WO2022199797A1 - Verfahren zur herstellung eines zur aufnahme und zur definierten positionierung wenigstens eines optischen bauteils vorgesehenen gehäuses sowie nach einem derartigen verfahren hergestelltes gehäuse - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines zur aufnahme und zur definierten positionierung wenigstens eines optischen bauteils vorgesehenen gehäuses sowie nach einem derartigen verfahren hergestelltes gehäuse Download PDF

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WO2022199797A1
WO2022199797A1 PCT/EP2021/057375 EP2021057375W WO2022199797A1 WO 2022199797 A1 WO2022199797 A1 WO 2022199797A1 EP 2021057375 W EP2021057375 W EP 2021057375W WO 2022199797 A1 WO2022199797 A1 WO 2022199797A1
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WO
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base
wall
housing
blank
attachment
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PCT/EP2021/057375
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Inventor
Oliver ERICHSON
Robert Wagner
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Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh
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Publication date
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    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a housing base of a housing provided for receiving and for the defined positioning of at least one optical component,
  • - includes a base attachment in addition to the housing base and
  • the invention also relates to a method for producing a housing provided for receiving and for the defined positioning of at least one optical component, and a housing produced according to this method.
  • optical components of a polarizer arrangement according to WO 2017/063686 A1 for polarizing a high-power laser beam on a device for generating EUV radiation must be positioned with high precision relative to one another to ensure optimal functioning.
  • the optical components are accommodated in a housing which is provided with connection surfaces provided for the optical components in its interior.
  • the connection surfaces have a defined orientation such that an optical component mounted on at least one of the connection surfaces assumes its target position due to the defined orientation of the connection surface(s).
  • Generic housing of the type mentioned for receiving and defined positioning of optical components of a polarizer arrangement for polarizing a high-power laser beam are known to be divided and consist of a GeHouseba sis and a base attachment together.
  • the base wall and the attachment wall face each other with a base-side abutment surface and an attachment-side abutment surface.
  • Connection surfaces for the optical components of the polarizer arrangement run on the housing base at an angle to one another.
  • a blank wall with a first blank wall part, with a second blank wall part running at an angle to the first blank wall part and with a blank abutting surface is milled from the solid on a housing base blank.
  • one of the blank wall parts is also provided with projections which protrude freely from the blank wall part at an angle, preferably perpendicular, to a main plane of the blank wall part.
  • connection surfaces of the housing base of the previously known housing are produced on the one hand on the blank wall part provided with the projections with an extension essentially parallel to the main plane of the blank wall part and on the other hand laterally on the projections of the blank wall part with an extension perpendicular to the main plane of the blank wall part .
  • the milling tool used to create the connection surfaces acts on the housing base blank along a working axis that runs perpendicular to the connection surface to be produced.
  • the milling tool consequently exerts a force on the housing base blank in a direction in which the housing base blank is also under the effect due to the material thickness of the blank wall part of the milling tool has high dimensional stability.
  • the manufacturing accuracy can be impaired and the orientation of the connection surfaces created on the projections can have tolerances, with which an inaccuracy in the position of the optical components mounted on the connection surfaces is associated.
  • the object of the present invention is to provide a manufacturing method for the high-precision production of connection surfaces for optical components on a housing for receiving and for the defined positioning of the optical components and such a housing with highly precisely oriented connection surfaces for the optical components. According to the invention, this object is achieved by the manufacturing methods according to patent claims 1 and 8 and by the housing according to patent claim 10.
  • At least one separating tool is used to create a first connection surface for an optical component by machining the first blank wall part with effective action on the first blank wall part along a first working axis of the separating tool, and a second connection surface for an optical component along a second working axis of the separating tool Impingement of the second blank wall part created.
  • the two working axes of the cutting tool run at an angle to one another.
  • the first working axis of the parting tool is perpendicular to the first connection surface, the second working axis of the parting tool runs at a right angle to the second connection surface.
  • the milling tool acts on the housing base blank perpendicularly to a part of the housing base blank that forms the base wall and consequently has a special dimensional stability.
  • the abutting surface of the blank on the angled blank wall is created with a course, as a result of which the blank wall is recessed in areas which correspond to the area of the blank wall provided for the first connection surface along the first working axis of the cutting tool and to the area of the blank wall provided for the second connection surface opposite the second working axis of the cutting tool.
  • the areas of the housing base blank provided for the connection surfaces are also accessible for slitting tools for vertical impact, which, in the interest of high tool stability, have dimensions along their working axis, due to which they move over the housing base blank along the respective working axis during machining of the housing base blank reach out.
  • connection surfaces of the base wall to be manufactured with a highly precise orientation and consequently with a particular suitability for the highly precise positioning of the components mounted on the connection surfaces and using the Connection surfaces positioned optical components.
  • Particular embodiments of the invention according to the independent patent claims 1, 8 and 10 result from the dependent patent claims 2 to 7, 9 and 11.
  • the blank abutting surface on the raw wall of the housing base blank is created with an abutting surface profile, on the basis of which the blank wall in recessed in an area of a projection of the area of the first blank wall part provided for the first connection surface along the first working axis of the cutting tool and in a area of a projection of the area of the second blank wall part provided for the second connection surface along the second working axis of the cutting tool.
  • the base-side abutment surface of the base wall is created as a surface running continuously in the circumferential direction of the housing base (patent claim 3). If the top-side abutment surface of the top wall associated with the base-side abutment surface of the base wall is designed in the same way, there is a circumferential wall abutment in the circumferential direction of the housing, which can be sealed with simple means if required.
  • the base wall is preferably created in such a way that the first base wall part and the second base wall part extend at right angles to one another.
  • the procedure is carried out accordingly in a further advantageous embodiment of the invention (claim 9).
  • the housing created by joining the housing base and the base attachment consequently has a rectangular cross section.
  • the base-side abutment surface on the base wall and the attachment-side abutment surface on the attachment wall are made with a gradient, as a result of which the housing composed of the housing base and the base attachment is divided diagonally with a dividing plane running diagonally in the rectangular housing cross-section.
  • the base-side abutment surface of the base wall and the attachment-side abutment surface of the attachment wall are preferably in the circumferential direction of the housing base and the base attachment continuously duri fende and consequently easy to seal surfaces opposite each other.
