KR102657845B1 - 특히 레이저 빔의 편광을 위한, 광학 조립체, 및 이를 구비하는 euv 복사 생성 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 빔 진입 표면(5a, 6a,...) 및 빔 진출 표면(5b, 6b,...)을 구비하는 복수의 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...) 및 플레이트 형상 광학 요소들(5, 6,...)을 함께 고정하기 위한 홀더(1)를 포함하는, 특히 레이저 빔(30)을 편광시키기 위한, 광학 조립체(23)에 관한 것이다. 적어도 3개의 스페이서(11a, 11b,...)가, 각각의 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...) 사이에, 배열되고, 그러한 스페이서들은 각각, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진출 표면(5a, 6a,...)과의 점 모양 접촉 및 인접한 제2 플레이트 형상 광학 요소(6)의 빔 진입 표면(6b, 7b,...)과의 점 모양 접촉을 위해 구성된다. 본 발명은 또한, 적어도 하나의 그러한 광학 조립체(23)를 갖는 EUV 복사 생성 장치에 관한 것이다.

Description

특히 레이저 빔의 편광을 위한, 광학 조립체, 및 이를 구비하는 EUV 복사 생성 장치
본 발명은, 복수의 플레이트 형상 광학 요소 및 플레이트 형상 광학 요소들을 함께 고정하기 위한 홀더를 포함하는, 특히 레이저 빔을 편광시키기 위한, 광학 조립체에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 적어도 하나의 그러한 광학 조립체를 구비하는 EUV 복사 생성 장치에 관한 것이다.
플레이트 형상 전달 광학 요소가, 레이저 빔이 브루우스터의 각도(Brewster's angle)로 공지되는 각도로 광학 요소의 빔 진입 표면 상에 입사되는 경우, 예를 들어 (예를 들어 편광되지 않은) 레이저 빔의 형태의, 광을 편광시키기 위해 사용될 수 있다. 이 경우, 빔 진입 표면에서 반사되는 복사 성분이, 빔 진입 표면 상의 레이저 빔의 입사 평면에 수직으로, 거의 배타적으로 편광되고(s-편광), 즉, (p-편광된) 그에 수직인 제2 복사 성분에 대한 반사율은, 거의 0이다. 빔 진입 표면에 의해 전달되는 복사 성분은 그에 따라, 일반적으로, 입사 레이저 빔의 입사 평면에 평행한 큰 p-편광된 복사 성분을 갖는다.
레이저 빔을 편광시키기 위한 광학 조립체가, 평면-평행 플레이트들의 형태의 복수의 전달 광학 요소를 구비할 수 있고, 평면-평행 플레이트들은, 서로 평행하며 그리고 각각, 개별적인 평면-평행 플레이트에 의해 투과되는 비교적 작은 s-편광된 복사 성분을 더욱 감소시키기 위해, 입사 레이저 빔에 대해 브루우스터의 각도로 그들의 빔 진입 표면들과 정렬되고, 따라서 편광 장비에서 진출하는 레이저 빔은, 거의 배타적으로 p-편광된다.
그러나, 특히 평면-평행 플레이트들이 서로로부터 비교적 작은 거리에 배열되는 경우에, 건설적 및 파괴적 간섭의 문제점이, 평면-평행 플레이트들의 빔 진입 표면들에서 또는 빔 진출 표면들에서 반사되는 부분적 빔들 사이에 일어난다. 간섭 영향을 방지하기 위해, 빔 경로 내에서 서로 뒤따르는 2개의 플레이트 사이의 거리는, 그에 따라 일반적으로, 반사된 부분적 빔들이 중첩되지 않을 정도로 매우 크게 선택된다. 그러나, 이러한 경우에, 편광 장비는, 상당한 설치 공간을 요구할 수 있을 것이다.
이상에 설명된 간섭 영향을 방지하기 위해, PCT/EP2017/067480에서, 플레이트 형상 광학 요소들의 빔 진입 표면들 및 빔 진출 표면들을 각각의 경우에 적어도 하나의 웨지 각도로 서로에 대해 정렬하는 것이, 제안된다. 이러한 방식으로, 플레이트 형상 광학 요소들은, 서로로부터 가능한 한 가장 작은 거리에 배열될 수 있다. 플레이트 형상 광학 요소들의 웨지 형상에도 불구하고 브루우스터의 조건을 만족시키기 위해, 플레이트 형상 광학 요소들은, 레이저 빔이 계속 빔 진입 표면들 상에서 브루우스터의 각도로 입사되는 방식으로, 서로에 대해 정렬된다(전형적으로 서로에 대해 회전됨). 서로에 대한 사전 결정된 정렬 및 위치로 플레이트 형상 광학 요소들을 수용하기 위해, 홀더로서, 예를 들어 홀더 내에 플레이트 형상 광학 요소들을 고정하기 위해 플레이트 형상 광학 요소들의 측방 둘레부들을 맞물 수 있는 것인, 홀더가, 제공된다.
본 발명은, 플레이트 형상 광학 요소들이 높은 정밀도를 동반하는 가운데 서로에 대해 배치될 수 있는 방식으로 도입 부분에 언급된 유형의 광학 조립체를 개발하는, 그리고 그러한 광학 조립체를 구비하는 EUV 복사 생성 장치를 제공하는, 목적에 기초하게 된다.
제1 양태에 따르면, 이러한 목적은, 적어도 3개의 스페이서가, 특히 적어도 4개의 스페이서가, 각각의 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소 사이에 배열되고, 그러한 스페이서들은, 각각의 경우에, 제1 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진출 표면과의 점 모양 접촉을 위해 그리고 인접한 제2 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면과의 점 모양 접촉을 위해 구성되는 것인, 도입 부분에 언급된 유형의 광학 조립체에 의해 달성된다.
스페이서들은, 점 모양 접촉을 실현하기 위해 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소 사이의 간극 내로 적어도 부분적으로 삽입된다. 플레이트 형상 광학 요소들의 서로에 대한 정확한 각도 방향 배치(각도 정밀도 대략 ± 0.02°)는, 간극 내부에서 적어도 3개의 상이한 위치에 배열되는, 적어도 3개의 스페이서의 개별적인 빔 진입 표면 또는 빔 진출 표면와의 점 모양 접촉으로의 배열의 도움으로 실현된다. 플레이트 형상 광학 요소들의 치수들 또는 기하 형상에 의존하여, 4개의 또는 가능하게는 더 많은 스페이서가, 기계적 안정성을 증가시키기 위해 그리고 기울어짐의 위험을 최소화하기 위해, 3개의 스페이서 대신에 사용되는 경우, 유리할 수 있다. 예를 들어, 4개의 또는 가능하게는 더 많은 스페이서가, 그들의 종방향 변들이 그들의 횡방향 변들의 2배 또는 3배인, 직사각형 플레이트 형상 광학 요소들을 이격시키기 위해 유용할 수 있다.
