JPH075361Y2 - 検出ヘッドの取付姿勢調整装置 - Google Patents
検出ヘッドの取付姿勢調整装置Info
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- JPH075361Y2 JPH075361Y2 JP1990048056U JP4805690U JPH075361Y2 JP H075361 Y2 JPH075361 Y2 JP H075361Y2 JP 1990048056 U JP1990048056 U JP 1990048056U JP 4805690 U JP4805690 U JP 4805690U JP H075361 Y2 JPH075361 Y2 JP H075361Y2
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- adjusting plate
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Description
本考案は、例えば光電型エンコーダ等の検出ヘッドの取
付姿勢を正確に調整することができる検出ヘッドの取付
姿勢調整装置に関する。
付姿勢を正確に調整することができる検出ヘッドの取付
姿勢調整装置に関する。
光電型エンコーダ、例えば、ホログラフィ技術を用いて
微細なピッチ（例えば１μｍ程度）の目盛を形成したス
ケールを備え、その目盛を回析格子として積極的に回析
を生じさせて検出信号を得る格子干渉型変位計が、特開
昭47−10034等に開示されている。 上記格子干渉型変位計では、第７図（Ａ）に示すような
回析格子が形成されたスケール10上を、その長手方向に
検出ヘッドを移動させて回析光の検出等を行っている。
上記検出ヘッドは、通常、第７図（Ｂ）に示すような、
上記スケール10の長手方向に移動する検出部本体12に取
付けられて用いられる（上記スケール10は、取付台14に
載置されている）。
微細なピッチ（例えば１μｍ程度）の目盛を形成したス
ケールを備え、その目盛を回析格子として積極的に回析
を生じさせて検出信号を得る格子干渉型変位計が、特開
昭47−10034等に開示されている。 上記格子干渉型変位計では、第７図（Ａ）に示すような
回析格子が形成されたスケール10上を、その長手方向に
検出ヘッドを移動させて回析光の検出等を行っている。
上記検出ヘッドは、通常、第７図（Ｂ）に示すような、
上記スケール10の長手方向に移動する検出部本体12に取
付けられて用いられる（上記スケール10は、取付台14に
載置されている）。
上記検出ヘッドは、その取付に際し、スケールに対する
相対的位置関係が極めて重要である。 その位置関係としては、第７図（Ａ）に示す４つの方向
のうち、ギャップ方向及びローリング方向（Ｘ軸に関す
る回転方向）には安定しており、非常に許容量が大きい
ため、これら両方向については高精度の調整の必要性は
少ないが、ピッチング方向（Ｙ軸に関する回転方向）や
これに直交するモアレ方向（Ｚ軸に関する回転方向）に
ついての位置関係には特に厳密な精度が要求されるた
め、その取付が難しく、誰でもが容易に上記検出ヘッド
を取付けることができないという問題があった。 本考案は、前記従来の問題点を解決するべくなされたも
ので、検出ヘッドを検出部本体に取付けることができ、
しかも該検出ヘッドの取付姿勢を、互いに直交する２つ
の軸に関し、それぞれ独立に且つ正確に連続した角度に
調整することを簡単に行うことができる検出ヘッドの取
付姿勢調整装置を提供することを課題とする。
相対的位置関係が極めて重要である。 その位置関係としては、第７図（Ａ）に示す４つの方向
のうち、ギャップ方向及びローリング方向（Ｘ軸に関す
る回転方向）には安定しており、非常に許容量が大きい
ため、これら両方向については高精度の調整の必要性は
少ないが、ピッチング方向（Ｙ軸に関する回転方向）や
これに直交するモアレ方向（Ｚ軸に関する回転方向）に
ついての位置関係には特に厳密な精度が要求されるた
め、その取付が難しく、誰でもが容易に上記検出ヘッド