  • a plate-like base attachment is also an option according to the invention. That by joining the base of the case and the base attachment has in this case a substantially triangular cross-section.
  • a blank abutting surface can first be created on the housing base blank, from which the abutting surface on the base side is produced in a further method step, in particular following the creation of the connection surfaces.
  • the base-side abutment surface of the housing base is created directly on the housing base blank.
  • the two connecting surfaces running at an angle to one another are preferably created by means of different separating tools (claim 6).
  • separating tools claim 6
  • a milling tool is preferably used as a separating tool for machining the housing base blank when creating the connection surfaces (patent claim 7).
  • a face milling cutter and a plain milling cutter for example, can be used as cutting tools.
  • a grinding tool for machining the connection surfaces can also be used.
  • Claim 11 relates to a preferred application of the invention.
  • the housing base of a housing is manufactured to accommodate and define the positioning of one or more optical components of a polarizer arrangement for polarizing a high-power laser beam, such as is used to generate EUV radiation.
  • Figure 1 shows a polarizer arrangement of a device for generating
  • EUV radiation with a closed housing that has a housing base and a base cap
  • FIG. 2 shows the arrangement according to FIG. 1 in the vertical view in the direction of an arrow II in FIG. 1, 3 shows the base attachment of the housing according to FIGS. 1 and 2 in a perspective view of the inside,
  • FIG. 4 shows the arrangement according to FIGS. 1 and 2 after the base attachment of the housing has been removed from the housing base
  • FIG. 5 shows the housing base according to FIG. 4 after the removal of the optical components arranged on the housing base in FIG. 4 and
  • FIG. 6 shows the housing base according to FIG. 5 in a vertical view in the direction of an arrow VI in FIG.
  • a polarizer arrangement 1 of a device for generating EUV radiation has a housing 2 which is divided to form a housing base 3 and a base attachment 4 screwed to the housing base 3 in FIG.
  • the housing 2 has an essentially rectangular cross section.
  • a parting plane 5 indicated by dashed lines in FIG. 2 runs diagonally in the rectangular cross section of the housing 2 .
  • a wall joint 6 of a base wall 7 of the housing base 3 and an attachment wall 8 of the base attachment 4 extend in the circumferential direction of the housing 2.
  • the base-side shock surface 9 is designed as a continuous surface in the circumferential direction of the base wall 7 . Accordingly, the abutment surface 10 on the attachment side runs continuously in the circumferential direction of the attachment wall 8.
  • An O-ring seal 11, which can be seen in FIG. 4, is used to seal the wall joint 6.
  • the base attachment 4 has been removed from the housing base 3 of the housing 2 and the interior of the housing 2 can therefore be viewed.
  • a plurality of optical components of the polarizer arrangement 1 are accommodated and positioned in a defined manner inside the housing base 3 .
  • a first ZnSe polarizer 12, a second ZnSe polarizer 13, a third ZnSe polarizer 14 and a fourth ZnSe polarizer 15 can be seen as optical components in FIG. 4.
  • a first Pockels cell 16 Between the first ZnSe polarizer 12 and the second ZnSe -Polarizer 13 is a first Pockels cell 16 arranged.
  • a second Pockels cell 17 is located between the second ZnSe polarizer 13 and the third ZnSe polarizer 14.
  • a third Pockels cell 18 follows between the third ZnSe polarizer 14 and the fourth ZnSe polarizer 15.
  • the optical components shown in FIG. 4 serve to polarize a high-power laser beam, which reaches the polarizer arrangement 1 via a mirror arrangement.
  • the mirror assembly is not shown in the drawings.
  • An installation space 19, shown in FIG. 4 and formed in one piece with the housing base 3, is provided for accommodating the mirror arrangement.
  • the optical components of the polarizer arrangement 1 are positioned in a defined manner relative to one another on the housing base 3 .
  • Connection surfaces which can be seen in FIG. 5, are used for the defined positioning of the optical components, on which the optical components are fixed with their respective desired position.
  • the fourth ZnSe polarizer 15 is on the connection surface 26 via a retaining block shown in FIG 27 mounted, which in turn forms a system for the fourth ZnSe polarizer 15 that is defined with respect to its position.
  • the connection surfaces 20, 21, 23, 24, 25 on the one hand and the connection surfaces 22, 26 on the other hand run at right angles to one another.
  • Both the housing base 3 and the base attachment 4 are made of aluminum.
  • the base wall 7 of the housing base 3 comprises a first base wall part 28 and a second base wall part 29 running perpendicular thereto and is provided with the abutment surface 9 on the base side.
  • the housing base 3 and the base attachment 4 are each milled from a blank using a conventional milling tool.
  • a blank wall provided for the base wall 7 of a housing base is sisrohlings with a first blank wall part provided for the first base wall part 28 and with one provided for the second base wall part 29 and created at a right angle to the first blank wall part running second blank wall part.
  • the housing base blank is hen by machining using the milling tool with the base-side abutment surface 9 verses.
  • the blank wall parts for the base wall parts 28, 29 are formed by machining the respective blank wall part with the connecting surfaces 20, 21, 22, 23, 24 using a milling tool. 25, 26 provided.
  • a conventional face milling cutter is used on the connecting surfaces 20, 21, 23,
  • 24 and 25 provided areas of the relevant blank wall part applied while acting on the areas of the blank wall part in question along working axes, which are shown in broken lines in Figure 5 and which run perpendicular to the connection surfaces 20, 21, 23, 24 and 25.
  • a conventional plain milling cutter acts on the relevant blank wall part of the housing base blank along working axes that run perpendicular to the connecting surfaces 22, 26 and are also indicated in FIG. 5 by dot-dash lines.
  • the accessibility of the areas on the housing base blank to be machined to create the connecting surfaces 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 for the two milling tools is guaranteed due to the course with which the base-side abutment surface 9 has been created on the housing base blank . Due to the corresponding abutment surface course on the housing base blank, the latter is recessed in areas which lie opposite the areas of the housing base blank provided for the connection surfaces 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 along the working axes of the cutting tools.
  • connection surfaces 22 and 26 lie above the section of the base-side abutment surface 9 facing the viewer. Accordingly, the areas of the housing base blank intended for the connection surfaces 22, 26 were perpendicular to the plane of the drawing for the plain milling cutter used to machine the housing base blank FIG. 6 accessible via the abutment surface 9 on the base side.
  • connection surfaces 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26, After the production of the connection surfaces 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26, the first ZnSe polarizer 12, the second ZnSe polarizer 13, the third ZnSe polarizer 14 and the fourth ZnSe polarizer 15 as well as the first Pockels -Cell 16, the second Pockels cell 17 and the third Pockels cell 18 are mounted on the associated connection surface and, as a result of the exact orientation of the connection surfaces 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26, are inevitably positioned with high precision relative to one another .
  • the Basisier set 4 is placed on the housing base 3 and screwed to the housing base 3.

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Milling Processes (AREA)

Abstract

Zur Herstellung einer Gehäusebasis (3) eines zur Aufnahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils vorgesehenen Gehäuses wird eine für eine Basiswandung vorgesehene Rohlingswandung eines Gehäusebasisrohlings mit einem für einen ersten Basiswandungsteil (28) vorgesehenen ersten Rohlingswandungsteil, mit einem für einen zweiten Basiswandungsteil (29) vorgesehenen und unter einem Winkel zu dem ersten Rohlingswandungsteil verlaufenden zweiten Rohlingswandungsteil sowie mit einer für eine basisseitige Stoßfläche (9) vorgesehenen Rohlingsstoßfläche erstellt. Anschließend werden eine erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) und eine zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) für wenigstens ein optisches Bauteil durch spanabhebendes Bearbeiten des ersten und des zweiten Rohlingswandungsteils mittels eines Trennwerkzeugs gefertigt. Die Rohlingsstoßfläche an der Rohlingswandung wird mit einem Stoßflächenverlauf erstellt, aufgrund dessen die Rohlingswandung in Bereichen ausgespart ist, welche dem für die erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 20 25, 26) vorgesehenen Bereich des ersten Rohlingswandungsteils längs einer ersten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs und dem für die zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) vorgesehenen Bereich des zweiten Rohlingswandungsteils längs einer zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs gegenüberliegen. Im Rahmen der Herstellung eines Gehäuses zur Aufnahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils wird eine Gehäusebasis (3) des Gehäuses nach dem vorstehenden Verfahren hergestellt. Ein Gehäuse zur Aufnahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils ist entsprechend ausgebildet.

Description

Verfahren zur Herstellung eines zur Aufnahme und zur definierten Positionierung wenias- tens eines optischen Bauteils vorgesehenen Gehäuses sowie nach einem derartigen Ver fahren heraestelltes Gehäuse
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Gehäusebasis eines zur Auf nahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils vorgesehe- nen Gehäuses,
• wobei das Gehäuse
- zusätzlich zu der Gehäusebasis einen Basisaufsatz umfasst und
- längs eines in Umfangsrichtung des Gehäuses verlaufenden Wandungsstoßes einer als Basiswandung vorgesehenen Wandung der Gehäusebasis und einer als Aufsatz- wandung vorgesehenen Wandung des Basisaufsatzes geteilt ist, wobei an dem
Wandungsstoß eine in Umfangsrichtung der Basiswandung verlaufende basisseitige Stoßfläche der Basiswandung und eine der basisseitigen Stoßfläche zugeordnete und in Umfangsrichtung der Aufsatzwandung verlaufende aufsatzseitige Stoßfläche der Aufsatzwandung einander gegenüberliegen und · wobei im Rahmen des Verfahrens
- die Basiswandung mit einem ersten Basiswandungsteil, mit einem unter einem Win kel zu dem ersten Basiswandungsteil verlaufenden zweiten Basiswandungsteil sowie mit der basisseitigen Stoßfläche der Basiswandung erstellt wird, indem an einem Gehäusebasisrohling eine Rohlingswandung mit einem ersten Rohlingswandungsteil, mit einem unter einem Winkel zu dem ersten Rohlingswandungsteil verlaufenden zweiten Rohlingswandungsteil sowie mit einer Rohlingsstoßfläche erstellt wird und - an einer dem Innern des Gehäuses zugeordneten Innenseite des Gehäusebasisroh lings durch spanabhebendes Bearbeiten des Gehäusebasisrohlings mittels wenigs tens eines Trennwerkzeugs zwei zur definierten Positionierung wenigstens eines op tischen Bauteils vorgesehene Anbindungsflächen erstellt werden, die unter einem Winkel zueinander verlaufen, wobei eine erste Anbindungsfläche der beiden Anbin dungsflächen erstellt wird, indem der Gehäusebasisrohling längs einer ersten Ar beitsachse des Trennwerkzeugs durch das Trennwerkzeug beaufschlagt wird, wobei die erste Anbindungsfläche mit einer definierten Orientierung senkrecht zu der ers ten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs erstellt wird und wobei eine zweite Anbin dungsfläche der Anbindungsflächen erstellt wird, indem der Gehäusebasisrohling längs einer unter einem Winkel zu der ersten Arbeitsachse verlaufenden zweiten Ar beitsachse des Trennwerkzeugs durch das Trennwerkzeug beaufschlagt wird, wobei die zweite Anbindungsfläche mit einer definierten Orientierung senkrecht zu der zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs erstellt wird.
Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines zur Aufnahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils vorgesehenen Gehäu ses sowie ein nach diesem Verfahren hergestelltes Gehäuse.
Beispielsweise optische Bauteile einer Polarisatoranordnung gemäß WO 2017/ 063686 Al zur Polarisierung eines Hochleistungs-Laserstrahls an einer Vorrichtung zur Erzeugung von EUV-Strahlung müssen zur Gewährleistung einer optimalen Funktion relativ zueinan der hochgenau positioniert sein. Zu diesem Zweck werden die optischen Bauteile in ei nem Gehäuse untergebracht, das in seinem Innern mit für die optischen Bauteile vorge sehenen Anbindungsflächen versehen ist. Die Anbindungsflächen weisen eine definierte Orientierung auf dergestalt, dass ein an wenigstens einer der Anbindungsflächen mon tiertes optisches Bauteil aufgrund der definierten Orientierung der Anbindungsfläche(n) seine Soll-Position einnimmt.
