DE3341055A1 - Lagersystem fuer ein optisches element in einem analytischen instrument - Google Patents
Lagersystem fuer ein optisches element in einem analytischen instrumentInfo
- Publication number
- DE3341055A1 DE3341055A1 DE19833341055 DE3341055A DE3341055A1 DE 3341055 A1 DE3341055 A1 DE 3341055A1 DE 19833341055 DE19833341055 DE 19833341055 DE 3341055 A DE3341055 A DE 3341055A DE 3341055 A1 DE3341055 A1 DE 3341055A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- bearing plate
- base
- devices
- storage system
- conical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/004—Manual alignment, e.g. micromanipulators
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Description
Optische analytische Instrumente sind in der Technik bekannt.
Ein Interferometer ist ein Beispiel eines solchen Instruments,
das in verschiedenen Formen seit vor der· Jahrhundertwende in
Gebrauch, ist.
Interferometer, sowie auch andere optische analytische Instrumente, haben eine Quelle einer analytischen Strahlung
und verschiedene optische Elemente, die in dem optischen Weg des Instruments angeordnet sind. Die optischen Elemente können
Reflexions- und Refraktionselemente beinhalten, von denen einige auf dem optischen Weg entlang bewegt werden können,
um die Weglänge wenigstens eines Teils der analytischen Strahlung zu variieren. Für den einwandfreien Betrieb des
Instruments ist die richtige Ausrichtung der optischen Elemente relativ zueinander erforderlich.
Bei modernen Instrumenten neigt die richtige Ausrichtung des optischen Elements dazu, ihre größte Wirkung auf die Empfindlichkeit
des Instruments im Gegensatz zu seiner Betriebsfähigkeit auszuüben. Jedoch kann die Empfindlichkeit die
Anwendung eines Instruments auf eine besondere Messung beeinträchtigen.
Ein weiterer Faktor, der die Anwendung des Instruments beeinträchtigt,
ist die Intensität der analytischen Strahlungsquelle, insbesondere, wenn die Quellen einer erwünschten analytischen
Strahlung praktische Grenzen hinsichtlich ihrer Ausgangsleis
haben. Ein Beispiel einer solchen analytischen Strahlungsbegren
zung innerhalb eines analytischen Instruments findet sich in Verbindung mit einem Infrarotspektrometer, welches in seinem
Betriebssystem ein Interferometer verwendet. "Die richtige Fluchtlage der in einem solchen Spektrometer verwendeten
optischen Elemente optimiert die Empfindlichkeit des Instruments
innerhalb der durch die praktischen Strahlungsquellen auferlegten Grenzen.
Die Erfindung schafft ein verbessertes System zur Lagerung eines optischen Elements, das auf eine in einem analytischen
Instrument verwendete analytische Strahlung einwirken kann. Die Erfindung wird im Zusammenhang mit einem planaren
Reflexionselement beschrieben und ist insbesondere anwendbar
in Verbindung mit dem Reflexionselement innerhalb des
festen Armes eines Interferometers nach Michelson, obwohl ihre Anwendung nicht auf ein solches optisches Element
oder analytisches Instrument begrenzt ist. Im Zusammenhang
mit einem Interferometer ist eine allgemein planare Basis in dem Instrument an einem namentlich gewünschten Platz des
Reflexionselements befestigt. Eine Lagerplatte trägt das optische Element und weist einen von der Basis derart auf
Abstand gehaltenen Abschnitt auf, daß eine räiwnliche Umorientierung
der Lagerplatte um den beabstandeten Lagerplrfctenabschnitt
herum möglich ist. Zwei Punktberührungs-
systeme halten verschiedene Lagerplattenabschnitte einstellbar
von der Basis auf Abstand, während die Lagerplatte elastisch in Richtung auf die Basis beaufschlagt ist. Durch Einstellen
der Punktkontalcte werden die Lagerplatte und somit das von ihr getragene optische Element räumlich umorientiert. In einer
bevorzugten Ausführungsform erstreckt sich ein sphärischer
Zapfen von der Basis fort, um einen Lagerplattenabschnitt
auf Abstand zu halten, während Einrichtungen vorgesehen sind, um eine Drehbewegung der Lagerplatte relativ zu der Basis um"
den sphärischen Zapfen herum zu verhindern. Die Punktkontakte werden durch miteinander zusammenwirkende zylindrische und
konische Körper gebildet, die zwischen der Lagerplatte und der Basis in Stellring gebracht sind und einen Punktkontakt
zwischen sich herstellen. Die Bewegung der konischen Körper auf ihrer Hauptachse entlang gestattet eine Einstellung der
Orientierung der Lagerplatte relativ zu der Basis.
Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise fortgeschritten© Darstellung zur Erläuterung
der Zusammenwirkung der verschiedenen Elemente in einer bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung,
Fig. 2 einen Schnitt nach der Linie 2-2 der Fig. 1, Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie 3-3 der Fig. 2.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit einem Basiskörper 10. Gemäß
der Darstellung ist der Basiskörper 10 in Form einer Platte vorhanden und geeignet, innerhalb eines analytischen Instruments
befestigt zu werden. Obwohl als Platte dargestellt, ist diese Konstruktion nicht erforderlich, solange die Basis aus
Gründen, die aus der folgenden Diskussion ersichtlich werden, drei stabile Punkte in dem Instrument vorsieht. Ein optisches
Element, das als ein planarer Reflexionskörper 11 in den
Figuren gezeigt ist, ist in bekannter Weise beliebig an einer Lagerplatte 12 befestigt. Das optische Element 11 kann beispielsweise
an die Lagerplatte 12 angeleimt sein. Falls das oj. tische Element 11 ein Refraktxons element ist, können sowohl
die Lagerplatte als auch die Basis 10 mit einer Öffnung versehen sein, um den Durchgang einer analytischen Strahlung in
bekannter Weise zu gestatten.
Wie aus der folgenden Beschreibung hervorgeht, wird die Lagerplatte
12 durch Steuerung des Abstandes zwischen der Lagerplatte 12 und der Basis 10 an drei Stellen relativ zu der
Basis 10 orientiert. Ein Lagerplattenabschnitt wird von der Basis 10 durch einen sphärischen Schwenkzapfen, der allgemein
bei 13 in Fig. 1 bezeichnet ist, auf Abstand gehalten; der sphärische Schwenkzapfen wird im folgenden ausführlicher
beschrieben. Der Umlauf der Lagerplatte 13 relativ zu der Basis 10 um den sphärischen Schwenkzapfen 13 herum wird durch
.../10
einen sphärischen Körper 14 verhindert, der die Unterseite der
Platte 12 lagert, und durch eine Feder deren eines Ende und der sphärische Körper 14 an einem von der Basis 10 getragenen
Vorsprung 16 befestigt sind. Der sphärische Körper 1^ und die
Feder 15 lassen, obwohl sie einen Umlauf um den sphärischen.
Schwenkzapfen 13 herum verhindern, eine Relativbewegung
zwischen der Platte 12 und der Basis 10 in Richtungen allgemein lotrecht zur Ebene des Zeichnungsblattes zu.
Der sphärische Schwenkzapfen 13 sieht einen festen Abstand
eines Abschnitts der Platte 12 von der Basis 10 vor. Zwischen verschiedenen Lagerplattenabschnitten und der Basis werden
einstellbare Abstände durch das allgemein bei 17 und 18 gezeigte Punktkontaktsystem vorgesehen. Abgesehen von dan
unten bezeichneten Ausnahmen, können die Punktlcontaktsysteme 17 und 18 identisch sein. Aus diesem Grunde wird nur eines
im einzelnen gezeigt.
