの混合粉末をホットプレス用黒鉛型に充填し
、大気中、圧力。200 kg/crrt 、焼結温度
L ’/ IJ O’C、保持時間 1時間の条件にて
ホットプレス焼結することによって本発明セラミックス
コル土0および土ヒキ吹−ヒラミックス1.2をそれぞ
れ製造した。
O粉末、同15μmのAεN粉末、いずれも同1.0μ
mを有するL120粉末、 Na2O粉末、および¥2
03粉末、同1.1/f +ILの1Σr 203粉末
を用意し、これらのH”A粉末を、それぞれ第1表に示
される配合組成に配合し、湿467− 式・J・−ルミルにて721乃間混合し/こ後、乾燥し
、ついてこの混合粉末をホットプレス用黒鉛型に充填し
、大気中、圧力。200 kg/crrt 、焼結温度
L ’/ IJ O’C、保持時間 1時間の条件にて
ホットプレス焼結することによって本発明セラミックス
コル土0および土ヒキ吹−ヒラミックス1.2をそれぞ
れ製造した。
なお、比較セラミックスl、2は、いずれも構成成分の
うちのいずれかの成分含有量(第1表に※印を有したも
の)かこの発明の範12I」から外れた、組成をもつも
のである。
うちのいずれかの成分含有量(第1表に※印を有したも
の)かこの発明の範12I」から外れた、組成をもつも
のである。
この結果得られた本発明セラミックス1−10および比
1咬セラミックス1,2について、顕微鏡観察およびχ
線回折など(/cより組成を調べると共に、硬さくロッ
クウェル硬さAスケール)を測定し、さらに、これより
5NO4,32に則した切削チップな切シ出し、 被削利 インコネル718の丸棒。
1咬セラミックス1,2について、顕微鏡観察およびχ
線回折など(/cより組成を調べると共に、硬さくロッ
クウェル硬さAスケール)を測定し、さらに、これより
5NO4,32に則した切削チップな切シ出し、 被削利 インコネル718の丸棒。
切削速度 200nl /mjn、 。
切込み ]、、 ]5nun、 。
送1) : 0.2 run / rev、 。
切削時間:5m+u。
の条件でN]基ml熱合金の切削試、験を杓ない、切刃
の逃げ面摩耗幅を測定し/と2、これらの結果を第1表
に示した。′−1:た、第1表に+d、比較の目的で、
市販のAA203基セラミックスの同一条件による試験
結果も示した。
の逃げ面摩耗幅を測定し/と2、これらの結果を第1表
に示した。′−1:た、第1表に+d、比較の目的で、
市販のAA203基セラミックスの同一条件による試験
結果も示した。
第1表に示される結果から、本発明セラミックス1〜1
0は、いずれも高いイ便さと、すぐれた而」摩耗性を示
すのに対して、α−サイアロ/の存在しない比較セラミ
ックスlは1制摩耗性の劣るものであり、寸だ結合相形
成成分の含有量かこの発明の範囲から高い方に外れた比
較セラミックス2および市販の、AQ、、 O,基セラ
ミックス」、ン2は、いずれも耐摩耗性が劣るために満
足なりJ削を行なうことができないものであった。
0は、いずれも高いイ便さと、すぐれた而」摩耗性を示
すのに対して、α−サイアロ/の存在しない比較セラミ
ックスlは1制摩耗性の劣るものであり、寸だ結合相形
成成分の含有量かこの発明の範囲から高い方に外れた比
較セラミックス2および市販の、AQ、、 O,基セラ
ミックス」、ン2は、いずれも耐摩耗性が劣るために満
足なりJ削を行なうことができないものであった。
実施例 2
原料粉末として、実施例]て用いた:、S ]、 3
N’ 4粉末。
N’ 4粉末。
AMN粉末、α−AI!203粉末、およびY2(−)
3牧末のほかに、平均粒径 03μ+ILの5102粉
末、同1、′5/l n(のYN粉末、および同l○μ
7nのSm2O3粉末な用′意し、これらの原料粉末を
、それぞれ第2表に示される配合組成に配合し、さらに
粘結剤としてパラフィンを、配合粉末に対する割合で4
重量%添加し、湿式ボールミルにて72時間混合し、乾
燥した後、I Lo n/critの圧力にて圧粉体に
プレス成形し、ついでとの圧粉体を、真空中、温度:8
00℃に2時間加熱した後、Si3N4粉末中に埋め込
んだ状態で、1気圧のN2雰囲気中、温度:]720℃
に2時間保持の条件で焼結することによって、本発明セ
ラミックス11〜20および比較セラミックス3,4を
それぞれ製造した。
3牧末のほかに、平均粒径 03μ+ILの5102粉
末、同1、′5/l n(のYN粉末、および同l○μ
7nのSm2O3粉末な用′意し、これらの原料粉末を
、それぞれ第2表に示される配合組成に配合し、さらに
粘結剤としてパラフィンを、配合粉末に対する割合で4
重量%添加し、湿式ボールミルにて72時間混合し、乾
燥した後、I Lo n/critの圧力にて圧粉体に
プレス成形し、ついでとの圧粉体を、真空中、温度:8
00℃に2時間加熱した後、Si3N4粉末中に埋め込
んだ状態で、1気圧のN2雰囲気中、温度:]720℃
に2時間保持の条件で焼結することによって、本発明セ
ラミックス11〜20および比較セラミックス3,4を
それぞれ製造した。
との結呆イ(Jられだ本発明セラミックス11〜20お
よび比較セラミックス3,4について、実施例」におけ