を取付けることができないという問題があった。 本考案は、前記従来の問題点を解決するべくなされたも
ので、検出ヘッドを検出部本体に取付けることができ、
しかも該検出ヘッドの取付姿勢を、互いに直交する２つ
の軸に関し、それぞれ独立に且つ正確に連続した角度に
調整することを簡単に行うことができる検出ヘッドの取
付姿勢調整装置を提供することを課題とする。
本考案は、検出ヘッドを検出部本体に取付けると共に、
該検出部本体に対する検出ヘッドの取付姿勢を調整する
ための検出ヘッドの取付姿勢調整装置であって、検出ヘ
ッドを取付ける第１調整板と、検出部本体に取付ける第
２調整板とを有し、前記第１調整板は、検出ヘッドの突
出部に固定して取付けられ、前記第２調整板は、該第１
調整板に重ねられ、且つ回動軸を中心にその面方向に回
動可能に軸支されていると共に、前記検出ヘッドでの固
定部を支点にする前記第１調整板の該検出ヘッド方向へ
のたわみ量を連続的に調節するたわみ量調節手段と、前
記第１調整板に対する前記第２調整板の回動量を連続的
に調節する回動量調節手段とを備えていることにより、
前記課題を達成したものである。
該検出部本体に対する検出ヘッドの取付姿勢を調整する
ための検出ヘッドの取付姿勢調整装置であって、検出ヘ
ッドを取付ける第１調整板と、検出部本体に取付ける第
２調整板とを有し、前記第１調整板は、検出ヘッドの突
出部に固定して取付けられ、前記第２調整板は、該第１
調整板に重ねられ、且つ回動軸を中心にその面方向に回
動可能に軸支されていると共に、前記検出ヘッドでの固
定部を支点にする前記第１調整板の該検出ヘッド方向へ
のたわみ量を連続的に調節するたわみ量調節手段と、前
記第１調整板に対する前記第２調整板の回動量を連続的
に調節する回動量調節手段とを備えていることにより、
前記課題を達成したものである。
本考案では、検出ヘッドの突出部に固定した第１調整板
をその固定部を支点にして該検出ヘッド方向にたわま
せ、そのたわみ量を連続的に調節することにより、固定
部を通る第１軸に関して上記検出ヘッドを所望の角度だ
け連続的な角度で正確に回転させることができる。 又、第２調整板を第１調整板に対してその面方向に回動
させ、その回動量を連続的に調節することにより、回動
軸の中心を通る第２軸に関して該調整板を上記第１調整
板に対して所望の角度だけ正確にしかも連続的な角度で
回転させることができる。 従って、上記第２調整板を検出部本体に取付けることに
より、前記第１軸と該第１軸に直交する上記第２軸のそ
れぞれに関して上記検出ヘッドの姿勢調整を連続的な角
度で正確に行うことが可能となる。
をその固定部を支点にして該検出ヘッド方向にたわま
せ、そのたわみ量を連続的に調節することにより、固定
部を通る第１軸に関して上記検出ヘッドを所望の角度だ
け連続的な角度で正確に回転させることができる。 又、第２調整板を第１調整板に対してその面方向に回動
させ、その回動量を連続的に調節することにより、回動
軸の中心を通る第２軸に関して該調整板を上記第１調整
板に対して所望の角度だけ正確にしかも連続的な角度で
回転させることができる。 従って、上記第２調整板を検出部本体に取付けることに
より、前記第１軸と該第１軸に直交する上記第２軸のそ
れぞれに関して上記検出ヘッドの姿勢調整を連続的な角
度で正確に行うことが可能となる。
以下、図面を参照して、本考案の実施例を詳細に説明す
る。 第１図（Ａ）は、本考案の一実施例である検出ヘッドの
取付姿勢調整装置を示す平面図、同図（Ｂ）は上記取付
姿勢調整装置のＢ−Ｂ断面図であり、第２図は上記取付
姿勢調整装置の分解斜視図である。 本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置は、検出ヘッ
ド14を取付ける第１調整板20と、検出部本体に取付ける
第２調整板22とを有しており、これら第１調整板20及び
第２調整板22はそれぞれ内側面で実質的に接触してい
る。 上記調整装置は、後述するように、上記第１調整板20に
検出ヘッド14を取付けた状態で、上記第２調整板22を検
出部本体12に取付けることにより、該検出部本体12に上
記検出ヘッド14を搭載するための装置である。 上記検出ヘッドの取付姿勢調整装置には、第１調整板20
