JPS59121338A - 印刷配線基板の露光装置 - Google Patents
印刷配線基板の露光装置Info
- Publication number
- JPS59121338A JPS59121338A JP57233460A JP23346082A JPS59121338A JP S59121338 A JPS59121338 A JP S59121338A JP 57233460 A JP57233460 A JP 57233460A JP 23346082 A JP23346082 A JP 23346082A JP S59121338 A JPS59121338 A JP S59121338A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed wiring
- holes
- wiring board
- substrate
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔究明の技術分野〕
本発明は、印刷配線基板の露光装置に関する。
〔発明の４々術的背景とその間照点〕
従来、印刷配線基板の／４’ターン形成に際してのレジ
ストピンと印刷配線基板との位１に合わせは、第１１ｇ
１（Ａ）に示す如く前記基板１０３つのコーナ一部に夫
々貝通孔２１．．を開孔し、更に露光の際に使用する基
板１の上部及び下部に設けられるマスクにも該基板１の
貫通孔２１０．に対応する位置に丸穴等を開孔し、しか
る後レジストピンにマスクの丸穴、基板１の貫通孔２．
１．を夫々嵌入することによシ行なっている。しかるに
、最近印刷配線板のコストダウンに対応するために基板
を合理化したり、位置合わせ操作を自動化することが計
られている。かかる場合、基板のワークサイズの標準化
が前提条件となるが、材料取りの関係から基板の一方向
のみを標準化する傾向にある。
ストピンと印刷配線基板との位１に合わせは、第１１ｇ
１（Ａ）に示す如く前記基板１０３つのコーナ一部に夫
々貝通孔２１．．を開孔し、更に露光の際に使用する基
板１の上部及び下部に設けられるマスクにも該基板１の
貫通孔２１０．に対応する位置に丸穴等を開孔し、しか
る後レジストピンにマスクの丸穴、基板１の貫通孔２．
１．を夫々嵌入することによシ行なっている。しかるに
、最近印刷配線板のコストダウンに対応するために基板
を合理化したり、位置合わせ操作を自動化することが計
られている。かかる場合、基板のワークサイズの標準化
が前提条件となるが、材料取りの関係から基板の一方向
のみを標準化する傾向にある。
し力・シながら、第１図（ａ）図示の印刷配線基板を用
いた場合のレジストピンと該基板の位置合わせにおいて
は、その基＆１を標準化された平行な一対の側辺ＪＩ＋
５２ と直交する方向に犬きくした基板１′（点線）に
替えた場合、基板のワークサイズに沿ってレジストピン
の位置を変史し０りればならないという欠点があった。
いた場合のレジストピンと該基板の位置合わせにおいて
は、その基＆１を標準化された平行な一対の側辺ＪＩ＋
５２ と直交する方向に犬きくした基板１′（点線）に
替えた場合、基板のワークサイズに沿ってレジストピン
の位置を変史し０りればならないという欠点があった。
このことは、自動化を図る上で大きな障害である。
１だ、マスクは基板１０貝通孔に対応する位置に単に丸
穴を開孔した構造であるため、マスクと基板１のイ（ン
（２）合わせ精度が低い。
穴を開孔した構造であるため、マスクと基板１のイ（ン
（２）合わせ精度が低い。
また、前言１１基板１の他、第１図（ｂ）に示す如く各
コーナ一部νこ夫々以通孔２１９．を設けた印刷配線基
板、あるいは第１図（ｃ）に示す如く、梓準化された平
行な一対の側辺Ｊ＋、、？２及びとの側辺に直交する辺
４１，４□の中心に各側辺３１ 。
コーナ一部νこ夫々以通孔２１９．を設けた印刷配線基
板、あるいは第１図（ｃ）に示す如く、梓準化された平
行な一対の側辺Ｊ＋、、？２及びとの側辺に直交する辺
４１，４□の中心に各側辺３１ 。
３２、辺４．．４２に沿うように貫通孔２１１．が設け
られた印刷配線基板等が用いられている。