플레이트 형상 광학 요소들은, 적층 방향 서로 위아래로 적층될 수 있으며 그리고, 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 간극들 내로 삽입되는, 스페이서들에 의해 그들의 상대적인 각도 방향 위치들에서 서로에 대해 정렬될 수 있다. 가장 단순한 경우에, 광학 조립체는, 서로 위아래로 적층되는 2개의 플레이트 형상 광학 요소를 구비하지만, 일반적으로 2개 초과의, 예를 들어 3개, 4개, 5개, 6개, ...의 플레이트 형상 광학 요소가, 레이저 빔을 편광시키기 위해, 서로 위아래로 적층된다. 여기에 설명되는 광학 조립체는, 반드시 레이저 빔의 편광을 위해 사용되어야만 하는 것은 아니며; 대신에, 예를 들어, 플레이트 형상 광학 요소들의 비스듬한 또는 기울어진 정렬이 또한 에탈론(etalon)의 경우에 유용할 수 있기 때문에, 에탈론으로서 역할을 할 수 있다. 에탈론으로 사용될 때, 광학 조립체는 일반적으로, 예를 들어 웨지 형상일 수 있는 간극에 의해 분리되는, 2개의 플레이트 형상 광학 요소를 구비한다. 플레이트 형상 광학 요소들의 웨지 형상 또는 비-평행 정렬에 기인하여, 스페이서 플레이트들 또는 이와 유사한 것의 사용은, 이러한 경우에, 역시 문제가 된다.
이상에 설명된 스페이서들의 사용과 대조적으로, 플레이트 형상 광학 요소들은, 통상적으로 개별적으로 유지되고, 말하자면, 각각의 개별적인 플레이트 형상 광학 요소를 위해, 플레이트 형상 광학 요소를 유지하기 위해, 정밀 가공된 지지 표면 및 스프링 클립들 또는 스프링-예압부여 클램핑 플레이트들을 구비하는, 홀더 또는 마운트가, 제작된다. 각각의 하나에 대한 스프링-클램프에 의한 복수의 플레이트 형상 광학 요소의 그러한 유지는, 서로 표면들을 정렬할 때 고도의 정밀도를 그리고 또한, 스페이서들의 점 모양 접촉에 의해 상당히 감소될 수 있는, 개별적인 클램프들을 위한 상당한 설치 공간을 요구한다.
하나의 실시예에서, 스페이서들은, 개별적인 빔 진입 표면과의 그리고 개별적인 빔 진출 표면과의 점 모양 접촉을 위한, 구형 표면을 구비한다. 구형 표면은, 홀더 내에, 예를 들어 볼 케이지 내에, 느슨하게 유지되는 볼(ball) 상에 형성될 수 있다. 그러한 느슨한 볼들은, 높은 정밀도로 생성될 수 있다. 구형 표면 또는 볼은, 완전한 구를 형성해야만 하는 것은 아니며; 대신에 볼은, 측방으로 절단될 수 있고, 및/또는 샤프트에 부착될 수 있다. 본질적인 것은, 구형 표면이 점 모양 접촉을 실현하기 위해 개별적인 플레이트 형상 광학 요소들에 대해 안착된다는 것이다. 플레이트 형상 광학 요소들의 서로에 대한 각도 방향 위치는, 각각의 경우에, 스페이서들이 생성될 때 정밀하게 설정될 수 있는, 구형 표면의 구 직경에 의존한다. 구형 표면을 사용함에 의해, 이상에 추가로 설명되는 클램핑을 동반하는 경우에서 보다, 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 더 작은 거리가 또한, 달성될 수 있다.
개선예에서, 제1 및 제2 플레이트 형상 광학 요소 사이에 배열되는 적어도 2개의 스페이서의 구형 표면들은, 상이한 구 직경을 갖는다. 플레이트 형상 광학 요소들은 일반적으로 서로에 대해 기울어지고, 즉 이들은 서로 평행하게 정렬되지 않으며, 그 결과, 웨지-형상 간극이, 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소 사이에 형성된다. 플레이트 형상 광학 요소들은 특히, 2개의 공간 평면 내에서 서로에 대해 기울어질 수 있고, 말하자면 이들은, 실제로 임의의 방향으로 비스듬하도록 서로 정렬될 수 있다. 서로에 대해 기울어지는 플레이트 형상 광학 요소들을 적절하게 정렬하기 위해, 일반적으로, 상이한 구 직경을 갖는 스페이서들을 사용하는 것이 필요하다.
개선예에서, 스페이서들은 각각, 구형 표면이 그 위에 형성되는 것인, 볼 헤드(ball head)를 구비하고, 홀더 내에서 개별적인 스페이서를 유지하기 위한 샤프트가, 볼 헤드에 연결된다. 플레이트 형상 광학 요소들의 서로에 대한 기울어진 정렬로 인해, 점 모양 접촉의 횡방향 오프셋이 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 각도를 변경하기 때문에, 적층 방향에 수직인 평면 내에서 가능한 한 정밀하게 구형 표면들을 위치설정하는 것이, 필요하다. 스페이서들의 정밀한 위치설정은, 볼 헤드 및, 충분한 정밀도를 동반하는 가운데 홀더 내에 예를 들어 구멍 또는 이와 유사한 것 내에 유지될 수 있는, 샤프트를 구비하는, 볼 핀들 또는 볼 스터드들의 사용을 통해 가능하다. 대조적으로, 볼 케이지 내에 유지되는 볼들을 사용할 때, 볼들이 볼 케이지 밖으로 낙하할 수 있는 문제점이 존재한다.
개선예에서, 샤프트는, 쇼울더부를 구비하며 그리고, 그의 구형 표면들이 상이한 구 직경을 갖는 적어도 2개의 스페이서의 경우에, 볼 헤드와 쇼울더부 사이의 제1 샤프트 섹션의 직경 및 스페이서의 쇼울더부와 샤프트 단부 사이의 제2 샤프트 섹션의 길이가, 상이한 크기이다. 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 각도를 정확하게 설정하기 위해, 적절한 구 직경을 갖는 스페이서가, 간극 내의 정확한 위치에 또는 홀더 내의 대응하는 구멍에 부착되는 것이, 필요하다. 이는, 단차형 구멍 내로 또는 대응하는 쇼울더부를 구비하는 홀더 내의 구멍 내로 삽입되는, 개별적인 스페이서의 샤프트 상에 쇼울더부를 제공함에 의해 달성될 수 있다. 쇼울더부와 볼 헤드 사이의 제1 샤프트 섹션들의 상이한 직경들을 실현함에 의해 그리고 쇼울더부와 샤프트 단부 사이의 제2 샤프트 섹션들의 상이한 길이들을 실현함에 의해, 모든 스페이서들이 홀더 내의 제자리에 부착되는 것이, 보장될 수 있다(열쇠-잠금 원리).
제1 샤프트 섹션이 다른(제2) 스페이서보다 더 작은 직경을 갖는 제1 스페이서가, 여기서 일반적으로, 제2 스페이서보다 쇼울더부와 샤프트 단부 사이의 더 긴 길이를 갖는 제2 샤프트 섹션을 구비한다. 더 얇은 제1 샤프트 섹션을 구비하는 그러한 제1 스페이서는, 일반적으로, 제2 샤프트 섹션의 더 긴 길이로 인해 샤프트 단부가 구멍 너머로 돌출하기 때문에, 제2 스페이서를 위해 제공되는 홀더 내의 구멍에 부착될 수 없다. 제2 스페이서는, 제1 샤프트 섹션의 더 큰 직경으로 인해, 제1 스페이서를 위해 제공되는 구멍 내로 삽입될 수 없다.