のたわみ量を調節するための調整ねじ（たわみ量調節手
段）24と、第２調整板を第１調整板に対して面方向に回
動させるための回動ピン（回動軸）26と、該第２調整板
の回動量を調節するための偏心ピン（回動量調節手段）
28と、該回動量を調節した後、上記第２調整板の位置を
固定するための２つの固定ねじ30を有している。 上記第１調整板20は、第１図（Ａ）では第２調整板22の
裏側に位置しており、図中右側には検出部本体12に取付
けるための固定部20Aが、該第２調整板22の右端より突
出して形成されており、該固定部20Aには固定用の２つ
のねじ孔32が形成されている。上記固定部20Aには上記
ねじ孔32の内側に長孔（肉抜き部）34が形成され、その
上下に位置する固定部20Aに小剛性部36が形成されてい
る。 又、上記第１調整板20には、調整ねじ24の貫通孔24A、
回動ピン26の嵌入孔26A、偏心ピン28の嵌入孔28A及び固
定ねじ30の螺入孔30Aがそれぞれ形成されている。 又、上記第２調整板22には、調整ねじ24を上記第１調整
板20に取付けるための該調整ねじ24の径より大きな孔24
B、回動ピン26の挿通孔26B、上記第１調整板20に取付け
られた偏心ピン28のガイドを構成する溝部28B及び固定
ねじ30の挿通孔30B（該固定ねじ30のねじ部より径が大
きい）がそれぞれ形成され、更に検出部本体12に取付け
るための孔38が４箇所形成されている。なお、上記孔38
に対応する第１調整板20の位置にも孔38Aが形成されて
いる。 上述した第１調整板20及び第２調整板22について、第２
図に示すように回動ピン26及び偏心ピン28をそれぞれ×
の位置に通し、且つ、これらのピン26及び28の先端を上
記第１調整板20の外側面でかしめて固定すると共に、上
述した他のねじ等を所定位置に取付けることにより、本
実施例の前記検出ヘッドの取付姿勢調整装置が形成され
ている。 第３図は、上記取付姿勢調整装置に検出ヘッド14を取付
けた状態を示す、前記第１図（Ａ）のIII−III位置に対
応する概略断面図である（第２調整板22は破断してあ
る）。 上記検出ヘッド14の取付は、その右端の突出部14Aに上
記第１調整板20の固定部20Aを、ねじ孔32に通したねじ4
0により取付固定することにより行われる。その際、第
３図（Ａ）に示すように、上記固定端部（突出部）14A
を除く検出ヘッド14と上記第１調整板20との間には幅ｌ
の間隙が形成され、且つ該検出ヘッド14の図中左端部に
前記調整ねじ24が皿状座金41を介して螺入されている。 そして、図３（Ｂ）に示すように、上記調整ねじ24を締
め付けると上記第１調整板20を、その小剛性部36を中心
にしてたわませ、左端における該第１調整板20と上記検
出ヘッド14との間隙ｌ′まで縮小することができ、その
結果、略上記取付ねじ40で固定された位置（固定部）を
通る紙面に垂直な軸（第１軸）を中心として、上記検出
ヘッド14を角度θだけ回転させることができる。 従って、上記調整ねじ24を回して締め付け量を調節する
だけで、上記第１調整板20のたわみ量を連続的に調節で
き、上記検出ヘッド14の回転角θの微小調整を容易且つ
確実に行うことが可能となる。 第４図は、本実施例における、第２調整板22の第１調整
板20に対する面方向の回動を説明する図であり、回動ピ
ン26と偏心ピン28との位置関係を拡大して示すものであ
る。 上記偏心ピン28は、第１調整板20に回動可能に取付けら
れており、そのヘッド部の上部には割り溝28Aが形成さ
れ、マイナスドライバで該偏心ピン28を回転させること
が可能になされていると共に、その回転中心Ｃはヘッド
部中心Ｃ′からｒだけ偏在している。又、第２調整板22
に形成されている溝部28Bは、その左右の側面が上記偏
心ピン28のヘッド部の径に一致している。 従って、回動ピン26の軸中心、回転中心Ｃ及びヘッド部
中心Ｃ′が何れも基準線Ｓ上にある第４図（Ａ）の状態
から、上記偏心ピン28を右回りに90°回転すると同図
（Ｂ）のように、上記ヘッド部中心Ｃ′が回転中心Ｃよ
り右方向にｒだけずれた状態が形成される。その結果、