Es wird weiterhin auf die Fig. 1 Bezug genommen, in der ein allgemein zylindrischer Körper 20 von der Platte 12 zwischen
diesel" und der Basis 10 getragen wird. Ein konischer Körper 21 wird im Gewindeeingriff von einer Leitspindel 22 erfaßt,
die zum Umlauf durch von der Basis 10 getragene Lager 23 gelagert wird. Beim Umlauf der Leitspindel 22 bewegt sich
der Körper 21 auf der Leitspindel 22 entlang, wobei die zusammengefaßten Durchmesser des zylindrischen Körpers 20
.../11
und, des Abschnitts des leonischen Körpers 21 in Berührung mit
dem zylindrischen Körper 20 den Abstand zwischen der Platte 12 und der Basis 10 bei deren Festlegung bestimmen. "Wie noch
unter Bezugnahme auf Fig. 2 beschrieben wird, wird der konische Körper 21 an einem Umlauf mit der mit Gewinde versehenen Leitspindel
22 gehindert, um bei einer Drehbewegung der Leitspindel seine Bewegung auf der Leitspindel 22 entlang sicherzustellen.
"Die Lager 23 können von jeder beliebigen bekannten Konstruktion
sein und die Drehbewegung der Leitspindel 22 durch beliebige bekannte Techniken erwirkt werden; im Zusammenhang mit der
Erfindung werden Schrittschaltmotoren und geeignete Steuersysteme für solche Motoren bevorzugt.
Fig. 2 zeigt einen Schnitt nach dex- Linie 2-2 der Fig. 1 bei
besserer Darstellung der Zusammenwirlcung zwischen einigen
der einen Teil dieser Erfindung bildenden Elemente. Wie in Fig. 2 gezeigt, besteht der sphärische Schwenkzapfen 13 aus
einer an der Basis IO befestigten und sich von ihr forterstreckenden Stange 23, die mit einem sphärischen Ende 26
in einer konischen Ausnehmung 27 in der Lagerplatte 12 liegt.
Der sphärische Schwenkzapfen 13 sieht einen bekannten Abstand
zwischen der Lagerplatte 12 und der Basis 10 vor und gestattet dabei eine Schwenkbewegung oder Kippbewegung der
Lagerplatte 12 relativ zu der Basis 10. In der dargestellten Form wird zwischen dem sphärischen Ende 26 und der konischen
Ausnehmung 27 ein Kroislinienkontakt gebildet.
.../12
Nach der Darstellung in Fig. 2 liegt der konische Körper 21
innerhalb einer Nut ^O der Basis 10 und erstreckt sich mit
einem Stift 31 in eine weitere Nut 32 hinein, wobei der Stift
31 und die Nut 32 zusammenarbeiten, um beim Drehen der Leitspindel
22 eine Drehbewegung des konischen Körpers 21 zu verhindern. Der konische Körper 21 wird von der Leitspindel 22
gelagert, die für diesen Zweck genügend starr ist. Die Lagerplatte 12 wird in Richtung auf die Basis 10 durch Federn 33
elastisch beaufschlagt, wobei eine an oder im Bereiche jedes der Systeme 13t 17 und 18 angeordnete Feder 33 für ausreichend
gehalten wird, um die hier erörterten Kontakte zwischen den Elementen aufrechtzuerhalten«
Fig. 3 zeigt ferner die Zusammenwirkung zwischen dem konischen
Körper 21, der Leitspindel 22 und den Elementen der Basis 10 sowie auch die Wechselwirkung zwischen dem zylindrischen Körper
20 und der Lagerplatte 12 und dem zylindrischen Körper 20 und
dem konischen Körper 21, In der Lagerplatte 12 ist eine V-förmige Nut vorgesehen, welche bei 36 Linienkontakte zwischen den
Wänden der Nut und dem zylindrischen Körper 20 herstellt. Der
zylindrische Körper und der konische Körper 21 berühren sich in einem bei 37 bezeichneten Punktkontakt. Somit kann zwischen
dem konischen Körper 21, dem zylindrischen Körper 20 und der Lagerplatte 12 eine präzise Beziehung aufgestellt werden, um
bei der. Festlegung der bezeichneten Elemente einen genauen Abstand
zwischen dem Abschnitt der Lagerplatte 12 und der Basis 10 festzulegen.
.../13
Ss wird nun wiederum auf die Fig. 1 Bezug genommen, in welcher
der allgemein bei 18 angegebene und in angedeuteten Linien gezeigte Punktkontakt die länglichen Elemente 39 und 4K) einschließ
Bei den Elementen 39 und hO soll es sich um einen zylindrischen
und einen konischen Körper wie die hier gezeigten und beschriebenen Körper 20 und 21 handeln. Der längliche'Körper 39 kann
entweder zylindrisch oder konisch sein, wobei dann das Element hO die andere Gestalt annimmt. Durch Vorwärtstreiben des
konischen Körpers auf seiner Hauptachse quer über die Hauptachse des zylindrischen Körpers kann der Abstand zwischen der
Lagerplatte 12 und der Basis 10 bei deren Festlegung eingestellt werden.
Et sind offensichtlich im Lichte der obigen Lehren zahlreiche Abwandlungen und Veränderungen der vorliegenden Erfindung möglich.
Es wird bexspielswexse gegenwärtig ins Auge gefaßt, daß das Element 40 ein konischer Körper ist, der durch eine Leitspindel
allgemein parallel zur Leitspindel 23 (siehe Fig. 1)
längs seiner Hauptachse angetrieben wird. Jedoch kann das Element 4o allgemein zylindrisch und das Element 39 konisch sein
und von"einer Leitspindel im rechten ¥inkel zur· Leitspindel 22
angetrieben werden. Zwar sind die zylindrischen und konischen Körper, welche die Punktkontakte bilden, als rechtwinklig
gezeigt und beschrieben, obwohl ihre Zusammenarbeit
es lediglich verlangt, daß sich ihre Hauptachsen zur Bildung eines Punktkontakts überschneiden, um die Neigung der Vor-
.../14
richtung zu taumeln während der Uraorientierung der Lagerplatte 12 im Winkel relativ zu der Basis 10 zu vermindern. Die Erfindung
kann daher selbstverständlich innerhalb der beigefügten Ansprüche auch anderweitig als hier im einzelnen beschrieben
zur Ausführung gelangen.
• *"■ / Ily~·
Claims (13)
1. /Sys
\J
System zur Lagerung und räumlichen Orientierung eines von einer Lagerplatte getragenen optischen Elements in
einem analytischen Instrument mit einer Quelle einer analytischen Strahlung und optischen Elementen zur
Lenkung der Strahlung durch das Instrument, gekennzeichnet
durch eine planare Basis, die in dem Instimment befestigt
ist, von der Basis getragene Einrichtungen zur Beabstandung
eines Lagerplattenabschnitts von der Basis bei Zulassung einer x'äumlichen Umorie:atic!ru.ng der Lagerplatte
Huroponn Patent Attorneys Zugeln-iscnß Vertr«.ter beim RuropfUschen Patentamt
Deutsche Bank AQ Hnmburg, Nr. 03/28497 {131,7. 20070000) · PostaoliecV Hamburg 2842-206
um den Lagerplattenabschnitt herum, erste und zweite Punktkont
akt einrichtungen, welche verschiedene Lagerplattenabschnitte einstellbar von der Basis auf Abstand halten,
sowie Einrichtungen, die die Basis und die Lagerplatte elastisch gegeneinander beaufschlagen.
2. Lagereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtungen zur Beabstandung eines Lagerplattenabschnitts in einem sphärischen Schwenkzapfen bestehen mit
weiteren Einrichtungen zur Verhinderung eines Umlaufs der Lagerplatte relativ zu der Basis um den sphärischen Schwenkzapfen
herum.·
3. Lagersystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Punktkontakteinrichtung langgestreckte Körper enthält, die allgemein rechtwinklig zueinander liegen und jeweils
eine Kontaktfläche aufweisen, die auf ihrer Hauptachse einen kreisförmigen Querschnitt hat, und von denen wenigstens
einer auf seiner Hauptachse beweglich ist.
k, Lagersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Punktkontakteinrichtung langgestreckte Körper enthält, die
allgemein rechtwinklig zueinander sind und je eine Kontaktfläche aufweisen, die auf ihrer Hauptachse von kreisförmigem
Querschnitt ist, und von denen wenigstens einer längs seiner Hauptachse beweglich ist.
