JPS59173279A - 過酸化水素、金属イオンおよび弗化水素酸を含有する溶液の安定性を改善する方法 - Google Patents
過酸化水素、金属イオンおよび弗化水素酸を含有する溶液の安定性を改善する方法Info
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- JPS59173279A JPS59173279A JP59000360A JP36084A JPS59173279A JP S59173279 A JPS59173279 A JP S59173279A JP 59000360 A JP59000360 A JP 59000360A JP 36084 A JP36084 A JP 36084A JP S59173279 A JPS59173279 A JP S59173279A
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- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は過酸化水素、弗化水素酸および金属イオンを含
有する水溶液(この溶液中の弗化水素酸は部分的に塩の
形であり得る)の安定化に関する・かかる水溶液は、特
に、ステンレス スチールの洗浄および化学的研磨のご
とき金属の表面処理に使用される。
有する水溶液(この溶液中の弗化水素酸は部分的に塩の
形であり得る)の安定化に関する・かかる水溶液は、特
に、ステンレス スチールの洗浄および化学的研磨のご
とき金属の表面処理に使用される。
これらの水溶液は、その中に含有されている金屑イオン
が過酸化水素の分解を促進するため、その使用中、例え
ば金属の表面処理に使用する場合およびこの溶液を放置
した場合のいずれの場合にも不安定である。
が過酸化水素の分解を促進するため、その使用中、例え
ば金属の表面処理に使用する場合およびこの溶液を放置
した場合のいずれの場合にも不安定である。
この種の溶液中の過酸化水素の分解速度を低減させるた
めの方法はすでに提案されている。
めの方法はすでに提案されている。
例えば英国特許第1,164.347号明細書では弗化
水素酸を含有するかつ鋪およびその合金の化学的研磨に
使用する過酸化水素水溶液に1種またはそれ以上の飽和
脂肪族アルコールを添加することが提案されている。
水素酸を含有するかつ鋪およびその合金の化学的研磨に
使用する過酸化水素水溶液に1種またはそれ以上の飽和
脂肪族アルコールを添加することが提案されている。
米国特許第3.537.926号明細書においては鉄合
金の研磨に使用される、過酸化水素とアンモニウム ビ
フルオライド、 NT(4,F、HFとを含有する水
溶液に安息香酸のごとき芳香族カルボン酸またはジカル
ボン酸を添加することが提案されている。
金の研磨に使用される、過酸化水素とアンモニウム ビ
フルオライド、 NT(4,F、HFとを含有する水
溶液に安息香酸のごとき芳香族カルボン酸またはジカル
ボン酸を添加することが提案されている。
特開昭48−52638号公報では弗化水素酸またはそ
の塩を含有するかつ鉄および鋼の研磨に使用される過酸
化水素水溶液に尿素または無機酸を添加することが提案
されている。
の塩を含有するかつ鉄および鋼の研磨に使用される過酸
化水素水溶液に尿素または無機酸を添加することが提案
されている。
過酸化水素と遊離のまたはアンモニウム ビフルオライ
ドのごとき部分的に塩の形の弗化水素酸と金属イオンと
を含有する溶液の安定性を改善するための上記の方法は
その経済性が好ましいものではないという欠点あるいは
環境に対して有害を影響をおよぼすという欠点を有する
