JPS59186119A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS59186119A JPS59186119A JP58060133A JP6013383A JPS59186119A JP S59186119 A JPS59186119 A JP S59186119A JP 58060133 A JP58060133 A JP 58060133A JP 6013383 A JP6013383 A JP 6013383A JP S59186119 A JPS59186119 A JP S59186119A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体、特に金属薄膜型磁気記録媒体
に関する。
に関する。
従来例の構成とその問題点
近年、磁気記録の高密度化を目的として、金属薄膜型の
磁気記録媒体、即ち、高分子フィルム、非磁性支持体上
に、無電解メッキ、イオンブレーティング、スパッタリ
ング、真空蒸着等により、強磁性薄膜を形成させた磁気
記録媒体の開発が盛んである。
磁気記録媒体、即ち、高分子フィルム、非磁性支持体上
に、無電解メッキ、イオンブレーティング、スパッタリ
ング、真空蒸着等により、強磁性薄膜を形成させた磁気
記録媒体の開発が盛んである。
磁化容易軸の方向のちがいにより、2つのタイ2ベー−
゛ プの磁気記録媒体が現在開発されているが、いずれのタ
イプも短波長記録を可能にし、再生時のスペース損失を
減らすために、平滑な面に仕上げることが基本となって
いる。
゛ プの磁気記録媒体が現在開発されているが、いずれのタ
イプも短波長記録を可能にし、再生時のスペース損失を
減らすために、平滑な面に仕上げることが基本となって
いる。
これにより、優れた記録特性をもたすことができるが、
反面、走行特性に於て劣化現象をひき起す欠点があるた
め、ビデオテープレコーダの分野で例えば、静止画像を
得る上での寿命の問題や、高湿環境下での安定走行の確
保の困難性などの課題が存在している。
反面、走行特性に於て劣化現象をひき起す欠点があるた
め、ビデオテープレコーダの分野で例えば、静止画像を
得る上での寿命の問題や、高湿環境下での安定走行の確
保の困難性などの課題が存在している。
これらの問題解決のために、蒸着膜の材料構成の検討2
表面粗さの検討、有機、無機の滑剤の塗布による改良検
討などが進められているが、くり返し使用における耐久
性において、いまだ充分な性能を示す磁気記録媒体が得
られていない。
表面粗さの検討、有機、無機の滑剤の塗布による改良検
討などが進められているが、くり返し使用における耐久
性において、いまだ充分な性能を示す磁気記録媒体が得
られていない。
発明の目的
本発明は、くり返し使用しても実用耐久性にすぐれ、高
密度磁気記録に適する、金属薄膜型磁気記録媒体の提供
を目的とする。
密度磁気記録に適する、金属薄膜型磁気記録媒体の提供
を目的とする。
発明の構成
本発明の磁気記録媒体は強磁性金属の薄膜を構成する微
結晶の表面が、前記強磁性金属の酸化物と前記強磁性金
属の水酸化物との混合物で被覆されていることを特徴と
する。
結晶の表面が、前記強磁性金属の酸化物と前記強磁性金
属の水酸化物との混合物で被覆されていることを特徴と
する。
なお、本発明の磁気記録媒体において前記した構成の上
に、滑剤層、防錆層等を塗布してもよい。
に、滑剤層、防錆層等を塗布してもよい。
本発明における磁気記録層(強磁性金属の薄膜)の材料
は、特に限定されるものではないが、CO2Fe 、C
o−Ni 、Co−Fe 、Fe−8t 、Co−8t
、Co−Cr。
は、特に限定されるものではないが、CO2Fe 、C
o−Ni 、Co−Fe 、Fe−8t 、Co−8t
、Co−Cr。
Fe−Cr、Co−Rh、Go−Mo、Co−W、Co
−Ti。
−Ti。
Co−8m 、 Co−Cu等が好ましい。
本発明でいう、強磁性金属は、前記した如き材料構成の
全てを総括して呼んでいるもので、単体金属2合金のい
ずれも含むものである。
全てを総括して呼んでいるもので、単体金属2合金のい
ずれも含むものである。
尚本発明でいうところの、強磁性金属の酸化物及び強磁
性金属の水酸化物とは、構成元素の夫々の酸化物、水酸
化物をさすものであるが、構成比率、化学状態について
