JPS5915787B2 - 鏡面研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は鏡面研磨装置の改良に係り、特に研磨中に回転
研磨盤と回転治具の回動中心の距離を変えることによつ
て前記回転研磨盤の摩耗分布を均一ならしむべく構成し
た鏡面研磨装置に関する。

従来、斯種研磨装置は、第１図に原理的に図示される如
く、基本的に回転研磨盤１と、被研磨試料を前記研磨盤
１上に押し付け相対的に回転せし門 める回転治具２及
び前記回転治具２を駆動する手段、例えば前記回転研磨
盤の外周に設けられる歯車１ａに噛合する歯車４ａと、
前記回転治具２の外周に転接するゴムプーリ４ｂを備え
る回転伝達輪４で構成される。前記回転治具２の裏面に
は、１０第２図図示の如く試料が被研磨面を下にして固
定されており、前記支軸３の押圧又は前記回転治具２の
自重によつて前記回転研磨盤１に圧接される前記試料５
は、前記回転研磨盤１との摩擦により研磨される。然し
乍ら前記試料５が研磨されるに１５従い、前記研磨盤１
も第３図の断面図図示の如く研磨盤ａの中央部が不均一
に摩耗するため鏡面研磨の障害となる。斯る障害を改善
する方法として第４図の原理図に図示せる如く前記回転
研磨板１の中心に修正用ギア６を取り付けると共に、第
５２０図図示の如く外周に歯車を持つ修正リング７を前
記回転治具２外周に嵌め込み、前記修正用ギア６と修正
リング７を噛合回動せしめることにより外周を摩耗せし
め平面度を回復することが考えられる。（第６図中のｂ
）。而し乍ら修正の度に前記２５修正用ギア６及び前記
修正リング７を着脱せねばならず煩雑さを免れ得なかつ
た。而も摩耗の状態及び修正の状態の計測を必要とする
ため作業者に熟練度が要求される等の不都合を生じた。
よつて本発明は、上述の修正作業を省くべく前３０記回
転研磨盤の摩耗度を一様にし乍ら試料を研磨する鏡面研
磨装置を提案せんとするものである。

以下本発明をビデオテープレコーダの回転ヘッドのフェ
ライト単結晶等を研磨する鏡面研磨装置に採用した一実
施例を顕わす第７図及び第８図に３５従い詳述する。ま
ず、フェライト単結晶を研磨する円形の回転研磨盤１は
、下方に配した駆動モータ（図示省略）にてその中心を
駆動されている。

この回転研磨盤１は、外周に歯車１ａを形成しており、
上方に回転治具２を載置している。該回転治具２は、研
磨面を下にしたフエライト単結晶５・・・を複数個個定
しており、その中心部２ａを支軸３にて押圧支持され外
周に回転伝達輪４を常時転接せしめている。

該回転伝達輪４は、上部のゴムプ一り４ｂと下部の歯車
４ａとより成り、後述するレバー８の一辺の下部に回動
自在に軸支される。

該レバー８は、くの字状に形成されておりその中間部を
基台上の固定軸１９に回動自在に軸支されている。

このレバー８の一辺には、水平方向に平行に伸びる２本
の摺動軸９，９が固定されている。またこのレバー８の
他辺には、第１空圧シリンダ１４の第１シリンダ軸１３
が連結されている。従つて、前記第１空圧シリンダ１４
が、間歇的に作動すると第１シリンダ軸１３の押圧動作
と牽引動作により前記レバー８は前記固定軸１９を中心
に間歇的に揺動せしめられる。周、本実施例の場合、第
１空圧シリンダ１４は、タイマを持つ制御機構によりそ
の動作を制御され、第１シリンダ軸１３の押圧期間と牽
引期間の比を１：７に設定しているが、この第１空圧シ
リンダ１４を手動によつて操作しても良いことは言う迄
もない。

また、前記支軸３を回動自在に支持する押圧部材１２は
、前記摺動軸９，９により串差状に支持されており、該
摺動軸９，９の軸方向に摺動可能である。

この押圧部材１２は、上部に第２空圧シリンダ１８を設
けており、第２シリンダ軸２０と前記支軸３がスラスト
ベアリング１７を介して連結されている。従つて、前記
第２空圧シリンダ１８は前記回転治具２の中心を適当な
圧力で押圧することになる。一方、前記回動伝達輪４を
軸支するレバー８と、前記摺動軸９，９に支持される押
圧部材１２との間には、牽引用の発条１０が張架されて
おり、前記レバー８側には前記発条１０の一端を係止す
る調整螺子１１が進退可能に配設されている。

よつて、支軸３により回転治具２を支持する押圧部材１
２は、この発条１０の付勢力によつて、前記回動伝達輪
４を軸支するレバー８に対して牽引される。その結果、
前記回転治具２は、常時適当な圧力で前記回動伝達輪４
に転接せしめられる。従つて前記レバー８が前記第１シ
リンダ軸１３の間歇的な往復動作に伴い揺動すれば、前
記押圧部材１２も前記固定軸１９を中心に揺動し、前記
回転治具２及び前記回動伝達輪４は、前記回転研磨盤１
に対しその径方向の２位置に変位せしめられる。よつて
、この変位により、前記回動伝達輪４の歯車４ａは、前
記回転研磨盤１外周の歯車１ａに対して、間歇的に噛合
状態と噛合解除状態”を繰り返し、前記回転治具２の強
制回転と自由回転とを可能にしている。球下本実施例の
動作について説明する。

まず、本実施例はインゴツトより切り出した円板状のフ
エライト単結晶５・・・裏面に添着した回転治具２を回
転研磨盤１上に載置し、この回転治具２の中心部２ａに
前記支軸３を挿入して、前記第２空圧シリンダ１８の押
圧力により前記フエライト単結晶５・・・を加圧挟持す
る。

次に第７図に図示する様に前記第１シリンダ軸１３を押
圧状態に設定して前記回転研磨盤１を回転せしめた第１
の研磨モードを設定すると、前記回転治具２は、前記回
動伝達輪４と前記回転研磨盤１とが噛合関係に保たれて
いるため、該回転研磨盤１と同一方向に強制回転せしめ
られる。

この第１の研磨モードで前記回転研磨盤１は、中央部が
より多く摩耗する。そこで、本実施例では、前記回転研
磨盤１を駆動したまま、前記第１シリンダ軸１３を牽引
することにより、第１の研磨モードに代わる第２の研磨
モードを設定している。

この研磨モードでは、前述する噛合関係は解除され、前
記回転治具２がその中心を前記回転研磨盤１の僅か外方
に移動し、前記回転治具２が自由回転可能となる。この
第２の研磨モードに於て、前記回転研磨盤１に対する前
記回転治具２の相対速度に着目すると、回転研磨盤１の
外方に於ける相対速度が内方に於ける相対速度より大と
なることが容易に理解されよう。従つて、前記回転治具
２は噛合時より低速で回転することになる。従つて第２
の研磨モードに於て、前記回転研磨盤１はその外方が内
方の研磨力の差によつてより多く摩耗することになる。
本実施例では、前記回転治具２の中心を２位置に変位せ
しめており、回転研磨盤１の内方に於ける噛合期間に対
し、外方に於ける噛合解除期間は約７倍に設定されてい
る。

向、本実施例では、回動伝達輪を介して前記回転治具を
回動しているが、本発明は、前記回転治具を前記支軸に
固定し前記支軸を間歇的に回動せしめても良いことは言
う迄もない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の研磨機構を顕わす原理的斜視図、第２図
は試料の添着状態を顕わす斜視図、第３図は研磨による
摩耗状態を顕わす研磨盤の側断面図、第４図は研磨盤の
修正方法を顕わす原理的斜視図、第５図は修正リングを
顕わす斜視図、第６図は修正後の状態を顕わす研磨盤の
側断面図、第７図は本発明による研磨機構を顕わす平面
図、第８図は第７図中のＡ−Ａ断面図である。 主な図番の説明、１・・・・・・回転研磨盤、２・・・
・・・回転治具、３・・・・・・支軸、４・・・・・・
回動軸、５・・・・・・フエライト単結晶。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 研磨時に常時回動せしめられる円板状の回転研磨盤
   と、被研磨資料を下面に固定し該研磨資料を前記回転研
   磨盤に対接せしめる円板状の回転治具と、該回転治具の
   中心を支持し前記被研磨資料を前記回転研磨盤に圧接せ
   しめる支軸と、揺動自在に枢支されるレバーに支持され
   前記回転治具の外周に常時転接すると共に前記回転研磨
   盤の外周に対向配置される回動伝達輪と、前記レバーを
   揺動せしめて前記回動伝達輪を前記回転研磨盤の外周に
   選択的に転接せしめる空圧シリンダとを配して成る鏡面
   研磨装置。