上記第２調整板22は、上記回動ピン26を中心にして上記
第１調整板20に対して右方向に回動するため、該回動ピ
ンの軸中心を通る軸（第２軸）に関して上記第２調整板
22を角度θ′（分単位）だけ回転させることが可能とな
る。 同様に、上記偏心ピン28を、第４図（Ａ）の状態から左
回りに90°回転させる場合は、上記第２調整板22を基準
線Ｓから−θ′だけ回転させることが可能である。 従って、上記偏心ピン28の回転角を調節することによ
り、上記第１調整板20に対する第２調整板22の回転角の
連続的な微小調整を±θ′の範囲内で容易且つ確実に行
うことが可能となる。 又、本実施例では、上記の如く、第２調整板22の回転角
を調整するに際しては、第５図（Ａ）の部分断面図（第
１図（Ｂ）とは逆の配置である）に示すように固定ねじ
30を緩めておく。なお、上記固定ねじ30が挿通されてい
る第２調整板22の挿通孔30Bは、上記第２調整板22が回
動可能なように、該固定ねじ30の径より大きな径で形成
されている。 上記回転角θ′の調整を行った後は、上記固定ねじ30を
第５図（Ｂ）のように強く締め付けることにより、第１
調整板20と第２調整板22との位置関係を固定することが
できる。 以上詳述した本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置
は、前述の如くして検出ヘッド14を第１調整板20に取付
けた後、第２調整板22の外側面で検出部本体12に取付け
ることにより、該検出ヘッド14の搭載を可能とするもの
である。 第６図は、検出ヘッド14を取付けた後の本実施例の調整
装置を取付けた検出部本体12を、その裏側から見た図で
ある。 上記調整装置は、検出部本体12を構成する裏面板42に前
記第２調整板22を介して取付けられている（第２調整板
22の取付位置を破線で示した）。上記第２調整板22は、
前記４箇所の孔38を介して上記裏面板42の外側からねじ
38Bで固定されている。 又、上記裏面板42には、上記調整装置を構成する第１調
整板20や第２調整板22に取付けられている突出した形状
のねじ等の部材に対応する位置には孔が形成され、該調
整装置を取付けた際に突出した上記部材が裏面板42に突
き当たらないようにすると共に、検出部本体12の外側か
ら調整ねじ24や偏心ピン28の操作を行えるようにしてあ
る。なお、第６図中、44は検出部本体12を、スケール10
に沿って移動させるための移動台で、46はヘッドケーブ
ルである。 本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置によれば、前
記の如くして第１調整板20に検出ヘッド14を取付けた
後、第２調整板22を上記検出部本体12の裏面板44の内側
に取付けることにより、該検出部本体12に検出ヘッド14
を搭載することができるため、前記第１図で示したよう
にスケール10に沿って、検出部本体12と共に上記検出ヘ
ッド14を移動させ、所望の計測を行うことが可能とな
る。 又、本実施例の調整装置は、検出部本体12に取付けた
後、前述の如く、調整ねじ24により上記検出ヘッド14の
取付角度θを連続的に調節することができると共に、偏
心ピン28により上記角度θの回転方向に直交する面方向
への上記第２調整板22の回転角度θ′を連続的に調節す
ることができる。そして、上記角度θ及びθ′は、互い
に干渉することなく、それぞれ独立して調節可能であ
る。 従って、本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置を用
いることにより、検出ヘッド14を検出部本体12に取付け
ることができ、しかも取付けた状態で上記のように互い
に直交する方向の角度θ及びθ′を調節できるため、検
出ヘッド14の取付姿勢を第７図（Ａ）に示したモアレ方
向及びピッチング方向にそれぞれ独立に調整することが
できる。 又、上記角度θ及びθ′の調節は、微小角度で極めて精
度良く行うことができるため、上記検出ヘッド14の上記
両方向への取付姿勢をそれぞれ極めて高精度で行うこと
ができる。 又、本実施例の調整装置は、検出部本体12への検出ヘッ