Gattungsgemäße Gehäuse der genannten Art zur Aufnahme und zur definierten Positio nierung von optischen Bauteilen einer Polarisatoranordnung zur Polarisierung eines Hoch leistungs-Laserstrahls sind bekanntermaßen geteilt und setzen sich aus einer Gehäuseba sis und einem Basisaufsatz zusammen. Entlang eines in Umfangsrichtung des Gehäuses verlaufenden Wandungsstoßes einer Basiswandung der Gehäusebasis und einer Aufsatz wandung des Basisaufsatzes liegen die Basiswandung und die Aufsatzwandung einander mit einer basisseitigen Stoßfläche und einer aufsatzseitigen Stoßfläche gegenüber. Anbin dungsflächen für die optischen Bauteile der Polarisatoranordnung verlaufen an der Ge häusebasis unter einem Winkel zueinander.
Im Rahmen eines bekannten gattungsgemäßen Herstellungsverfahrens wird an einem Gehäusebasisrohling eine Rohlingswandung mit einem ersten Rohlingswandungsteil, mit einem unter einem Winkel zu dem ersten Rohlingswandungsteil verlaufenden zweiten Rohlingswandungsteil sowie mit einer Rohlingsstoßfläche aus dem Vollen gefräst. In dem von den beiden Rohlingswandungsteilen begrenzten Innern des Gehäusebasisrohlings wird außerdem einer der Rohlingswandungsteile mit Vorsprüngen versehen, die unter ei nem Winkel, vorzugsweise senkrecht, zu einer Hauptebene des Rohlingswandungsteils von diesem frei vorkragen. Anbindungsflächen der Gehäusebasis des vorbekannten Ge häuses werden zum einen an dem mit den Vorsprüngen versehenen Rohlingswan dungsteil mit einer Erstreckung im Wesentlichen parallel zu der Hauptebene des Roh lingswandungsteils und zum andern seitlich an den Vorsprüngen des Rohlingswan dungsteils mit einer Erstreckung senkrecht zu der Hauptebene des Rohlingswandungsteils erzeugt. Das zur Erstellung der Anbindungsflächen eingesetzte Fräswerkzeug beauf schlagt dabei den Gehäusebasisrohling jeweils längs einer Arbeitsachse, die senkrecht zu der zu erzeugenden Anbindungsfläche verläuft. Bei der Erstellung der Anbindungsflächen, die parallel oder unter einem kleinen spitzen Winkel zu der Hauptebene des Rohlingswan dungsteils verlaufen, übt das Fräswerkzeug folglich auf den Gehäusebasisrohling eine Kraft in einer Richtung aus, in welcher der Gehäusebasisrohling aufgrund der Material stärke des Rohlingswandungsteils auch unter der Wirkung des Fräswerkzeugs eine hohe Formstabilität aufweist. Die unter einem Winkel, vorzugsweise senkrecht, zu dem Roh lingswandungsteil von diesem vorkragenden Vorsprünge des Gehäusebasisrohlings hin gegen neigen unter der Wirkung der von dem Fräswerkzeug auf die Vorsprünge seitlich ausgeübten Kraft zu einer elastischen Verformung in der Kraftrichtung. Dadurch kann die Fertigungsgenauigkeit beeinträchtigt werden und die Orientierung der an den Vorsprün gen erstellten Anbindungsflächen kann Toleranzen aufweisen, mit der eine Ungenauigkeit der Position der an den Anbindungsflächen montierten optischen Bauteile einhergeht.
Ein Herstellungsverfahren zur hochgenauen Fertigung von Anbindungsflächen für opti sche Bauteile an einem Gehäuse zur Aufnahme und zur definierten Positionierung der op tischen Bauteile sowie ein derartiges Gehäuse mit hochgenau orientierten Anbindungsflä chen für die optischen Bauteile bereitzustellen, ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung. Erfindungsgemäß gelöst wird diese Aufgabe durch die Herstellungsverfahren gemäß den Patentansprüchen 1 und 8 sowie durch das Gehäuse gemäß Patentanspruch 10.
Erfindungsgemäß werden mittels wenigstens eines Trennwerkzeugs eine erste Anbin dungsfläche für ein optisches Bauteil durch spanabhebendes Bearbeiten des ersten Roh lingswandungsteils unter längs einer ersten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs wirksamer Beaufschlagung des ersten Rohlingswandungsteils und eine zweite Anbindungsfläche für ein optisches Bauteil unter längs einer zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs wirksa men Beaufschlagung des zweiten Rohlingswandungsteils erstellt. Ebenso wie die beiden Anbindungsflächen der Gehäusebasis verlaufen die beiden Arbeitsachsen des Trennwerk zeugs unter einem Winkel zueinander. Die erste Arbeitsachse des Trennwerkzeugs steht senkrecht auf der ersten Anbindungsfläche, die zweite Arbeitsachse des Trennwerkzeugs verläuft unter einem rechten Winkel zu der zweiten Anbindungsfläche.
Bei der Erstellung beider Anbindungsflächen beaufschlagt das Fräswerkzeug den Gehäu sebasisrohling senkrecht zu einem die Basiswandung ausbildenden und folglich eine be sondere Formstabilität aufweisenden Teil des Gehäusebasisrohlings.
Die Rohlingsstoßfläche an der abgewinkelten Rohlingswandung wird erfindungsgemäß mit einem Verlauf erstellt, aufgrund dessen die Rohlingswandung in Bereichen ausgespart ist, welche dem für die erste Anbindungsfläche vorgesehenen Bereich der Rohlingswandung längs der ersten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs und dem für die zweite Anbindungs fläche vorgesehenen Bereich der Rohlingswandung längs der zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs gegenüberliegen. Aus diesem Grund sind die für die Anbindungsflächen vorgesehenen Bereiche des Gehäusebasisrohlings auch für Trennwerkzeuge zur senk rechten Beaufschlagung zugänglich, die im Interesse einer hohen Werkzeugstabilität längs ihrer Arbeitsachse Abmessungen aufweisen, aufgrund derer sie bei der spanabhe benden Bearbeitung des Gehäusebasisrohlings längs der jeweiligen Arbeitsachse über den Gehäusebasisrohling hinausreichen.
Die ausgeprägte Formstabilität der bearbeiteten Bereiche des Gehäusebasisrohlings in Verbindung mit der ausgeprägten Formstabilität des eingesetzten Fräswerkzeugs längs der Arbeitsachse des Fräswerkzeugs ermöglicht eine Fertigung der Anbindungsflächen der Basiswandung mit einer hochgenauen Orientierung und folglich mit einer besonderen Eignung zur hochgenauen Positionierung der an den Anbindungsflächen montierten und mittels der Anbindungsflächen positionierten optischen Bauteile. Besondere Ausführungsarten der Erfindung gemäß den unabhängigen Patentansprüchen 1, 8 und 10 ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen 2 bis 7, 9 und 11.