다른 실시예에서, 스페이서들은, 이들이 기울어질 수 있도록 및/또는 변위 가능하도록, 제1 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면에 수직으로 홀더 내에 유지된다. 스페이서들은, 플레이트 형상 광학 요소들의 두께 허용공차를 보상할 수 있도록 하기 위해, 빔 경로 내의 적층된 복수의 광학 요소 중의 제1(예를 들어, 최상부의) 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면에 수직인 방향으로의 이동 자유도를 구비해야 한다. 이를 달성하기 위해, 스페이서들은, 더욱 정확하게 그의 샤프트들은, 빔 진입 표면에 수직인 방향을 따라 비교적 짧은 거리에 걸쳐 변위 가능하게 유지될 수 있다. 변위 가능한 유지가 끼임(jamming)의 위험을 수반하기 때문에, 일반적으로, 스페이서들이, 이들이 기울어질 수 있도록, 유지되는 경우에, 더욱 양호하다. 스페이서들은, 부가적으로, 양자 모두의 경우에, 탄력적으로 장착될 수 있다.
개선예에서, 스페이서의 개별적인 샤프트가, 볼록하게 만곡된 샤프트 단부를 구비하며, 그리고 홀더는, 홀더의 접촉 표면에 대해 샤프트 단부를 압착하기 위한 적어도 하나의 스프링 요소를 포함한다. 이러한 방식으로, 샤프트가, 적층 방향에 평행하게 정렬되거나 또는 제1 빔 진입 표면에 수직으로 정렬되는 힘이 볼 헤드 상에 작용하는 경우에, 구멍에 평행하게 정렬되는 휴지 위치로부터 약간 편향되거나 또는 기울어질 수 있는, 스페이서의 기울어질 수 있는 유지가, 실현될 수 있다. 스프링 요소는, 예를 들어, 그의 2개의 자유단이 샤프트 상의, 예를 들어 제2 샤프트 섹션 상의, 2개의 평행한 홈 내에 맞물리는, 슬릿 형성 판 스프링일 수 있다. 이러한 목적을 위해, 스페이서의 샤프트 또는 샤프트 단부는, 판 스프링이 그 내부에서 연장되거나 또는 가이드되는, 슬롯 내로 돌출할 수 있다. 접촉 표면에 대해 샤프트 단부를 압착하는 것에 부가하여, 판 스프링은, 구멍에 평행하게 정렬되는 기본 위치의 방향으로, 스페이서의 탄력적으로 장착된 샤프트 상에 복원력을 생성할 수 있다.
하나의 실시예에서, 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소는 각각, 서로로부터 3 mm 미만의 최소 거리를 갖는다. 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 최소 거리는, 2개의 대향하여 위치되는 빔 진입 표면들과 빔 진출 표면들의 임의의 2 지점 사이의 최소 거리를 의미하는 것으로 이해된다. 이상에 추가로 설명되는 바와 같이, 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 거리는, 점 모양 접촉으로 인해 매우 작도록 선택될 수 있다. 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 최소 거리는, 스페이서들로서 사용되는 구형 표면들의 (최소) 직경에 의해 결정된다. 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소 사이의 최소 거리는 여기서 통상적으로, 개별적인 스페이서들의 가장 작은 구 직경보다 단지 약간 더 작다.
다른 실시예에서, 플레이트 형상 광학 요소들의 (평면형) 빔 진입 표면들 및 (평면형) 빔 진출 표면들은 각각, 적어도 하나의 웨지 각도로 서로에 대해 정렬된다. 이상에 추가로 설명되는 바와 같이, 간섭 영향을 방지하기 위해 레이저 빔을 편광시키기 위한 광학 조립체를 사용할 때, 개별적인 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면 및 빔 진출 표면이 서로 평행하게 정렬되지 않는 경우, 편리하다. 적어도 하나의 플레이트 형상 광학 요소는, 단지 하나가 아니라 대신에 2개의, 일반적으로 서로 수직인 2개의 평면 내에서 연장되는, 웨지 각도를 구비할 수 있다. 웨지 각도에도 불구하고 플레이트 형상 광학 요소의 개별적인 빔 진입 표면 상에 입사되는 레이저 빔에 대한 브루우스터의 조건을 만족시키기 위해, 플레이트 형상 광학 요소들은, 각 플레이트 형상 광학 요소에 대한 레이저 빔이 브루우스터의 각도로 빔 진입 표면들 상에 입사되는 방식으로, 서로 정렬된다(전형적으로 서로에 대해 회전됨).
다른 실시예에서, 적어도 2개의, 특히 모든, 플레이트 형상 광학 요소 내의, 빔 진입 표면들 및 빔 진출 표면들은, 서로 평행하게 정렬되지 않는다. 플레이트 형상 광학 요소들의 빔 진입 표면들 및 빔 진출 표면들은, 원칙적으로, 공간 내에서 서로에 대해 요구에 따라 배향될 수 있고(비스듬해짐), 즉, 플레이트 형상 광학 요소들은, 빔 진입 표면들이 각각 레이저 빔에 대해 브루우스터의 각도로 정렬되는 것이 보장된다면, 하나 뿐만 아니라 2개의 공간 평면에서, 서로에 대해 기울어지게 배열될 수 있다. 2개의 플레이트 형상 광학 요소 사이의 개별적인 간극이 그에 따라, 일반적으로, 위치에 의존하여 변화하는 간극 폭 또는 웨지 형상을 갖는다. 플레이트 형상 광학 요소들의 비스듬한 정렬이 또한, 간섭 영향을 최소화하기 위해 유리할 수 있다.
다른 실시예에서, 홀더는, 홀더의 본체에 대해 플레이트 형상 광학 요소의 개별적인 측면을 압착하기 위한, 복수의 바를 구비한다. 스페이서들에 대해 안착되며 그리고 적절하게 정렬되는, 유지된 플레이트 형상 광학 요소들은, 개별적인 플레이트 형상 광학 요소를 고정하기 위해, 개별적인 측면에서, 예를 들어 개별적인 종방향 측면에서, 가능하게 스프링-장착 바에 의해, 홀더의 본체에 대해 압착될 수 있다. 플레이트 형상 광학 요소들은, 예를 들어, 대략 5-10 mm 정도의 두께 및 대략 150-170 mm 정도의 종방향 측면을 가질 수 있다. 플레이트 형상 광학 요소들의 횡방향 측면은, 예를 들어, 대략 50 mm 정도의 길이를 가질 수 있다. 본체에 대해 압착하는 플레이트 형상 광학 요소들에 기인하여, 그들의 냉각은, 이하에 설명될 것으로서, 단순화될 수 있다. 이러한 목적을 위해, 개별적인 플레이트 형상 광학 요소의 종방향 측면의 전체 길이를 따라 연장되는 바들에 대한 필요가 없다.
다른 실시예에서, 홀더는, 특히, 냉각 유체가 그를 통해 유동하도록 하기 위한 적어도 하나의 냉각 채널을 갖는, 단일체형 본체를 구비한다. 냉각 유체, 예를 들어 물이, 이러한 목적을 위해 본체에 대해, 통상적으로 냉각 채널의 근처에, 안착되는, 플레이트 형상 광학 요소들을 냉각시키기 위해, 냉각 채널을 통해 유동할 수 있다.
다른 실시예에서, 광학 조립체는, 홀더의 압력 표면에 대해, 스페이서들에 의해 이격되는 복수의 플레이트 형상 광학 요소를 압착하기 위한, 적어도 하나의, 바람직하게 스프링 장착되는, 압착 요소를 포함한다. 인접한 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 간극들 내로 삽입되는 스페이서들에 의해 서로에 대해 정렬되며 그리고 서로 위아래로 적층되는, 복수의 플레이트 형상 광학 요소는, 적어도 하나의 바의 도움으로 압력 표면에 대해 함께, 즉 패키지로서, 압착되며, 그리고 프로세스 중에 클램핑된다. 스페이서들에 대해 이상에 추가로 설명되는 이동의 자유도로 인해, 플레이트 형상 광학 요소들은 단지, 이들이 클램핑된 이후에, 서로에 대한 그들의 상대적인 위치 및 정렬에 관해, 최종적으로 한정된다. 클램핑된 위치에서, 모든 스페이서들은, 사전 결정된 위치에 그리고 개별적인 빔 진입 표면들 또는 빔 진출 표면들에 대한 점 모양 접촉을 동반하는 가운데, 안착된다.
다른 실시예에서, 플레이트 형상 광학 요소들은, 홀더에 접착식으로 접합된다. 접착식 접합은, 더 우수한 열전달 또는 개선된 운송 보호가 요구되는 경우에, 홀더 또는 홀더의 본체와, 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 더 우수한 열전달 그리고 또한 개선된 운송 보호를 가능하게 한다. 플레이트 형상 광학 요소들을 접착식으로 접합하기 위해, 접착제가 그를 통해 적용될 수 있는 구멍들이, 홀더 내에 제공될 수 있다. 접착제를 위한 구멍들은, 예를 들어, 홀더의 접촉 표면에 대해 플레이트 형상 광학 요소들의 개별적인 측면을 압착하는, 바들을 관통할 수 있다. 접착제의 적용을 위한 상응하는 구멍들은 또한, 홀더의 접촉 표면을 따라 형성될 수 있다.
다른 실시예에서, 스페이서들은, 서로에 대해 횡방향 오프셋을 갖도록 상이한 플레이트 형상 광학 요소들 사이에서 홀더 내에 배열되고, 즉 스페이서들은, 빔 경로 내에서 제1 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면에 수직인 방향에 대해 횡방향으로 오프셋된다. 상응하게, 플레이트 형상 광학 요소들은, 직접적으로 위아래로 배열될 수 없지만, 대신에 횡방향 오프셋을 갖는 홀더 내에 부착 또는 고정된다.
특히 플레이트 형상 광학 요소들이 2개의 공간 평면 내에서 서로에 대해 기울어지는 경우에, 개별적인 구 직경이, 극단적인 경우에 각 스페이서에 대해, 즉 상이한 유형의 스페이서에 대해, 요구된다. 스페이서들의 상이한 유형들의 가짓수를 가능한 한 많이 최소화하기 위해, 제1 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면에 평행한 평면 내에서의 스페이서들의 및/또는 플레이트 형상 광학 요소들 자체의 위치들을 횡방향으로 오프셋시키는 것이, 편리할 수 있다. 예를 들어, 6개의 플레이트 형상 광학 요소 및 상응하게, 각각의 경우 4개의 스페이서를 갖는, 플레이트 형상 광학 요소들 사이의 5개의 간극을 구비하는, 광학 조립체의 경우에, 총 20개의 스페이서가, 요구된다. 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소 사이의 개별적인 거리의 적절한 (개별적인) 선택과 더불어 그리고 빔 진입 표면 또는 빔 진출 표면을 따르는 스페이서들의 위치들에 대한 적절한 선택과 더불어, 스페이서들의 상이한 유형들의 가짓수를 전체적으로 6개로 감소시키는 것이 가능하다.
본 발명의 다른 양태가, 레이저 빔을 생성하기 위한 드라이버 레이저 장치, 표적 재료가 그 내부에 배열될 수 있는 진공 챔버, 레이저 빔을 드라이버 레이저 장치로부터 표적 재료로 가이드하기 위한 빔 가이드 장치, 및, 레이저 빔의 (선형) 편광을 위해 및/또는 광학적 절연체로서 역할을 하는, 이상에 추가로 설명된 바와 같은, 광학 조립체를 포함하는, EUV 복사 생성 장치에 관련된다. 빔 가이드 장치는, 표적 구역 내로 레이저 빔을 초점 조정하기 위해 역할을 하는, 초점 조정 요소로 또는 초점 조정 장비로, 레이저 빔을 가이드한다. 표적 구역 내에, 레이저 빔이 조사될 때, 플라즈마 상태로 전이되며 그리고 프로세스 중에 EUV 복사를 방출하는, 표적 재료(예를 들어, 주석)가, 제공된다. 레이저 빔을 편광시키기 위해 사용되는 광학 조립체의 경우에, 개별적인 플레이트 형상 광학 요소의 빔 진입 표면은, 입사 레이저 빔에 대해 브루우스터의 각도로 정렬된다. 이러한 적용의 목적을 위해, "브루우스터의 각도(αB)로의" 입사는, 대략 +/- 0.5°의 크기 정도의 브루우스터의 각도(αB)로부터의 편차를 동반하는, 레이저 빔의 입사를 의미하는 것으로 이해되고, 즉 각도 αB +/- 0.5°는, 또한 용어 "브루우스터의 각도로" 하에 속한다.
하나의 실시예에서, EUV 복사 생성 장치는, 광학 조립체와 표적 재료 사이에 배열되는, 위상 이동 장치를 구비하고, 위상 이동 장치는, 표적 재료에서 반사되며 그리고 그의 편광 방향이 표적 재료로 전파하는 레이저 빔의 편광 방향에 수직으로 정렬되는, 레이저 빔을 형성하도록 구성된다. 이러한 경우에, 레이저 빔의 편광 방향은, 위상 이동 장치에서 총 90°에 걸쳐 회전되고, 그 결과, 광학 조립체 상에 다시 입사되며 그리고 표적 재료에 의해 다시 반사되는 레이저 빔의 편광 방향은, 표적 재료로 전파하는 레이저 빔의 편광 방향에 수직으로 정렬된다.
위상 이동 장치는, 예를 들어, 레이저 빔이 전진 방향으로 그를 통해 통과할 때 그리고 레이저 빔이 후진 방향으로 그를 통해 통과할 때 λ/4의 경로 차를 생성하여, 전체적으로 λ/2의 경로 차 및 그에 따라 90°에 걸친 편광 방향의 회전을 야기하는, 위상 이동 거울일 수 있다. 편광 방향을 회전함에 의해, 다시 반사되는 레이저 빔은, 광학 조립체에 의해 편향되고, 더욱 정확하게 개별적인 플레이트 형상 광학 요소들에서 반사되며, 그 결과 레이저 빔은, 더 이상 빔 공급원으로 복귀할 수 없으며 그리고 광학 조립체는 그에 따라, 광학적 절연체로서 작용한다.
본 발명의 추가적 이점들이, 설명 및 도면으로부터 명백하다. 이상에 언급된 특징들 및 이하에 추가로 언급되는 특징들은 마찬가지로, 각각의 경우에 그 자체로 또는 임의의 요구되는 조합으로 채택될 수 있다. 도시되고 설명되는 실시예들은, 총망라한 목록인 것으로 이해되어서는 안되며, 대신에 본 발명을 예시할 목적을 위한 예시적인 본성을 갖는 것으로 이해되어야 한다.
도면에서:
도 1은 광학 조립체의 6개의 플레이트 형상 광학 요소를 위한 홀더의 본체에 대한 개략적 도면을 도시하고,
도 2a는, 4개의 스페이서의 볼 헤드들 상에 또는 볼 헤드들에 대해 점 모양 방식으로 안착하는 플레이트 형상 광학 요소를 갖는, 도 1로부터의 본체의 개략적 단면도를 도를 도시하며,
도 2b는, 개별적인 구멍 내로 삽입되는 4개의 스페이서를 갖는, 도 2a로부터의 A-A 단면선을 따르는 개략적 단면도를 도시하고,
도 3은, 쇼울더부를 구비하는, 샤프트를 갖는 볼 핀의 형태의 스페이서에 대한 개략도를 도시하며,
도 4는, 판 스프링들을 갖도록 제공되는, 슬롯들이 그 내부에 형성된, 본체의 커버 플레이트에 대한 개략적 평면도를 도시하고,
도 5는, 스페이서들에 의해 서로 분리되는 6개의 플레이트 형상 광학 요소가 홀더 내에 배열되는, 광학 조립체의 개략적 단면도를 도시하며,
도 6은, 적층된 플레이트 형상 광학 요소들을 홀더의 압력 표면에 대해 압착하기 위한, 스프링-장착 바를 동반하는 도 5에 유사한 개략적 단면도를 도시하고,
도 7은 도 6으로부터의 광학 조립체의 사시도를 도시하며, 그리고
도 8은, 광학적 절연체로서 사용되는, 도 7에 따른 광학 조립체를 구비하는 EUV 복사 생성 장치를 도시한다.
도면들에 대한 뒤따르는 설명에서, 동일한 참조 부호들이, 동일한 구성요소들에 대해 또는 동일한 기능을 갖는 구성요소들에 대해 사용된다.
도 1은 복수의 플레이트 형상 광학 요소(도 1에 도시되지 않음)를 위한 홀더(1)를 도시한다. 홀더(1)는, 2개의 상호 대향하는 측면 상의 베이스 플레이트(3) 및 커버 플레이트(4)를 구비하며 그리고 프레임의 방식으로 구성되는, 실질적으로 직육면체형의 본체(2)를 구비한다. 도 2a는, 평면형 빔 진입 표면(5a) 및 평면형 빔 진출 표면(5b)을 구비하는, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)를 동반하는 본체(2)를 통한 단면도를 도시한다. 빔 진출 표면(5b)은, 대략 0.5°인 웨지 각도(γ)로 빔 진입 표면(5a)에 대해 정렬된다. 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 끝단면으로부터 진출하는 복사를 흡수하는 역할을 하는, 빔 포획체(2a)가, 본체(2) 내에 느슨하게 배치된다. 본체(2) 상에서의 열적 영향을 최소화하기 위해, 빔 포획체(2a)는, 본체(2)에 직접적으로 연결되지 않으며 그리고 별도로 냉각된다.
빔 포획체(2a)가 배치된 이후에, 도 2a에 도시된 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)는, 홀더(1) 내에 조립된다. 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)는 여기서, 그의 빔 진출 표면(5b)으로, 도 2b에 도시되는 4개의 스페이서(11a-d) 상에, 점 모양 방식으로 안착된다. 도 2b에서 그리고 특히 도 3에서 확인될 수 있는 바와 같이, 스페이서들(11a-d)은 각각, 둘레 구형 표면(12a)을 구비하고, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진출 표면(5b)과의 점 모양 접촉을 위해 사용되는, 볼 헤드(12)를 구비한다. 제1 광학 요소(5)와 인접한 광학 요소 사이의 거리 또는 간극의 폭은, 개소에 의존하여 변화하고, 이는, 도시된 예에서 4개의 스페이서(11a-d)가 개별적인 상이한 구 직경(D1)을 갖는 볼 헤드(12)를 구비하는 이유이다.
홀더(1) 상에 개별적인 스페이서(11a-d)를 유지하기 위해, 스페이서들(11a-d)은 각각, 홀더(1) 내에 제공되는 구멍(14a-d) 내로 삽입되는, 샤프트(13)를 구비한다. 샤프트(13)는, 제1 샤프트 섹션(13a)과 제2 샤프트 섹션(13b) 사이에 형성되는, 쇼울더부(15)를 구비한다. 제1 샤프트 섹션(13a)은, 볼 헤드(12)와 쇼울더부(15) 사이에 형성되며, 그리고 제2 샤프트 섹션(13b)은, 스페이서(11a)의 샤프트 단부(16)와 쇼울더부(15) 사이에 형성된다. 단차부 또는 개별적 쇼울더부가 또한, 개별적인 샤프트(13)를 수용하기 위해, 연관된 구멍들(14a-d) 내에 형성된다.
홀더(1) 내에서 부정확한 구 직경(D1)을 갖기 때문에, 개별적인 구멍(14a-d)을 위해 의도되지 않은 스페이서(11a-d)의 장착을 방지하기 위해, 상이한 스페이서들(11a-d) 및 연관된 구멍들(14a-d)은, 열쇠-잠금 원리에 따라 작동한다. 상이한 구 직경(D1)을 갖는 스페이서들(11a-d)은, 더 큰 직경(D2)의 제1 샤프트 섹션(13a)을 구비하는 스페이서들(11a-d)이, 더 작은 길이(L)의 제2 샤프트 섹션(13b)을 갖도록, 그리고 그 반대이도록, 제1 샤프트 섹션(13a)의 직경(D2)의 관점 및 제2 샤프트 섹션(13b)의 길이(L)의 관점 양자 모두에서 상이하다. 개별적인 구멍(14a-d)에 대해 너무 큰 제1 샤프트 섹션(13a)의 직경(D2)을 갖는, 스페이서들(11a-d)은, 잘못된 구멍(14a-d) 내로 삽입될 수 없다. 그의 제1 샤프트 섹션(13a)이 대응하는 구멍(14a-d)의 직경보다 더 작은 직경(D2)을 갖지만, 그럼에도 불구하고 이러한 구멍(14a-d)을 위해 의도되지 않은, 스페이서들(11a-d)은, 샤프트 단부(16)가 구멍(14a-d) 너머로 외향으로 돌출하도록 선택되는, 제2 샤프트 섹션(13b)의 길이(L)를 갖는다.
제1 스페이서(11a) 또는 제2 스페이서(11b)의 그러한 돌출하는 샤프트(13)는, 커버 플레이트(4)(도 2b 참조) 상에 나사 체결되는 개별적인 폐쇄 플레이트(17a,b)에 의해 커버될 수 없다. 따라서, 개별적인 스페이서(11c,d)는, 반대 측부에서 베이스 플레이트(3) 상에 나사 체결되는 2개의 폐쇄 플레이트(도 2b에 도시되지 않음)에 의해 커버될 수 없다. 이러한 방식으로, 단일의 적절한 설계를 구비하는 단지 하나의 스페이서(11a-d)만이 연관된 구멍(14a-d) 내에 수용되는 것이, 보장된다.
제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 두께 허용공차에 대해 보상하기 위해, 스페이서들(11a-d)은, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a)에 평행한 방향으로 이동의 자유도를 갖는다. 도시된 예에서, 이동의 자유도는, 스페이서들(11a-d)이 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a)에 수직으로 홀더(1) 내에서 기울어질 수 있게 유지되는 방식으로, 실현된다. 기울어짐 가능한 유지를 위해, 개별적인 스페이서(11a-d)의 샤프트 단부(16)는, 특히 도 3에서 확인될 수 있는 바와 같이, 볼록하게 만곡된다. 도 2b에서 그리고 도 4에서 확인될 수 있는 바와 같이, 개별적인 스페이서(11a-d)의 샤프트(13)의 샤프트 단부(16)는, 판 스프링(19)이 그 내부에서 가이드되는 곳인, 슬롯(18) 내로 돌출한다.
판 스프링(19)은, 스크류에 의해 스페이서(11a-d)로부터 멀어지게 지향하는 슬롯(18)의 단부에 부착되며 그리고, 샤프트(13) 상의, 더욱 정확하게 제2 샤프트 섹션(13b) 상의, 2개의 평행한 홈(21a,b) 내에 맞물리는, 슬릿에 의해 분리되는 2개의 자유단(20a,b)을 구비한다. 판 스프링(19)은, 제1, 제2 및 제3 폐쇄 플레이트(17a-c)의 내측면 상에 형성되는 접촉 표면(22a-c)에 대해 개별적인 스페이서(11a-d)의 샤프트 단부(16)를 압착한다. 판 스프링(19)은, 샤프트가 개별적인 구멍(14a-d)에 평행하게 정렬되는 기본 위치로부터 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a)에 수직으로 기울어질 때, 샤프트(13) 상에 작용하는 복원력을 생성한다.
도 5는, 이상에 추가로 설명되는 홀더(1) 및 6개의 플레이트 형상 광학 요소(5, 6, 7, 8, 9, 10)를 구비하는, 광학 조립체(23)의 단면도를 도시한다. 도 2a와 관련하여 이상에 설명된 바와 같이, 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소(5-10)는 각각, 개별적인 빔 진출 표면(5b, 6b, 7b, 8b, 9b)과 그리고 인접한 빔 진입 표면(6a, 7a, 8a, 9a, 10a)과 점 모양 접촉 상태에 놓이는, 4개의 스페이서(11a-d)에 의해 이격된다. 도 5에 도시된 예에서, 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소(5-10)는 각각, 플레이트 형상 광학 요소들(5-10) 사이의 최소 간극 폭에 대응하는, 서로로부터의, 3 mm 미만의, 가능하게는 1 mm 미만의, 최소 거리(A)를 갖는다.
플레이트 형상 광학 요소들(5-10)은, 2개의 평면에서 서로에 대해 기울어지고, 말하자면 그들의 빔 진입 표면들(5a-10a) 및 그들의 빔 진출 표면들(5b-10b)은, 서로 평행하게 정렬되지 않는다. 이러한 이유로, 이상에 추가로 설명된 바와 같이, 상이한 구 직경(D1)을 갖는 복수의 유형의 스페이서들(11a-d)이, 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)을 서로에 대해 적절한 각도로 정렬하기 위해 요구된다. 도 5에서 확인될 수 있는 바와 같이, 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)은, 횡방향 오프셋을 갖도록 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a)에 평행하게 배열된다. 각도 정렬을 위해 필요한 구 직경들(D1)의 가짓수 및 그에 따른 스페이서들(11a-d)의 상이한 유형들의 가짓수는, 횡방향 오프셋에 의해 또는 단차형 배열에 의해 그리고 또한 플레이트 형상 광학 요소들(5-10) 사이의 거리(A)의 적절한 선택에 의해, 감소될 수 있다.
도 6 및 도 7은, 6개의 플레이트 형상 광학 요소(5-10)가 그들의 개별적인 종방향 측면들 상에서 6개의 바(24a-f)의 도움으로 홀더(1)의 본체(2)에 대해 압착되는, 광학 조립체(23)를 도시한다. 바들(24a-f)은, 도 1에 도시되는 커버 플레이트(4) 내의 종방향 슬릿들을 통해 홀더(1) 내로 삽입되며, 그리고 마찬가지로 종방향으로 연장되는 레일 형상 판 스프링들(25a-f)의 도움과 더불어 본체(2)에 연결되거나 나사 체결된다. 바들(24a-f)의 탄력적인 유지를 위해, 바들은, 레일 형상 판 스프링들(25a-f)의 중앙 섹션에 부착되며, 더욱 정확하게 레일 형상 판 스프링들에 나사 체결된다. 바들(24a-f)이 그에 부착되는, 레일 형상 판 스프링들(25a-f)의 중앙 섹션은, 슬릿에 의해 서로 분리되는 혀(tongue)-형상 레일 섹션들을 통해, 레일 형상 판 스프링들(25a-f)의 외측 단부들에 탄력적으로 연결된다. 본체(2)에 대해 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)을 압착하는 것은, 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)과 본체(2) 사이의 열전달을 개선하는데 편리하다. 냉각 채널들(26)이, 본체(2) 내에 제공되고, 따라서 냉각 유체가, 구체적으로 냉각수가, 그를 통해 유동할 수 있을 것이다. 4개의 그러한 냉각 채널(26)이, 도 1에 예로서 도시된다.
이상에 추가로 설명된 바와 같이, 스페이서들(11a-d)은, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a)에 수직인 방향으로, 이동 가능하게 또는 기울어질 수 있게 장착된다. 홀더(1) 내에 6개의 플레이트 형상 광학 요소(5-10)를 전체적으로, 즉 스택(stack)으로서, 고정하기 위해, 홀더는, 도시된 예에서 제6 플레이트 형상 광학 요소(10)의 빔 진출 표면(10b)을 따라 종방향으로 연장되는 바들과 같이 구성되는, 2개의 스프링-장착 압착 요소(27a,b)를 구비한다. 도 7에서 확인될 수 있는 바와 같이, 2개의 압착 요소(27a,b)는, 레이저 빔이 통과하기 위한 자유 공간이 그들 사이에 형성되는, 프레임의 2개의 다리를 형성한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 압착 요소들(27a,b)은, 제6 플레이트 형상 광학 요소(10)의 빔 진출 표면(10b)에 대해 평평하게 압착하며, 그리고 이러한 방식으로, 스페이서들(11a-d)에 의해 서로로부터 이격되는, 모두 6개의 플레이트 형상 광학 요소(5-10)가, 홀더(1)의 평면형 프레임-형상 압력 표면(28)에 대해 압착한다. 바들의 형태의 압착 요소들(27a,b)은, 고정 또는 클램핑 도중에 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)에 대한 손상을 방지하기 위해, 본체(2) 상에 스프링-장착된다.
이상에 설명된 방식으로 홀더(1) 내에 고정되는 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)은, 부가적으로, 운송을 위해 이들을 고정하도록 하기 위해 및/또는 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)과 홀더(1) 사이의 열전달을 개선하도록 하기 위해, 홀더(1) 내에 접착식으로 접합될 수 있다. 접착제의 적용을 위해, 드릴 채널들(29)이, 홀더(1) 내에, 예를 들어 베이스 플레이트(3)(도 1 또는 도 2a 참조) 내에 그리고 바들(24a-f) 내에 또는 레일 형상 판 스프링들(25a-f) 내에, 제공된다. 접착제는, 드릴 채널들(29)을 통해 직사각형의 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)의 종방향 측면들에, 재료적으로 접합되는 방식으로 홀더(1) 내에 상기 요소들을 고정하도록 하기 위해, 도달할 수 있다.
이상에 추가로 도시되는 광학 조립체(23)는, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a) 상에 브루우스터의 각도로 입사되도록 정렬되는, 레이저 빔(30)(도 8 참조)을 편광시키도록 역할을 할 수 있다. 레이저 빔(30)의 빔 경로 내에서 뒤따르는 플레이트 형상 광학 요소들(6-10)의 빔 진입 표면들(6a-10a)은, 이들이 또한 레이저 빔(30)에 대한 브루우스터의 각도로 정렬되는 방식으로, 정렬된다. 이를 달성하기 위해, 광학 요소들(5-10)은 각각, 레이저 빔(30)이 개별적인 광학 요소(5-10)를 통과할 때의 편향 각도의 절대값에 대응하도록 선택되는, 서로에 대해 적어도 하나의 회전 각도만큼 회전된다. 레이저 빔(30)이 개별적인 빔 진입 표면(5a-10a) 상에 브루우스터의 각도로 입사될 때, 실질적으로 단지 p-편광된 복사 성분만이, 즉 그의 편광 방향이 입사 레이저 빔(30)의 입사 평면에 평행하게 연장되는 복사 성분만이, 투과된다.
편광되지 않은 레이저 빔 대신에, p-편광된 레이저 빔(30)이 또한, 광학 조립체(23) 내로 조사될 수 있으며, 그리고 상기 레이저 빔(30)은, 실질적으로 감쇠 없이 광학 조립체를 떠난다. 광학 조립체(23)는, 이러한 경우에, 그의 편광 방향이 광학 조립체(23)를 통해 입사 레이저 빔(즉 s-편광된 레이저 빔(30a))에 대해 90°에 걸쳐 회전되는 것인, 뒤로 반사된 레이저 빔(30a)의 통과를 방지하기 위한, 광학적 절연체로서 (또는 광학적 다이오드로서) 역할을 한다. 도 8에 매우 개략적인 방식으로 도시되는 EUV 복사 생성 장치(31)와 관련한 광학적 절연체로서의 광학 조립체(23)의 사용이, 이하에 설명된다.
EUV 복사 생성 장치(31)는, 빔 공급원(33), 예를 들어 4개 또는 5개의 광학적 증폭기 또는 증폭 스테이지(35a, 35b, 35c)를 구비하는, 증폭 장비(34), 빔 가이드 장치(36)(상세하게 도시되지 않음), 및 초점 조정 장치(37)를 포함한다. 초점 조정 장치(37)는, 표적 재료(39)가 그 내부에 도입되는 진공 챔버(38)의 표적 구역에서, 빔 공급원(33)에 의해 생성되며 그리고 증폭 장비(34)에 의해 증폭되는 레이저 빔(30)을 초점 조정하기 위해 사용된다. 레이저 빔(30)의 조사 시, 표적 재료(39)는, 플라즈마 상태로 전이되며 그리고 프로세스 중에, 수집 거울(40)에 의해 초점 조정되는, EUV 복사를 방출한다. 도 8에 도시된 예에서, 수집 거울(40)은, 레이저 빔(30)의 통과를 위한 개구부를 구비한다. 도시된 예에서, 빔 공급원(33)은, 증폭 장비(34) 내에서 함께 증폭되며 그리고 표적 재료(39)에 초점 맞춤되는, 사전 펄스 및 메인 펄스를 생성하기 위한 2개의 CO2 레이저를 구비한다. 빔 공급원(33)은, 증폭 장비(34)와 함께, EUV 복사 생성 장치(31)의 드라이버 레이저 장치(41)를 형성한다.
도 8에 도시된 예에서, 광학 조립체(23)는, 빔 공급원(33)과 증폭 장비(34) 사이에 배열되며 그리고, 가능한 한 작은 손실을 동반하는 가운데, 빔 공급원(33)에 의해 생성된 그리고 일반적으로 이미 선형으로 편광되는 펄스화된 레이저 빔(30)을, 드라이버 레이저 장치(41)로부터 표적 재료(39)로 투과시키는 역할을 하며, 그리고 표적 재료(39)에서 뒤로 반사되며 그리고 반대 방향으로 전파되는 레이저 빔(30a)을, 광학 조립체(23) 상류의 빔 경로에서 빔 공급원(33) 또는 광학 요소들에 더 이상 도달할 수 없도록, 필터링 또는 편향시키는 역할을 한다.
표적 재료(39)에서 뒤로 반사되며 그리고 광학 조립체(23) 상에 다시 입사되는, 레이저 빔(30a)을 필터링 또는 편향시키기 위해, 그의 편광 방향은, 전진 방향으로 광학 조립체(23)에서 진출하는 레이저 빔(30)에 대해 90°에 걸쳐 회전된다. 90°에 걸쳐 레이저 빔(30)의 편광 방향을 회전시키기 위해, 위상 이동 장치(42)가, 광학 조립체(23)와 표적 재료(39) 사이에 배열된다. 위상 이동 장치(42)는, 예를 들어, 표적 재료(39)의 방향으로 전파하는 레이저 빔(30) 및 반대 방향으로 뒤로 반사된 레이저 빔(30a)이 그를 통과할 때, λ/2의 총 경로 차를 생성하며 그리고 그에 따라 90°에 걸친 편광 방향의 요구되는 회전을 야기하는, 위상 이동 거울일 수 있다. 광학 조립체(23)와 표적 재료(39) 사이에 배열되는 다른 위상 이동 또는 편광 회전 광학 요소들이 또한 이러한 목적을 위해 사용될 수 있다는 것이, 이해되어야 한다.
s-편광된 뒤로 반사된 레이저 빔(30a)은, 뒤로 반사된 레이저 빔(30a)을 위한 빔 진입 표면들을 형성하는, 입사 레이저 빔(30)을 위한 개별적인 빔 진출 표면들(5b, 6b,...)에서의 반사에 의해, 광학 조립체(23) 내에서 필터링된다. 개별적인 빔 진출 표면(5b, 6b,...)에서 반사된 s-편광된 복사 성분은, 빔 포획체(43)로 편향될 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 빔 포획체(43)는, 플레이트 형상 광학 요소들(5-10)이 그 내부에 수용되며 그리고 서로에 대해 그들의 위치들에 관해 고정되는, 홀더(1)의 외부에 배열될 수 있다. 대안적으로, 빔 포획체(43)는, 적절한 냉각이 보장된다면, 홀더(1) 내에 또는 편광 장비(1)의 대응하는 하우징 내에, 통합될 수 있다.
광학 조립체(23)가 또는 가능하게는 다른 광학 조립체(23)가 또한, 선형으로 편광된 레이저 빔(30)을 생성하기 위해 또는 광학적 절연체를 형성하기 위해, EUV 복사 생성 장치(31) 내의 상이한 개소에, 예를 들어 빔 가이드 장치(36) 내에, 배열될 수 있다는 것이, 이해되어야 한다.

Claims (17)

  1. 광학 조립체(23)로서,
    빔 진입 표면(5a, 6a,...) 및 빔 진출 표면(5b, 6b,...)을 구비하는 복수의 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...),
    상기 플레이트 형상 광학 요소들(5, 6,...)을 함께 고정하기 위한 홀더(1)
    를 포함하는 것인, 광학 조립체(23)에 있어서,
    적어도 3개의 스페이서(11a-d)가, 각각의 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...) 사이에, 배열되고, 그러한 스페이서들은 각각, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진출 표면(5b, 6b,...)과의 점 모양 접촉 및 인접한 제2 플레이트 형상 광학 요소(6)의 빔 진입 표면(6a, 7a,...)과의 점 모양 접촉을 위해 구성되고,
    상기 스페이서들(11a-d)은, 상기 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진입 표면(5a)에 수직으로 이들이 기울어질 수 있도록, 변위 가능하도록, 또는 기울어질 수 있고 변위 가능하도록, 상기 홀더(1) 내에 유지되는 것이고,
    스페이서(11a-d)의 개별적인 샤프트(13)가, 볼록하게 만곡된 샤프트 단부(16)를 구비하며, 그리고 상기 홀더(1)는, 상기 홀더(1)의 접촉 표면(22a-c)에 대해 상기 샤프트 단부(16)를 압착하기 위한 적어도 하나의 스프링 요소(19)를 포함하는 것인 광학 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스페이서들(11a-d)은, 개별적인 빔 진출 표면(5b, 6b,...)과의 그리고 개별적인 빔 진입 표면(6a, 7a,...)과의 점 모양 접촉을 위한, 구형 표면(12a)을 구비하는 것인, 광학 조립체.
  3. 제2항에 있어서,
    제1 플레이트 형상 광학 요소(5)와 제2 플레이트 형상 광학 요소(6) 사이에 배열되는 적어도 2개의 스페이서(11a-d)의 구형 표면들(12a)은, 상이한 구 직경(D1)을 갖는 것인, 광학 조립체.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 스페이서들(11a-d)은 각각, 상기 구형 표면(12a)이 그 위에 형성되는 것인, 볼 헤드(12)(ball head)를 구비하고, 상기 홀더(1) 내에서 개별적인 스페이서(11a-d)를 유지하기 위한 샤프트(13)가, 상기 볼 헤드(12)에 연결되는 것인, 광학 조립체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 샤프트(13)는, 쇼울더부(15)를 구비하며 그리고, 그의 구형 표면들(12a)이 상이한 구 직경(D1)을 갖는 적어도 2개의 스페이서(11a-d)의 경우에, 상기 볼 헤드(12)와 상기 쇼울더부(15) 사이의 제1 샤프트 섹션(13a)의 직경(D2) 및 스페이서(11a-d)의 샤프트 단부(16)와 상기 쇼울더부(15) 사이의 제2 샤프트 섹션(13b)의 길이(L)가, 상이한 크기인 것인, 광학 조립체.
  6. 광학 조립체(23)로서,
    빔 진입 표면(5a, 6a,...) 및 빔 진출 표면(5b, 6b,...)을 구비하는 복수의 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...),
    상기 플레이트 형상 광학 요소들(5, 6,...)을 함께 고정하기 위한 홀더(1)
    를 포함하는 것인, 광학 조립체(23)에 있어서,
    적어도 3개의 스페이서(11a-d)가, 각각의 2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...) 사이에 배열되고, 그러한 스페이서들은 각각, 제1 플레이트 형상 광학 요소(5)의 빔 진출 표면(5a, 6a,...)과의 점 모양 접촉 및 인접한 제2 플레이트 형상 광학 요소(6)의 빔 진입 표면(6b, 7b,...)과의 점 모양 접촉을 위해 구성되고,
    상기 스페이서들(11a-d)은, 개별적인 빔 진출 표면(5b, 6b,...)과의 그리고 개별적인 빔 진입 표면(6a, 7a,...)과의 점 모양 접촉을 위한, 구형 표면(12a)을 구비하고,
    상기 스페이서들(11a-d)은 각각, 상기 구형 표면(12a)이 그 위에 형성되는 것인, 볼 헤드(12)(ball head)를 구비하고, 상기 홀더(1) 내에서 개별적인 스페이서(11a-d)를 유지하기 위한 샤프트(13)가, 상기 볼 헤드(12)에 연결되고,
    상기 샤프트(13)는, 쇼울더부(15)를 구비하며 그리고, 그의 구형 표면들(12a)이 상이한 구 직경(D1)을 갖는 적어도 2개의 스페이서(11a-d)의 경우에, 상기 볼 헤드(12)와 상기 쇼울더부(15) 사이의 제1 샤프트 섹션(13a)의 직경(D2) 및 스페이서(11a-d)의 샤프트 단부(16)와 상기 쇼울더부(15) 사이의 제2 샤프트 섹션(13b)의 길이(L)가, 상이한 크기인 것인, 광학 조립체.
  7. 삭제
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개의 인접한 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...)는 각각, 서로로부터 3 mm 미만의 최소 거리(A)를 갖는 것인, 광학 조립체.
  9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플레이트 형상 광학 요소들(5, 6,...)의 상기 빔 진입 표면들(5a, 6a,...) 및 상기 빔 진출 표면들(5b, 6b,...)은 각각, 적어도 하나의 웨지 각도(γ)로 서로에 대해 정렬되는 것인, 광학 조립체.
  10. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 2개의 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...) 내의, 빔 진입 표면들(5a, 6a,...) 및 빔 진출 표면들(5b, 6b,...)은, 서로 평행하게 정렬되지 않는 것인, 광학 조립체.
  11. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀더(1)는, 상기 홀더(1)의 본체(2)에 대해 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...)의 개별적인 측면을 압착하기 위한, 복수의 바(24a-f)를 구비하는 것인, 광학 조립체.
  12. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀더(1)는, 냉각 유체가 그를 통해 유동하도록 하기 위한 적어도 하나의 냉각 채널(26)을 갖는, 본체(2)를 구비하는 것인, 광학 조립체.
  13. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀더(1)의 압력 표면(28)에 대해, 상기 스페이서들(11a-d)에 의해 이격되는 상기 복수의 플레이트 형상 광학 요소(5, 6,...)를 압착하기 위한, 적어도 하나의 압착 요소(27a,b)를 더 포함하는 것인, 광학 조립체.
  14. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플레이트 형상 광학 요소들(5, 6,...)은, 상기 홀더(1)에 접착식으로 접합되는 것인, 광학 조립체.
  15. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플레이트 형상 광학 요소들(5, 6,...)은, 서로에 대해 횡방향 오프셋을 갖도록 상기 홀더(1) 내에 배열되는 것인, 광학 조립체.
  16. EUV 복사 생성 장치(31)로서:
    레이저 빔(30)을 생성하기 위한 드라이버 레이저 장치(33),
    표적 재료(39)가 그 내부에 배열될 수 있는 진공 챔버(38),
    상기 드라이버 레이저 장치(33)로부터 표적 재료(39)로 레이저 빔(30)을 가이드하기 위한 빔 가이드 장치(42), 및
    제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 광학 조립체(23)
    를 포함하는 것인, EUV 복사 생성 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 광학 조립체(23)와 표적 재료(39) 사이에 배열되는, 위상 이동 장치(42)를 더 포함하고, 상기 위상 이동 장치(42)는, 표적 재료(39)에서 반사되며 그리고 그의 편광 방향이 표적 재료(39)로 전파하는 레이저 빔(30)의 편광 방향에 수직으로 정렬되는, 레이저 빔(30a)을 형성하도록 구성되는 것인, EUV 복사 생성 장치.
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