JPS59121128A - 光フアイバ母材の製造法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造法Info
- Publication number
- JPS59121128A JPS59121128A JP22934682A JP22934682A JPS59121128A JP S59121128 A JPS59121128 A JP S59121128A JP 22934682 A JP22934682 A JP 22934682A JP 22934682 A JP22934682 A JP 22934682A JP S59121128 A JPS59121128 A JP S59121128A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- target
- optical fiber
- parent material
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/08—Recessed or protruding ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光通信用の光フアイバ母材の製造法に係シ、特
に、垂直バーナ方式の気相軸付法による光フアイバ母材
の製造法に関するものである。
に、垂直バーナ方式の気相軸付法による光フアイバ母材
の製造法に関するものである。
気相軸付法（以後ＶＡＤ法と記す）で光フアイバ母材を
製造する場合は、Ｓ ｉ ＣＬ ４、Ｇ ｇ Ｃｔ４、
ｐｏｃｔ ８等の気体を酸水素炎中に導入して各々の一
酸化物微粒子を生じさせ、これらの酸化；物微粒子を石
英棒等の先端をターゲットとして吹付けて付着させ、多
孔質母材を長さ方向に成長させている。
製造する場合は、Ｓ ｉ ＣＬ ４、Ｇ ｇ Ｃｔ４、
ｐｏｃｔ ８等の気体を酸水素炎中に導入して各々の一
酸化物微粒子を生じさせ、これらの酸化；物微粒子を石
英棒等の先端をターゲットとして吹付けて付着させ、多
孔質母材を長さ方向に成長させている。
この場合に多孔質母材の先端形状は焼結ガラス化した時
の屈折率の分布と密接な関係をもつことになる。また、
その先端形状はバーナのガス流量、バーナとターゲット
との距離、バーナ周辺の不活性ガスＮ２等の流量等によ
って変化する。
の屈折率の分布と密接な関係をもつことになる。また、
その先端形状はバーナのガス流量、バーナとターゲット
との距離、バーナ周辺の不活性ガスＮ２等の流量等によ
って変化する。
また、垂直に立てたバーナを使用し、その中心軸に一致
して多孔質母材を生成させる場合は、多孔質母材は微少
な外乱によって非対称形とな如易く、多孔質母材を均一
に成長させることが困難となる。例えば、バーナが垂直
であるので多孔質母材の下部中心部の温度が上昇し過ぎ
て平坦となシ、均一な組成の多孔質母材を作るのが困難
であるという欠点をもっていた。
して多孔質母材を生成させる場合は、多孔質母材は微少
な外乱によって非対称形とな如易く、多孔質母材を均一
に成長させることが困難となる。例えば、バーナが垂直
であるので多孔質母材の下部中心部の温度が上昇し過ぎ
て平坦となシ、均一な組成の多孔質母材を作るのが困難
であるという欠点をもっていた。
本発明は上記従来技術の欠点を解消し、制御された屈折
率分布を有し能率的な光フアイバ母材の製造法を提供す
ることを目的とし、その特徴とするところはバーナとタ
ーゲットの中心間の間隔に調整可能範囲を設け、多孔質
母材の形状及び組成を制御することにある。
率分布を有し能率的な光フアイバ母材の製造法を提供す
ることを目的とし、その特徴とするところはバーナとタ
ーゲットの中心間の間隔に調整可能範囲を設け、多孔質
母材の形状及び組成を制御することにある。
第１図は本発明の一実施例である光フアイバ母材の製造
装置の断面図である。バーナ１は四重管バーナで、中心
部よりＳ ｉ Ｃｔ ４を１２．００ ＋＋ｙｚｆ’ｎ
ｉｎ、Ｇ ｅ に’ Ａ ４を１５０ ｍｇ／ｍｍ 、
Ｐ ＯＣＡ ３を３０ ｍｙ／ｍｉｎ及びキャリヤと
してＡｒを８００ ｃ ｃ ／ｍｊｚｒ流しており、そ
の周囲よりＡｒをｔ ２ Ｌ／ ｍｍ 、 ｎ ２を４
ｔ ７ｍＩｎ、 ０２を６１／ｍｉｎ流している。
装置の断面図である。バーナ１は四重管バーナで、中心
部よりＳ ｉ Ｃｔ ４を１２．００ ＋＋ｙｚｆ’ｎ
ｉｎ、Ｇ ｅ に’ Ａ ４を１５０ ｍｇ／ｍｍ 、
Ｐ ＯＣＡ ３を３０ ｍｙ／ｍｉｎ及びキャリヤと
してＡｒを８００ ｃ ｃ ／ｍｊｚｒ流しており、そ
の周囲よりＡｒをｔ ２ Ｌ／ ｍｍ 、 ｎ ２を４
ｔ ７ｍＩｎ、 ０２を６１／ｍｉｎ流している。
また、その周囲には更に２重の流路を設けて内側流路は
Ｎ２を１０１７ｒｎｉｎ、外側流路はＮ２を２０ｔ／ｖ
ａｎ流している。このようにＮ２ガスを２重に流したの
は炎２を安定にするためである。
Ｎ２を１０１７ｒｎｉｎ、外側流路はＮ２を２０ｔ／ｖ
ａｎ流している。このようにＮ２ガスを２重に流したの
は炎２を安定にするためである。
このバーナ１の上部にはターゲット７が垂直に設置され
、回転・引上げ器乙によって回転及び上下移動が可能と
なっている。しかし、ターゲット７と上記バーナ１の中
心とはＸだけ横方向にずらしである。即ち、バーナ１を
取り付けた可動台６を移動させることによって上記ずれ
量Ｘは０ゝ〜１０叫の範囲で移動可能となっている。な
お、１これらの部品はチャンバ４内に収容されているが
、ターゲット７の下端に生成した多孔質母材８はチャン
バ４の上端出口の電気炉５の所を通過させる際に加熱す
ると透明な母材となる。
、回転・引上げ器乙によって回転及び上下移動が可能と
なっている。しかし、ターゲット７と上記バーナ１の中
心とはＸだけ横方向にずらしである。即ち、バーナ１を
取り付けた可動台６を移動させることによって上記ずれ
量Ｘは０ゝ〜１０叫の範囲で移動可能となっている。な
お、１これらの部品はチャンバ４内に収容されているが
、ターゲット７の下端に生成した多孔質母材８はチャン
バ４の上端出口の電気炉５の所を通過させる際に加熱す
ると透明な母材となる。
この装置において、バーナ１とターゲット７の下端との
距離を１４０咽離し、ターゲット７の真下にバーナ１を
設置したｘ＝Ｄの場合は、上記の条件でターゲット７に
付着させた多孔質母材８の底面は５分後に平坦化すると
共に偏心し、均一な多孔質母材８をターゲット７に付着