5. Lagersystem nach Anspruch. 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Punktkontakteinrichtungen jeweils allgemein zylindrische
Einrichtungen und allgemein konische Einrichtungen enthalten, die allgemein rechtwinklig zueinander zwischen
der Basis und der Lagerplatte angeordnet sind und einander an ihrem Umfang berühren, wobei die konische Einrichtung
relativ zu der zylindrischen Einrichtung auf deren Hauptachse beweglich ist.
6. Lagersystem nach Anspruch 5» gekennzeichnet durch eine
Leitspindel, die die konischen Einrichtungen länge der Hauptachse in einem Gewindeeingriff erfaßt, sowie Einrichtungen
zur Verhinderung eines Umlaufs der konischen Einrichtung mit der Leitspindel.
7. Lagersystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die Hauptachsen der konischen Einrichtung allgemein parallel sind.
8. Lagersystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die Hauptachsen der konischen Einrichtung allgemein lotrecht sind,
9. Lagersystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die Einrichtungen zur Beabstandung eines Lagerplattenabschnitts sphärische Schwenkeinrichtungen sowie Einrich-
tungen zur Verhinderung eines Umlaufs der Lagerplatte relativ zu der Basis um die sphärische Schwenkeinrichtung
herum enthalten«
10. Lagersystem nach Anspruch 1,. dadurch gekennzeichnet, daß
die Punktkontakteinrichtungen jeweils allgemein zylindrische Einrichtungen enthalten und die Lagerplatte
Einrichtungen zur Herbeiführung einer Linienberührung mit der zylindrischen Einrichtung enthält, während
zwischen der Basis und der zylindrischen Einrichtung allgemein konische Einrichtungen in Punktberührung mit
der zylindrischen Einrichtung gelagert und auf ihrer Hauptachse entlang in Querrichtung zur Hauptachse der
zylindrischen Einrichtung, mit welcher sie sich in Punktberührung befinden, beweglich sind.
11. Lagersystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Einrichtung zur Beabstandung eines Lagerplattenabschnitts eine sphärische Schwenkzapfeneinrichtung und
ferner Einrichtungen zur Verhinderung eines Umlaufs der Lagerplatte relativ zu der Basis um den sphärischen
Schwenkzapfen herum aufweist,
12. Lagersystem nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine umlaufende Leitspindel, die die konische Einrichtung auf
ihrer Hauptachse entlang in einem Gewindeeingriff erfaßt,
sowie Einrichtungen zur Verhinderung eines Umlaufs der
konischen Einrichtung mit der Leitspindel.
13. Lager system nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß
die Einrichtungen zur Verhinderung eines Umlaufs Nuteneinrichtungen in der Basis sowie sich von der konischen
Einrichtung in die Nuten hineinerstreckende Einrichtungen enthalten.
1^-. Lagersystem nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß
die Hauptachsen der konischen Einrichtung allgemein parallel sind.
