JPS59177725A - 磁気記憶体 - Google Patents

磁気記憶体

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JPS59177725A
JPS59177725A JP58051834A JP5183483A JPS59177725A JP S59177725 A JPS59177725 A JP S59177725A JP 58051834 A JP58051834 A JP 58051834A JP 5183483 A JP5183483 A JP 5183483A JP S59177725 A JPS59177725 A JP S59177725A
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JP
Japan
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magnetic
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film
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JP58051834A
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Masahiro Yanagisawa
雅広 柳沢
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NEC Corp
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NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気的記憶装置(磁気ディスク装置および磁気
ドラム装置V)に用いられる磁気記憶体に関する。
現在実用化されている磁気記憶体は不連続媒体を有する
ものが主流である。この不連続媒体の磁気記憶媒体はr
−FetO,、CrO4、Fe 、Fe−Co 等の磁
性体粒子を有機樹脂からなる結合剤中に混合分散して、
基体上に塗布・乾燥・焼成して製造するため、磁気記憶
媒体は磁性体粒子の大きさのレベルで不連続である。し
かし、近年磁気記憶媒体の高記録密度化の要請によシ、
連続薄膜媒体からなる磁気記憶媒体の研死開発が盛んに
行なわれている。この連続薄膜媒体の1つにメッキ、真
空蒸着、スパッタ、イオンブレーティング等の手法によ
シ作られる金属磁性媒体が知られている。しかし、該金
属磁性媒体は下地の種類によって磁気特性あるいは出力
の均一性が左右されるという欠点を有していた。
本発明の目的は金属磁性媒体に優れた磁気特性と出力の
均一性を与える該媒体の下地を有する磁気記憶体を提供
するものである。
すなわち本発明の磁気記憶体は金属基盤上に非磁性金属
層又は非磁性金属酸化物層が被覆され、該非磁性金属層
又は非磁性金属酸化物層上に塗布膜を介してコバルト及
び白金を含む金属薄膜媒体が被覆され、該媒体上に保設
膜が被覆されて構成されている。
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
W図は本発明の磁気記憶体の部分断面図である。遣水図
において磁気記憶体の金属基盤1としてアルミ合金が軽
くて加工性が良く安価なことから最も良く用いられるが
、場合によってはチタン合金が用いられることもある。
基盤表面は機械加工によシ小さなうねシ(円周方向で5
0μm以下、半径方向で100μm以下)を有する面に
仕上げられている。
次にこの基盤1の上に非磁性金属層2としてニッケルー
燐合金がめつきによシ被覆され、該金属層2の表面は機
械的研磨によシ最犬表面粗さ0.03pm以下に誂向仕
上げされる。
次に上記金属層2の上にテトラヒドロキシシランのアル
コール溶液あるいはポリイミド又はポリアミドイミドO
nメチルピロリドン溶液あるいはラダー型ポリシロキサ
ンのメチルセロンルプ溶液をスピン塗布してポリ珪酸あ
るいはポリイミド又はポリアミドイミドあるいはラダー
型ポリシロキサンからなる塗布膜3が被覆される。
該塗布膜3の上に金属磁性媒体4としてCo−P t 
、Co−Ni −P t 、Co−W−P t 、Co
 −V−P t 、Co −Cr −Pt、Co−Re
−Pt、Co−3i−Pt、Co−Ge−Pt、Co 
−Mo−Pt 、Co−Ta−Pt 、Co−Ti−P
t 、Co−Zr−PtあルイハCo−Hf −P t
  などのコバルトおよび白金を含む金属磁性媒体4が
スパッタリング、メッキ。
真空蒸着又はイオングレーティング法により被覆される
。塗布膜3の上に被覆された上記媒体4は保磁力(Hc
)500〜1700oe (エルステッド)。
飽和磁束密度(Bs)15000〜3000G(ガウス
)。
角形比08〜0.97の範囲の侵れたヒステリシス特性
を示す。さらに塗布膜3は表面粗さを小さくする効果が
有り、例えば200Aの表面粗さを有する非磁性金属層
2の上に塗布された塗布ノ莫3の表面粗さは50X以下
になシ、該塗布膜3上に被覆される媒体4の均−性特に
生Nを向上させる効果をもたらす。
金属磁性媒体4の上に被覆される保腹膜は硬質であるこ
とが好ましく、オスミウム、ルテニウム。
イリジウム、マンガン、タングステン等の金属あるいは
ケイ素、チタン、タンタルまたはハフニウムの酸化物、
窒化物または炭化物あるいはホウ素。
炭素あるいはホ!7素と炭素の合金あるいはダイアモン
ド状カーボンあるいはポリ珪酸が望捷しい。
さらに保護膜4の上にR−G(RはC数10〜40の飽
和又は不飽和炭化水素又はふっ素化炭化水素5GはC0
OH、OR、NH,、C0OR’ 、 S i (01
尤′)3゜C0NH,などの官能基)からなる潤滑剤わ
るいはふっ素化アルキルポリエーテル、ポリテトラフロ
ロエチレンテロマー等の潤滑剤を塗布することも出来る
次にいくつかの実施例をあげて本発明を説明する。
実施例1゜ 金属基盤1として旋盤加工および熱矯正によって十分小
さなうねシ(円周方向で50μm以下および半径方向で
10μm以下)を有する面に仕上げられたディスク状ア
ルミニウム合金盤上に非磁性合金2としてニッケルー燐
合金を約50μmの厚さにめっきし、このニッケルー燐
めっき腺を最大表面粗さ002μm、厚さ30μmまで
鏡面研磨仕上げした。
次に、このニッケルー燐めっきノ模2上にテトラヒドロ
キシシランの2.5重量スのnブチルアルコール溶液を
スピン塗布し、ポリ珪酸の01μm厚の塗布膜3を被覆
する。さらに該塗布膜3の上に金属薄膜媒体4としてc
o、、1lPtas薄膜がスパッタリングによシ膜厚5
00Aで被覆され該媒体上に保護膜5としてS to、
が200Xの膜厚でスパッタリングによる被覆して磁気
ディスクを作った。
実施例2 実施例1と同様にして、但し塗布膜3としてポリイミド
のnメチルピロリドン2.0重量ズ溶液をスピン塗布に
より被覆して磁気ディスクを作った。
実施例3゜ 実施例1と同様にして但し塗布膜3としてポリアミドイ
ミドOnメチルピロリドン2.0重量メ溶液をスピン塗
布によシ被覆して磁気ディスクを作った。
実施例4、 実施例1と同様にして但し塗布膜3としてラダー型ポリ
シロキサンの1.5重量メメチルセロンルブ溶液をスピ
ン塗布によシ被覆して磁気ディスクを作った。
実施例5゜ 実施例1と同様にして但し非磁性金属酸化物層2として
アルマイトを被覆して磁気ディスクを作った。
Co−Ni−Pt  を用いて磁気ディスクを作った。
実施例7゜ 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体4としてCo−
8t−Pt  を用いて磁気ディスクを作った。
実施例8゜ 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体4としてCo 
−G e −P t  を用いて磁気ディスクを作った
実施例9 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体4としてCo 
−Mo −P t  を用いて磁気ディスクを作った。
実施例10゜ 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体4としてCo−
V−P’tを用いて磁気ディスクを作った。
実施例11 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体4としてCo−
Cr−Pt  を用いて磁気ディスクを作った。
実施例12゜ 実施例1と同様にして但し保護膜5としてテトラヒドロ
キシシラン2.41址スインプロピルアルコール溶液を
スピン塗布して被覆したポリ珪酸を用いて磁気ディスク
を作った。
実施例13゜ 実施例1と同様にして但し保護膜5としてタングステン
をスパッタリングによシ被榎して磁気ナイスクを作った
以上実施例1〜13で示した磁気ディスクを用いて電磁
変換特性およびヘッドとの摩耗試験および環境試験を行
なった結果、次の特性を得た。
電磁変換特性については実施例1〜13のディスクにつ
いて4Q000〜80,0OOFRPIの記録密度が得
られた。
ヘッドとの摩耗試験は2万回のコンタクトスタートスト
ップテストを行なったところ、ディスク表面に傷は全く
見られなかった。又、温度80℃。
相対湿度90ズで6t月放置する環境試験を行なったと
ころ、実施例1〜13についてはエラーの増加数は全て
Oであった。また、塗布膜を介さないで直接非磁性金満
層上に金属族媒体を被覆した場合に比ベル衣は5a改善
された。
以上の結果から本発明の磁気記憶体は優れた耐食性(耐
環境性)及び耐摩耗性及び高記録密度特性を有している
ことが判った。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の磁気記憶体の一実施例の部分断面図である
。 図中、1は金属基盤、2は非磁性合金層、3は塗布膜、
4はコバルト及び白金を含む金属薄膜媒体、5は保護膜
である。 代理人ヂ―−シ:711  ワ  碧

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)金属基盤上に艶面研磨された非磁性金属層又は非
    磁性金属酸化物層が被覆され、さらにこの上に塗布膜を
    介してコバルト及び白金を含む金属薄膜媒体が被覆され
    、該媒体上に保護膜が被覆されてなる構造を有すること
    を特徴とする磁気記憶体。
  2. (2)非磁性金属層がニッケルー燐合金である特許請求
    の範囲第1項記載の磁気記憶体。
  3. (3)非磁性金属酸化物層が酸化アルミニウムである特
    許請求の範囲第1項記載の磁気記憶体。
  4. (4)  コバルト及び白金を含む金属薄膜媒体がCo
    −Pt、Co−Ni−Pt 、Co−W−Pt、Co−
    V−Pt、Co−Cr −Pt 、Co−Re−Pt 
    、Co−8t−Pt 、Co−Ge−Pt 、Co −
    Mo−Pt、Co−Ta−Pt、Co−Ti−Pt、C
    o−Zr−PtあるいはCo −Hf −P t のう
    ちのいづれかである特許請求の範囲第1項記載の磁気記
    憶体。
  5. (5)*布膜がポリ珪酸である特許請求の範囲第1項記
    載の磁気記憶体。
  6. (6)塗布膜がポリイミド、ラダー型ポリシロキサン又
    はポリアミドイミド又はそれらの組合せである特許請求
    の範囲第1項記載の磁気記憶体。
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