させることはできなかった。また、バーナ１の位置を調
節してＸ ＝ ５ ＨＲ以上として相当偏心させて炎２
をターゲット７に吹付けるようにすると、多孔質母材８
の生長効率が悪く炎２中に生じた酸化物微粒子が無駄に
なる率が増加する。しかし、多孔質母材８の偏心は認め
られなかった。
距離を１４０咽離し、ターゲット７の真下にバーナ１を
設置したｘ＝Ｄの場合は、上記の条件でターゲット７に
付着させた多孔質母材８の底面は５分後に平坦化すると
共に偏心し、均一な多孔質母材８をターゲット７に付着
させることはできなかった。また、バーナ１の位置を調
節してＸ ＝ ５ ＨＲ以上として相当偏心させて炎２
をターゲット７に吹付けるようにすると、多孔質母材８
の生長効率が悪く炎２中に生じた酸化物微粒子が無駄に
なる率が増加する。しかし、多孔質母材８の偏心は認め
られなかった。
これらのことを考慮してＸは５−以下が適当であるが、
更に詳細に検討すると次のことが確認された。即ち、Ｘ
が０から５Ｂと増加するにしたがって、多孔質母材８の
先端形状と外径が変化し、これを透明ガラス化した場合
はその屈折率分布７５二〇−ＩＩ？１１近傍では変化率
が２乗曲線よりも急となり、５趣に近づくと変化率が低
下して緩やかな２次曲線となる。これらのことから、Ｘ
の値も透明な光フアイバ母材の屈折率分布の制御因子と
なっていることが判明した。
更に詳細に検討すると次のことが確認された。即ち、Ｘ
が０から５Ｂと増加するにしたがって、多孔質母材８の
先端形状と外径が変化し、これを透明ガラス化した場合
はその屈折率分布７５二〇−ＩＩ？１１近傍では変化率
が２乗曲線よりも急となり、５趣に近づくと変化率が低
下して緩やかな２次曲線となる。これらのことから、Ｘ
の値も透明な光フアイバ母材の屈折率分布の制御因子と
なっていることが判明した。
本実施例の光フアイバ母材の製造方法は、中央より原料
ガスを噴出させると共にその周囲より燃焼ガス及びキャ
リヤーガスを送り出すノく−ナの位置をターゲットの直
下より５重以内で横移動させることによって、多孔質母
材の偏心と底面の平坦化を防止し制御された屈折率分布
をもっている多孔質母材を能率良く形成させることがで
きるという効果をもっている。
ガスを噴出させると共にその周囲より燃焼ガス及びキャ
リヤーガスを送り出すノく−ナの位置をターゲットの直
下より５重以内で横移動させることによって、多孔質母
材の偏心と底面の平坦化を防止し制御された屈折率分布
をもっている多孔質母材を能率良く形成させることがで
きるという効果をもっている。
本発明の光フアイバ母材の製造方法は、高性能な光フア
イバ母材をＶＡＤ法によって能率良く製造できるという
効果が得られる。
イバ母材をＶＡＤ法によって能率良く製造できるという
効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例である光ファイノく母材製造
装置の断面図である。 １：バーナ、２：炎、６：可動台、 ４：チャンバ、５二電気炉、６：回転・引上げ器、７：
ターゲット、８：多孔質母材。
装置の断面図である。 １：バーナ、２：炎、６：可動台、 ４：チャンバ、５二電気炉、６：回転・引上げ器、７：
ターゲット、８：多孔質母材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 垂直に設置したバーナの炎中に珪酸成分を含むガ
スを送υ込んでその藪化物粒子を生成させこの酸化物粒
子を上記バーナの上方に垂下させた棒状のターゲットの
下端に吹付は堆積して多孔質母材を成長させ、この多孔
質母材を炉中を通過させて透明化する光フアイバ母材の
製造法において、上記バーナと上記ターゲットの中心間
の間隔に調整可能範囲を設け、上記多孔質母材の形状及
び組成を制御することを特徴とする光フアイバ母材の製
造法。 ２、上記調整可能範囲が、上記バーナを取シ付けた可動
台を０〜５ｍ横移動させることができることである特許
請求の範囲第１項記載の光フアイバ母材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22934682A JPS59121128A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 光フアイバ母材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22934682A JPS59121128A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 光フアイバ母材の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59121128A true JPS59121128A (ja) | 1984-07-13 |
Family
ID=16890719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22934682A Pending JPS59121128A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 光フアイバ母材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59121128A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002018284A1 (de) * | 2000-09-01 | 2002-03-07 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zur herstellung eines sio2-rohlings |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP22934682A patent/JPS59121128A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002018284A1 (de) * | 2000-09-01 | 2002-03-07 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zur herstellung eines sio2-rohlings |
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