Eine besonders gute Zugänglichkeit der zu bearbeitenden Bereiche des Gehäusebasisroh lings für das oder die Trennwerkzeuge ist im Falle des erfindungsgemäßen Verfahrens ge mäß Patentanspruch 2 deshalb gewährleistet, weil die Rohlingsstoßfläche an der Roh lingswandung des Gehäusebasisrohlings mit einem Stoßflächenverlauf erstellt wird, auf grund dessen die Rohlingswandung in einem Bereich einer Projektion des für die erste Anbindungsfläche vorgesehenen Bereichs des ersten Rohlingswandungsteils längs der ersten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs und in einem Bereich einer Projektion des für die zweite Anbindungsfläche vorgesehenen Bereichs des zweiten Rohlingswandungsteils längs der zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs ausgespart ist.
In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird die basisseitige Stoßfläche der Basiswandung als in Umfangsrichtung der Gehäusebasis stetig verlaufende Fläche erstellt (Patentanspruch 3). Ist die der basisseitigen Stoßfläche der Basiswandung zugeordnete aufsatzseitige Stoßfläche der Aufsatzwandung in gleicher Weise ausgeführt, ergibt sich ein in Umfangsrichtung des Gehäuses umlaufender Wandungsstoß, der bei Bedarf mit einfachen Mitteln abgedichtet werden kann.
Gemäß Patentanspruch 4 wird die Basiswandung bevorzugtermaßen derart erstellt, dass der erste Basiswandungsteil und der zweite Basiswandungsteil unter einem rechten Win kel zueinander verlaufen. Bei der Fertigung der Aufsatzwandung wird in weiterer vorteil hafter Ausgestaltung der Erfindung entsprechend verfahren (Patentanspruch 9). Das durch Fügen der Gehäusebasis und des Basisaufsatzes erstellte Gehäuse besitzt folglich einen Rechteckquerschnitt. Dabei werden die basisseitige Stoßfläche an der Basiswan dung und die aufsatzseitige Stoßfläche an der Aufsatzwandung mit einem Verlauf gefer tigt, aufgrund dessen das aus der Gehäusebasis und dem Basisaufsatz zusammenge setzte Gehäuse diagonal geteilt ist mit einer in dem rechteckigen Gehäusequerschnitt di agonal verlaufenden Teilungsebene. In der Teilungsebene liegen die basisseitige Stoßflä che der Basiswandung und die aufsatzseitige Stoßfläche der Aufsatzwandung vorzugs weise als in Umfangsrichtung der Gehäusebasis und des Basisaufsatzes stetig verlau fende und folglich einfach abzudichtende Flächen einander gegenüber.
Als Alternative zu einem Basisaufsatz, dessen Aufsatzwandung unter einem Winkel zuei nander verlaufende Aufsatzwandungsteile aufweist, kommt erfindungsgemäß insbeson dere auch ein plattenartiger Basisaufsatz in Frage. Das durch Fügen der Gehäusebasis und des Basisaufsatzes erstellte Gehäuse besitzt in diesem Fall einen im Wesentlichen dreieckigen Querschnitt.
Im Rahmen des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens kann an dem Gehäusebasis rohling zunächst eine Rohlingsstoßfläche erstellt werden, aus der in einem weiteren Ver- fahrensschritt, insbesondere im Anschluss an die Erstellung der Anbindungsflächen, die basisseitige Stoßfläche erzeugt wird. In bevorzugter Ausgestaltung des erfindungsgemä ßen Verfahrens wird ausweislich Patentanspruch 5 an dem Gehäusebasisrohling unmittel bar die basisseitige Stoßfläche der Gehäusebasis erstellt.
Erfindungsgemäß werden die beiden unter einem Winkel zueinander verlaufenden Anbin- dungsflächen vorzugsweise mittels verschiedener Trennwerkzeuge erstellt (Patentan spruch 6). Im Falle der Erfindung denkbar ist aber auch die Verwendung ein und dessel ben Trennwerkzeugs zur Fertigung beider Anbindungsflächen.
Als Trennwerkzeug zur spanabhebenden Bearbeitung des Gehäusebasisrohlings bei der Erstellung der Anbindungsflächen wird im Falle der Erfindung vorzugsweise ein Fräswerk- zeug verwendet (Patentanspruch 7). Zur Erstellung der beiden Anbindungsflächen mit unterschiedlichen Trennwerkzeugen können als Trennwerkzeuge beispielsweise ein Stirn fräser und ein Walzenfräser verwendet werden. Alternativ kommt aber unter anderem auch ein Schleifwerkzeug zu spanabhebenden Fertigung der Anbindungsflächen in Frage.
Patentanspruch 11 betrifft eine bevorzugte Anwendung der Erfindung. In diesem Fall wird erfindungsgemäß die Gehäusebasis eines Gehäuses gefertigt zur Aufnahme und zur defi nierten Positionierung eines oder mehrerer optischer Bauteile einer Polarisatoranordnung zur Polarisierung eines Hochleistungs-Laserstrahls, wie er beispielsweise zur Erzeugung von EUV-Strahlung verwendet wird.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand beispielhafter schematischer Darstellungen näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 eine Polarisatoranordnung einer Vorrichtung zur Erzeugung von
EUV-Strahlung, mit einem geschlossenen Gehäuse, das eine Ge häusebasis und einen Basisaufsatz aufweist,
Figur 2 die Anordnung gemäß Figur 1 in der senkrechten Ansicht in Rich tung eines Pfeils II in Figur 1, Figur 3 den Basisaufsatz des Gehäuses gemäß den Figuren 1 und 2 in der perspektivischen Ansicht auf die Innenseite,
Figur 4 die Anordnung gemäß den Figuren 1 und 2 nach dem Entfernen des Basisaufsatzes des Gehäuses von der Gehäusebasis,
Figur 5 die Gehäusebasis gemäß Figur 4 nach dem Entfernen der in Figur 4 an der Gehäusebasis angeordneten optischen Bauteile und
Figur 6 die Gehäusebasis gemäß Figur 5 in der senkrechten Ansicht in Rich tung eines Pfeils VI in Figur 5.
Gemäß Figur 1 weist eine Polarisatoranordnung 1 einer Vorrichtung zur Erzeugung von EUV-Strahlung ein Gehäuse 2 auf, das unter Ausbildung einer Gehäusebasis 3 und eines in Figur 1 mit der Gehäusebasis 3 verschraubten Basisaufsatzes 4 geteilt ist.
Gemäß Figur 2 besitzt das Gehäuse 2 einen im Wesentlichen rechteckförmigen Quer- schnitt. Eine in Figur 2 gestrichelt angedeutete Teilungsebene 5 verläuft in dem recht eckigen Querschnitt des Gehäuses 2 diagonal.
Aufgrund der Teilung des Gehäuses 2 erstreckt sich ein Wandungsstoß 6 einer Basiswan dung 7 der Gehäusebasis 3 und einer Aufsatzwandung 8 des Basisaufsatzes 4 in Um fangsrichtung des Gehäuses 2. An dem Wandungsstoß 6 liegen eine in Figur 4 erkenn- bare basisseitige Stoßfläche 9 der Gehäusebasis 3 und eine in Figur 3 gezeigte aufsatz seitige Stoßfläche 10 des Basisaufsatzes 4 einander gegenüber. Die basisseitige Stoßflä che 9 ist als in Umfangsrichtung der Basiswandung 7 stetig verlaufende Fläche ausgebil det. Entsprechend verläuft die aufsatzseitige Stoßfläche 10 stetig in Umfangsrichtung der Aufsatzwandung 8. Zur Abdichtung des Wandungsstoßes 6 dient eine in Figur 4 erkenn- bare O-Ringdichtung 11.
In Figur 4 ist der Basisaufsatz 4 von der Gehäusebasis 3 des Gehäuses 2 abgenommen und folglich der Blick in das Innere des Gehäuses 2 freigegeben.
Im Inneren der Gehäusebasis 3 sind mehrere optische Bauteile der Polarisatoranordnung 1 aufgenommen und definiert positioniert. In Figur 4 im Einzelnen als optische Bauteile zu erkennen sind ein erster ZnSe-Polarisator 12, ein zweiter ZnSe-Polarisator 13, ein dritter ZnSe-Polarisator 14 und ein vierter ZnSe-Polarisator 15. Zwischen dem ersten ZnSe-Polarisator 12 und dem zweiten ZnSe-Polarisator 13 ist eine erste Pockels-Zelle 16 angeordnet. Eine zweite Pockels-Zelle 17 befindet sich zwischen dem zweiten ZnSe-Pola- risator 13 und dem dritten ZnSe-Polarisator 14. Es folgt zwischen dem dritten ZnSe-Pola- risator 14 und dem vierten ZnSe-Polarisator 15 eine dritte Pockels-Zelle 18.
In bekannter Weise dienen die in Figur 4 dargestellten optischen Bauteile zur Polarisie- rung eines Hochleistungs-Laserstrahls, der über eine Spiegelanordnung zu der Polarisa toranordnung 1 gelangt. Die Spiegelanordnung ist in den Zeichnungen nicht dargestellt. Ein in Figur 4 gezeigter und einstückig mit der Gehäusebasis 3 ausgebildeter Einbauraum 19 ist zur Aufnahme der Spiegelanordnung vorgesehen.
Zur Gewährleistung einer optimalen Funktionsfähigkeit sind die optischen Bauteile der Polarisatoranordnung 1 an der Gehäusebasis 3 relativ zueinander definiert positioniert. Zur definierten Positionierung der optischen Bauteile dienen in Figur 5 erkennbare Anbin dungsflächen, an welchen die optischen Bauteile mit ihrer jeweiligen Sollposition fixiert sind.
Im Einzelnen vorgesehen sind eine Anbindungsfläche 20 für den ersten ZnSe-Polarisator 12, eine Anbindungsfläche 21 für die erste Pockels-Zelle 16, eine Anbindungsfläche 22 für den zweiten ZnSe-Polarisator 13, eine Anbindungsfläche 23 für die zweite Pockels- Zelle 17, eine Anbindungsfläche 24 für den dritten ZnSe-Polarisator 14, eine Anbindungs fläche 25 für die dritte Pockels-Zelle 18 und eine Anbindungsfläche 26 für den vierten ZnSe-Polarisator 15. Der vierte ZnSe-Polarisator 15 ist an der Anbindungsfläche 26 über einen in Figur 4 gezeigten Halteklotz 27 montiert, der seinerseits eine bezüglich ihrer Po sition definierte Anlage für den vierten ZnSe-Polarisator 15 ausbildet. Die Anbindungsflä chen 20, 21, 23, 24, 25 einerseits und die Anbindungsflächen 22, 26 andererseits verlau fen unter einem rechten Winkel zueinander.
Sowohl die Gehäusebasis 3 als auch der Basisaufsatz 4 bestehen aus Aluminium. Die Ba- siswandung 7 der Gehäusebasis 3 umfasst einen ersten Basiswandungsteil 28 und einen senkrecht dazu verlaufenden zweiten Basiswandungsteil 29 und ist mit der basisseitigen Stoßfläche 9 versehen.
Bei ihrer Herstellung werden die Gehäusebasis 3 und der Basisaufsatz 4 jeweils an einem Rohling mit einem konventionellen Fräswerkzeug aus dem Vollen gefräst. Dabei wird eine für die Basiswandung 7 vorgesehene Rohlingswandung eines Gehäuseba sisrohlings mit einem für den ersten Basiswandungsteil 28 vorgesehenen ersten Roh lingswandungsteil und mit einem für den zweiten Basiswandungsteil 29 vorgesehenen und unter einem rechten Winkel zu dem ersten Rohlingswandungsteil verlaufenden zwei ten Rohlingswandungsteil erstellt. Außerdem wird der Gehäusebasisrohling durch spanab hebende Bearbeitung mittels des Fräswerkzeugs mit der basisseitigen Stoßfläche 9 verse hen.
Nach der Fertigung der Rohlingswandungsteile für den ersten Basiswandungsteil 28 und den zweiten Basiswandungsteil 29 der Basiswandung 7 werden die Rohlingswandungs teile für die Basiswandungsteile 28, 29 durch spanabhebendes Bearbeiten des jeweiligen Rohlingswandungsteils mittels eines Fräswerkzeugs mit den Anbindungsflächen 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 versehen. Dabei wird zur Fertigung der Anbindungsflächen 20, 21, 23, 24 und 25 ein herkömmlicher Stirnfräser an den für die Anbindungsflächen 20, 21, 23,
24 und 25 vorgesehenen Bereichen des betreffenden Rohlingswandungsteils angesetzt unter Beaufschlagung der in Rede stehenden Bereiche des Rohlingswandungsteils längs Arbeitsachsen, die in Figur 5 strichpunktiert veranschaulicht sind und die senkrecht zu den Anbindungsflächen 20, 21, 23, 24 und 25 verlaufen.
Entsprechend beaufschlagt ein herkömmlicher Walzenfräser bei der Erstellung der Anbin dungsflächen 22 und 26 den betreffenden Rohlingswandungsteil des Gehäusebasisroh lings längs Arbeitsachsen, die senkrecht zu den Anbindungsflächen 22, 26 verlaufen und in Figur 5 gleichfalls strichpunktiert angedeutet sind.
Die Zugänglichkeit der zur Erstellung der Anbindungsflächen 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 spanabhebend zu bearbeitenden Bereiche an dem Gehäusebasisrohling für die beiden Fräswerkzeuge ist aufgrund des Verlaufs gewährleistet, mit welcher an dem Gehäusebas isrohling die basisseitige Stoßfläche 9 erstellt worden ist. Aufgrund des entsprechend er zeugten Stoßflächenverlaufs an dem Gehäusebasisrohling ist letzterer in Bereichen aus gespart, welche den für die Anbindungsflächen 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 vorgesehenen Bereichen des Gehäusebasisrohlings längs der Arbeitsachsen der Trennwerkzeuge gegen überliegen.
Für die Anbindungsflächen 22 und 26 ist dies in Figur 6 veranschaulicht. In Figur 6 liegen die Anbindungsflächen 22, 26 oberhalb des zu dem Betrachter hin liegenden Abschnitts der basisseitigen Stoßfläche 9. Dementsprechend waren die für die Anbindungsflächen 22, 26 vorgesehenen Bereiche des Gehäusebasisrohlings für den zum spanabhebenden Bearbeiten des Gehäusebasisrohlings eingesetzten Walzenfräser senkrecht zu der Zei chenebene von Figur 6 über die basisseitige Stoßfläche 9 hinweg zugänglich. Nach der Fertigung der Anbindungsflächen 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 werden der erste ZnSe-Polarisator 12, der zweite ZnSe-Polarisator 13, der dritte ZnSe-Polarisator 14 und der vierte ZnSe-Polarisator 15 sowie die erste Pockels-Zelle 16, die zweite Pockels-Zelle 17 und die dritte Pockels-Zelle 18 an der jeweils zugeordneten Anbindungsfläche mon- tiert und infolge der exakten Orientierung der Anbindungsflächen 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 zwangsläufig hochgenau relativ zueinander positioniert.
Nach dem Einbau der optischen Bauteile der Polarisatoranordnung 1 wird der Basisauf satz 4 auf die Gehäusebasis 3 aufgesetzt und mit der Gehäusebasis 3 verschraubt.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung einer Gehäusebasis (3) eines zur Aufnahme und zur defi nierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) vorgesehenen Gehäuses (2),
• wobei das Gehäuse
- zusätzlich zu der Gehäusebasis (3) einen Basisaufsatz (4) umfasst und
- längs eines in Umfangsrichtung des Gehäuses (2) verlaufenden Wandungsstoßes (6) einer als Basiswandung (7) vorgesehenen Wandung der Gehäusebasis (3) und einer als Aufsatzwandung (8) vorgesehenen Wandung des Basisaufsatzes (4) geteilt ist, wobei an dem Wandungsstoß (6) eine in Umfangsrichtung der Ba siswandung (7) verlaufende basisseitige Stoßfläche (9) der Basiswandung (7) und eine der basisseitigen Stoßfläche (9) zugeordnete und in Umfangsrichtung der Aufsatzwandung (8) verlaufende aufsatzseitige Stoßfläche (10) der Aufsatz wandung (8) einander gegenüberliegen und
• wobei im Rahmen des Verfahrens
- die Basiswandung (7) mit einem ersten Basiswandungsteil (28), mit einem unter einem Winkel zu dem ersten Basiswandungsteil (28) verlaufenden zweiten Basis wandungsteil (29) sowie mit der basisseitigen Stoßfläche der Basiswandung (7) erstellt wird, indem an einem Gehäusebasisrohling eine Rohlingswandung mit ei nem ersten Rohlingswandungsteil, mit einem unter einem Winkel zu dem ersten Rohlingswandungsteil verlaufenden zweiten Rohlingswandungsteil sowie mit ei ner Rohlingsstoßfläche erstellt wird und
- an einer dem Innern des Gehäuses (2) zugeordneten Innenseite des Gehäuseba sisrohlings durch spanabhebendes Bearbeiten des Gehäusebasisrohlings mittels wenigstens eines Trennwerkzeugs zwei zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) vorgesehene Anbindungs flächen (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) erstellt werden, die unter einem Winkel zu einander verlaufen, wobei eine erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) der beiden Anbindungsflächen (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) erstellt wird, in dem der Gehäusebasisrohling längs einer ersten Arbeitsachse des Trennwerk zeugs durch das Trennwerkzeug beaufschlagt wird, wobei die erste Anbindungs fläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) mit einer definierten Orientierung senkrecht zu der ersten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs erstellt wird und wobei eine zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) der Anbindungsflächen (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) erstellt wird, indem der Gehäusebasisrohling längs einer unter einem Winkel zu der ersten Arbeitsachse verlaufenden zweiten Ar beitsachse des Trennwerkzeugs durch das Trennwerkzeug beaufschlagt wird, wobei die zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) mit einer defi nierten Orientierung senkrecht zu der zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs erstellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Erstellung des ersten Rohlingswandungsteils und des zweiten Rohlings wandungsteils sowie der Rohlingsstoßfläche die erste Anbindungsfläche (20, 21, 22,
23, 24, 25, 26) an dem ersten Rohlingswandungsteil und die zweite Anbindungsfläche an dem zweiten Rohlingswandungsteil erstellt werden und dass die Rohlingsstoßfläche an der Rohlingswandung des Gehäusebasisrohlings mit einem Stoßflächenverlauf erstellt wird, aufgrund dessen die Rohlingswandung in Berei chen ausgespart ist, welche einem für die erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) vorgesehenen Bereich des ersten Rohlingswandungsteils längs der ersten Ar beitsachse des Trennwerkzeugs gegenüberliegen und welche einem für die zweite An bindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) vorgesehenen Bereich des zweiten Roh lingswandungsteils längs der zweiten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs gegenüberlie gen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohlingsstoßfläche an der Rohlingswandung des Gehäusebasisrohlings mit einem Stoßflächenverlauf erstellt wird, aufgrund dessen die Rohlingswandung in einem Bereich einer Projektion des für die erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) vorgesehenen Bereichs des ersten Rohlingswandungsteils längs der ersten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs und in einem Bereich einer Projektion des für die zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23,
24, 25, 26) vorgesehenen Bereichs des zweiten Rohlingswandungsteils längs der zwei ten Arbeitsachse des Trennwerkzeugs ausgespart ist.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass aus der Rohlingsstoßfläche die basisseitige Stoßfläche (9) der Basiswandung (7) als in Umfangsrichtung der Gehäusebasis (3) stetig verlaufende Fläche erstellt wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Basiswandung (7) derart erstellt wird, dass der erste Basiswandungsteil (28) und der zweite Basiswandungsteil (29) unter einem rechten Winkel zueinander verlaufen.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohlingswandung des Gehäusebasisrohlings mit der basisseitigen Stoßfläche (9) der Gehäusebasis (3) als Rohlingsstoßfläche erstellt wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Anbindungsflächen (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) mittels verschiedener Trennwerkzeuge erstellt werden.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Trennwerkzeug ein Fräswerkzeug verwendet wird.
8. Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses (2) zur Aufnahme und zur definierten Positi onierung wenigstens eines optischen Bauteils (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18),
- wobei eine Gehäusebasis (3) mit einer als Basiswandung (7) vorgesehenen Wan dung und einer an der Basiswandung (7) in Umfangsrichtung der Basiswandung (7) verlaufenden basisseitigen Stoßfläche (9) erstellt wird,
- wobei ein Basisaufsatz (4) mit einer als Aufsatzwandung (8) vorgesehenen Wan dung und einer an der Aufsatzwandung (8) in Umfangsrichtung der Aufsatzwan dung (8) verlaufenden und der basisseitigen Stoßfläche (9) zugeordneten aufsatz seitigen Stoßfläche (10) erstellt wird und
- wobei die Gehäusebasis (3) und der Basisaufsatz (4) an der basisseitigen Stoßflä che (9) und der aufsatzseitigen Stoßfläche (10) gefügt werden unter Ausbildung ei nes in Umfangsrichtung des Gehäuses (2) verlaufenden Wandungsstoßes (6), an welchem die basisseitige Stoßfläche (9) und die aufsatzseitigen Stoßfläche (10) ei nander gegenüberliegen, dadurch gekennzeichnet, dass die Gehäusebasis (3) nach dem Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche erstellt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
- dass die Gehäusebasis (3) nach dem Verfahren gemäß Anspruch 4 erstellt wird,
- dass die Aufsatzwandung (8) des Basisaufsatzes (4) mit einem ersten Aufsatzwan dungsteil, mit einem unter einem rechten Winkel zu dem ersten Aufsatzwan dungsteil verlaufenden zweiten Aufsatzwandungsteil sowie mit der aufsatzseitigen Stoßfläche (10) der Aufsatzwandung (8) erstellt wird und
- dass die Gehäusebasis (3) und der Basisaufsatz (4) an der basisseitigen Stoßfläche (9) und der aufsatzseitigen Stoßfläche (10) gefügt werden unter Ausbildung eines Gehäuses (2) mit einem rechteckigen Querschnitt und einer Teilung mit einer Tei lungsebene (5), die in dem rechteckigen Querschnitt des Gehäuses (2) diagonal verläuft.
10. Gehäuse zur Aufnahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18),
- wobei das Gehäuse (2) unter Ausbildung einer Gehäusebasis (3) und eines Basis aufsatzes (4) längs eines in Umfangsrichtung des Gehäuses (2) verlaufenden Wan dungsstoßes (6) einer als Basiswandung (7) vorgesehenen Wandung der Gehäuse basis (3) und einer als Aufsatzwandung (8) vorgesehenen Wandung des Basisauf satzes (4) geteilt ist,
- wobei an dem Wandungsstoß (6) eine basisseitige Stoßfläche (9) der Basiswandung (7) und eine der basisseitigen Stoßfläche (9) zugeordnete aufsatzseitige Stoßfläche (10) der Aufsatzwandung (8) einander gegenüberliegen,
- wobei an einer dem Innern des Gehäuses (2) zugeordneten Innenseite der Gehäu sebasis (3) zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) eine erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) und eine zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) vorgesehen sind, die unter einem Winkel zueinander verlaufen und eine definierte Orientierung aufwei sen und
- wobei die Basiswandung (7) einen ersten Basiswandungsteil (28) sowie einen unter einem Winkel zu dem ersten Basiswandungsteil (28) verlaufenden zweiten Basis wandungsteil (29) aufweist und die basisseitige Stoßfläche (9) der Basiswandung (7) an dem ersten Basiswandungsteil (28) und an dem zweiten Basiswandungsteil (29) mit einem basisseitigen Stoßflächenverlauf vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) an dem ersten Basis wandungsteil (28) und die zweite Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) an dem zweiten Basiswandungsteil (29) vorgesehen sind und dass die basisseitige Stoßfläche (9) der Basiswandung (7) einen basisseitigen Stoßflä chenverlauf aufweist, aufgrund dessen die Basiswandung (7) in Bereichen ausgespart ist, welche der ersten Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) senkrecht zu der ersten Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) und der zweiten Anbindungsflä che (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) senkrecht zu der zweiten Anbindungsfläche (20, 21, 22, 23, 24, 25, 26) gegenüberliegen.
11. Gehäuse nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (2) zur Auf nahme und zur definierten Positionierung wenigstens eines optischen Bauteils (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) einer Polarisatoranordnung (1) zur Polarisierung eines Hochleis tungs-Laserstrahls ausgebildet ist.
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