られた印刷配線基板等が用いられている。
しかしながら、これらの印刷配線基板も前述した第１図
（、）図示の印刷配線基板と同様の欠点を有する。
（、）図示の印刷配線基板と同様の欠点を有する。
し発明の目的〕
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ノ、１３板
のワークザイズ４σにＶ・シストビンの位置１を変える
ことなく基枦位１ｄ決めの自動化を図るとともに、基板
とマスクの４Ｓ’Ｊ置合わせ精度を向上できる印刷配線
基板の霧光装置を１％供することを目的とするものであ
る。
のワークザイズ４σにＶ・シストビンの位置１を変える
ことなく基枦位１ｄ決めの自動化を図るとともに、基板
とマスクの４Ｓ’Ｊ置合わせ精度を向上できる印刷配線
基板の霧光装置を１％供することを目的とするものであ
る。
本発明は、支持台に、印刷配線基板の標準化された平行
外一対の側辺に平行した辺及び前記側辺に直交する他方
の一対の側辺のいずれかに沿い前記辺と同長さの辺をも
つ直角２■・辺三角形の各頂点に開孔された３つの月辿
孔に夫々押入されるレジストビンを植設し、かつ前記基
板の上部及び下部の少なくとも一方に、前記各貫通孔に
対応する位置に夫々長手方向が各１１通孔を結ぶ線から
なる三角形の外心を向くように開孔された長穴を有する
マスクを設けることによって、基板とレジストビンの位
置合わせの自動化を図るとともに基板とマスクとの位置
合わせ精度を向上するものである。
外一対の側辺に平行した辺及び前記側辺に直交する他方
の一対の側辺のいずれかに沿い前記辺と同長さの辺をも
つ直角２■・辺三角形の各頂点に開孔された３つの月辿
孔に夫々押入されるレジストビンを植設し、かつ前記基
板の上部及び下部の少なくとも一方に、前記各貫通孔に
対応する位置に夫々長手方向が各１１通孔を結ぶ線から
なる三角形の外心を向くように開孔された長穴を有する
マスクを設けることによって、基板とレジストビンの位
置合わせの自動化を図るとともに基板とマスクとの位置
合わせ精度を向上するものである。
以下、本発明を第２図〜第５図を参照して説１明する。
・
図中の１１は支持台である。この支持台１１には、後記
印刷配線基板の第１〜第３の貫通孔に夫々挿入されるレ
ジストビン１２１〜１２３が植設されている。ここで、
前記基板について第３図を用いて説明する。図中の１３
は横３３０ｗｎ Ｘ Ｉｇ ４（１０ｍｍの形状の印刷
配線基板であり、互いに平行な一対の横の側辺１４．．
１４２が標準化され、ワークザイズが変更されても不変
である。前８１１１１１１辺１４．，１４２には他方の
一対の縦の側辺１４３，１４４が直交している。また、
前記基板１３の側辺１４１．１４２に平行し７だ例えば
長さ３２０．０４ ｖｍの辺１５１、及び側辺１４３に
沿う前記辺）５１ と同じ長さの辺１５２をイｊするｉ
Ｉ！４′角２等辺三角形（点ＩｆＭ）の各頂点には、第
１〜第３の貫通孔１６１〜１６１が開孔されている。な
お、これら貫通孔１６．〜１６３はＮＣドリルでスルー
ポールとなる月通孔と同時に形成される。更に、前記基
板１３には、ワークのレジストレーション用の第１〜第
３の孔１７゜〜１７３が、孔・ノア、、１７２を結ぶ縁
、孔’７＋＋７７３を結ぶ線が夫々前記辺１５１ 。
印刷配線基板の第１〜第３の貫通孔に夫々挿入されるレ
ジストビン１２１〜１２３が植設されている。ここで、
前記基板について第３図を用いて説明する。図中の１３
は横３３０ｗｎ Ｘ Ｉｇ ４（１０ｍｍの形状の印刷
配線基板であり、互いに平行な一対の横の側辺１４．．
１４２が標準化され、ワークザイズが変更されても不変
である。前８１１１１１１辺１４．，１４２には他方の
一対の縦の側辺１４３，１４４が直交している。また、
前記基板１３の側辺１４１．１４２に平行し７だ例えば
長さ３２０．０４ ｖｍの辺１５１、及び側辺１４３に
沿う前記辺）５１ と同じ長さの辺１５２をイｊするｉ
Ｉ！４′角２等辺三角形（点ＩｆＭ）の各頂点には、第
１〜第３の貫通孔１６１〜１６１が開孔されている。な
お、これら貫通孔１６．〜１６３はＮＣドリルでスルー
ポールとなる月通孔と同時に形成される。更に、前記基
