JPH045039Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は電子線測長装置等に使用される試料移
動装置の送り機構の改良に関する。

〔従来の技術〕

かかる移動装置の送り機構としては第４図に示
すように２つのガイド１ａ，１ｂによつて移動体
２を移動可能に挟持し、ガイド１ａ，１ｂと平行
にネジ棒３を配置すると共に、このネジ棒に螺合
されたナツト４をアーム５を介して前記移動体２
に固定し、ネジ棒３を回転させてナツト４をこの
ネジ棒に沿つて動かすことにより移動体２を往復
動させるようになした構造のものが広く使用され
ている。尚、図中６ａ，６ｂはネジ棒３を回転可
能に支持するための軸受、７はカツプリング、８
はモータである。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような構造ではナツト４の
回転を阻止するために、ナツトは移動体２に固定
されたアーム５にビス等によつて機械的に固定さ
れる。また、ガイド１ａ，１ｂとネジ棒３とを平
行に配置することは非常に難しく、実際には両者
の間に△αの角度誤差が生じてしまうことは避け
られない。その結果、ネジ棒を回転させた際、ネ
ジ棒とナツトのネジ山の接触部分に無理が生じ
る。つまりナツトのネジ山がネジ棒のネジ山の斜
面に乗り上げる形でナツトが送られることによ
り、しかもナツトのネジ山の乗り上げ状態がナツ
トの位置によつて変つてくるため、送り量にムラ
が生じる。また、移動体を高速で移動させようと
した際に発生するナツトの温度上昇を抑えるため
に、同図に示すようにベース９にバネにより常に
押圧、接触された放熱体１０をナツトに組込まな
ければならず、構造が複雑化する。

本考案はかかる不都合を解決することのできる
送り機構を提供することを目的とするものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本考案は一対のガ
イドによつて移動可能に配置された移動体と、前
記ガイドと平行に置かれたネジ棒と、該ネジ棒に
螺合されたナツトと、該ナツトに設けられた鍔部
と、該鍔部と相対向するように前記ナツト外周に
隙間を保つて配置され、かつ前記移動体に取付け
られた受け体と、該受け体と前記鍔部が互いに回
動可能に該受け体と鍔部を連結した第１の接触部
材と、該第１の接触部材に対し前記ネジ棒を中心
として同一鉛直線上に配置され且つ前記受け体と
前記鍔部が互いに摺動可能に該受け体と鍔部を連
結した第２の接触部材と、前記受け体と鍔部との
接触を維持する為の弾性体とを具備した。

以下、本考案の実施例を図面に基づき詳説す
る。

〔実施例〕

第１図は本考案の一実施例を示す要部の平面
図、第２図は第１図のAA断面図であり、第４図
と同一番号のものは同一構成要素を示すものであ
る。

図において、１１はナツト４の一端に形成した
鍔部、１２はこのナツトの他端に固定されたスト
ツパ、１３は前記鍔部１１と相対向するようにナ
ツト４の外周に隙間を保つて配置されたリング状
の受け体で、該受け体はビス１４を介して移動体
２に一体化されたアーム５に固定されている。こ
の受け体及び前記鍔部１１の各対向面は前記移動
体２の移動方向に対して直交する平面と一致する
ように置かれている。また、この各対向面には相
対向する位置に対をなす２組の穴１５ａ，１５ｂ
及び１６ａ，１６ｂが夫々形成してあり、この各
穴はその中心が鉛直線上に夫々置かれ、かつ１５
ａ，１５ｂと１６ａ，１６ｂとはネジ棒３を中心
にして上下方向に配置される。１７ａ，１７ｂ，
１８ａ，１８ｂはこの各穴に夫々嵌合されたブツ
シユで、このうち１７ａ，１７ｂの対向面には前
記鉛直線と平行なＶ溝１９ａ，１９ｂが形成して
あり、また他方の１８ａ，１８ｂの対向面は夫々
平面となしてある。２０ａ，２０ｂは各ブツシユ
１７ａと１７ｂ及び１８ａと１８ｂとの間に置か
れたボールで、各ボールは前記ストツパ１２と受
け部１３との間に張架した圧縮コイルバネ２１の
押圧力により各ブツシユ間に挟持される。

このような構成において、上側のボール２０ａ
はＶ溝１９ａ，１９ｂを有するブツシユ１７ａ，
１７ｂによつて挟持されているため、ナツト４は
受け体１３（移動体２）に対してその位置が規制
されている。つまりナツトの回転が阻止されてい
る。従つて、ネジ棒３を回転することによりナツ
ト４はネジ棒に沿つて動き、移動体２を往復動さ
せることができる。