ド14の取付及びその取付姿勢の調整を簡単にできるた
め、誰にでも簡単に検出ヘッド14の取付を正確に行うこ
とができ、しかもその正確な取付状態を容易に再現する
こともできる。 以上、本考案について具体的に説明したが、本考案の検
出ヘッドの取付姿勢調整装置は、前記実施例に示したも
のに限られるものでない。 例えば、第１調整板のたわみ量を調節する機構として
は、第１調整板と検出ヘッドとの間隔を精度良く調節す
ることができるものであれば、前記調整ねじに限られな
い。 又、第２調整板の回転量を調節する機構も、偏心ピンに
限られず、回転量を正確に調節することができるもので
あれば、くさびやねじ等を利用することができる。 又、本考案の検出ヘッドの取付姿勢調整装置は、格子干
渉形変位計に限らず、光、磁気、静電容量等を利用して
測定を行うエンコーダ等、互いに直交する軸に関する回
転方向に検出ヘッドの取付姿勢を高精度に調整すること
が要求される種々の装置における検出ヘッドの取付に適
用可能であることはいうまでもない。
る。 第１図（Ａ）は、本考案の一実施例である検出ヘッドの
取付姿勢調整装置を示す平面図、同図（Ｂ）は上記取付
姿勢調整装置のＢ−Ｂ断面図であり、第２図は上記取付
姿勢調整装置の分解斜視図である。 本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置は、検出ヘッ
ド14を取付ける第１調整板20と、検出部本体に取付ける
第２調整板22とを有しており、これら第１調整板20及び
第２調整板22はそれぞれ内側面で実質的に接触してい
る。 上記調整装置は、後述するように、上記第１調整板20に
検出ヘッド14を取付けた状態で、上記第２調整板22を検
出部本体12に取付けることにより、該検出部本体12に上
記検出ヘッド14を搭載するための装置である。 上記検出ヘッドの取付姿勢調整装置には、第１調整板20
のたわみ量を調節するための調整ねじ（たわみ量調節手
段）24と、第２調整板を第１調整板に対して面方向に回
動させるための回動ピン（回動軸）26と、該第２調整板
の回動量を調節するための偏心ピン（回動量調節手段）
28と、該回動量を調節した後、上記第２調整板の位置を
固定するための２つの固定ねじ30を有している。 上記第１調整板20は、第１図（Ａ）では第２調整板22の
裏側に位置しており、図中右側には検出部本体12に取付
けるための固定部20Aが、該第２調整板22の右端より突
出して形成されており、該固定部20Aには固定用の２つ
のねじ孔32が形成されている。上記固定部20Aには上記
ねじ孔32の内側に長孔（肉抜き部）34が形成され、その
上下に位置する固定部20Aに小剛性部36が形成されてい
る。 又、上記第１調整板20には、調整ねじ24の貫通孔24A、
回動ピン26の嵌入孔26A、偏心ピン28の嵌入孔28A及び固
定ねじ30の螺入孔30Aがそれぞれ形成されている。 又、上記第２調整板22には、調整ねじ24を上記第１調整
板20に取付けるための該調整ねじ24の径より大きな孔24
B、回動ピン26の挿通孔26B、上記第１調整板20に取付け
られた偏心ピン28のガイドを構成する溝部28B及び固定
ねじ30の挿通孔30B（該固定ねじ30のねじ部より径が大
きい）がそれぞれ形成され、更に検出部本体12に取付け
るための孔38が４箇所形成されている。なお、上記孔38
に対応する第１調整板20の位置にも孔38Aが形成されて
いる。 上述した第１調整板20及び第２調整板22について、第２
図に示すように回動ピン26及び偏心ピン28をそれぞれ×
の位置に通し、且つ、これらのピン26及び28の先端を上
記第１調整板20の外側面でかしめて固定すると共に、上
述した他のねじ等を所定位置に取付けることにより、本
実施例の前記検出ヘッドの取付姿勢調整装置が形成され
ている。 第３図は、上記取付姿勢調整装置に検出ヘッド14を取付
けた状態を示す、前記第１図（Ａ）のIII−III位置に対
応する概略断面図である（第２調整板22は破断してあ
る）。 上記検出ヘッド14の取付は、その右端の突出部14Aに上
記第１調整板20の固定部20Aを、ねじ孔32に通したねじ4