ると同様に組成および硬さを測定すると共に、これより
3 N C+ /1.32の切削チップをりjり出し、 工具形状 直径160 amφのl) Nカッター。
よび比較セラミックス3,4について、実施例」におけ
ると同様に組成および硬さを測定すると共に、これより
3 N C+ /1.32の切削チップをりjり出し、 工具形状 直径160 amφのl) Nカッター。
被削材 lJ C25の幅150+u+X長さ400m
71の寸法をもった鋳鉄角材。
71の寸法をもった鋳鉄角材。
切削速度: 400 m /vtx 。
切込み 2 mノn。
一刀当りの送り 08Wiに/刃。
切削回数゛Sパス(’4.00鳶rr/パス)。
切削状態′上記カンタ−に切削チップ1枚を取シつけ、
カッター中心と被削材の幅 の中上・とを一致させて切削。
カッター中心と被削材の幅 の中上・とを一致させて切削。
の条件てυj鉄フライス切削試験を行ない、切刃の逃は
面摩耗幅を測定し/ζ。これらの結果を第2表に示した
。。
面摩耗幅を測定し/ζ。これらの結果を第2表に示した
。。
第2表に示される結果から、本発明セラミックス1土〜
20は、いずれも高い硬さとすぐれた血J摩耗性を示す
のに利して、組成がこの発明の範囲から外れだ比1咬セ
ラミックス3,4(は、いずれも硬さおよびiii′I
aJ耗件の点で劣るものであった。
20は、いずれも高い硬さとすぐれた血J摩耗性を示す
のに利して、組成がこの発明の範囲から外れだ比1咬セ
ラミックス3,4(は、いずれも硬さおよびiii′I
aJ耗件の点で劣るものであった。
上述のように、この発明のセラミックスは、高硬度を有
し、かつ実用に際してはすぐれた耐摩耗性を示すので、
これを切削工具や耐摩耗工具などとして用いた場合には
著しく長期に旦ってすぐれた性能を安定的に発揮するの
である。
し、かつ実用に際してはすぐれた耐摩耗性を示すので、
これを切削工具や耐摩耗工具などとして用いた場合には
著しく長期に旦ってすぐれた性能を安定的に発揮するの
である。
Claims (2)
- (1) 組成式 S16− zAgzo z N 8
− z (ただし○〈Z≦43)で表わされるβ−サイ
アロンと、組成式 MX(Si、 Atり x2(0+
N ) 16 (ただし○〈X≦2゜lvl : L
i、 Na 、 Ca 、 Mg’Z希土類元素のうち
の1種壕だは24車以上を示す)で衣わされるα−サイ
アロンとからなり、α−サイアロン/β−サイアロンの
容4.H−比が5 / 9.5〜25 / 75の範囲
にあることを特徴とする面1j♀耗性のすぐれたサイア
ロン基セラミックス。 - (2)組成式: Si6−zAMz07.Na−Z (
ただし0〈7、≦43)で表わされるβ−サイアロンと
、組成式 1、Ax(Sx、AIり、2(0,N)16
(ただしO(x≦2゜M : Ll、 Na、 Ca
、 Mハシ希土類元素のうちの1種捷たけ2種以上を示
す)で表わされるα−サイアロンとを主成分とし、この
ほかに、 結合相形成成分として、上記Mに含丑れる元素。 Si、およびAl!の酸化物および窒化物のうちの1神
または2種以上:l〜20容量%。 を含有し、上記α−サイアロン/β−サイアロンの容量
比が5/95〜25 / ’i’ 5の範囲にあること
を特徴とする耐摩粍性のすぐれたサイアロン基セラミッ
クス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58073535A JPS59199581A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 耐摩耗性のすぐれたサイアロン基セラミツクス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58073535A JPS59199581A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 耐摩耗性のすぐれたサイアロン基セラミツクス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59199581A true JPS59199581A (ja) | 1984-11-12 |
JPS638075B2 JPS638075B2 (ja) | 1988-02-19 |
Family
ID=13521016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58073535A Granted JPS59199581A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 耐摩耗性のすぐれたサイアロン基セラミツクス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59199581A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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