板１３には、ワークのレジストレーション用の第１〜第
３の孔１７゜〜１７３が、孔・ノア、、１７２を結ぶ縁
、孔’７＋＋７７３を結ぶ線が夫々前記辺１５１ 。
１５２に平行となるように開孔されている。
前記基板１３０表裏には、第４図に示す如く例えばドラ
イフィルム１８が貫通孔１６Ｉ”−１６３を除くように
被覆されている。
イフィルム１８が貫通孔１６Ｉ”−１６３を除くように
被覆されている。
前記基板１３の上部及び下部には第５図ＩＫ示すマスク
１９＋＋１９２が設けられている。このマスク１９１１
９２には、前記基板１３の第１〜第３の貫通孔１６．〜
１６３に対応する部分に第１〜第３の長穴２０．〜２０
３が開孔されている。これら、第１〜第３の長穴２０．
〜２０３の長手方向は、該長穴２０１〜２０３を夫々結
ぶ線からなるｖ１角２等辺三角形の外心（Ａ）を向いて
いる。
１９＋＋１９２が設けられている。このマスク１９１１
９２には、前記基板１３の第１〜第３の貫通孔１６．〜
１６３に対応する部分に第１〜第３の長穴２０．〜２０
３が開孔されている。これら、第１〜第３の長穴２０．
〜２０３の長手方向は、該長穴２０１〜２０３を夫々結
ぶ線からなるｖ１角２等辺三角形の外心（Ａ）を向いて
いる。
なお、この外心（Ａ）は前記貫通孔１６１〜１６３を結
ぶ直角２等辺三角形の外心とほぼ同じである。また、前
記マスク１９．，１９２上には、前記基板１３の抛１〜
第３の孔１７１〜１７３に対応す蔦位置にワークのレジ
ストレーション２１１〜２１１が表示されている。
ぶ直角２等辺三角形の外心とほぼ同じである。また、前
記マスク１９．，１９２上には、前記基板１３の抛１〜
第３の孔１７１〜１７３に対応す蔦位置にワークのレジ
ストレーション２１１〜２１１が表示されている。
こうした構造の露光装置においては、まず支持台１１に
植設されたレジストビン１２１〜！２１に−Ｆ’ （１
１１１のマスク１９２を支持台１１に対してＸ。
植設されたレジストビン１２１〜！２１に−Ｆ’ （１
１１１のマスク１９２を支持台１１に対してＸ。
ｙ方向及び回転方向に位置合わせしながら該マスク１９
２の第１〜第３の長穴２Ｊ〜２ｏ３を嵌入する。つづい
て、印刷配線基板１３の両面に貝通穴１６．〜１６３を
シリコン等で塞いだ状態で銅めっき処理を施す。つづい
て、シリコンを除き、同基板１３０両面に第４図に示す
如くドライブイルｌ、１ｇ、（１ｇ）を被横した後、こ
うした基板１３を前記と同様に位置合わせして１１［記
レジストピン１２１〜）２３に該基板１３の第１〜第３
のＨ通入１６１〜１６３を１伏入する。史に、同レジス
トビン１２菫〜１２３に−に側のマスク１９１を前Ｍｅ
と同様に位置合わせして該マスク１９！の長穴２０．〜
２ｏ３を嵌入し、基板１３の上部、下部にマスク１９１
。
２の第１〜第３の長穴２Ｊ〜２ｏ３を嵌入する。つづい
て、印刷配線基板１３の両面に貝通穴１６．〜１６３を
シリコン等で塞いだ状態で銅めっき処理を施す。つづい
て、シリコンを除き、同基板１３０両面に第４図に示す
如くドライブイルｌ、１ｇ、（１ｇ）を被横した後、こ
うした基板１３を前記と同様に位置合わせして１１［記
レジストピン１２１〜）２３に該基板１３の第１〜第３
のＨ通入１６１〜１６３を１伏入する。史に、同レジス
トビン１２菫〜１２３に−に側のマスク１９１を前Ｍｅ
と同様に位置合わせして該マスク１９！の長穴２０．〜
２ｏ３を嵌入し、基板１３の上部、下部にマスク１９１
。
１９２をセットした後、基板１３の第１−第３の孔１７
貫〜１７１とマスク１９Ｉ ＋１９２のレジストレーシ
ョン２１１〜２１３が位置していることを確認してから
基板１３の上方、下方より露光を行う。
貫〜１７１とマスク１９Ｉ ＋１９２のレジストレーシ
ョン２１１〜２１３が位置していることを確認してから
基板１３の上方、下方より露光を行う。
しかして、前述した＋１９造の露光装置６によれば、レ
ジストビン１２１〜１２３が、基板１３の標準化された
平行な一対の側辺７４１．１４２に平行した辺１５１及
び前記側辺１４．．１４２に直交する側辺１４３に沿い
かつ前記辺１５１と同長さの辺１５２をもつ内角２等辺