0により取付固定することにより行われる。その際、第
３図（Ａ）に示すように、上記固定端部（突出部）14A
を除く検出ヘッド14と上記第１調整板20との間には幅ｌ
の間隙が形成され、且つ該検出ヘッド14の図中左端部に
前記調整ねじ24が皿状座金41を介して螺入されている。 そして、図３（Ｂ）に示すように、上記調整ねじ24を締
め付けると上記第１調整板20を、その小剛性部36を中心
にしてたわませ、左端における該第１調整板20と上記検
出ヘッド14との間隙ｌ′まで縮小することができ、その
結果、略上記取付ねじ40で固定された位置（固定部）を
通る紙面に垂直な軸（第１軸）を中心として、上記検出
ヘッド14を角度θだけ回転させることができる。 従って、上記調整ねじ24を回して締め付け量を調節する
だけで、上記第１調整板20のたわみ量を連続的に調節で
き、上記検出ヘッド14の回転角θの微小調整を容易且つ
確実に行うことが可能となる。 第４図は、本実施例における、第２調整板22の第１調整
板20に対する面方向の回動を説明する図であり、回動ピ
ン26と偏心ピン28との位置関係を拡大して示すものであ
る。 上記偏心ピン28は、第１調整板20に回動可能に取付けら
れており、そのヘッド部の上部には割り溝28Aが形成さ
れ、マイナスドライバで該偏心ピン28を回転させること
が可能になされていると共に、その回転中心Ｃはヘッド
部中心Ｃ′からｒだけ偏在している。又、第２調整板22
に形成されている溝部28Bは、その左右の側面が上記偏
心ピン28のヘッド部の径に一致している。 従って、回動ピン26の軸中心、回転中心Ｃ及びヘッド部
中心Ｃ′が何れも基準線Ｓ上にある第４図（Ａ）の状態
から、上記偏心ピン28を右回りに90°回転すると同図
（Ｂ）のように、上記ヘッド部中心Ｃ′が回転中心Ｃよ
り右方向にｒだけずれた状態が形成される。その結果、
上記第２調整板22は、上記回動ピン26を中心にして上記
第１調整板20に対して右方向に回動するため、該回動ピ
ンの軸中心を通る軸（第２軸）に関して上記第２調整板
22を角度θ′（分単位）だけ回転させることが可能とな
る。 同様に、上記偏心ピン28を、第４図（Ａ）の状態から左
回りに90°回転させる場合は、上記第２調整板22を基準
線Ｓから−θ′だけ回転させることが可能である。 従って、上記偏心ピン28の回転角を調節することによ
り、上記第１調整板20に対する第２調整板22の回転角の
連続的な微小調整を±θ′の範囲内で容易且つ確実に行
うことが可能となる。 又、本実施例では、上記の如く、第２調整板22の回転角
を調整するに際しては、第５図（Ａ）の部分断面図（第
１図（Ｂ）とは逆の配置である）に示すように固定ねじ
30を緩めておく。なお、上記固定ねじ30が挿通されてい
る第２調整板22の挿通孔30Bは、上記第２調整板22が回
動可能なように、該固定ねじ30の径より大きな径で形成
されている。 上記回転角θ′の調整を行った後は、上記固定ねじ30を
第５図（Ｂ）のように強く締め付けることにより、第１
調整板20と第２調整板22との位置関係を固定することが
できる。 以上詳述した本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置
は、前述の如くして検出ヘッド14を第１調整板20に取付
けた後、第２調整板22の外側面で検出部本体12に取付け
ることにより、該検出ヘッド14の搭載を可能とするもの
である。 第６図は、検出ヘッド14を取付けた後の本実施例の調整
装置を取付けた検出部本体12を、その裏側から見た図で
ある。 上記調整装置は、検出部本体12を構成する裏面板42に前
記第２調整板22を介して取付けられている（第２調整板
22の取付位置を破線で示した）。上記第２調整板22は、
前記４箇所の孔38を介して上記裏面板42の外側からねじ
38Bで固定されている。 又、上記裏面板42には、上記調整装置を構成する第１調
整板20や第２調整板22に取付けられている突出した形状
のねじ等の部材に対応する位置には孔が形成され、該調
整装置を取付けた際に突出した上記部材が裏面板42に突
き当たらないようにすると共に、検出部本体12の外側か