O 本発明はこれらの欠点を除去するものであり、従って本
発明によれば、過酸化水素、金属イオンおよび部分的に
塩の形であシ得る弗化水素酸を含有する溶液の安定性を
改善する方法において、上記溶液に水酸化ナトリウム、
水酸化カリウムおよび水酸化アンモニウムのごときアル
カリ金属水11!化物および水酸化アンモニウムから選
ばれた水酸化物の少なくとも1種を、溶液中に存在する
酸の全てを中和するのに十分な量添加することを特徴と
する、過酸化水素、金属イオンおよび弗化水素酸を含有
する溶液の安定性を改善する方法が提案される。
ドのごとき部分的に塩の形の弗化水素酸と金属イオンと
を含有する溶液の安定性を改善するための上記の方法は
その経済性が好ましいものではないという欠点あるいは
環境に対して有害を影響をおよぼすという欠点を有する
O 本発明はこれらの欠点を除去するものであり、従って本
発明によれば、過酸化水素、金属イオンおよび部分的に
塩の形であシ得る弗化水素酸を含有する溶液の安定性を
改善する方法において、上記溶液に水酸化ナトリウム、
水酸化カリウムおよび水酸化アンモニウムのごときアル
カリ金属水11!化物および水酸化アンモニウムから選
ばれた水酸化物の少なくとも1種を、溶液中に存在する
酸の全てを中和するのに十分な量添加することを特徴と
する、過酸化水素、金属イオンおよび弗化水素酸を含有
する溶液の安定性を改善する方法が提案される。
かかる水酸化物の添加により安定化効果が得られるとい
うことは驚くべきことである・実際、アルカリ金属水酸
化物または水酸化アンモニウムはそれ自体、過酸化水素
の分解のための触媒として知られていたものである。更
に本発明により達成される安定化の程度は、アルカリ金
属水酸化物または水M化アンモニウムが弗化水素酸との
反応により、金属イオンと錯体を形成する性質を有する
ことが知られている弗化物に転化されるということを仮
定した場合に予期され得るものより著しく大きい。
うことは驚くべきことである・実際、アルカリ金属水酸
化物または水酸化アンモニウムはそれ自体、過酸化水素
の分解のための触媒として知られていたものである。更
に本発明により達成される安定化の程度は、アルカリ金
属水酸化物または水M化アンモニウムが弗化水素酸との
反応により、金属イオンと錯体を形成する性質を有する
ことが知られている弗化物に転化されるということを仮
定した場合に予期され得るものより著しく大きい。
上記水酸化物の添加量は、通常、過酸化水素を含有する
水溶液1を当り01〜2.0モル、好ましくは0.2〜
1,0、モルである。
水溶液1を当り01〜2.0モル、好ましくは0.2〜
1,0、モルである。
本発明の方法を適用し得る水溶液中のj+%酸化水素と
弗化水素酸の濃度は、これらの2種の成分を含有するか
つ金属の表面処理に使用される水溶液について通常の濃
度である。通常、かかる溶液中の過酸化水素の濃度は1
を当−リ5〜l502でめり、遊離のまたは部分的に塩
の形で結合している弗化水素酸の濃度は、全弗素として
表わして、lt当り382以上である◇ 以下に本発明の実幡例を示す・ 実施例1 1を当り、209の過酸化水素、全体で73.22弗素
に相当する量の弗化水素酸、全体r:2q、32の鉄、
全体−〇5.98Fのクロム、全体で0.132のマン
カン、全体で0.07fのニンケルおよび全体で0.0
086 r の銅を含有するかつ260Cで2時間に
亘って測定した過酸化水素の平均分解速度が1分当り、
1を当り0.90ミリモルである水溶液に、溶液1tf
iりのNaOHの濃度が0.44モルとなる量の水酸化
ナトリウムを添加した。
弗化水素酸の濃度は、これらの2種の成分を含有するか
つ金属の表面処理に使用される水溶液について通常の濃
度である。通常、かかる溶液中の過酸化水素の濃度は1
を当−リ5〜l502でめり、遊離のまたは部分的に塩
の形で結合している弗化水素酸の濃度は、全弗素として
表わして、lt当り382以上である◇ 以下に本発明の実幡例を示す・ 実施例1 1を当り、209の過酸化水素、全体で73.22弗素
に相当する量の弗化水素酸、全体r:2q、32の鉄、
全体−〇5.98Fのクロム、全体で0.132のマン
カン、全体で0.07fのニンケルおよび全体で0.0
086 r の銅を含有するかつ260Cで2時間に
亘って測定した過酸化水素の平均分解速度が1分当り、
1を当り0.90ミリモルである水溶液に、溶液1tf
iりのNaOHの濃度が0.44モルとなる量の水酸化
ナトリウムを添加した。
添加後に前記の条件で測定り、 fc過酸化水素の平均
分解速度は1分当り’、lt当り0.48ミリモA・、
すなわち、水酸化すl−IJウムを添加し、ない場合の
約半分であった0 水酸化ナトリウムの代りに同一の七ル量の水酸化カリウ
ムまたは水酸化アンモニウムを使用した場合にも同様の
結果が得られた。
分解速度は1分当り’、lt当り0.48ミリモA・、
すなわち、水酸化すl−IJウムを添加し、ない場合の
約半分であった0 水酸化ナトリウムの代りに同一の七ル量の水酸化カリウ
ムまたは水酸化アンモニウムを使用した場合にも同様の
結果が得られた。
実施例2
実施例Iと同一の溶液に水酸化すl−IJウムを、m
#+ を当りのNa0)I の濃度が0.66モルにな
るように添加した。
#+ を当りのNa0)I の濃度が0.66モルにな
るように添加した。
添加後、実施例1と同一の条件で測定した過酸化水素の
平均分解速度は1分当り、溶1’[l を邑り0.36
ミリモル、すなわち、水酸化す) IJウムを添加しな
い場合の1/2.5であった。
平均分解速度は1分当り、溶1’[l を邑り0.36
ミリモル、すなわち、水酸化す) IJウムを添加しな
い場合の1/2.5であった。
実施例3
実施例1と同一の溶液に水酸化ナトリウムを、溶−に!
i+z当りのNaOHの濃度が0.22モルになるよう
に添加した。
i+z当りのNaOHの濃度が0.22モルになるよう
に添加した。
添加後実施例1と同一の条件で測定した過酸化水素の平
均分解速度は1分当り、溶液1を当り0.56 ミIJ
モル、すなわち、水酸化ナトリウムを添加しない場合の
1/1.6であった□実施例 1を当シ・20?の過酸化水素、全体で104.52の
弗素に相当する量の弗化水素酸、全体で602の鉄、全
体で12.1fのクロム、全体で0.212のマンガン
、全体でO,llfのニッケルおよび全体で0.015
9の銅を含有する、かつ、実施例1と同様にし゛C測定
した過酸化水素の平均分解速度が1分当り、16当り1
.80ミlJモルである水溶液に、溶液1を当りのNa
OHの濃度が0.44モルとなる量の水酸化ナトリウム
を添加した。
均分解速度は1分当り、溶液1を当り0.56 ミIJ
モル、すなわち、水酸化ナトリウムを添加しない場合の
1/1.6であった□実施例 1を当シ・20?の過酸化水素、全体で104.52の
弗素に相当する量の弗化水素酸、全体で602の鉄、全
体で12.1fのクロム、全体で0.212のマンガン
、全体でO,llfのニッケルおよび全体で0.015
9の銅を含有する、かつ、実施例1と同様にし゛C測定
した過酸化水素の平均分解速度が1分当り、16当り1
.80ミlJモルである水溶液に、溶液1を当りのNa
OHの濃度が0.44モルとなる量の水酸化ナトリウム
を添加した。
添加後・実施例1と同一の条件で測定した過酸化水素の
平均分解速度は1分当り、1を当p0.88ミリモル、
すなわち、水酸化ナトリウムを添加しない場合の約半分
であった。
平均分解速度は1分当り、1を当p0.88ミリモル、
すなわち、水酸化ナトリウムを添加しない場合の約半分
であった。
実施例5
実施例4と同一の溶液に水酸化アンモニウムを、溶液I
L当りのNH40Hの濃度が0.96モルになるように
添加した□ 、 除却後、実施9111と同一の条件で測定(7た過酸化
水素の平均分解速度は1分当り、溶液1を当り0.64
ミリモル、すなわち、水酸化アンモニウムを添加しない
場合の約1/3であったO実施例6 実施例4と同一の溶液に水酸化アンモニウムを、溶液1
を当りのNH401(の濃度が0.44モルになるよう
に添加した。実施例4と同一の条件で測定した過酸化水
素の平均分解速度は1分当り、溶液1を当り0.9ミリ
モル、すなわち、水酸化アンモニウムを添加しない場合
の1/2であった0この結果と実施例4の結果とを比較
すると、水酸化ナトリウムと水酸化アンモニウムは実m
[411で述べたごとく、同等の効果を有することが判
る。
L当りのNH40Hの濃度が0.96モルになるように
添加した□ 、 除却後、実施9111と同一の条件で測定(7た過酸化
水素の平均分解速度は1分当り、溶液1を当り0.64
ミリモル、すなわち、水酸化アンモニウムを添加しない
場合の約1/3であったO実施例6 実施例4と同一の溶液に水酸化アンモニウムを、溶液1
を当りのNH401(の濃度が0.44モルになるよう
に添加した。実施例4と同一の条件で測定した過酸化水
素の平均分解速度は1分当り、溶液1を当り0.9ミリ
モル、すなわち、水酸化アンモニウムを添加しない場合
の1/2であった0この結果と実施例4の結果とを比較
すると、水酸化ナトリウムと水酸化アンモニウムは実m
[411で述べたごとく、同等の効果を有することが判
る。
実施例7
実施例4と同一の溶液に弗化ナトリウムを・溶液16当
りのNaFの濃度が0.44モルになるように添加した
。添加後、実施例4と同一の条件で測定した過酸化水素
の平均分解速度は1分当p、溶液1を当り1.1ミリモ
ルでちゃ、従って弗化ナトリウムを添加しない場合のl
/1.64 であるが同一のモル拮の水酸化ナトリウ
ムを添加した場合より1.25倍大きい。
りのNaFの濃度が0.44モルになるように添加した
。添加後、実施例4と同一の条件で測定した過酸化水素
の平均分解速度は1分当p、溶液1を当り1.1ミリモ
ルでちゃ、従って弗化ナトリウムを添加しない場合のl
/1.64 であるが同一のモル拮の水酸化ナトリウ
ムを添加した場合より1.25倍大きい。
実施例8
1を当り2Of’の過酸化水素、遊離の状態または部分
的に塩の形の弗化水素酸に相当する、全体テ112.9
9の弗素(その0.44モルは弗化アンモニウム、NH
4F である)および実K[i 9114と同一の量
の鉄、クロム、マンガン、ニッケルおよヒ銅ヲ含有する
溶液であってかつ前記実施例と同一の方法で測定した過
酸化水素の平均分解速度が1分当り、溶液1を当り1.
2.rIJモルの溶液に、水酸化アンモニウムを1を当
りのNH4OHの濃度が0.44モルになるように添加
した・添加後、実弟例と同一の方法で測定した過酸化水
素の平均分解速度は1分当り、溶液IL当り0.88ミ
リモルであった□この噴は水酸化アンモニウムを添加し
ない場合の約1/1.4である。
的に塩の形の弗化水素酸に相当する、全体テ112.9
9の弗素(その0.44モルは弗化アンモニウム、NH
4F である)および実K[i 9114と同一の量
の鉄、クロム、マンガン、ニッケルおよヒ銅ヲ含有する
溶液であってかつ前記実施例と同一の方法で測定した過
酸化水素の平均分解速度が1分当り、溶液1を当り1.
2.rIJモルの溶液に、水酸化アンモニウムを1を当
りのNH4OHの濃度が0.44モルになるように添加
した・添加後、実弟例と同一の方法で測定した過酸化水
素の平均分解速度は1分当り、溶液IL当り0.88ミ
リモルであった□この噴は水酸化アンモニウムを添加し
ない場合の約1/1.4である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■・ 過酸化水素、金屑イオンおよび部分的に塩の形で
あり得る弗化水素酸を含有する溶液の安定性を改善する
方法において、上記溶液にアルカリ金属水酸化物および
水酸化アンモニウムから選ばれた水酸化物の少なくとも
1種を、溶液中に存在する酸の全てを中和するのに十分
な量添加することを特徴とする、過酸化水素、金属イオ
ンおよび弗化水素酸を含有する溶液の安定性を改善する
方法0 2、水酸化物の液が溶液1を当り、0.1〜2モルであ
る、特許請求の範囲第1項記載の方法。 8、14当り5〜+ 5Ofの濃度の過酸化水素と、全
弗素として表わして、IL当り382以上の濃度の弗化
水素酸とを含有する溶液に前記の水酸化物を特徴する特
許請求の範囲第1項または第2項に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/832,395 US4744211A (en) | 1984-01-06 | 1986-02-24 | Detachable chain and method of producing the same |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8300210A FR2539140A1 (fr) | 1983-01-07 | 1983-01-07 | Stabilisation de solutions aqueuses contenant du peroxyde d'hydrogene, de l'acide fluorhydrique et des ions metalliques |
FR8300210 | 1983-01-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59173279A true JPS59173279A (ja) | 1984-10-01 |
JPS639589B2 JPS639589B2 (ja) | 1988-02-29 |
Family
ID=9284771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59000360A Granted JPS59173279A (ja) | 1983-01-07 | 1984-01-06 | 過酸化水素、金属イオンおよび弗化水素酸を含有する溶液の安定性を改善する方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4545918A (ja) |
EP (1) | EP0115450B1 (ja) |
JP (1) | JPS59173279A (ja) |
KR (1) | KR910009842B1 (ja) |
AT (1) | ATE21269T1 (ja) |
CA (1) | CA1222122A (ja) |
DE (2) | DE115450T1 (ja) |
FR (1) | FR2539140A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4946520A (en) * | 1987-02-02 | 1990-08-07 | Phelps Dodge Industries, Inc. | Copper rod manufactured by casting, hot rolling and chemically shaving and pickling |
US4754803A (en) * | 1987-02-02 | 1988-07-05 | Phelps Dodge Industries, Inc. | Manufacturing copper rod by casting, hot rolling and chemically shaving and pickling |
FR2621052A1 (fr) * | 1987-09-25 | 1989-03-31 | Solvay | Bains et procede pour le polissage chimique de surfaces en cuivre ou en alliage de cuivre |
DE3738651A1 (de) * | 1987-11-13 | 1989-05-24 | Wacker Chemitronic | Verfahren zur hydrophilierenden und/oder kittreste entfernenden oberflaechenbehandlung von siliciumscheiben |
US5052421A (en) * | 1988-07-19 | 1991-10-01 | Henkel Corporation | Treatment of aluminum with non-chrome cleaner/deoxidizer system followed by conversion coating |
ES2033017T3 (es) * | 1988-07-28 | 1993-03-01 | Voest-Alpine Stahl Linz Gmbh | Procedimiento para el tratamiento de chapas de acero cincadas electroliticamente en un lado. |
US5120605A (en) * | 1988-09-23 | 1992-06-09 | Zuel Company, Inc. | Anti-reflective glass surface |
US4944986A (en) * | 1988-09-23 | 1990-07-31 | Zuel Company | Anti-reflective glass surface |
US5035769A (en) * | 1989-10-04 | 1991-07-30 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Nondestructive method for chemically machining crucibles or molds from their enclosed ingots and castings |
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EP0489339B1 (en) * | 1990-11-27 | 1996-04-17 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Brightening chemical polishing solution for hardened steel article and method of using it |
FR2673200A1 (fr) * | 1991-02-25 | 1992-08-28 | Ugine Aciers | Procede de surdecapage de materiaux en acier tels que les aciers inoxydables et les aciers allies. |
US5164018A (en) * | 1992-03-18 | 1992-11-17 | Barcelona Jr Russell L | Water-spot remover containing hydrofluoric acid, ammonium fluoride, and an alcohol |
JPH0647790U (ja) * | 1993-10-01 | 1994-06-28 | 株式会社日本ピスコ | 定流量スピードコントローラ |
EP0989962A4 (en) * | 1997-06-13 | 2005-03-09 | Mattson Technology Ip Inc | PROCESSES FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR WAFERS |
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US20050217707A1 (en) * | 1998-03-13 | 2005-10-06 | Aegerter Brian K | Selective processing of microelectronic workpiece surfaces |
US6248704B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-06-19 | Ekc Technology, Inc. | Compositions for cleaning organic and plasma etched residues for semiconductors devices |
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