JPS59136477A - 基体に酸化錫膜を形成する方法 - Google Patents

基体に酸化錫膜を形成する方法

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JPS59136477A
JPS59136477A JP23037682A JP23037682A JPS59136477A JP S59136477 A JPS59136477 A JP S59136477A JP 23037682 A JP23037682 A JP 23037682A JP 23037682 A JP23037682 A JP 23037682A JP S59136477 A JPS59136477 A JP S59136477A
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Masato Hyodo
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    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/407Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガラス、セラミック、金属等の基体表面に酸化
錫膜を形成する方法に関し、特に高湿のガラス板に有機
錫化合物の蒸気を接触させることによりガラス板表面に
酸化錫膜を形成する方法に関する。
一般に酸化錫膜はすぐれた硬度を有していることからビ
ン製品9食器などの表面の傷つき防止に広く用いられて
いる。また酸化錫膜の半導体的性質を利用した応用例も
多く、例えば酸化錫膜を形成したガラスは液晶セルの電
極板、防母ガラスなど透明な電導体としての用途に広く
使用されており、更にはそのすぐれた赤外線反射特性か
ら太陽熱集熱器のカバーガラスとしても極めて有用であ
るO 酸化錫膜をガラス表面等に付着させる方法としては種々
あるが、量産に適した方法として古くから四塩化錫を有
機溶媒に溶かした溶液を高温のガラス表面等に吹伺ける
方法が用いられてきた。
そして近年、四塩化錫またはジメチルニ塩化錫を加熱蒸
発させて得られる蒸気を高温のガラス表面等に接触させ
る、いろゆるCVD法も広く採用されている。しかしな
がら、これらの方法で形成される酸化錫膜は一般にヘイ
ズと呼ばれる曇りを有するものが多く、特に被膜厚味を
厚くした場合ヘイズか悪化し著しく美観を損うのが最大
の難点であった。このため錫化合物を含む溶液または錫
化合物蒸気を高温のガラスに吹付る際のノス諏し構造。
吹付圧、あるいは錫化合物の熱分解後に生しる排ガスの
吸引方法などに種々の改良が提案されている。
近年、酸化錫膜のヘイズを軽減する方法としてソ(7)
分子中に塩素原子を含まないジブチル錫ジアセテー” 
 ((04H9)21En(CH3CiOO)2)ヲ用
イタCVD法によりガラス表面にヘイズのがなり少ない
酸化錫膜を形成できるようになった。
しかしながらジブチル錫ジアセテートを用いたCVD法
では四塩化錫、またはジメチルニ塩化錫を用いたものに
比べて成膜速度が著しく劣る他、ジブチル錫ジアセテー
トが加熱中に化学的に変化して蒸気発生量が急激に減少
し、酸化錫膜を形成しなくなるという欠陥を有していた
本発明者らは、かかるCVD法による酸化錫膜の形成に
おける出発原料錫化合物の問題点に関し鋭意研究の結果
、加熱によっても変質を起さず、酸化錫膜の形成速度も
早く、かつヘイズにすぐれた酸化錫膜形成が可能な出発
原料錫化合物を見出すに至った。すなわち、本発明は高
温に加熱した基体表面に錫化合物の粉末を接触させて熱
分解酸化反応により基体に酸化錫膜を形成する方法にお
いて、該錫化合物がモノブチル錫トリクロライドである
ことを特徴とする基体に酸化錫膜を形成する方法である
本発明は常温で安定な液体であり、加熱によって殆んと
変質しないモノブチル錫トリクロライドを用いることに
よって、再現性がよく、所定厚みの酸化錫膜を基体表面
に形成することができる。
また本発明は酸化錫膜形成用原料として用いられてきた
四塩化錫・ジメチルニ塩化錫に比べ、極めてヘイズの少
ない酸化錫膜を基体表面に形成することかできる。
更にまた本発明は酸化錫膜形成用原料として試みられて
いるジブチル錫ジアセテートと比較して、基体表面に極
めて早い速度で酸化錫膜を形成することができる。
以下に本発明の詳細な説明する。
実施例/ 第7図において/は酸化錫膜形成用の錫化合物の蒸気を
発生するための蒸発器であり、この蒸発器/にコンブレ
ソサコで発生し、減圧弁3で所定圧力に保持されたキャ
リアガスを送り、蒸発器/内の錫化合物の蒸気を混合機
ゲに送る。しがる後に混合機l内の混合された錫化合物
の蒸気を配管終端に設けたスリット状噴出口10がら噴
出し、移送用口iルにより移送される!;7タ°cの高
温のガラス表面に吹き付けて酸化錫膜を形成する。
錫化合物としてモノブチル錫トリクロライド(CJf9
SnC43)を用い、蒸発器/に入れた後、/!;。
°Cに加熱することによりその蒸気を発生させ、キャリ
ヤガスの窯素ガスを用いて錫化合物蒸気を配管の終端に
送る。
この時のキャリアガスの圧力は/ Kg/Cm2 であ
り流量は!;073/分であった。ガラスは厚味3mm
寸法/、!;Omm(幅) ×txoomm (長さ)
で、移送用ロールニより7m/分の速度で走行させた。
かかる条件のもとに各錫化合物毎に70分間隔てノ時間
にわたって成膜し、得られた酸化錫膜の膜厚をタリサー
フで測定した。その結果は第2図○印で示す。
次に錫化合物として四塩化錫(SnclJ 、及びジブ
チル錫ジアセテート((C4H9) 2 Sn (CH
3COO) 2 )夫々を用いて実施例/と同様にして
比較サンプルを製作した。得られた夫々の比較サンプル
の酸化錫膜の膜厚をタリサーフで測定し、その結果を四
塩化錫を用いたものは◇で、ジブチル錫ジアセテートを
用いたものは△て第2図に示した。以上の結果より、四
塩化錫を用いたものは成膜速度が早いかへイス率が大て
あり、ジブチル錫ジアセテ−1・を用いたものはへイス
率は小であったが成膜速度か小さく、シかも成膜速度は
経時的に減少する。
ところが本発明によるモノブチル錫トリクロライドを用
いたものは成膜速度は四塩化錫を用いたものに匹敵する
ほど早く、シかもへイス率は小であった。
実施例2 キャリアガス量を20乃至/301/分にわたって変更
した以外は実施例/と同様にしてガラス表面に酸化錫膜
を形成した。
次に錫化合物として四塩化錫(SnC14〕及びジメチ
ルジ塩化錫C(CH3) 2snGIJz )を用イテ
実施例2と同様にして比較サンプルを製作した。得られ
た酪化錫膜のヘイズ率を光温度計(日本電色株式会社製
モデルNDL−,20H)で測定し、しかる後その膜厚
をタリサーフで測定した。その測定結果をモノブチル錫
トリクロライド、四塩化錫及びジメヂルジ塩化錫を用い
たものを○、◇、及び△で第3図に示した。
第3図から本発明のモノブチル錫トリクロライドを用い
たも、のはヘイズ率の優れていることが理1wできる。
実施例3 実施例/で用いた装置にドーピング用のフロンガス供給
器を第7図の如く設け、7ノ素をドーピングした酸化錫
膜の形成を試みた。フロンカスcc72F2は2・7図
に示すボンベ汐から出て減圧弁3を経た後、流量計7を
通し、加熱配管乙とバルブざを介して混合機lに送られ
る。       弘酸化錫膜の形成はボンベSよりフ
ロンガスを発生させ、101/分を混合機lに送った外
は実施例−と全く同様コンプレッサ2からのキャリアガ
ス量を、20乃至/!;017分にわたって変更し、ガ
ラス表面にフッ素のドープされた酸化錫膜を形成した。
次に錫化合物としてジメチルニ塩化R((CH3)、z
sn072) 。
及びジブチル錫ジアセテート〔(C4H9)2Sn(C
H3CCO)2〕を用いて実施例3と同様にして比較サ
ンプルを製作した。
このようにして得られた酸化錫膜の電気抵抗(Ω/11
:])を測定し、しかる後に膜厚をタリづ−フで測定し
た。その測定結果をモノブチル錫トリクロライド。
ジメチル二塩化錫及びジブル錫シアセテ−1・を用いた
ものを夫々○、◇、及び△でオダ図に示した。
第4図より本発明により得られた酸化錫膜は優れた電気
的特性を有していることがわかる。
以上、本発明は実施例/、2.及び3より被膜の形成速
度が早く、ヘイズ率が低く、且つ電気抵抗の小さな酸化
錫膜を形成できることが理解できる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すものであって、第7図は本
発明を実施する装置の概略図、第2図は経時的な形成錫
膜の膜厚変化を示すグラフ(含比l咬ツンブル)第3図
は酸化錫膜の膜厚に対するヘイズ率を示すグラフ(含比
較サンプル)オゲ図は酸化錫膜の膜厚に対する電気抵抗
(Ω/口)を示すグラフを示すグラフ(含比較サンプル
)である。 /:蒸発器2.2°コンプレツサ、 3,3/:減圧弁
。 グ、混合機、S:ボンベ、乙:配管。 7:流量語、ざ、バルブ 第1因 第2図 8′!i+旬  (分) 手 続 補 正 書 (自発)  6 昭和39幅9月27 特許庁長官殿 /、事件の表示 特願昭!; 7−23037乙号 1   ロ              −2 発明の
名称 基体に酸化錫膜を形成する方法 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町4丁目8番地名 称 
(aoo) B本板硝子株式会社代表者  刺 賀 信
 雄 グ代理人 補正の内容 (1)明細書第2頁第72行目の「いろゆる」を[いわ
ゆる」に補正する。 (2)第1図を別紙の通り補正する。 以   上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 高温に加熱した基体表面に錫化合物の蒸気を接触させて
    熱分解酸化反応により基体に酸化錫膜を形成する方法に
    おいて、該錫化合物がモノブチル錫トリクロライドであ
    ることを特徴とする基体に酸化錫膜を形成する方法。
JP23037682A 1982-12-23 1982-12-23 基体に酸化錫膜を形成する方法 Granted JPS59136477A (ja)

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DK591683A DK591683A (da) 1982-12-23 1983-12-22 Fremgangsmaade til aflejring af et tinoxidlag paa et underlag ud fra gasformige tinforbindelser

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EP0112780A1 (fr) 1984-07-04
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