JPH01187713A - 透明導電膜の製造方法 - Google Patents
透明導電膜の製造方法Info
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- JPH01187713A JPH01187713A JP63010357A JP1035788A JPH01187713A JP H01187713 A JPH01187713 A JP H01187713A JP 63010357 A JP63010357 A JP 63010357A JP 1035788 A JP1035788 A JP 1035788A JP H01187713 A JPH01187713 A JP H01187713A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、酸化錫を主成分とする透明導電膜の製造方法
に関し、詳しくは低抵抗でかつ高透過性を有する透明導
電膜の製造方法に関する。
に関し、詳しくは低抵抗でかつ高透過性を有する透明導
電膜の製造方法に関する。
[従来の技術]
近年、透明導電膜は、太陽電池、あるいは液晶表示素子
、エレク1〜ロルミネッセンス素子、プラズマデイスプ
レーパネルなどの透明電極、あるいは面発熱体などに広
く利用ざれている。
、エレク1〜ロルミネッセンス素子、プラズマデイスプ
レーパネルなどの透明電極、あるいは面発熱体などに広
く利用ざれている。
透明導電膜を形成する材料としては、フッ素やアンチモ
ンをドープした酸化錫膜や錫をドープした酸化インジウ
ム(IT’O)膜などがよく知られている。これらの透
明導電性材料の中で、酸化錫系の膜は、耐薬品性に優れ
、かつ安価な原料で形成できるという特長を有している
。
ンをドープした酸化錫膜や錫をドープした酸化インジウ
ム(IT’O)膜などがよく知られている。これらの透
明導電性材料の中で、酸化錫系の膜は、耐薬品性に優れ
、かつ安価な原料で形成できるという特長を有している
。
このような酸化錫系の薄膜は、錫化合物およびフッ素を
含む化合物を、加熱した透明基体に接触させて、熱分解
酸化反応により形成される。
含む化合物を、加熱した透明基体に接触させて、熱分解
酸化反応により形成される。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、このような従来の透明導電膜の製造方法
により製造された酸化錫系の膜は、ITO膜よりb比抵
抗が大きいため、膜厚の等しい酸化錫系の膜とITO膜
の面積抵抗を比べると、酸化錫系の膜の方が面積抵抗が
大きいという問題点があった。
により製造された酸化錫系の膜は、ITO膜よりb比抵
抗が大きいため、膜厚の等しい酸化錫系の膜とITO膜
の面積抵抗を比べると、酸化錫系の膜の方が面積抵抗が
大きいという問題点があった。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、このような従来の問題点を解決するためにな
されたものであって、酸化錫系の透明導電膜の面積抵抗
を小さくするのに好適な透明導電IQの製造方法を提供
することを目的としている。
されたものであって、酸化錫系の透明導電膜の面積抵抗
を小さくするのに好適な透明導電IQの製造方法を提供
することを目的としている。
この目的を達成するために、本発明は、高温に加熱した
透明基体に、錫化合物およびフッ素を含む化合物を接触
させ、熱分解酸化反応によりフッ素ドープ酸化錫膜(以
下SnO2:F膜と記す)を形成し、その複核5n02
:F膜をN2雰囲気の減圧下で、Sn 02 : F肱
を形成した温度(成膜温度)よりも低い温度でプラズマ
に曝す(プラズマ処理する)ものである。
透明基体に、錫化合物およびフッ素を含む化合物を接触
させ、熱分解酸化反応によりフッ素ドープ酸化錫膜(以
下SnO2:F膜と記す)を形成し、その複核5n02
:F膜をN2雰囲気の減圧下で、Sn 02 : F肱
を形成した温度(成膜温度)よりも低い温度でプラズマ
に曝す(プラズマ処理する)ものである。
ここで、本発明に用いることのできる錫化合物としては
、C4Hg Sn C10、Sn Cf1.4 。
、C4Hg Sn C10、Sn Cf1.4 。
(CI−l ) Sn(、L 、
(CnH2o、1)、l5n(但し、n= 1〜4
) 、 (CH3> 2 Sn t−12。
(CnH2o、1)、l5n(但し、n= 1〜4
) 、 (CH3> 2 Sn t−12。
(C4N9)3 Sn H及び
(C4N9 )2 Sn (COOCH3>2などがあ
り、また、フッ素を含む化合物としては、CH3CHF
2 、 CH3CClF2 。
り、また、フッ素を含む化合物としては、CH3CHF
2 、 CH3CClF2 。
CトI C止 r2 、 CHF3 、 c
「2 C岬 。
「2 C岬 。
CF30L CF3 Br、などがある。
これらの錫化合物およびフッ素を含む化合物を加熱した
透明基体に接触させて熱分解酸化反応をさせるには、錫
化合物蒸気とフッ素を含む化合物および酸化性ガスを高
温の透明基体に接触させる気相化学反応法(CVD法)
か、あるいは錫化合物などの溶液をスプレーで加熱され
た基体に吹き付けるスプレー法等により行なうことがで
きる。
透明基体に接触させて熱分解酸化反応をさせるには、錫
化合物蒸気とフッ素を含む化合物および酸化性ガスを高
温の透明基体に接触させる気相化学反応法(CVD法)
か、あるいは錫化合物などの溶液をスプレーで加熱され
た基体に吹き付けるスプレー法等により行なうことがで
きる。
これらのうち、400〜600 ’Cに加熱された透明
基体に錫化合物の蒸気及びフッ素を含む化合物などを接
触させて、SnO2:F膜を形成するCVD法が好んで
用いられる。゛ 次に、透明基体上に形成された透明導電膜に対してブラ
ズ千処理を行なうが、このプラズマ処理は、例えば誘導
結合型高周波グロー放電装置により行なう。このプラズ
マ処理は、減圧下、例えばN2雰囲気中の150P、a
程度の減圧下で行なう。
基体に錫化合物の蒸気及びフッ素を含む化合物などを接
触させて、SnO2:F膜を形成するCVD法が好んで
用いられる。゛ 次に、透明基体上に形成された透明導電膜に対してブラ
ズ千処理を行なうが、このプラズマ処理は、例えば誘導
結合型高周波グロー放電装置により行なう。このプラズ
マ処理は、減圧下、例えばN2雰囲気中の150P、a
程度の減圧下で行なう。
そして、このプラズマ処理は、5n02:F膜の成膜温
度より低い温度で行なうが、約300 ’Cの温度で行
なうことが好ましい。
度より低い温度で行なうが、約300 ’Cの温度で行
なうことが好ましい。
[作用]
本発明においては、透明導電膜を成膜温度より低い温度
で、N2雰囲気減圧下1こおいてプラズマ処理すること
により、膜の透過性をそこなうことなく、かつ面積抵抗
を小きりすることができる。
で、N2雰囲気減圧下1こおいてプラズマ処理すること
により、膜の透過性をそこなうことなく、かつ面積抵抗
を小きりすることができる。
[実施例]
以下、本発明をさらに具体的に明らかにするために、本
発明の詳細な説明するが、本発明がかかる実施例の記載
により何等の制約を受けるものではない。
発明の詳細な説明するが、本発明がかかる実施例の記載
により何等の制約を受けるものではない。
面積が25 (mm)x 30 (mm)、厚みが1.
1(mm)の酸化珪素被膜付ソーダライムガラスを十分
に洗浄、屹燥し、ガラス基板とした。このガラス基板上
に以下のようにして透明導電膜を形成した。
1(mm)の酸化珪素被膜付ソーダライムガラスを十分
に洗浄、屹燥し、ガラス基板とした。このガラス基板上
に以下のようにして透明導電膜を形成した。
四塩化錫(無水)の蒸気、水蒸気、酸素ガス、1.1−
ジフルオロエタンカスおよび窒素ガスの調整された混合
気体を用い、CVD法により55o’cに加熱されたガ
ラス基板上にsn o2: npaを形成し、これを試
料とした。得られた試itの膜厚は800人であり、面
積抵抗(Ro )は、110.007口であった。
ジフルオロエタンカスおよび窒素ガスの調整された混合
気体を用い、CVD法により55o’cに加熱されたガ
ラス基板上にsn o2: npaを形成し、これを試
料とした。得られた試itの膜厚は800人であり、面
積抵抗(Ro )は、110.007口であった。
これらの試料を、誘導結合型高周波グロー放電装置によ
りN2雰囲気中”150Pa程度の圧力下で230,2
60,290,320 (’C)とそれぞれ温度を変え
、1分間プラズマ処理を行なった。
りN2雰囲気中”150Pa程度の圧力下で230,2
60,290,320 (’C)とそれぞれ温度を変え
、1分間プラズマ処理を行なった。
各温度下でプラズマ処理を行なった試料について、それ
ぞれプラズマ処理後の面積抵抗(R1〉を測定し、比抵
抗R1/Roを求めた。得られた結果を表−1に示va 一方、本実施例と比較するため、比較例として実施例と
同一の試料を用い、同一条件下でプラズマ処理を行なう
ことなく、5分間の熱処理を行なった。230,260
,290,320 (’C)の各温度下で熱処理を行な
った試料について、それぞれ熱処理1変の面積抵抗(R
2)を測定し、比抵抗R2/ROを求めた。得られた結
果を表−2に示す。
ぞれプラズマ処理後の面積抵抗(R1〉を測定し、比抵
抗R1/Roを求めた。得られた結果を表−1に示va 一方、本実施例と比較するため、比較例として実施例と
同一の試料を用い、同一条件下でプラズマ処理を行なう
ことなく、5分間の熱処理を行なった。230,260
,290,320 (’C)の各温度下で熱処理を行な
った試料について、それぞれ熱処理1変の面積抵抗(R
2)を測定し、比抵抗R2/ROを求めた。得られた結
果を表−2に示す。
表−1と表−2の比較から明らかなように、本発明品は
、プラズマ処理により5n02:f−膜の面積抵抗が比
較品のそれより小さくなる。また、本発明品は、プラズ
マ処理の前後において、透過率の変化は全く認められな
かった。
、プラズマ処理により5n02:f−膜の面積抵抗が比
較品のそれより小さくなる。また、本発明品は、プラズ
マ処理の前後において、透過率の変化は全く認められな
かった。
[発明の効果]
以上説明してきたように、本発明によれば、低抵抗で、
かつ高透過性を右する透明導電膜を得ることかできる。
かつ高透過性を右する透明導電膜を得ることかできる。
表−2
特許出願人 日本板硝子株式会社
代理人 弁理士 宮 内 佐一部
Claims (6)
- (1) 透明基体上に透明導電膜を形成した後、後処理
としてプラズマに曝すようにしたことを特徴とする透明
導電膜の製造方法。 - (2) 前記透明導電膜は酸化錫を主成分とする薄膜で
あることを特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の
透明導電膜の製造方法。 - (3) 前記透明導電膜を熱分解酸化反応により形成し
たものであることを特徴とする前記特許請求の範囲第1
項、または第2項記載の透明導電膜の製造方法。 - (4) 前記後処理を減圧下で行なうことを特徴とする
前記特許請求の範囲第1項記載の透明導電膜の製造方法
。 - (5) 前記後処理をN_2雰囲気中で行なうことを特
徴とする前記特許請求の範囲第4項記載の透明導電膜の
製造方法。 - (6) 前記後処理を透明導電膜の形成される温度より
低い温度で行なうことを特徴とする前記特許請求の範囲
第4項、または第5項記載の透明導電膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63010357A JPH01187713A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 透明導電膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63010357A JPH01187713A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 透明導電膜の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01187713A true JPH01187713A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11747920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63010357A Pending JPH01187713A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 透明導電膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01187713A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5853819A (en) * | 1994-08-30 | 1998-12-29 | Eastman Kodak Company | Imaging element comprising an electrically conductive layer formed by a glow discharge process |
JP2006324105A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明導電膜の形成方法及び透明導電膜 |
KR101028017B1 (ko) * | 2007-10-01 | 2011-04-13 | 현대자동차주식회사 | 폴리머 후처리 공정을 이용한 무색 투명 fto 전도막제조 방법 |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP63010357A patent/JPH01187713A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5853819A (en) * | 1994-08-30 | 1998-12-29 | Eastman Kodak Company | Imaging element comprising an electrically conductive layer formed by a glow discharge process |
JP2006324105A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明導電膜の形成方法及び透明導電膜 |
KR101028017B1 (ko) * | 2007-10-01 | 2011-04-13 | 현대자동차주식회사 | 폴리머 후처리 공정을 이용한 무색 투명 fto 전도막제조 방법 |
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