15» Lagersystem nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß
die Hauptachsen der konischen Einrichtung allgemein lotrecht sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/471,733 US4573794A (en) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | Analytical instrument optical element support system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3341055A1 true DE3341055A1 (de) | 1984-09-06 |
Family
ID=23872785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833341055 Withdrawn DE3341055A1 (de) | 1983-03-03 | 1983-11-12 | Lagersystem fuer ein optisches element in einem analytischen instrument |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4573794A (de) |
JP (1) | JPS59164944A (de) |
DE (1) | DE3341055A1 (de) |
FR (1) | FR2542122A1 (de) |
GB (1) | GB2136145A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0344407A1 (de) * | 1988-05-28 | 1989-12-06 | AEG-Elotherm GmbH | Spannvorrichtung |
DE102005060622A1 (de) * | 2005-12-19 | 2007-04-19 | Carl Zeiss Smt Ag | Montagevorrichtung für eine optische Einrichtung |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4621899A (en) * | 1984-04-09 | 1986-11-11 | The Perkin-Elmer Corporation | Assembly for positioning an optical element |
GB2183864B (en) * | 1985-12-02 | 1989-02-01 | Nat Res Dev | Roller adjustable devices |
US4712444A (en) * | 1986-09-16 | 1987-12-15 | Ball Corporation | Levered optical mount |
US4889613A (en) * | 1987-09-11 | 1989-12-26 | Beckman Instruments, Inc. | Analytical apparatus, electrode and sample container for use therewith |
FR2623916B1 (fr) * | 1987-11-30 | 1991-09-13 | Lasag Ag | Support pour element optique |
EP0316684B1 (de) * | 1987-11-17 | 1994-02-23 | Lasag Ag | Träger für ein optisches Element |
US4883356A (en) * | 1988-09-13 | 1989-11-28 | The Perkin-Elmer Corporation | Spectrometer detector mounting assembly |
US4925288A (en) * | 1989-05-23 | 1990-05-15 | Coherent, Inc. | Adjustable mirror mount |
US4991961A (en) * | 1989-05-26 | 1991-02-12 | Nicolet Instrument Corporation | Moving mirror tilt adjust mechanism in an interferometer |
FR2651025B1 (fr) * | 1989-08-18 | 1991-10-18 | Commissariat Energie Atomique | Assemblage de pieces faisant un angle entre elles et procede d'obtention de cet assemblage |
DE9011381U1 (de) * | 1990-08-03 | 1990-11-29 | Mesacon Gesellschaft Fuer Messtechnik Mbh, 4600 Dortmund, De | |
GB9201810D0 (en) * | 1992-01-28 | 1992-03-11 | Rank Brimar Ltd | Positioning mechanism |
AU7524196A (en) * | 1995-10-30 | 1997-05-22 | Akzo Nobel N.V. | Multichannel optical monitoring system with adjustable mirror mounts |
DE19943284A1 (de) * | 1999-09-10 | 2001-03-15 | Univ Ilmenau Tech | Vorrichtung zur Justierung optischer Baugruppen |
US6384993B1 (en) | 1999-11-03 | 2002-05-07 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Precisely adjustable optical device having vibration and temperature stability |
US7167325B2 (en) * | 2004-02-11 | 2007-01-23 | Agilent Technologies, Inc. | Flexured athermalized pseudokinematic mount |
US7992835B2 (en) * | 2009-05-21 | 2011-08-09 | Eastman Kodak Company | Kinematic mirror mount adjustable from two directions |
KR102657845B1 (ko) * | 2018-09-12 | 2024-04-15 | 트럼프 레이저시스템즈 포 세미컨덕터 매뉴팩처링 게엠베하 | 특히 레이저 빔의 편광을 위한, 광학 조립체, 및 이를 구비하는 euv 복사 생성 장치 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB367860A (en) * | 1930-11-26 | 1932-02-26 | Frank Twyman | Fine mochanical adjustments |
GB715614A (en) * | 1951-03-14 | 1954-09-15 | Charles Hugh Bell O B E | Improvements in or relating to optical projectors |
DE1204932B (de) * | 1963-05-25 | 1965-11-11 | Voigtlaender Ag | Basisentfernungsmesser mit Schwenkspiegel, insbesondere fuer photographische Kameras |
GB1058638A (en) * | 1963-11-26 | 1967-02-15 | Hilger & Watts Ltd | Improvements in or relating to suspension systems |
FR1527738A (fr) * | 1966-09-13 | 1968-06-07 | Saint Gobain | Raccord électrique pour vitrages chauffants, notamment de véhicules |