ら調整ねじ24や偏心ピン28の操作を行えるようにしてあ
る。なお、第６図中、44は検出部本体12を、スケール10
に沿って移動させるための移動台で、46はヘッドケーブ
ルである。 本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置によれば、前
記の如くして第１調整板20に検出ヘッド14を取付けた
後、第２調整板22を上記検出部本体12の裏面板44の内側
に取付けることにより、該検出部本体12に検出ヘッド14
を搭載することができるため、前記第１図で示したよう
にスケール10に沿って、検出部本体12と共に上記検出ヘ
ッド14を移動させ、所望の計測を行うことが可能とな
る。 又、本実施例の調整装置は、検出部本体12に取付けた
後、前述の如く、調整ねじ24により上記検出ヘッド14の
取付角度θを連続的に調節することができると共に、偏
心ピン28により上記角度θの回転方向に直交する面方向
への上記第２調整板22の回転角度θ′を連続的に調節す
ることができる。そして、上記角度θ及びθ′は、互い
に干渉することなく、それぞれ独立して調節可能であ
る。 従って、本実施例の検出ヘッドの取付姿勢調整装置を用
いることにより、検出ヘッド14を検出部本体12に取付け
ることができ、しかも取付けた状態で上記のように互い
に直交する方向の角度θ及びθ′を調節できるため、検
出ヘッド14の取付姿勢を第７図（Ａ）に示したモアレ方
向及びピッチング方向にそれぞれ独立に調整することが
できる。 又、上記角度θ及びθ′の調節は、微小角度で極めて精
度良く行うことができるため、上記検出ヘッド14の上記
両方向への取付姿勢をそれぞれ極めて高精度で行うこと
ができる。 又、本実施例の調整装置は、検出部本体12への検出ヘッ
ド14の取付及びその取付姿勢の調整を簡単にできるた
め、誰にでも簡単に検出ヘッド14の取付を正確に行うこ
とができ、しかもその正確な取付状態を容易に再現する
こともできる。 以上、本考案について具体的に説明したが、本考案の検
出ヘッドの取付姿勢調整装置は、前記実施例に示したも
のに限られるものでない。 例えば、第１調整板のたわみ量を調節する機構として
は、第１調整板と検出ヘッドとの間隔を精度良く調節す
ることができるものであれば、前記調整ねじに限られな
い。 又、第２調整板の回転量を調節する機構も、偏心ピンに
限られず、回転量を正確に調節することができるもので
あれば、くさびやねじ等を利用することができる。 又、本考案の検出ヘッドの取付姿勢調整装置は、格子干
渉形変位計に限らず、光、磁気、静電容量等を利用して
測定を行うエンコーダ等、互いに直交する軸に関する回
転方向に検出ヘッドの取付姿勢を高精度に調整すること
が要求される種々の装置における検出ヘッドの取付に適
用可能であることはいうまでもない。
第１図（Ａ）は、本考案の検出ヘッドの一実施例を示す
平面図、 第１図（Ｂ）は、上記検出ヘッドの取付姿勢調整装置の
Ｂ−Ｂ断面図、 第２図は、上記検出ヘッドの取付姿勢調整装置の分解斜
視図、 第３図、第４図及び第５図は、それぞれ上記検出ヘッド
の取付姿勢調整装置の作用を示す概略断面図、 第６図は、検出部本体の概略を示す裏面図、 第７図（Ａ）は、スケールを示す概略斜視図、 第７図（Ｂ）は、スケールと検出部本体との位置関係を
示す概略斜視図である。 10…スケール、12…検出部本体、14…検出ヘッド、20…
第１調整板、22…第２調整板、24…調整ねじ、26…回動
ねじ、28…偏心ピン。
平面図、 第１図（Ｂ）は、上記検出ヘッドの取付姿勢調整装置の
Ｂ−Ｂ断面図、 第２図は、上記検出ヘッドの取付姿勢調整装置の分解斜
視図、 第３図、第４図及び第５図は、それぞれ上記検出ヘッド
の取付姿勢調整装置の作用を示す概略断面図、 第６図は、検出部本体の概略を示す裏面図、 第７図（Ａ）は、スケールを示す概略斜視図、 第７図（Ｂ）は、スケールと検出部本体との位置関係を
示す概略斜視図である。 10…スケール、12…検出部本体、14…検出ヘッド、20…
第１調整板、22…第２調整板、24…調整ねじ、26…回動
ねじ、28…偏心ピン。
Claims (1)
- 【請求項１】検出ヘッドを検出部本体に取付けると共
に、該検出部本体に対する検出ヘッドの取付姿勢を調整
するための検出ヘッドの取付姿勢調整装置であって、 検出ヘッドを取付ける第１調整板と、検出部本体に取付
ける第２調整板とを有し、 前記第１調整板は、検出ヘッドの突出部に固定して取付
けられ、前記第２調整板は、該第１調整板に重ねられ、
且つ回動軸を中心にその面方向に回動可能に軸支されて
いると共に、 前記検出ヘッドでの固定部を支点にする前記第１調整板
の該検出ヘッド方向へのたわみ量を連続的に調節するた
わみ量調節手段と、 前記第１調整板に対する前記第２調整板の回動量を連続
的に調節する回動量調節手段とを備えていることを特徴
とする検出ヘッドの取付姿勢調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990048056U JPH075361Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 検出ヘッドの取付姿勢調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990048056U JPH075361Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 検出ヘッドの取付姿勢調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047317U JPH047317U (ja) | 1992-01-23 |
| JPH075361Y2 true JPH075361Y2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=31564533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990048056U Expired - Lifetime JPH075361Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 検出ヘッドの取付姿勢調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075361Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4650619B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2011-03-16 | 株式会社ニコン | 駆動ユニット、光学ユニット、光学装置、並びに露光装置 |
| JP6344591B2 (ja) * | 2013-01-11 | 2018-06-20 | 株式会社北電子 | 遊技機用表示装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316631B2 (ja) * | 1985-10-02 | 1991-03-06 | Daihatsu Motor Co Ltd |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3016631U (ja) * | 1995-04-05 | 1995-10-09 | ホットライン国際輸送株式会社 | 衣類輸送用ハンガーコンテナー |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP1990048056U patent/JPH075361Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316631B2 (ja) * | 1985-10-02 | 1991-03-06 | Daihatsu Motor Co Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047317U (ja) | 1992-01-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |