JPS59186119A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体、特に金属薄膜型磁気記録媒体
に関する。

従来例の構成とその問題点 近年、磁気記録の高密度化を目的として、金属薄膜型の
磁気記録媒体、即ち、高分子フィルム、非磁性支持体上
に、無電解メッキ、イオンブレーティング、スパッタリ
ング、真空蒸着等により、強磁性薄膜を形成させた磁気
記録媒体の開発が盛んである。

磁化容易軸の方向のちがいにより、２つのタイ２ベー−
゛ プの磁気記録媒体が現在開発されているが、いずれのタ
イプも短波長記録を可能にし、再生時のスペース損失を
減らすために、平滑な面に仕上げることが基本となって
いる。

これにより、優れた記録特性をもたすことができるが、
反面、走行特性に於て劣化現象をひき起す欠点があるた
め、ビデオテープレコーダの分野で例えば、静止画像を
得る上での寿命の問題や、高湿環境下での安定走行の確
保の困難性などの課題が存在している。

これらの問題解決のために、蒸着膜の材料構成の検討２
表面粗さの検討、有機、無機の滑剤の塗布による改良検
討などが進められているが、くり返し使用における耐久
性において、いまだ充分な性能を示す磁気記録媒体が得
られていない。

発明の目的 本発明は、くり返し使用しても実用耐久性にすぐれ、高
密度磁気記録に適する、金属薄膜型磁気記録媒体の提供
を目的とする。

発明の構成 本発明の磁気記録媒体は強磁性金属の薄膜を構成する微
結晶の表面が、前記強磁性金属の酸化物と前記強磁性金
属の水酸化物との混合物で被覆されていることを特徴と
する。

なお、本発明の磁気記録媒体において前記した構成の上
に、滑剤層、防錆層等を塗布してもよい。

本発明における磁気記録層（強磁性金属の薄膜）の材料
は、特に限定されるものではないが、ＣＯ２Ｆｅ　、Ｃ
ｏ−Ｎｉ　、Ｃｏ−Ｆｅ　、Ｆｅ−８ｔ　、Ｃｏ−８ｔ
　、Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｒｈ、Ｇｏ−Ｍｏ、Ｃｏ−Ｗ、Ｃｏ
−Ｔｉ。

Ｃｏ−８ｍ　、　Ｃｏ−Ｃｕ等が好ましい。

本発明でいう、強磁性金属は、前記した如き材料構成の
全てを総括して呼んでいるもので、単体金属２合金のい
ずれも含むものである。

尚本発明でいうところの、強磁性金属の酸化物及び強磁
性金属の水酸化物とは、構成元素の夫々の酸化物、水酸
化物をさすものであるが、構成比率、化学状態について
は特に限定されるものではない。

本発明の磁気記録層を支持する基板は、ポリエチレンテ
レフタレートフィルムが最も良く用いられるが、他のプ
ラスチック基板はもとより、非磁性金属基板であっても
良いし、フレキシブルであるか否か、或いは磁気記録媒
体としての形態、即ち、テープ状が、ディスク状、シー
ト状、カード状等には無関係である１゜ 又、本発明の磁気記録媒体は、基板の裏面構成について
特に限定するものではない。

尚本発明の磁気記録層の形成方法は、電子ビーム蒸着法
、スパッタリング法による薄膜形成技術を基礎にして行
えばよいし、必要に応じて設けられる滑剤層や防錆層等
の材料構成、形成法についても適宜選択できるものであ
る。

本発明における、水酸化物と酸化物の混合層の役割は、
高湿下での走行安定性、くり返し使用に於ける耐久性、
とりわけメチル耐久性の向上において明確である。

これは、ヘリカルスキャンの加圧走行下で、テープ表面
の温度上昇により、水酸化物から酸化物への移行、又、
保存時に水酸化物の生成の２つの過程が交互過程で、ひ
とつの平衡状態が生れることと、磁気記録媒体としての
性能変化は、表面のみの化学変化であれば、全く無視で
きることがら各種環境条件で保存しても、保磁カ、飽和
磁束密度は極めて安定であるといえる。

実施例の説明 以下、実施例に従って、本発明の詳細な説明する。

〔実施例１〕 厚さ９μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを３
５°Ｃの純水に１日浸漬した後、５°Ｃの媒体を循環し
た直径１ｍの回転キャンに沿って移動させ最小入射角４
０°Ｃで平均値として３９ｏＯ人／８ｅＣの蒸着速度で
１６００へのＣｏ膜を蒸着した。

用いた蒸発源は、ＺＴ０２容器を用いた電子ビーム蒸発
源で、真空度は６　Ｘ　１０−５Ｔｏｒｒであった。

このＣｏ膜は、ＥＳＣＡにより分析したところＣｏ（○
Ｈ）２　が約８０人、微結晶表面をおおわれていた。

この状態で、１×１０　ＴＯｒｒ　の酸素グロー放６ベ
ー２゛ 電雰囲気に２．２　秒さらした。

その結果はＥＳＣＡ分析の結果Ｃｏ（○Ｈ）２　　とＣ
ＯｏとＣ０３ｏ４の混合物で強度比が２０：１４：３で
あった。

混合層の厚みは、約８９八であった。

これを８謔幅のテープにしたものをテープ１−Ａとしこ
のテープの上に、ミリスチン酸を５０人１×１Ｏ−４Ｔ
ｏｒｒ　中で蒸着したものをテープ１−Ｂとした。

比較例として、類似の条件で基板を乾燥した状態で、か
つ最大分圧を酸素として、５×１ｏ−５ＴｏｒｒでＣＯ
を電子ビーム蒸着した。

とれは表面が０００で約９０Ａの酸化物層でおおわれて
いた。

これをテープ１−Ｃとし、このテープ上に、ミリスチン
酸を５ｏ人、ｌＸ１０Ｔｏｒｒ　　中で蒸着したものを
テープ１−Ｄとした。

これらのテープのメチル耐久性を比較した結果は次の第
１表のようであった。

第１表 〔実施例２〕 厚さ１１．５μｍのポリエチレンテレフタレートフィル
ムを１×１Ｏ−２Ｔｏｒｒの酸素グロー放電処理（１，
５秒）した後、６°Ｃの媒体を循環した直径１ｍの回転
キャンに沿って移動させ、最小入射角３５°Ｃで平均蒸
着速度４２ｏｏＡｌ少で、酸素を最大分圧とする３　Ｘ
　１０−５Ｔｏｒｒ　　の真空中でＣＯを電子ビーム蒸
着して、表面がＣｏｏ　で約７０人の酸化層をもつ微結
晶の集りであるＣｏ膜を１０００人形成した。

これを８ｖｎ１幅のテープとしテープ２−Ｃとした。

このテープを６５°Ｃ９０％ＲＨの雰囲気に２４時間放
置して、表面を水酸化物と酸化物の混合層となるように
した。

ＥＳＣＡ法で調べたととる、このテープ２−ＡばＣｏ（
ＯＨ）２とＣｏｏの強度比が１：１で、混合層の厚みは
約８０人であった。

テープ２−Ａ、テープ２−Ｄ上に、湿式法によりステア
リン酸ブチルを約４０人塗布したものを夫々テープ２−
Ｂ、テープ２−Ｅとした。又同じ材料を８．５×１ｏ−
５ＴＯｒｒの真空中で約４０人イオンブレーティングし
た。イオン化手段としては１３．５６１Ｍ１＋の高周波
印加によるグロー放電を用いた。テープ２−Ａ、テープ
２−Ｄ上にイオンブレーティング法により滑剤層を形成
したテープを夫々テープ２−Ｃ，テープ２−Ｆとした。

これらのテープのスチル特性を実施例１と同様に第２表
において比較した。

以下余白 第２表 〔実施例３〕 芳香族ポリアミドフィルム８μｍ　ｆ　Ａｒ　、ｌＸ１
Ｏ−２Ｔｏｒｒのグロー放電に２秒間露呈した後、直径
６０ｍの１００″Ｃの媒体を循環させた回転キャンに沿
わせて移動させながら、キャン表面より２濡離して、同
心状のＣｏＣｒカソード（Ｃｒが２０重量係）を配して
高周波（周波数１３．５６計、電力６ｋｗ）スパッタに
よりＣｏＣｒ垂直磁化膜を０．２μｍの厚みに形成した
。スパッタ条件は、放電ガスとしてＡｒがｌＸ１Ｏ−３
Ｔｏｒｒ、０２が４．２Ｘ１０−’Ｔｏｔｒの圧力１０
ぺ一２゛ とし、スパッタ速度はＳｏｏ人／秒であった。

これを８ｍ幅のテープ３−Ｄとした。このテープのＥＳ
ＣＡ法による解析の結果は、Ｃ００とＣｒ２Ｏ３の存在
が認められ、強度比は１：１．３５で酸化層厚みは約６
ｏ人であった。これを１１０°Ｃのスチームにより３〜
４８８Ｃ処理して得たテープをテープ３−Ａとした。テ
ープ３−ＡのＥＳＣＡ　　分析の結果はＣ００，Ｃｒ２
Ｏ３，Ｃ０（ＯＨ）２．Ｃｒ（ＯＨ）２の存在が認めら
れ、夫々の強度比は１：１．３：０．７：０．８　であ
った。又、混合層の厚みは約７０人であった。

発明の効果 本発明の磁気記録媒体は、最も厳しい使用条件であるス
チル再生における出力低下の度合が極めて小さいという
効果を奏し、高密度磁気記録に適する金属薄膜型磁気記
録媒体の実用化に貢献するものである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性金属の薄膜を構成する微結晶の表面が、前記強磁
   性金属の酸化物と前記強磁性金属の水酸化物との混合物
   で被覆されていることを特徴とする磁気記録媒体。