GB1208779A (en) * | 1967-08-09 | 1970-10-14 | Elliott Brothers London Ltd | Improvements in and relating to mounting arrangements in lens units |
US3565515A (en) * | 1967-12-12 | 1971-02-23 | Perkin Elmer Corp | Mounts for optical elements |
GB1265806A (de) * | 1968-05-31 | 1972-03-08 | ||
US3601476A (en) * | 1968-09-16 | 1971-08-24 | Bell Telephone Labor Inc | Adjustable optical device |
GB1436330A (en) * | 1972-08-11 | 1976-05-19 | Secr Defence | Mechanical alignement devices |
US3897139A (en) * | 1974-04-15 | 1975-07-29 | United Aircraft Corp | Adjustable mounting apparatus |
US4053231A (en) * | 1975-12-18 | 1977-10-11 | Nasa | Interferometer mirror tilt correcting system |
US4088396A (en) * | 1976-09-02 | 1978-05-09 | Ardel Kinamatic | Optical mount with independently orthogonally adjustable element |
DD139174A1 (de) * | 1978-10-31 | 1979-12-12 | Lothar Zipfel | Justierbare halterung fuer optische bauelemente |
US4293112A (en) * | 1979-10-29 | 1981-10-06 | Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. | Compact mirror mount |
-
1983
- 1983-03-03 US US06/471,733 patent/US4573794A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-11-12 DE DE19833341055 patent/DE3341055A1/de not_active Withdrawn
- 1983-11-16 FR FR8318228A patent/FR2542122A1/fr not_active Withdrawn
- 1983-11-29 GB GB08331872A patent/GB2136145A/en not_active Withdrawn
- 1983-12-23 JP JP58243643A patent/JPS59164944A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0344407A1 (de) * | 1988-05-28 | 1989-12-06 | AEG-Elotherm GmbH | Spannvorrichtung |
DE102005060622A1 (de) * | 2005-12-19 | 2007-04-19 | Carl Zeiss Smt Ag | Montagevorrichtung für eine optische Einrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8331872D0 (en) | 1984-01-04 |
JPS59164944A (ja) | 1984-09-18 |
US4573794A (en) | 1986-03-04 |
FR2542122A1 (fr) | 1984-09-07 |
GB2136145A (en) | 1984-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3341055A1 (de) | Lagersystem fuer ein optisches element in einem analytischen instrument | |
EP0003244B2 (de) | Anordnung zum Bestimmen von Werkstücken | |
DE2927042A1 (de) | Einrichtung mit veraenderbarer maske fuer eine beleuchtungseinrichtung | |
DE2923563A1 (de) | Ein aus grundelementen aufbaubares optomechanisches system zur bewegung von optischen elementen mit mehreren freiheitsgraden | |
EP0055209B1 (de) | Strahlenumlenkvorrichtung | |
DE3306318C2 (de) | Anordnung zum Positionieren eines optischen Bildes | |
DE2258895A1 (de) | Elektronenblitzgeraet mit selbsttaetiger lichtmengenregelung | |
CH663841A5 (de) | Zahnmesstaster. | |
DE102018122676A1 (de) | Scheinwerfer für Kraftfahrzeuge | |
DE3246359A1 (de) | Justiervorrichtung zur spielfreien verschiebung von objekten in einem koordinatensystem | |
DE3437198A1 (de) | Vorrichtung zum verstellen von richtung und neigung eines scheinwerfers fuer motorfahrzeuge | |
DE112020006596T5 (de) | Rotations-Verstellmechanismus und Scheinwerfervorrichtung | |
DE2906676A1 (de) | Einstellvorrichtung zum in zwei senkrecht aufeinanderstehenden einstellrichtungen einstellen der lage eines optischen oder opto-elektronischen elements | |
DE1772193A1 (de) | Halte- und Zentriervorrichtung | |
DE4229507A1 (de) | Mikromechanischer 3-d-aktor | |
DE2538048C3 (de) | Binokulartubus | |
DE112020006636B4 (de) | Drehungs-Justiermechanismus und Scheinwerfereinrichtung | |
DE3301658A1 (de) | Mechanische einstellvorrichtung | |
DE2506929A1 (de) | Einstellbarer steuernocken | |
EP0307351B1 (de) | Hornantenne für Mikrowellen | |
DE102009049237A1 (de) | Vorrichtung zur Befestigung eines Tragrahmens | |
EP0785880B1 (de) | Vorrichtung zum verstellen eines kraftfahrzeugspiegels | |
DE1127703B (de) | Einstellgetriebe fuer ein Objektiv | |
DE19539581B4 (de) | Universalgelenk mit Feder-Viergelenken | |
DE3024910A1 (de) | Bearbeitungsgeraet zum formen von schleifscheiben |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |