JP3387529B2 - 銅および銅合金の化学溶解液 - Google Patents
銅および銅合金の化学溶解液Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/14—Aqueous compositions
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半田、めっき、塗装な
どの表面処理やエッチングによる加工の際に使用する銅
および銅合金の化学溶解液に関する。
どの表面処理やエッチングによる加工の際に使用する銅
および銅合金の化学溶解液に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から銅および銅合金の化学溶解液と
しては塩化第二鉄溶液、塩化第二銅溶液、アンモニアア
ルカリ液、硫酸−過酸化水素混合液などが実用化されて
いる。しかしながら、これらの化学溶解液は強酸や強ア
ルカリを使用するため、取扱いが容易でなく、作業環境
を悪化させるなどの問題点がある。また強酸や強アルカ
リを用いずに銅を溶解させる方法としては、電解法など
の電気化学的手法による方法があるが、設備が複雑にな
るなどのため純粋に化学的に溶解させる方法が望まれて
いる。
しては塩化第二鉄溶液、塩化第二銅溶液、アンモニアア
ルカリ液、硫酸−過酸化水素混合液などが実用化されて
いる。しかしながら、これらの化学溶解液は強酸や強ア
ルカリを使用するため、取扱いが容易でなく、作業環境
を悪化させるなどの問題点がある。また強酸や強アルカ
リを用いずに銅を溶解させる方法としては、電解法など
の電気化学的手法による方法があるが、設備が複雑にな
るなどのため純粋に化学的に溶解させる方法が望まれて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】純粋に化学的に銅およ
び銅合金を溶解させる方法として、特開昭６３−５０４
８７号公報に、スルホキシド化合物と活性ハロゲン化合
物からなる化学溶解液を用いる方法が提案されている
が、この溶解液では銅の溶解速度が常温では遅く、溶解
速度を上げるためには高温度にしなければならないなど
の問題点がある。
び銅合金を溶解させる方法として、特開昭６３−５０４
８７号公報に、スルホキシド化合物と活性ハロゲン化合
物からなる化学溶解液を用いる方法が提案されている
が、この溶解液では銅の溶解速度が常温では遅く、溶解
速度を上げるためには高温度にしなければならないなど
の問題点がある。
【０００４】本発明の目的は、取扱いが容易で作業環境
を悪化させず、中性領域で実用できる溶解速度を有する
銅および銅合金の化学溶解液を提供することにある。
を悪化させず、中性領域で実用できる溶解速度を有する
銅および銅合金の化学溶解液を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、錯形成剤、酸
化剤および鉱酸のアンモニウム塩を含む水溶液からな
り、前記錯形成剤がクエン酸、イミノジ酢酸、酒石酸、
またはそれらのアンモニウム塩、ナトリウム塩、カリウ
ム塩から選ばれた１種以上の物質であり、前記酸化剤が
塩素酸塩類、過塩素酸塩類または過酸化水素から選ばれ
た１種以上の物質であり、前記鉱酸が塩酸、硫酸、硝
酸、リン酸またはフッ酸から選ばれた１種以上の物質で
あり、該水溶液がｐＨ６．０〜７．０に調製されること
を特徴とする銅および銅合金の化学溶解液である。
化剤および鉱酸のアンモニウム塩を含む水溶液からな
り、前記錯形成剤がクエン酸、イミノジ酢酸、酒石酸、
またはそれらのアンモニウム塩、ナトリウム塩、カリウ
ム塩から選ばれた１種以上の物質であり、前記酸化剤が
塩素酸塩類、過塩素酸塩類または過酸化水素から選ばれ
た１種以上の物質であり、前記鉱酸が塩酸、硫酸、硝
酸、リン酸またはフッ酸から選ばれた１種以上の物質で
あり、該水溶液がｐＨ６．０〜７．０に調製されること
を特徴とする銅および銅合金の化学溶解液である。
【０００６】
【０００７】
【０００８】
【０００９】また本発明は、前記水溶液のｐＨの調整を
アンモニアで行うことを特徴とする。
アンモニアで行うことを特徴とする。
【００１０】また本発明は、前記水溶液中に含まれる錯
形成剤の濃度が０．１〜３．０モル／リットルであるこ
