JPS59164944A - 分析計器の光学要素支持装置 - Google Patents

分析計器の光学要素支持装置

Info

Publication number
JPS59164944A
JPS59164944A JP58243643A JP24364383A JPS59164944A JP S59164944 A JPS59164944 A JP S59164944A JP 58243643 A JP58243643 A JP 58243643A JP 24364383 A JP24364383 A JP 24364383A JP S59164944 A JPS59164944 A JP S59164944A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical element
support plate
conical
analytical instrument
support device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58243643A
Other languages
English (en)
Inventor
ジヨエル・ピ−・コヴイ
アレン・ジエイ・ザ−ベル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thermo Electron Scientific Instruments LLC
Original Assignee
Nicolet Instrument Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nicolet Instrument Corp filed Critical Nicolet Instrument Corp
Publication of JPS59164944A publication Critical patent/JPS59164944A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/004Manual alignment, e.g. micromanipulators
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1824Manual alignment
    • G02B7/1825Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光学分析計器における光学要素支持装置に関す
る。
光学分析計器は従来技術において知られている。
干渉計は今世紀の初頭より以前から種々の形式で使用さ
れている計器の1つの例である。
干渉計は他の光学分析計器と共に分析放射源及び計器の
光路内に配置された各種の光学要素を有している。光学
要素は反射要素及び屈折要素を備え、そのうちのい(つ
かは少なくとも分析放射の一部分である経路長を変更す
るために光路に沿つて移動される。光学要素の互いの適
正な配置が正しい計器のの動作のために必要とされる。
最近の計器においては、適正な光学要素の配置は、計器
の操作性と対立する計器の感度に大きな影響を与える傾
向がある。しかし、感度は特定の測定に対する計器の用
途d影響を及ぼす。
計器の用途に影響する別の要因は分析放射源の強度であ
る。特に、所望の分析放射源が実際にその出力に限界を
有している時に強度が影響を及ぼす。分析計器における
このような分析放射の限界の1例は、その動作系中に干
渉計を用いている赤外線分光計に関連して挙げることが
できる。このような分光計中に用いられた光学要素の適
正な配置は、実際の放射源により与えられる限界、の範
囲内で計器の感度を最適化する。
本発明の目的は、分析計器によって使用される分析放射
によって動作できる光学要素を支持する改良された装置
を提供することである。本発明は平面反射要素に関して
説明され、かつマイケルソンの干渉計の置屋アーム内の
反射要素に関して使用されるが、しかしその用途はその
光学要素あるいは分析計器に限定されるものではない。
干渉計に関しては、一般に平面状の底部は反射要素の名
目上の所望の位置で計器内に固定されている。支持板は
光学要素を保持しており、その一端は支持板の周囲にこ
の支持板を空間的に再配向できるように底部から隔置さ
れている。2つの点接触装置が別の支持板を底部から調
整可能に隔置しており、また支持板は底部に向かって弾
性的に偏移されている。この点接触を調整することによ
り、支持板つまり光学要素が空間的に再配向される。好
適実施例では、球状ピボットが支持板の一部を隔置する
ため底部から突き出しており、また支持板が球状ピボッ
トの周りを底部に対して回転することを防止する手段が
設けられている。点接触は支持板と底部との間に配置さ
れてお、りかつそれらの澗に点接触を与える円筒及び円
錐部材によって得られる。円錐部材がその主軸に沿って
移動することによって、支持板が底部に対して配向を調
整できる。
以下に図面を参照して本発明の実施例について詳細に説
明する。
第1図は本発明の好適実施例を示す図である。
底部10は板状であって分析計器内に固定されるように
設けられている。板状に図示されているが、この構造は
底部が以下の説明から明らかな理由で計器内に6つの安
定な点を与える限り、必ずしも必要としない。第1図に
平面反射部材11として示されている光学要素は任意の
既知の所望の方法で支持板12に固定されている。例え
ば、光学要素11は支持板12ににかわで付けられてい
る。
光学要素11が屈折要素である場合には、支持板12及
び底部10共に、既知の方法で分析放射の通路を与える
ための開口を備えている。
以下の説明から明らかなように、支持板12は、6つの
位置において支持板12と底部10との間の間隔を制御
することによって底部10に対置て配向される。支持板
の一部は第1図の球状ピボット13により底部10から
隔置されている。球状ピボット16は以下に詳細に説明
される。球状ピボット16の周りの底部10に対する支
持板12の回転は、支持板12の下側及びばね15を支
持している球状部材14により防止される。球状部材1
4及びばね15の一端は底部1oの突起16KI&定さ
れている。球状部材14及びばね15は球状ピボット1
6の周りの自転を防ぎながら、図面の面と垂直な方向に
支持板12と底部1oとの間の相対的な移動を可能にす
る。
球状ピボット16は底部10から支持板12の一部へ一
定間隔を与える。別の支持板の部分と底部との間の調整
間隔は点接触装置17.18により与えられる。以下に
述べる点を除いて、点接触装置17と18とは同じであ
る。このため、1つについてだけ詳細に説明する。
第1図において、一般に円筒形の部材20は支持板12
と底部10との間に支持板12で保持されている。円錐
部材21は親ねじ22によって螺合されており、親ねじ
22は底部10に保持された軸受26により回転可能づ
保持さ□れている。親ねじ22が回転すると、円筒部材
20とこの円筒部材20に接触している円錐部材210
部分との合成した直径がその位置で支持板12と底部1
0との間の間隔を形成しながら、円錐部材21が親ねじ
22に沿って移動する。第2図を参照して説明されるよ
うに、円錐部材21は、親ねじが回転した時にこの親ね
じ22に沿つなその移動を確実にするために親ねじ22
によって回転されることを防止されている。軸受26は
既知のものであり、親ねじ220回転は既知の技術、ス
テップモータ及び本発明の範囲内で好適化されているこ
のようなモータ用の適当な制御装置により実行される。
第2図は第1図の線1−1に沿ってとられた断面図であ
り、本発明を構成する要素のいくつかの間の動作をより
良く示している。第2図に示されているように、球状ピ
ボット16は底部10に固定されここからのびている柱
25から形成されており、更に支持板12の円錐状くぼ
み27に嵌まり込む球状端部26を有している。球状ピ
ボット13は支持板12と底部10との間に既知の間隔
を保持させ、支持板12が底部10に対してピボットし
たり傾いたりすることを可能にする。図示の構成におい
て、球状端部26と円錐状(ぼみ27との間には円形の
接触が行なわれる。
第2図に示すように、円錐部材21は底部10の溝60
内にあり、別の溝62中にのびているピン61を有して
いる。このピン及び溝62は親ねじ22が回転した際の
円錐部材210回転を防止するように機能する。円錐部
材21は親ねじ22により支持されており、この親ねじ
22はそのために十分な剛性を有している。支持板12
はばねろろにより底部10に向けて弾性的に偏移されて
いる。球状ピボット16、点接触装置17及び18の各
々にあるいはこれに隣接して配置されたばね6′5は各
要素間の接触を保持する上で十分なものである。
第6図は円錐部材21、親ねじ22及び底部10の各要
素の間の相互動作、円錐部材20と支持板12との間の
相互作用及び円筒部材20と円錐部材21との間の相互
作用を示す図である。
「■」字溝が支持板12内に設けられ、溝の壁面と円筒
部材20との間に線接触36を与える。円筒部材と円錐
部材21とは点接触67で接触する。
このように、正確な位置関係が円錐部材21、円筒部材
20及び支持板120間に確立され、図示の要素の位置
で支持板12と底部10との間に正確な間隔を与える。
再び、第1図において、点線で示された点接触18は細
長い要素39及び40を含んでいる。要素ろ9及び40
は円筒部材20及び円錐部材21を有している。細長い
部材69は円筒形ある℃・は円錐形のどちらかであり、
要素も他の形状をとる。
円錐部材を円筒部材の主軸を越えてその主軸に沿って駆
動することによって、支持板12と底部10との間の間
隔がそれらの位置で調整される。
明らかに、前述の説明に鑑みて、本発明の多くの修正及
び変形が可罷である。例えば、要素40は一般に親ねじ
22に平行にある親ねじによってその主軸に沿って駆動
される円錐部材である(第1図参照)。しかし、要素4
0は一般に円筒形であり、要素69は円錐形であって親
ねじ22に直角の親ねじによって駆動される。実際、点
接触している円筒部材及び円錐部材は直交しているもの
として説明され図示されているが、それらの動作は底部
10に対する支持板12の角度の再配向の間機構がロッ
クすることを防止するために、互いの主軸が点接触で交
差することだけを必要とする。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の好適実施例の各種の要素の動作を示す
部分断面図、第2図は第1図の線2−2に沿ってとられ
た断面図、第3図は第2図のi3てとられた断面図であ
る。 10:底部、11:平面反射部材、12:支持板、16
:球状ピボット、14:球状部材、15:ばね、16:
突起、17,18:点接触装置、2o:円筒部材、21
:円錐部材、22:親ねじ、26:軸受、26:球状端
部、27:円錐状くぼみ。 −一一二−コ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)分析放射源と、分析計器を通して前記放射の方向
    を決める光学要素とを備え、支持板により保持されてい
    る光学要素を支持しかつ空間的に配向する分析計器の光
    学要素支持装置において、前記計器内に置屋された平面
    状底部手段、前記底部手段から支持板の部分を隔置し、
    一方前記支持板の部分の周りに前記支持板の空間的再配
    向を可能にする手段、 別の支持板の部分を前記底部手段から調整可能に隔置す
    る第1及び第2の点接触手段、及び前記底部手段及び支
    持板を互いの方向に向けて弾性的に偏移する手段、 から成ることを特徴とする分析計器の光学要素支持装置
    。 (2、特許請求の範囲第1項において、前記支持板の部
    分を隔置する手段が、球状ピボット手段と。 該球状ピボット手段の周りに前記底部手段に対して前記
    支持板の回転を防止する手段とを有することを特徴とす
    る分析計器の光学要素支持装置。 (3)特許請求の範囲第2項において、前記点接触手段
    が互いに直交する細長い部材を有し、該部材の各々が主
    軸に沿った断面で円形の接触表面を有し、かつ少なくと
    もそのうちの1つがその主軸に沿って移動可能であるこ
    とを特徴とする分析計器の光学要素支持装置。 (4)特許請求の範囲第1項において、前記点接触手段
    が互いに直□交する細長い部材を有し、該部材の各々が
    主軸に沿って断面で円形の接触表面を有し、かつ少なく
    ともそのうちの1つがその主軸に沿って移動可能である
    ことを特徴とする分析計器の光学要素支持装置。 (5)特許請求の範囲第1項において、前記点接触手段
    がそれぞれ前記底部手段と支持板との間で互いに直交し
    て配置されたん筒手段及び円錐手段から成り周辺で互い
    に接触しており、前記円雌手段がその主軸に沿って前記
    円筒手段に対して移動できることを特徴とする分析計器
    の光学要素支持装置。 (6)特許請求の範囲第5項において、更に、主軸に沿
    って前記円錐手段と螺合する回転可能親ねじ手段と、前
    記親ねじ手段によって前記円錐手段が回転することを防
    止する手段とを有することを特徴とする分析計器の光学
    要素支持装置。 (力 特許請求の範囲第6項において、前記円錐手段の
    主軸が平行であることを特徴とする分析計器の光学要素
    支持装置。 (8)特許請求の範囲第6項において、前記円錐手段の
    主軸が垂直であることを特徴とする分析計器の光学要素
    支持装置。 (9)特許請求の範囲第6項において、前記支持板の部
    分を隔置する手段が、球状ピボット手段と、前記底部手
    段に対する前記球状ピボット手段の周りの前記支持板の
    回転を防止する手段とを有することを特徴とする分析計
    器のの光学要素支持装置。 α0)特許請求の範囲第1項において、前記点接触手段
    が、前記円筒手段と線接触する手段を有する全体に円筒
    形の手段と、前記円筒手段に点接触して前記底部手段と
    円筒手段との間に1持され、円筒手段の主軸を越えてそ
    の主軸に沿って移動できる円錐手段とを有することを特
    徴とする分析計器の光学要素支持装置。 01)特許請求の範囲第10項において、前記支持板の
    部分を隔置する手段が、球状ピボット手段と、前記底部
    手段に対して前記球状ピボット手段の周りの前記支持板
    の回転を防止する手段とを有す石ことを特徴とする分析
    計器の光学要素支持装置。 αり 特許請求の範囲第6項において、主軸に沿って前
    記円錐手段に螺合する回転可能親ねじ手段と、該親ねじ
    手段による前記円錐手段の回転を防止する手段とを有す
    ることを特徴とする分析計器の光学要素支持装置。 (13)  特許請求の範囲第12項において、前記回
    転防止手段が、前記底部手段内の溝手段と、前記円錐手
    段から前記溝手段にのびている手段とを有することを特
    徴とする分析計器の光学要素支持装置。 (14)特許請求の範囲第16項において、前記円錐手
    段の主軸が平行であることを特徴とする分析計器の光学
    要素支持装置。 (15)特許請求の範囲第16項において、前記円錐手
    段の主軸が垂直であることを特徴とする分析計器の光学
    要素支持装置。
JP58243643A 1983-03-03 1983-12-23 分析計器の光学要素支持装置 Pending JPS59164944A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US471733 1983-03-03
US06/471,733 US4573794A (en) 1983-03-03 1983-03-03 Analytical instrument optical element support system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59164944A true JPS59164944A (ja) 1984-09-18

Family

ID=23872785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58243643A Pending JPS59164944A (ja) 1983-03-03 1983-12-23 分析計器の光学要素支持装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4573794A (ja)
JP (1) JPS59164944A (ja)
DE (1) DE3341055A1 (ja)
FR (1) FR2542122A1 (ja)
GB (1) GB2136145A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012527648A (ja) * 2009-05-21 2012-11-08 イーストマン コダック カンパニー 二方向から調節可能な運動力学的なミラーマウント

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4621899A (en) * 1984-04-09 1986-11-11 The Perkin-Elmer Corporation Assembly for positioning an optical element
GB2183864B (en) * 1985-12-02 1989-02-01 Nat Res Dev Roller adjustable devices
US4712444A (en) * 1986-09-16 1987-12-15 Ball Corporation Levered optical mount
US4889613A (en) * 1987-09-11 1989-12-26 Beckman Instruments, Inc. Analytical apparatus, electrode and sample container for use therewith
FR2623916B1 (fr) * 1987-11-30 1991-09-13 Lasag Ag Support pour element optique
EP0316684B1 (fr) * 1987-11-17 1994-02-23 Lasag Ag Support pour élément optique
DE3818261C1 (ja) * 1988-05-28 1989-11-09 Aeg-Elotherm Gmbh, 5630 Remscheid, De
US4883356A (en) * 1988-09-13 1989-11-28 The Perkin-Elmer Corporation Spectrometer detector mounting assembly
US4925288A (en) * 1989-05-23 1990-05-15 Coherent, Inc. Adjustable mirror mount
US4991961A (en) * 1989-05-26 1991-02-12 Nicolet Instrument Corporation Moving mirror tilt adjust mechanism in an interferometer
FR2651025B1 (fr) * 1989-08-18 1991-10-18 Commissariat Energie Atomique Assemblage de pieces faisant un angle entre elles et procede d'obtention de cet assemblage
DE9011381U1 (ja) * 1990-08-03 1990-11-29 Mesacon Gesellschaft Fuer Messtechnik Mbh, 4600 Dortmund, De
GB9201810D0 (en) * 1992-01-28 1992-03-11 Rank Brimar Ltd Positioning mechanism
AU7524196A (en) * 1995-10-30 1997-05-22 Akzo Nobel N.V. Multichannel optical monitoring system with adjustable mirror mounts
DE19943284A1 (de) * 1999-09-10 2001-03-15 Univ Ilmenau Tech Vorrichtung zur Justierung optischer Baugruppen
US6384993B1 (en) 1999-11-03 2002-05-07 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Precisely adjustable optical device having vibration and temperature stability
US7167325B2 (en) * 2004-02-11 2007-01-23 Agilent Technologies, Inc. Flexured athermalized pseudokinematic mount
DE102005060622A1 (de) * 2005-12-19 2007-04-19 Carl Zeiss Smt Ag Montagevorrichtung für eine optische Einrichtung
EP3850412B1 (de) * 2018-09-12 2023-12-06 TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH Optische baugruppe, insbesondere zur polarisation eines laserstrahls, und euv-strahlungserzeugungsvorrichtung damit

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB367860A (en) * 1930-11-26 1932-02-26 Frank Twyman Fine mochanical adjustments
GB715614A (en) * 1951-03-14 1954-09-15 Charles Hugh Bell O B E Improvements in or relating to optical projectors
DE1204932B (de) * 1963-05-25 1965-11-11 Voigtlaender Ag Basisentfernungsmesser mit Schwenkspiegel, insbesondere fuer photographische Kameras
GB1058638A (en) * 1963-11-26 1967-02-15 Hilger & Watts Ltd Improvements in or relating to suspension systems
FR1527738A (fr) * 1966-09-13 1968-06-07 Saint Gobain Raccord électrique pour vitrages chauffants, notamment de véhicules
GB1208779A (en) * 1967-08-09 1970-10-14 Elliott Brothers London Ltd Improvements in and relating to mounting arrangements in lens units
US3565515A (en) * 1967-12-12 1971-02-23 Perkin Elmer Corp Mounts for optical elements
GB1265806A (ja) * 1968-05-31 1972-03-08
US3601476A (en) * 1968-09-16 1971-08-24 Bell Telephone Labor Inc Adjustable optical device
GB1436330A (en) * 1972-08-11 1976-05-19 Secr Defence Mechanical alignement devices
US3897139A (en) * 1974-04-15 1975-07-29 United Aircraft Corp Adjustable mounting apparatus
US4053231A (en) * 1975-12-18 1977-10-11 Nasa Interferometer mirror tilt correcting system
US4088396A (en) * 1976-09-02 1978-05-09 Ardel Kinamatic Optical mount with independently orthogonally adjustable element
DD139174A1 (de) * 1978-10-31 1979-12-12 Lothar Zipfel Justierbare halterung fuer optische bauelemente
US4293112A (en) * 1979-10-29 1981-10-06 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Compact mirror mount

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012527648A (ja) * 2009-05-21 2012-11-08 イーストマン コダック カンパニー 二方向から調節可能な運動力学的なミラーマウント

Also Published As

Publication number Publication date
GB2136145A (en) 1984-09-12
DE3341055A1 (de) 1984-09-06
GB8331872D0 (en) 1984-01-04
FR2542122A1 (fr) 1984-09-07
US4573794A (en) 1986-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59164944A (ja) 分析計器の光学要素支持装置
JPH0249527Y2 (ja)
JPH03103728A (ja) 分光計の可動ミラーの傾斜調節機構
US4090781A (en) Mirror orienting device for a laser levelling instrument
US2579225A (en) Adjustable support for spectrometer reflectors
JPH09229607A (ja) 形状測定機
JP2002244018A (ja) ミラーの距離、角度調整機構
JPH02223844A (ja) 物体ホルダ
US4870272A (en) Transducer adjustment apparatus for shaft encoder
JPS5930888Y2 (ja) 光学系
JP2540604Y2 (ja) 光学素子取付装置
JPH079125Y2 (ja) ミラーホルダー
US4714933A (en) Laser picture-drawing apparatus
JP4119097B2 (ja) 薄円板の支持方法および薄円板の支持構造
JPS631221Y2 (ja)
JPH075361Y2 (ja) 検出ヘッドの取付姿勢調整装置
JP2002244005A (ja) 光学素子支持機構
SU883838A1 (ru) Устройство дл юстировки вогнутого зеркала
JPH07253335A (ja) 光学式変位センサ
JPS5838845A (ja) 彎曲結晶型x線分光器
JP2827729B2 (ja) 赤外線検知器支持装置
JP3928855B2 (ja) 水平ゴニオメータの試料ホルダ回転装置、及びx線装置
JP2942952B2 (ja) 回動体の回動微調整機構、及び回動体の回動微調整装置
JPH045039Y2 (ja)
JPS61116311A (ja) 基線長変更装置