三角形の各川魚に開孔された貫通孔１６１〜１６３に夫
々挿入される構造となっているため、第３図図示の基板
１３から第６図に示す如く標準化された側辺１４１ ＋
１４２と直交する方向に拡大１゜た基板１３′に替えて
も、従来の如くレジストピンの位ぼ、を変更する必要が
ない。しだがって、レジストピン１２１〜１２−（に基
板１３を位置決めする操作の自動化が容易となる。
ジストビン１２１〜１２３が、基板１３の標準化された
平行な一対の側辺７４１．１４２に平行した辺１５１及
び前記側辺１４．．１４２に直交する側辺１４３に沿い
かつ前記辺１５１と同長さの辺１５２をもつ内角２等辺
三角形の各川魚に開孔された貫通孔１６１〜１６３に夫
々挿入される構造となっているため、第３図図示の基板
１３から第６図に示す如く標準化された側辺１４１ ＋
１４２と直交する方向に拡大１゜た基板１３′に替えて
も、従来の如くレジストピンの位ぼ、を変更する必要が
ない。しだがって、レジストピン１２１〜１２−（に基
板１３を位置決めする操作の自動化が容易となる。
また、マスク１９！ ＋１９２は、長穴２０゜〜２０３
の長手方向を該長穴２０１〜２０３を夫々結ぶ糊からな
る直角２等辺三角形の外心（Ａ）を向くように形成した
構造となっているため、基板１３とマスク１９．．１９
２との（ＶＩ １１合わせに際し、マスク１９１，１９
２の長穴２０１〜２０３をレジストピン１２１〜１２３
に対していずれも均等にｘ、ｙ方向及び回転方向に移動
でき、基板とマスク１９． と１９２との位ＩＮ合わ
せ積用、を向上できる。
の長手方向を該長穴２０１〜２０３を夫々結ぶ糊からな
る直角２等辺三角形の外心（Ａ）を向くように形成した
構造となっているため、基板１３とマスク１９．．１９
２との（ＶＩ １１合わせに際し、マスク１９１，１９
２の長穴２０１〜２０３をレジストピン１２１〜１２３
に対していずれも均等にｘ、ｙ方向及び回転方向に移動
でき、基板とマスク１９． と１９２との位ＩＮ合わ
せ積用、を向上できる。
以上詳述した如く本発明によれば、レジストピンを常に
支持台の一斤′位置に植設して基板位置決めの自ル１１
化を図るとともに、基板とマスクの位置合わせ精度を向
上できる印刷配線基板の妬光装置〆イを提供できるもの
である。
支持台の一斤′位置に植設して基板位置決めの自ル１１
化を図るとともに、基板とマスクの位置合わせ精度を向
上できる印刷配線基板の妬光装置〆イを提供できるもの
である。
第１図（８）〜（ｃ）は夫々従来の印刷配線基板の露光
装置〆イに用いられた印刷配線基板の態様を示す平面図
、第２図は本発明の一実施例である印刷配線基板の籍光
装置幻の使用状態を説明するだめの断面図、第３図は第
２図図示の露光装置に用いられた印刷配線基板の平面図
、第４図は第３図図示の印刷配線基板にドライフィルム
を被俣１７た状態を示す平面図、第５図Ｆｉ、第３図図
示の露光装置１′イの一括成を示すマスクの平面図、第
６図は第３図図示の印刷配線基板ｆ：ｈ＝準化されだ側
辺と直交する方向に拡大した別の印刷配線基板の千面ｌ
シ１である。 １１・・・支持台、１２１〜１２３・・・レジストピン
、１３ 、１３’・・印刷配線基板、１４Ｈ＋１４２゜
１ ４３ ＨＩ ４Ｂ’＋ １ ４４ １
１ ４４’ ・・ イ貝’１３ｇ 、 １６１〜１６
３・・・貫通孔、１７＋〜１７３・・・穴、１８・・・
ドライフィルム、１９１．１９２・・・マスク、２０１
〜２０３・・・長穴、２１．〜２１３・・・レゾストレ
ッノヨン。
装置〆イに用いられた印刷配線基板の態様を示す平面図
、第２図は本発明の一実施例である印刷配線基板の籍光
装置幻の使用状態を説明するだめの断面図、第３図は第
２図図示の露光装置に用いられた印刷配線基板の平面図
、第４図は第３図図示の印刷配線基板にドライフィルム
を被俣１７た状態を示す平面図、第５図Ｆｉ、第３図図
示の露光装置１′イの一括成を示すマスクの平面図、第
６図は第３図図示の印刷配線基板ｆ：ｈ＝準化されだ側
辺と直交する方向に拡大した別の印刷配線基板の千面ｌ
シ１である。 １１・・・支持台、１２１〜１２３・・・レジストピン
、１３ 、１３’・・印刷配線基板、１４Ｈ＋１４２゜
１ ４３ ＨＩ ４Ｂ’＋ １ ４４ １
１ ４４’ ・・ イ貝’１３ｇ 、 １６１〜１６
３・・・貫通孔、１７＋〜１７３・・・穴、１８・・・
ドライフィルム、１９１．１９２・・・マスク、２０１
〜２０３・・・長穴、２１．〜２１３・・・レゾストレ
ッノヨン。
Claims (1)
- 支持台と、この支持台に植設され、印刷配線基板の標準
化された平行な一対の側辺に平行した辺及び前記側辺に
直交する他方の一対の％Ｑ辺のいずれかに沿い前記辺と
同長さの辺をもつ直角２等辺三角形の各頂点に開孔され
た３つの貫通孔に夫々挿入されるレジストピンと、前記
基板の上部及び下部の少なくとも一方に設けられ、前記
各貫通孔に対応する位置に夫々長手方向が各）ｑ ）ｌ
ｉ孔を結ぶ線からなる三角形の外心を向くように開孔さ
れた長大を廟するマスクとを具備することを動機とする
印刷配線基板の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57233460A JPS59121338A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 印刷配線基板の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57233460A JPS59121338A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 印刷配線基板の露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59121338A true JPS59121338A (ja) | 1984-07-13 |
Family
ID=16955375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57233460A Pending JPS59121338A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 印刷配線基板の露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59121338A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103203725A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 精确控制位置的载物台 |
| CN103203726A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 精确控制位置的载物台 |
| JP2016001666A (ja) * | 2014-06-11 | 2016-01-07 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | デスミア処理用治具、プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP57233460A patent/JPS59121338A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103203725A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 精确控制位置的载物台 |
| CN103203726A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 精确控制位置的载物台 |
| JP2016001666A (ja) * | 2014-06-11 | 2016-01-07 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | デスミア処理用治具、プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 |
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