とを特徴とする。
形成剤の濃度が０．１〜３．０モル／リットルであるこ
とを特徴とする。
【００１１】また本発明は、前記水溶液中に含まれる酸
化剤の濃度が０．１〜３．０モル／リットルであること
を特徴とする。
化剤の濃度が０．１〜３．０モル／リットルであること
を特徴とする。
【００１２】また本発明は、前記水溶液中に含まれる鉱
酸のアンモニウム塩の濃度が１．０〜８．０モル／リッ
トルであることを特徴とする。
酸のアンモニウム塩の濃度が１．０〜８．０モル／リッ
トルであることを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明に従えば、銅および銅合金の化学溶解液
は、錯形成剤、酸化剤および鉱酸アンモニウム塩を含む
ＰＨが５〜８、好ましくは６〜７の範囲に調整された水
溶液からなる。ＰＨが５以下では銅および銅合金の溶解
速度が遅く、またＰＨが８以上では、アンモニウム塩が
分解しアンモニアが揮散するため、作業環境が悪化す
る。
は、錯形成剤、酸化剤および鉱酸アンモニウム塩を含む
ＰＨが５〜８、好ましくは６〜７の範囲に調整された水
溶液からなる。ＰＨが５以下では銅および銅合金の溶解
速度が遅く、またＰＨが８以上では、アンモニウム塩が
分解しアンモニアが揮散するため、作業環境が悪化す
る。
【００１４】本発明で使用する錯形成剤は分子中にカル
ボキシル基を２個以上含む、オキシカルボン酸またはア
ミノカルボン酸、さらには、それらのアンモニウム塩、
ナトリウム塩、カリウム塩が好ましい。具体的にはクエ
ン酸、酒石酸、リンゴ酸、マロン酸、しゅう酸、こはく
酸等のオキシカルボン酸およびイミノジ酢酸、ニトリロ
三酢酸、エチレンジアミン四酢酸等のアミノカルボン酸
のアンモニウム塩、ナトリウム塩、カリウム塩が挙げら
れる。これらの錯形成剤の該溶解液中の濃度は、０．１
〜３．０モル／リットル（以下ｍｏｌ／Ｌと記す）の範
囲が好ましく、さらに好ましくは０．２〜１．０ｍｏｌ
／Ｌの範囲である。０．１ｍｏｌ／Ｌ以下では銅および
銅合金の溶解速度が遅く、また３．０ｍｏｌ／Ｌ以上で
は該溶解液中での溶解性が限界に近く実用的ではない。
ボキシル基を２個以上含む、オキシカルボン酸またはア
ミノカルボン酸、さらには、それらのアンモニウム塩、
ナトリウム塩、カリウム塩が好ましい。具体的にはクエ
ン酸、酒石酸、リンゴ酸、マロン酸、しゅう酸、こはく
酸等のオキシカルボン酸およびイミノジ酢酸、ニトリロ
三酢酸、エチレンジアミン四酢酸等のアミノカルボン酸
のアンモニウム塩、ナトリウム塩、カリウム塩が挙げら
れる。これらの錯形成剤の該溶解液中の濃度は、０．１
〜３．０モル／リットル（以下ｍｏｌ／Ｌと記す）の範
囲が好ましく、さらに好ましくは０．２〜１．０ｍｏｌ
／Ｌの範囲である。０．１ｍｏｌ／Ｌ以下では銅および
銅合金の溶解速度が遅く、また３．０ｍｏｌ／Ｌ以上で
は該溶解液中での溶解性が限界に近く実用的ではない。
【００１５】本発明で使用する酸化剤は塩素酸塩類，過
硫酸塩類，過酸化水素が好ましい。具体的には、次亜塩
素酸、亜塩素酸、塩素酸、過硫酸等のアンモニウム塩、
ナトリウム塩、カリウム塩および過酸化水素が挙げられ
る。これらの化合物の化学溶解液中での好ましい濃度は
０．１〜３．０ｍｏｌ／Ｌの範囲であり、さらに好まし
くは０．３〜２．０ｍｏｌ／Ｌの範囲である。０．１ｍ
ｏｌ／Ｌ以下では銅および銅合金の溶解速度が遅く、ま
た３．０ｍｏｌ／Ｌ以上では該溶解液中での溶解性が限
界に近く実用的ではない。
硫酸塩類，過酸化水素が好ましい。具体的には、次亜塩
素酸、亜塩素酸、塩素酸、過硫酸等のアンモニウム塩、
ナトリウム塩、カリウム塩および過酸化水素が挙げられ
る。これらの化合物の化学溶解液中での好ましい濃度は
０．１〜３．０ｍｏｌ／Ｌの範囲であり、さらに好まし
くは０．３〜２．０ｍｏｌ／Ｌの範囲である。０．１ｍ
ｏｌ／Ｌ以下では銅および銅合金の溶解速度が遅く、ま
た３．０ｍｏｌ／Ｌ以上では該溶解液中での溶解性が限
界に近く実用的ではない。
【００１６】本発明で使用する鉱酸のアンモニウム塩は
塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、フッ酸などのアンモニウム
塩が好ましい。具体的には塩化アンモニウム、硫酸アン
モニウム、硝酸アンモニウム、リン酸アンモニウム、フ
ッ化アンモニウム等が挙げられる。これらの化合物の化
学溶解液中での好ましい濃度は１．０〜８．０ｍｏｌ／
Ｌの範囲であり、さらに好ましい範囲は２．０〜５．０
ｍｏｌ／Ｌである。１．０ｍｏｌ／Ｌ以下では溶解速度
が遅く、８．０ｍｏｌ／Ｌ以上では該化学溶解液中での
溶解性が限界に近く実用的ではない。
塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、フッ酸などのアンモニウム
塩が好ましい。具体的には塩化アンモニウム、硫酸アン
モニウム、硝酸アンモニウム、リン酸アンモニウム、フ
ッ化アンモニウム等が挙げられる。これらの化合物の化
学溶解液中での好ましい濃度は１．０〜８．０ｍｏｌ／
Ｌの範囲であり、さらに好ましい範囲は２．０〜５．０
ｍｏｌ／Ｌである。１．０ｍｏｌ／Ｌ以下では溶解速度
が遅く、８．０ｍｏｌ／Ｌ以上では該化学溶解液中での
溶解性が限界に近く実用的ではない。
【００１７】本発明で使用されるｐＨ調整剤はアンモニ
アを用いることが好ましく、苛性アルカリでは所望の溶
解速度が得にくい。ここで使用するアンモニアは液体ア
ンモニアからのガスを導入してもよく、アンモニア水で
あってもよい。
アを用いることが好ましく、苛性アルカリでは所望の溶
解速度が得にくい。ここで使用するアンモニアは液体ア
ンモニアからのガスを導入してもよく、アンモニア水で
あってもよい。
【００１８】
【実施例】以下に実施例および比較例を挙げて本発明を
より具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限
定さるものではない。
より具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限
定さるものではない。
【００１９】実施例１〜８
厚さ１ｍｍの銅板（ＪＩＳ Ｈ３１１０ Ｃ１１００Ｐ
１／４Ｈ）の２５ｍｍ×４０ｍｍを試験片とし、錯形
成剤ａを０．５〜１．０ｍｏｌ／Ｌと、酸化剤ｂを０．
６〜１．０ｍｏｌ／Ｌと、鉱酸のアンモニウム塩ｃを
３．０〜４．０ｍｏｌ／Ｌとを含みｐＨを６．５に調整
した化学溶解液２００ｍｌ中に２分間浸漬し、浸漬前後
の重量差から溶解速度を算出した。なお化学溶解液はビ
ーカに入れ撹拌し、このビーカは温度５０℃に設定した
電磁撹拌付きウォーターバス中に入れ、化学溶解液を５
０℃に保った。試験結果を表１に示す。
１／４Ｈ）の２５ｍｍ×４０ｍｍを試験片とし、錯形
成剤ａを０．５〜１．０ｍｏｌ／Ｌと、酸化剤ｂを０．
６〜１．０ｍｏｌ／Ｌと、鉱酸のアンモニウム塩ｃを
３．０〜４．０ｍｏｌ／Ｌとを含みｐＨを６．５に調整
した化学溶解液２００ｍｌ中に２分間浸漬し、浸漬前後
の重量差から溶解速度を算出した。なお化学溶解液はビ
ーカに入れ撹拌し、このビーカは温度５０℃に設定した
電磁撹拌付きウォーターバス中に入れ、化学溶解液を５
０℃に保った。試験結果を表１に示す。
【００２０】比較例１〜６
化学溶解液が表１に示す錯形成剤ａ、酸化剤ｂまたは鉱
酸のアンモニウム塩ｃの一部を欠く他は実施例１〜８と
同じ試験をした。その結果を表１に示す。
酸のアンモニウム塩ｃの一部を欠く他は実施例１〜８と
同じ試験をした。その結果を表１に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】実施例１〜８および比較例１〜６の結果か
ら、錯形成剤、酸化剤または鉱酸のアンモニウム塩の一
部を欠く化学溶解液は、これら３成分を含むものよりも
溶解速度が遅いことが判る。
ら、錯形成剤、酸化剤または鉱酸のアンモニウム塩の一
部を欠く化学溶解液は、これら３成分を含むものよりも
溶解速度が遅いことが判る。
【００２３】実施例９〜１４
化学溶解液が表２に示すように錯形成剤ａを０．１〜
３．０ｍｏｌ／Ｌと、酸化剤ｂを０．６ｍｏｌ／Ｌと鉱
酸アンモニウム塩ｃを６．５ｍｏｌ／Ｌとを含む他は実
施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表２に示す。
３．０ｍｏｌ／Ｌと、酸化剤ｂを０．６ｍｏｌ／Ｌと鉱
酸アンモニウム塩ｃを６．５ｍｏｌ／Ｌとを含む他は実
施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表２に示す。
【００２４】比較例７
化学溶解液の錯形成剤ａの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満
（０．０５ｍｏｌ／Ｌ）である他は実施例９〜１４と同
じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用い、実施例１〜８と
同じ試験をした。その結果を表２に示す。
（０．０５ｍｏｌ／Ｌ）である他は実施例９〜１４と同
じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用い、実施例１〜８と
同じ試験をした。その結果を表２に示す。
【００２５】比較例８〜１０
化学溶解液に錯形成剤ａを用いずその代りに酢酸アンモ
ニウム、プロピオン酸ナトリウムまたはアミノ酢酸を用
いた。他は実施例９〜１４と同じ組成、同じ濃度の化学
溶解液を用い、実施例１〜８と同じ試験をした。その結
果を表２に示す。
ニウム、プロピオン酸ナトリウムまたはアミノ酢酸を用
いた。他は実施例９〜１４と同じ組成、同じ濃度の化学
溶解液を用い、実施例１〜８と同じ試験をした。その結
果を表２に示す。
【００２６】
【表２】
【００２７】実施例９〜１４および比較例７〜１０の結
果から、錯形成剤の濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満のもの
およびこれを加えず代りにモノカルボン酸を加えたもの
は、溶解速度が遅いことが判る。
果から、錯形成剤の濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満のもの
およびこれを加えず代りにモノカルボン酸を加えたもの
は、溶解速度が遅いことが判る。
【００２８】実施例１５〜２０
化学溶解液が表３に示すように錯形成剤ａを１．０ｍｏ
ｌ／Ｌと酸化剤ｂを０．１〜３．０ｍｏｌ／Ｌと鉱酸ア
ンモニウム塩を３．７ｍｏｌ／Ｌとを含む他は実施例１
〜８と同じ試験をした。その結果を表３に示す。
ｌ／Ｌと酸化剤ｂを０．１〜３．０ｍｏｌ／Ｌと鉱酸ア
ンモニウム塩を３．７ｍｏｌ／Ｌとを含む他は実施例１
〜８と同じ試験をした。その結果を表３に示す。
【００２９】比較例１１、１２
化学溶解液の酸化剤ｂの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満
（０．０５ｍｏｌ／Ｌ）である他は実施例１５〜２０と
同じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用い、実施例１〜８
と同じ試験をした。その結果を表３に示す。
（０．０５ｍｏｌ／Ｌ）である他は実施例１５〜２０と
同じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用い、実施例１〜８
と同じ試験をした。その結果を表３に示す。
【００３０】比較例１３、１４
化学溶解液の酸化剤ｂを用いずその代りに、過マンガン
酸カリウムまたはクロム酸カリウムを用いた。他は実施
例１５〜２０と同じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用
い、実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表３に
示す。
酸カリウムまたはクロム酸カリウムを用いた。他は実施
例１５〜２０と同じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用
い、実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表３に
示す。
【００３１】
【表３】
【００３２】実施例１５〜２０および比較例１１〜１４
の結果から、酸化剤の濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満のも
のおよび本発明の酸化剤を加えず代りに一般に用いられ
ている酸化剤を加えたものは、溶解速度が遅いことが判
る。
の結果から、酸化剤の濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満のも
のおよび本発明の酸化剤を加えず代りに一般に用いられ
ている酸化剤を加えたものは、溶解速度が遅いことが判
る。
【００３３】実施例２１〜２５
化学溶解液が表４に示すように錯形成物質ａを１．０ｍ
ｏｌ／Ｌと酸化剤ｂを０．１〜３．０ｍｏｌ／Ｌと鉱酸
アンモニウム塩を１．０〜８．０ｍｏｌ／Ｌとを含む他
は実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表４に示
す。
ｏｌ／Ｌと酸化剤ｂを０．１〜３．０ｍｏｌ／Ｌと鉱酸
アンモニウム塩を１．０〜８．０ｍｏｌ／Ｌとを含む他
は実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表４に示
す。
【００３４】比較例１５，１６
化学溶解液の酸化剤ｂの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満
（０．０５ｍｏｌ／Ｌ）でありまた鉱酸のアンモニウム
塩ｃの濃度が１．０ｍｏｌ／Ｌ未満（０．０５ｍｏｌ／
Ｌ）である他は実施例２１〜２５と同じ組成、同じ濃度
の化学溶解液を用い、実施例１〜８と同じ試験をした。
その結果を表４に示す。
（０．０５ｍｏｌ／Ｌ）でありまた鉱酸のアンモニウム
塩ｃの濃度が１．０ｍｏｌ／Ｌ未満（０．０５ｍｏｌ／
Ｌ）である他は実施例２１〜２５と同じ組成、同じ濃度
の化学溶解液を用い、実施例１〜８と同じ試験をした。
その結果を表４に示す。
【００３５】比較例１７
化学溶解液の鉱酸のアンモニウム塩ｃを用いず、その代
りに塩化ナトリウムを用いた他は実施例２１〜２５と同
じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用い、実施例１〜８と
同じ試験をした。その結果を表４に示す。
りに塩化ナトリウムを用いた他は実施例２１〜２５と同
じ組成、同じ濃度の化学溶解液を用い、実施例１〜８と
同じ試験をした。その結果を表４に示す。
【００３６】
【表４】
【００３７】実施例２１〜２５および比較例１５〜１７
の結果から、鉱酸のアンモニウム塩の濃度が１．０ｍｏ
ｌ／Ｌ未満のものおよびこれを加えず代りにナトリウム
塩を加えたものは溶解速度が遅いことが判る。
の結果から、鉱酸のアンモニウム塩の濃度が１．０ｍｏ
ｌ／Ｌ未満のものおよびこれを加えず代りにナトリウム
塩を加えたものは溶解速度が遅いことが判る。
【００３８】実施例２６〜２９
化学溶解液のｐＨが５．０〜８．０の範囲に調整した他
は実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表５に示
す。
は実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表５に示
す。
【００３９】比較例１８
化学溶解液のｐＨを５．０未満（３．０）に調整した他
は実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表５に示
す。
は実施例１〜８と同じ試験をした。その結果を表５に示
す。
【００４０】
【表５】
【００４１】実施例２６〜２９および比較例１８の結果
から、ｐＨが５．０以下では溶解速度が遅いことが判
る。またｐＨが８．０以上では、鉱酸のアンモニウム塩
が分解揮散し作業環境が悪化した。
から、ｐＨが５．０以下では溶解速度が遅いことが判
る。またｐＨが８．０以上では、鉱酸のアンモニウム塩
が分解揮散し作業環境が悪化した。
【００４２】本実施例は銅板について行ったが、黄銅な
どの銅合金についても同様の結果が得られた。
どの銅合金についても同様の結果が得られた。
【００４３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、錯形成
剤、酸化剤および鉱酸のアンモニウム塩の水溶液をｐＨ
５〜８に調整した化学溶解液を用いることによって、銅
および銅合金の表面処理やエッチング加工が短時間に行
え、併せて作業環境が改善できる。
剤、酸化剤および鉱酸のアンモニウム塩の水溶液をｐＨ
５〜８に調整した化学溶解液を用いることによって、銅
および銅合金の表面処理やエッチング加工が短時間に行
え、併せて作業環境が改善できる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭50−148253（ＪＰ，Ａ)
特開 昭52−22192（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−102581（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−149139（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23F 1/00 - 3/06
Claims (5)
- 【請求項１】 錯形成剤、酸化剤および鉱酸のアンモニ
ウム塩を含む水溶液からなり、前記錯形成剤がクエン
酸、イミノジ酢酸、酒石酸、またはそれらのアンモニウ
ム塩、ナトリウム塩、カリウム塩から選ばれた１種以上
の物質であり、前記酸化剤が塩素酸塩類、過塩素酸塩類
または過酸化水素から選ばれた１種以上の物質であり、
前記鉱酸が塩酸、硫酸、硝酸、リン酸またはフッ酸から
選ばれた１種以上の物質であり、該水溶液がｐＨ６．０
〜７．０に調製されることを特徴とする銅および銅合金
の化学溶解液。 - 【請求項２】 前記水溶液のｐＨの調整をアンモニアで
行うことを特徴とする請求項１記載の銅および銅合金の
化学溶解液。 - 【請求項３】 前記水溶液中に含まれる錯形成剤の濃度
が０．１〜３．０モル／リットルであることを特徴とす
る請求項１記載の銅および銅合金の化学溶解液。 - 【請求項４】 前記水溶液中に含まれる酸化剤の濃度が
０．１〜３．０モル／リットルであることを特徴とする
請求項１記載の銅および銅合金の化学溶解液。 - 【請求項５】 前記水溶液中に含まれる鉱酸のアンモニ
ウム塩の濃度が１．０〜８．０モル／リットルであるこ
とを特徴とする請求項１記載の銅および銅合金の化学溶
解液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26756492A JP3387529B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 銅および銅合金の化学溶解液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26756492A JP3387529B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 銅および銅合金の化学溶解液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06116756A JPH06116756A (ja) | 1994-04-26 |
| JP3387529B2 true JP3387529B2 (ja) | 2003-03-17 |
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ID=17446558
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26756492A Expired - Fee Related JP3387529B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 銅および銅合金の化学溶解液 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3387529B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08162425A (ja) | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置の製造方法および製造装置 |
| US6284309B1 (en) * | 1997-12-19 | 2001-09-04 | Atotech Deutschland Gmbh | Method of producing copper surfaces for improved bonding, compositions used therein and articles made therefrom |
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