次に、ガイド１ａ，１ｂとネジ棒３との平行度
の誤差による両者の間隔の変化は第３図にその状
態を示すようにナツト４が上側のボール２０ａを
中心にして回動することにより吸収される。ま
た、上述の間隔の変化によつて移動体２側に固定
された受け体１３に対してナツト４を傾斜させる
力がこのナツトに加わり、しかもその力はナツト
がネジ棒の端から端まで移動する間に変化する
が、受け体１３とナツト４に設けた鍔部１１とは
鉛直線上に置かれた２つのボール２０ａ，２０ｂ
によつて点接触状態で係合されており、ナツトを
傾斜させる方向の力が変化してもその力に追従す
るようにナツトが揺動する。その結果、ナツトと
ネジ棒とのネジ山の接触部分に無理が生ずるのを
防止することができる。尚、このとき、下側のボ
ール２０ｂは２つの平面状のブツシユ１８ａ，１
８ｂにて挟持されているため、前記ナツトの回動
を阻害することなくこのナツトの回動に伴つてこ
ろがりながら移動する。

ここで、第３図に示すようにガイド１ａ，１ｂ
とネジ棒３との間隔の変化△ａによりナツト４が
ボール２０ａを中心として回動するわけである
が、このナツトの回動による角度変化△θが送り
のリード誤差△ｌとなつて現われ、△ｌ
△ａ／2πR・ｌで求めることができる。

尚、ｌはネジのリード、Ｒはナツト４（ネジ棒
３）の中心から上側のボール２０ａまでの距離で
ある。

今、Ｒを15mm、ｌを１mmとなした場合、△ｌ≒
△ａ／100となり、△ａの影響は極めて小さく、無視 することができる。その結果、ガイドとネジ棒と
の平行度の誤差による送り量のムラを生ずること
なく、常に一定の送り量でもつて移動体を移動さ
せることができる。

尚、前述の説明では上側のボールをＶ状のブツ
シユで、また下側のボールを平面状のブツシユで
夫々挟持した場合について述べたが、この組合せ
を逆にしても良い。また、移動体側の受け体とナ
ツト側の鍔部とを点接触させるためにボールを使
用したが、ボールに代えて先端が丸い突起を受け
体及び鍔部のいずれか一方に設け、ナツトの回転
止めの役目を果す突起の相手側は凹部となし、ま
た他方の突起の相手側は平面となせば良い。さら
に、受け体はリング状となしたが、これに限定さ
れることなくリングを半分に分割したものを使用
しても良い。

〔考案の効果〕

以上のような構成の本考案では、ガイドとネジ
棒との平行度に誤差があつてもネジ棒とナツトの
ネジ山の接触部分にムリが生ずるのを防止するこ
とができるため、送り量にムラが発生することな
く常に一定の送り量でもつて移動体を動かすこと
ができる。また、ネジ棒の駆動時に生ずるナツト
の発熱も抑えることができるため、ナツトに放熱
体を組込む必要がなくなり、構成の簡略化を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す要部の平面
図、第２図は第１図のAA断面図、第３図は本考
案の動作を説明するための図、第４図は従来例を
示す平面図である。 １ａ，１ｂ……ガイド、２……移動体、３……
ネジ棒、４……ナツト、５……アーム、６ａ，６
ｂ……軸受、７……カツプリング、８……モー
タ、９……ベース、１０……放熱体、１１……鍔
部、１２……ストツパ、１３……受け体、１４…
…ビス、１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ……
穴、１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂ……ブツシ
ユ、１９ａ，１９ｂ……Ｖ溝、２０ａ，２０ｂ…
…ボール、２１……圧縮バネ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一対のガイドによつて移動可能に配置された移
   動体と、前記ガイドと平行に置かれたネジ棒と、
   該ネジ棒に螺合されたナツトと、該ナツトに設け
   られた鍔部と、該鍔部と相対向するように前記ナ
   ツト外周に隙間を保つて配置され、かつ前記移動
   体に取付けられた受け体と、該受け体と前記鍔部
   が互いに回動可能に該受け体と鍔部を連結した第
   １の接触部材と、該第１の接触部材に対し前記ネ
   ジ棒を中心として同一鉛直線上に配置され且つ前
   記受け体と前記鍔部が互いに摺動可能に該受け体
   と鍔部を連結した第２の接触部材と、前記受け体
   と鍔部との接触を維持する為の弾性体とを具備し
   た移動装置における送り機構。