は特に限定されるものではない。
性金属の水酸化物とは、構成元素の夫々の酸化物、水酸
化物をさすものであるが、構成比率、化学状態について
は特に限定されるものではない。
本発明の磁気記録層を支持する基板は、ポリエチレンテ
レフタレートフィルムが最も良く用いられるが、他のプ
ラスチック基板はもとより、非磁性金属基板であっても
良いし、フレキシブルであるか否か、或いは磁気記録媒
体としての形態、即ち、テープ状が、ディスク状、シー
ト状、カード状等には無関係である1゜ 又、本発明の磁気記録媒体は、基板の裏面構成について
特に限定するものではない。
レフタレートフィルムが最も良く用いられるが、他のプ
ラスチック基板はもとより、非磁性金属基板であっても
良いし、フレキシブルであるか否か、或いは磁気記録媒
体としての形態、即ち、テープ状が、ディスク状、シー
ト状、カード状等には無関係である1゜ 又、本発明の磁気記録媒体は、基板の裏面構成について
特に限定するものではない。
尚本発明の磁気記録層の形成方法は、電子ビーム蒸着法
、スパッタリング法による薄膜形成技術を基礎にして行
えばよいし、必要に応じて設けられる滑剤層や防錆層等
の材料構成、形成法についても適宜選択できるものであ
る。
、スパッタリング法による薄膜形成技術を基礎にして行
えばよいし、必要に応じて設けられる滑剤層や防錆層等
の材料構成、形成法についても適宜選択できるものであ
る。
本発明における、水酸化物と酸化物の混合層の役割は、
高湿下での走行安定性、くり返し使用に於ける耐久性、
とりわけメチル耐久性の向上において明確である。
高湿下での走行安定性、くり返し使用に於ける耐久性、
とりわけメチル耐久性の向上において明確である。
これは、ヘリカルスキャンの加圧走行下で、テープ表面
の温度上昇により、水酸化物から酸化物への移行、又、
保存時に水酸化物の生成の2つの過程が交互過程で、ひ
とつの平衡状態が生れることと、磁気記録媒体としての
性能変化は、表面のみの化学変化であれば、全く無視で
きることがら各種環境条件で保存しても、保磁カ、飽和
磁束密度は極めて安定であるといえる。
の温度上昇により、水酸化物から酸化物への移行、又、
保存時に水酸化物の生成の2つの過程が交互過程で、ひ
とつの平衡状態が生れることと、磁気記録媒体としての
性能変化は、表面のみの化学変化であれば、全く無視で
きることがら各種環境条件で保存しても、保磁カ、飽和
磁束密度は極めて安定であるといえる。
実施例の説明
以下、実施例に従って、本発明の詳細な説明する。
〔実施例1〕
厚さ9μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを3
5°Cの純水に1日浸漬した後、5°Cの媒体を循環し
た直径1mの回転キャンに沿って移動させ最小入射角4
0°Cで平均値として39oO人/8eCの蒸着速度で
1600へのCo膜を蒸着した。
5°Cの純水に1日浸漬した後、5°Cの媒体を循環し
た直径1mの回転キャンに沿って移動させ最小入射角4
0°Cで平均値として39oO人/8eCの蒸着速度で
1600へのCo膜を蒸着した。
用いた蒸発源は、ZT02容器を用いた電子ビーム蒸発
源で、真空度は6 X 10−5Torrであった。
源で、真空度は6 X 10−5Torrであった。
このCo膜は、ESCAにより分析したところCo(○
H)2 が約80人、微結晶表面をおおわれていた。
H)2 が約80人、微結晶表面をおおわれていた。
この状態で、1×10 TOrr の酸素グロー放6ベ
ー2゛ 電雰囲気に2.2 秒さらした。
ー2゛ 電雰囲気に2.2 秒さらした。
その結果はESCA分析の結果Co(○H)2 とC
OoとC03o4の混合物で強度比が20:14:3で
あった。
OoとC03o4の混合物で強度比が20:14:3で
あった。
混合層の厚みは、約89八であった。
これを8謔幅のテープにしたものをテープ1−Aとしこ
のテープの上に、ミリスチン酸を50人1×1O−4T
orr 中で蒸着したものをテープ1−Bとした。
のテープの上に、ミリスチン酸を50人1×1O−4T
orr 中で蒸着したものをテープ1−Bとした。
比較例として、類似の条件で基板を乾燥した状態で、か
つ最大分圧を酸素として、5×1o−5TorrでCO
を電子ビーム蒸着した。
つ最大分圧を酸素として、5×1o−5TorrでCO
を電子ビーム蒸着した。
とれは表面が000で約90Aの酸化物層でおおわれて
いた。
いた。
これをテープ1−Cとし、このテープ上に、ミリスチン
酸を5o人、lX10Torr 中で蒸着したものを
テープ1−Dとした。
酸を5o人、lX10Torr 中で蒸着したものを
テープ1−Dとした。
これらのテープのメチル耐久性を比較した結果は次の第
1表のようであった。
1表のようであった。
第1表
〔実施例2〕
厚さ11.5μmのポリエチレンテレフタレートフィル
ムを1×1O−2Torrの酸素グロー放電処理(1,
5秒)した後、6°Cの媒体を循環した直径1mの回転
キャンに沿って移動させ、最小入射角35°Cで平均蒸
着速度42ooAl少で、酸素を最大分圧とする3 X
10−5Torr の真空中でCOを電子ビーム蒸
着して、表面がCoo で約70人の酸化層をもつ微結
晶の集りであるCo膜を1000人形成した。
ムを1×1O−2Torrの酸素グロー放電処理(1,
5秒)した後、6°Cの媒体を循環した直径1mの回転
キャンに沿って移動させ、最小入射角35°Cで平均蒸
着速度42ooAl少で、酸素を最大分圧とする3 X
10−5Torr の真空中でCOを電子ビーム蒸
着して、表面がCoo で約70人の酸化層をもつ微結
晶の集りであるCo膜を1000人形成した。
これを8vn1幅のテープとしテープ2−Cとした。
このテープを65°C90%RHの雰囲気に24時間放
置して、表面を水酸化物と酸化物の混合層となるように
した。
置して、表面を水酸化物と酸化物の混合層となるように
した。
ESCA法で調べたととる、このテープ2−AばCo(
OH)2とCooの強度比が1:1で、混合層の厚みは
約80人であった。
OH)2とCooの強度比が1:1で、混合層の厚みは
約80人であった。
テープ2−A、テープ2−D上に、湿式法によりステア
リン酸ブチルを約40人塗布したものを夫々テープ2−
B、テープ2−Eとした。又同じ材料を8.5×1o−
5TOrrの真空中で約40人イオンブレーティングし
た。イオン化手段としては13.561M1+の高周波
印加によるグロー放電を用いた。テープ2−A、テープ
2−D上にイオンブレーティング法により滑剤層を形成
したテープを夫々テープ2−C,テープ2−Fとした。
リン酸ブチルを約40人塗布したものを夫々テープ2−
B、テープ2−Eとした。又同じ材料を8.5×1o−
5TOrrの真空中で約40人イオンブレーティングし
た。イオン化手段としては13.561M1+の高周波
印加によるグロー放電を用いた。テープ2−A、テープ
2−D上にイオンブレーティング法により滑剤層を形成
したテープを夫々テープ2−C,テープ2−Fとした。
これらのテープのスチル特性を実施例1と同様に第2表
において比較した。
において比較した。
以下余白
第2表
〔実施例3〕
芳香族ポリアミドフィルム8μm f Ar 、lX1
O−2Torrのグロー放電に2秒間露呈した後、直径
60mの100″Cの媒体を循環させた回転キャンに沿
わせて移動させながら、キャン表面より2濡離して、同
心状のCoCrカソード(Crが20重量係)を配して
高周波(周波数13.56計、電力6kw)スパッタに
よりCoCr垂直磁化膜を0.2μmの厚みに形成した
。スパッタ条件は、放電ガスとしてArがlX1O−3
Torr、02が4.2X10−’Totrの圧力10
ぺ一2゛ とし、スパッタ速度はSoo人/秒であった。
O−2Torrのグロー放電に2秒間露呈した後、直径
60mの100″Cの媒体を循環させた回転キャンに沿
わせて移動させながら、キャン表面より2濡離して、同
心状のCoCrカソード(Crが20重量係)を配して
高周波(周波数13.56計、電力6kw)スパッタに
よりCoCr垂直磁化膜を0.2μmの厚みに形成した
。スパッタ条件は、放電ガスとしてArがlX1O−3
Torr、02が4.2X10−’Totrの圧力10
ぺ一2゛ とし、スパッタ速度はSoo人/秒であった。
これを8m幅のテープ3−Dとした。このテープのES
CA法による解析の結果は、C00とCr2O3の存在
が認められ、強度比は1:1.35で酸化層厚みは約6
o人であった。これを110°Cのスチームにより3〜
488C処理して得たテープをテープ3−Aとした。テ
ープ3−AのESCA 分析の結果はC00,Cr2
O3,C0(OH)2.Cr(OH)2の存在が認めら
れ、夫々の強度比は1:1.3:0.7:0.8 であ
った。又、混合層の厚みは約70人であった。
CA法による解析の結果は、C00とCr2O3の存在
が認められ、強度比は1:1.35で酸化層厚みは約6
o人であった。これを110°Cのスチームにより3〜
488C処理して得たテープをテープ3−Aとした。テ
ープ3−AのESCA 分析の結果はC00,Cr2
O3,C0(OH)2.Cr(OH)2の存在が認めら
れ、夫々の強度比は1:1.3:0.7:0.8 であ
った。又、混合層の厚みは約70人であった。
発明の効果
本発明の磁気記録媒体は、最も厳しい使用条件であるス
チル再生における出力低下の度合が極めて小さいという
効果を奏し、高密度磁気記録に適する金属薄膜型磁気記
録媒体の実用化に貢献するものである。
チル再生における出力低下の度合が極めて小さいという
効果を奏し、高密度磁気記録に適する金属薄膜型磁気記
録媒体の実用化に貢献するものである。
Claims (1)
- 強磁性金属の薄膜を構成する微結晶の表面が、前記強磁
性金属の酸化物と前記強磁性金属の水酸化物との混合物
で被覆されていることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58060133A JPS59186119A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58060133A JPS59186119A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59186119A true JPS59186119A (ja) | 1984-10-22 |
JPH053051B2 JPH053051B2 (ja) | 1993-01-13 |
Family
ID=13133331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58060133A Granted JPS59186119A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59186119A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57117126A (en) * | 1981-01-12 | 1982-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for metallic thin film type magnetic recording body |
JPS57123533A (en) * | 1981-01-23 | 1982-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of metallic thin-film type magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-04-06 JP JP58060133A patent/JPS59186119A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57117126A (en) * | 1981-01-12 | 1982-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for metallic thin film type magnetic recording body |
JPS57123533A (en) * | 1981-01-23 | 1982-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of metallic thin-film type magnetic recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH053051B2 (ja) | 1993-01-13 |
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