JPS59114703A - 焼付型導電性ペ−スト - Google Patents
焼付型導電性ペ−ストInfo
- Publication number
- JPS59114703A JPS59114703A JP22542982A JP22542982A JPS59114703A JP S59114703 A JPS59114703 A JP S59114703A JP 22542982 A JP22542982 A JP 22542982A JP 22542982 A JP22542982 A JP 22542982A JP S59114703 A JPS59114703 A JP S59114703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- conductive paste
- powder
- paste
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、ニッケルを主成分とする焼付型導電ペースト
に関し、更に詳細には、多層セラミック回路装置の外部
又は内部における配線、端子、電極等の導体をセラミッ
ク生シート即ちセラミックス・リーンシートと同時焼成
して形成する場合に使用するための焼付型導電ペースト
に関する。
に関し、更に詳細には、多層セラミック回路装置の外部
又は内部における配線、端子、電極等の導体をセラミッ
ク生シート即ちセラミックス・リーンシートと同時焼成
して形成する場合に使用するための焼付型導電ペースト
に関する。
従来技術
多層セラミック回路装置の集積度を増すために、多層セ
ラミック体の露出表面に厚膜コンデンサ若しくは厚膜抵
抗等が形成されるようになった。従来、このような多層
セラミック回路装置の導体は銀（７０％）−パラジウム
（３０％）を主成分とする焼付型導電ペーストによって
形成した。
ラミック体の露出表面に厚膜コンデンサ若しくは厚膜抵
抗等が形成されるようになった。従来、このような多層
セラミック回路装置の導体は銀（７０％）−パラジウム
（３０％）を主成分とする焼付型導電ペーストによって
形成した。
しかしながら、銀パラジウムペーストは、比抵抗の高い
パラジウムを３割も含むため、焼結させて導体とした時
、シート抵抗が３５ｍΩ／口と高いものとなってしまっ
た。また、銀パラジウムペ−ストは高価であった。この
ため、ニッケル等の卑金属のペーストで電極を形成する
ことが試みられている。しかし、単にニッケル粉末のペ
ーストを作っても、所望の特性を有する導体を形成する
ことは不可能であった。即ちニッケルを主成分とする導
電ペーストにおいては、酸化雰囲気中で焼結した場合、
３３．０Ｃ前後の温度から酸化が激シ＜なり、また還元
又は中性雰囲気中では１３００ｔｌｌ’附近の温度から
凝集し粒状に成長して導電性を喪失する。
パラジウムを３割も含むため、焼結させて導体とした時
、シート抵抗が３５ｍΩ／口と高いものとなってしまっ
た。また、銀パラジウムペ−ストは高価であった。この
ため、ニッケル等の卑金属のペーストで電極を形成する
ことが試みられている。しかし、単にニッケル粉末のペ
ーストを作っても、所望の特性を有する導体を形成する
ことは不可能であった。即ちニッケルを主成分とする導
電ペーストにおいては、酸化雰囲気中で焼結した場合、
３３．０Ｃ前後の温度から酸化が激シ＜なり、また還元
又は中性雰囲気中では１３００ｔｌｌ’附近の温度から
凝集し粒状に成長して導電性を喪失する。
多層セラミック回路装置の内部及び外部の導体を形成す
るだめの導電性ペーストには次の条件が要求される。
るだめの導電性ペーストには次の条件が要求される。
（１１セラミック体の焼成と同時に導体を形成させるた
め、導電ペーストは約１０５０Ｃ〜１４００Ｃの温度で
焼結可能なこと。
め、導電ペーストは約１０５０Ｃ〜１４００Ｃの温度で
焼結可能なこと。
（２）導体が形成されたセラミック体に、更に厚膜コン
デンサや厚膜抵抗等を形成するため、導電ペーストから
形成された導体は大気雰囲気（酸化雰囲気）中で約１０
００Ｃの熱処理を施しても抵抗率が小さいこと。
デンサや厚膜抵抗等を形成するため、導電ペーストから
形成された導体は大気雰囲気（酸化雰囲気）中で約１０
００Ｃの熱処理を施しても抵抗率が小さいこと。
ｆ３１ １１１の焼結及び（２）の熱処理の後において
も導体の剥離強度はｌ ｋ ｇ ７ｍｍ”以上であるこ
と。
も導体の剥離強度はｌ ｋ ｇ ７ｍｍ”以上であるこ
と。
発明の目的
そこで本発明の目的は、上記条件を満足する焼付型導電
性ペーストを提供することにある。
性ペーストを提供することにある。
発明の構成
上記目的を達成するための本発明はニッケル（Ｎｉ）粉
末が７０〜９９重量％と、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（
ＡＩ）、及びタンタル（Ｔａ）の内の少なくとも１種か
らなる付加粉末が０．５〜２９．９重量％と、ガラスフ
リットが０．１〜２０重量％とで１００重量％となる基
本組成物と、ペースト状にするための適当量のビヒクル
とから成る導電性ペーストに係わるものである。
末が７０〜９９重量％と、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（
ＡＩ）、及びタンタル（Ｔａ）の内の少なくとも１種か
らなる付加粉末が０．５〜２９．９重量％と、ガラスフ
リットが０．１〜２０重量％とで１００重量％となる基
本組成物と、ペースト状にするための適当量のビヒクル
とから成る導電性ペーストに係わるものである。
発明の効果
上記発明によれば、鉄、アルミニウム、タンタルからな
る付加粉末が凝集抑止の働きをなし、シート抵抗２５ｍ
Ω／口以下、剥離強度１ ｋｇ／８２以上でかつ異常な
粒状成長を生じない導体を得ることが可能な導電ペース
トを提供することが出来る。
る付加粉末が凝集抑止の働きをなし、シート抵抗２５ｍ
Ω／口以下、剥離強度１ ｋｇ／８２以上でかつ異常な
粒状成長を生じない導体を得ることが可能な導電ペース
トを提供することが出来る。
実施例
次に本発明の実施例について述べる。
実施例 １
平均粒径５μｍのＮｉ粉末、平均粒径５μｍのＦｅ（鉄
）粉末、平均粒径３μのＣａＯ−ＢａＯ−５ｉ０２ガラ
スフリツト（融点１０００Ｃ）を第１表に示す割合に秤
量して配合し、この配合物１００重景部上、対してエチ
ルセルロース６重量部およびα−ターピネオール３３重
量部をビヒクルとして加え、３段式ロールミルで混練し
て導電性ペーストの試料をそれぞれ作成した。
）粉末、平均粒径３μのＣａＯ−ＢａＯ−５ｉ０２ガラ
スフリツト（融点１０００Ｃ）を第１表に示す割合に秤
量して配合し、この配合物１００重景部上、対してエチ
ルセルロース６重量部およびα−ターピネオール３３重
量部をビヒクルとして加え、３段式ロールミルで混練し
て導電性ペーストの試料をそれぞれ作成した。
次にＡｌ２Ｏ３粉末５０重量部、Ｓ ｉ０２粉末２０重
量部、ＳｒＯ粉末２５重量部、Ｌｉ２Ｏ粉末１重量部、
及びＭｇＯ粉末４重量部から成るセラミック原料、アク
リル酸エステルポリマーの水溶性からなるノ（インダ、
グリセリン、カルポル酸塩及び水をそれぞれ添加し、ボ
ールミルにて混合してスリップを作成し、脱泡処理した
後にドク、ターブレード法により厚さ２００μのセラミ
ック生シートを作製した。
量部、ＳｒＯ粉末２５重量部、Ｌｉ２Ｏ粉末１重量部、
及びＭｇＯ粉末４重量部から成るセラミック原料、アク
リル酸エステルポリマーの水溶性からなるノ（インダ、
グリセリン、カルポル酸塩及び水をそれぞれ添加し、ボ
ールミルにて混合してスリップを作成し、脱泡処理した
後にドク、ターブレード法により厚さ２００μのセラミ
ック生シートを作製した。
゛そして乾燥した後にプレスにて長方形状に打ち抜いた
。
。
次にこの生シート上に、導電性ペーストを３２５メツシ
ユのスクリーンを使用して第１図に示すパターンに印刷
し、１２５Ｃで１０分乾燥し、４枚を積層して熱圧着さ
せた後に、空気雰囲気中での９００Ｃの熱処理でバイン
ダをとばし、Ｎ２（９８，５容積％） 十Ｈ２（１，５
容積％）の雰囲気中で１２００Ｃ１２時間焼成し、第１
図及び第２図に示すｂｋζ器（１１と導体（２）とから
成る試料を作製した。次に各層の導体（２）の２ａ〜２
ｂ間（幅０．２＋＋１Ｉ１１．厚さ１５μ、長さ２０ｍ
ｍ）の抵抗値を抵抗ブリッジで測定し、計算によりシー
ト抵抗Ｓ１を求め、次いで空気雰囲気中で１ｏｏｏｃ、
３０分の加熱処理を５回繰返した後、上記と同じ測定方
法でシート抵抗Ｓ２を求めたところ、第１表の結果が得
られた。尚内部の層の抵抗は予め設けたスルーホール（
図示せず）を使用して測定した。
ユのスクリーンを使用して第１図に示すパターンに印刷
し、１２５Ｃで１０分乾燥し、４枚を積層して熱圧着さ
せた後に、空気雰囲気中での９００Ｃの熱処理でバイン
ダをとばし、Ｎ２（９８，５容積％） 十Ｈ２（１，５
容積％）の雰囲気中で１２００Ｃ１２時間焼成し、第１
図及び第２図に示すｂｋζ器（１１と導体（２）とから
成る試料を作製した。次に各層の導体（２）の２ａ〜２
ｂ間（幅０．２＋＋１Ｉ１１．厚さ１５μ、長さ２０ｍ
ｍ）の抵抗値を抵抗ブリッジで測定し、計算によりシー
ト抵抗Ｓ１を求め、次いで空気雰囲気中で１ｏｏｏｃ、
３０分の加熱処理を５回繰返した後、上記と同じ測定方
法でシート抵抗Ｓ２を求めたところ、第１表の結果が得
られた。尚内部の層の抵抗は予め設けたスルーホール（
図示せず）を使用して測定した。
、また上記と同一の生シートを四角形に打ち抜き、その
中央に上記の導電性ペーストを同様にして印刷し、上記
と同様に焼成し、第３図及び第４図に示す如く磁器（３
）と導体（４）とから成る試料を作り、焼結後寸法が２
ｗｎ角の導体（４）に第４図に示すように０・５ ｍｍ
の銅＝（５Ｚリング状端部な３ Ｑｍｍｇの半田（６）
で固着させ、銅線（５）にバネ計りを結合させて引張強
度Ｔ（ｋｇ／ｍｍ）を測定したところ、第１衣料と引張
強度Ｔの測定試料とは別の試料であるが、磁器及び導体
が同一であるので、同一試料番号が付され同一欄に示さ
れている。また、各実施例の各人に於けるシート抵抗Ｓ
１及びＳ２の単位はｍΩ／口であり、引張強度Ｔの単位
はｋｇ／ｍ＋ｎである。
中央に上記の導電性ペーストを同様にして印刷し、上記
と同様に焼成し、第３図及び第４図に示す如く磁器（３
）と導体（４）とから成る試料を作り、焼結後寸法が２
ｗｎ角の導体（４）に第４図に示すように０・５ ｍｍ
の銅＝（５Ｚリング状端部な３ Ｑｍｍｇの半田（６）
で固着させ、銅線（５）にバネ計りを結合させて引張強
度Ｔ（ｋｇ／ｍｍ）を測定したところ、第１衣料と引張
強度Ｔの測定試料とは別の試料であるが、磁器及び導体
が同一であるので、同一試料番号が付され同一欄に示さ
れている。また、各実施例の各人に於けるシート抵抗Ｓ
１及びＳ２の単位はｍΩ／口であり、引張強度Ｔの単位
はｋｇ／ｍ＋ｎである。
第 １ 表
第１表から明らかなように、Ｆｅを０．５〜２９．９重
量％の範囲で添加することにより、熱処理前シート−１
抵抗Ｓ１及び熱酵後シート抵抗Ｓ２が２５ｍΩ／口以下
、Ｔが１ ｋｇ ７ｍｍ２以上の電極導体を磁器に形成
することが出来た。即ち従来の銀パラジウム電極のシー
ト抵抗（３５ｍΩ／口）より大幅にシート抵抗８１及び
Ｓ２の小さい導体を得ることが出来た。
量％の範囲で添加することにより、熱処理前シート−１
抵抗Ｓ１及び熱酵後シート抵抗Ｓ２が２５ｍΩ／口以下
、Ｔが１ ｋｇ ７ｍｍ２以上の電極導体を磁器に形成
することが出来た。即ち従来の銀パラジウム電極のシー
ト抵抗（３５ｍΩ／口）より大幅にシート抵抗８１及び
Ｓ２の小さい導体を得ることが出来た。
尚、Ｆｅが０．５ 重量％未満ではｐｅ、Ｎｉ固溶体
ができにくく粒子の異常成長及び酸化が防止できず、引
張強度Ｔがｌ ｌｃｇ ７ｍｍ”未満となる。またＦｅ
が２９．９ 重量％を越えると、シート抵抗が２５ｍΩ
／口を越える。従って、Ｆｅを０．５〜２９．９ 重量
％の範囲にすることが望ましい。また、ガラスフリット
が０．１重量％未満であると、酸化防止のための添加効
果がなく、Ｔが１ ｋｇ ／ｒｒｔｍ２未満となり、２
０重に％を越えると８１及びＳ２が２５ｍΩ／口を越え
る。従って、ガラスフリットを０．１〜２０７ｇ量％の
範囲にすることが望ましい。このため試料番号１．１１
．１２．１５は本発明の範囲外のものである。
ができにくく粒子の異常成長及び酸化が防止できず、引
張強度Ｔがｌ ｌｃｇ ７ｍｍ”未満となる。またＦｅ
が２９．９ 重量％を越えると、シート抵抗が２５ｍΩ
／口を越える。従って、Ｆｅを０．５〜２９．９ 重量
％の範囲にすることが望ましい。また、ガラスフリット
が０．１重量％未満であると、酸化防止のための添加効
果がなく、Ｔが１ ｋｇ ／ｒｒｔｍ２未満となり、２
０重に％を越えると８１及びＳ２が２５ｍΩ／口を越え
る。従って、ガラスフリットを０．１〜２０７ｇ量％の
範囲にすることが望ましい。このため試料番号１．１１
．１２．１５は本発明の範囲外のものである。
実施例 ２
実施１のＦｅ粉末をＡＩ粉末に変更した他は実施例１と
全く同一として第２表に示す組成のペーストを作り、実
施例１と同一の測定をしたところ、第２表の結果が得ら
れた。尚第２表〜第４表に於けるＮｉ％ＡＩ、Ｆｅ、Ｔ
ａ、ガラスの量は鏡１表と同様に重量％で示され、Ｓｌ
、Ｓ２、Ｔの単位も第１表と同一である。
全く同一として第２表に示す組成のペーストを作り、実
施例１と同一の測定をしたところ、第２表の結果が得ら
れた。尚第２表〜第４表に於けるＮｉ％ＡＩ、Ｆｅ、Ｔ
ａ、ガラスの量は鏡１表と同様に重量％で示され、Ｓｌ
、Ｓ２、Ｔの単位も第１表と同一である。
第 ２ 表
第２表から明らかなように、ＡＩ粉末を使用してもＦｅ
粉末と同様な作用効果が得られる。尚Ａｌの好ましい範
囲は帆５〜２９．９重量％である。第２表に於いて試料
番号１６．２０．２５．２９は本発明の範囲外のもので
ある。
粉末と同様な作用効果が得られる。尚Ａｌの好ましい範
囲は帆５〜２９．９重量％である。第２表に於いて試料
番号１６．２０．２５．２９は本発明の範囲外のもので
ある。
実施例 ３
実施例１に於ける５μのＮｉ粉末の代りに平均粒径１μ
のＮｉ粉末を使用し、ガラスフリットとしてＳｒＯ−Ａ
ｌ２Ｏ３、５ｉ０２ 系ガラス粉末（融点１０００ｔ
Ｚ’）を使用した他は、実施例１と全く同一として第３
表に示す組成のペーストを作り、同様な測定を行ったと
ころ、第３表の結果が得られた。
のＮｉ粉末を使用し、ガラスフリットとしてＳｒＯ−Ａ
ｌ２Ｏ３、５ｉ０２ 系ガラス粉末（融点１０００ｔ
Ｚ’）を使用した他は、実施例１と全く同一として第３
表に示す組成のペーストを作り、同様な測定を行ったと
ころ、第３表の結果が得られた。
第 ３ 表
第３表から明らかなように、Ｎｉ粉末の粒径を変更して
も、またガラスフリットの組成を変えても実施例１と同
様な作用効果を得ることができる。
も、またガラスフリットの組成を変えても実施例１と同
様な作用効果を得ることができる。
尚第３表で試料番号３０．３５．３９．４２は本発明の
範囲外のものである。
範囲外のものである。
実施例 ４
実施例３のＦｅ粉末の代りにＴａ （タンタル）粉末を
使用した他は、実施例３と同一にして、ペーストを作り
、Ｓｌ、Ｓ２、Ｔを測定したところ第４表の結果が得ら
れた。
使用した他は、実施例３と同一にして、ペーストを作り
、Ｓｌ、Ｓ２、Ｔを測定したところ第４表の結果が得ら
れた。
第 ４ 表
この第４表から明らかなように、Ｔａを使用しても実施
例１〜３と同様な作用効果を得ることができ、ろ。尚第
４表で試料番号４３．４８．５３は本発明の範囲外のも
のである。
例１〜３と同様な作用効果を得ることができ、ろ。尚第
４表で試料番号４３．４８．５３は本発明の範囲外のも
のである。
実施例 ５
ＣａＴｉＯａ 粉末にクレイを１重量％添加した材料
で、実施例１と同様方法でセラミック生シートを作製し
、本発明に係わる導電性ペース）（Ｎｉ粉末８５ｖ量％
、Ｆｅ粉末７．５重ｆ％、ＢａＯ−５ｉ０２−Ａ１２０
３ガラスフリツト、７．５ｉ＃、％及びバインダ）を用
意し、第５図及び第６図に示す様に生シート（７）の上
にペースト（８）をスクリーン印刷し、それぞれが互い
違いになるように４層に積層し、更にこの上に生シート
のみを積層し、熱圧着して１２８０Ｃ１４時間Ｎ２（９
８，５％） ＋Ｈ２（１，５％）の中性雰囲気で一体焼
成した。その後１０００ｔ：’、１時間空気雰囲気中で
熱処理し、銹電体が還元された部分を補償した後Ｉｎ
−Ｇａ電極を焼結体の側面に形成した。そして容量及び
−δを横筒製作所モデルＹＨＰ４２７０−Ａで測定し、
この測定容量から比誘電率（ε、）を求めた。また、絶
縁抵抗（ＩＲ）をＤＣｌｏｏＶ、６０秒印加後に測定し
た。これにより、第５表の結果が得られた。尚、比較す
るため、本実施例の導電性ペーストを銀パラジウムの導
電ペーストに変更し、焼成は１２８０Ｃ，４時間を空気
雰囲気中で行なって比較試料を作り、この比較試料を本
実施例と全く同様の方法で比誘電率（εＳ）、−δ、絶
縁抵抗（ＩＲ）を測定したところ次の第５表の結果が得
られた。
で、実施例１と同様方法でセラミック生シートを作製し
、本発明に係わる導電性ペース）（Ｎｉ粉末８５ｖ量％
、Ｆｅ粉末７．５重ｆ％、ＢａＯ−５ｉ０２−Ａ１２０
３ガラスフリツト、７．５ｉ＃、％及びバインダ）を用
意し、第５図及び第６図に示す様に生シート（７）の上
にペースト（８）をスクリーン印刷し、それぞれが互い
違いになるように４層に積層し、更にこの上に生シート
のみを積層し、熱圧着して１２８０Ｃ１４時間Ｎ２（９
８，５％） ＋Ｈ２（１，５％）の中性雰囲気で一体焼
成した。その後１０００ｔ：’、１時間空気雰囲気中で
熱処理し、銹電体が還元された部分を補償した後Ｉｎ
−Ｇａ電極を焼結体の側面に形成した。そして容量及び
−δを横筒製作所モデルＹＨＰ４２７０−Ａで測定し、
この測定容量から比誘電率（ε、）を求めた。また、絶
縁抵抗（ＩＲ）をＤＣｌｏｏＶ、６０秒印加後に測定し
た。これにより、第５表の結果が得られた。尚、比較す
るため、本実施例の導電性ペーストを銀パラジウムの導
電ペーストに変更し、焼成は１２８０Ｃ，４時間を空気
雰囲気中で行なって比較試料を作り、この比較試料を本
実施例と全く同様の方法で比誘電率（εＳ）、−δ、絶
縁抵抗（ＩＲ）を測定したところ次の第５表の結果が得
られた。
第 ５ 表
この結果から、本発明の導電性ペーストは、銀パラジウ
ムペーストとほぼ同一の作用効果を有し、積層コンデン
サの内部電極としても使用することが確認された。
ムペーストとほぼ同一の作用効果を有し、積層コンデン
サの内部電極としても使用することが確認された。
第１図は本発明の実施例１に係わる磁器及び電極を示す
平面図、第２図は第１図の正面図、第３図は実施例１で
Ｔを測定するための試料の平面図、第４図はＴの測定状
態を示す断面図、第５図は実施例５の生シートとペース
トとを示す平面図、第６図は第５図の正面図である。 （１）・・・磁器、（２）・・・梼体。 代理人 高野則次
平面図、第２図は第１図の正面図、第３図は実施例１で
Ｔを測定するための試料の平面図、第４図はＴの測定状
態を示す断面図、第５図は実施例５の生シートとペース
トとを示す平面図、第６図は第５図の正面図である。 （１）・・・磁器、（２）・・・梼体。 代理人 高野則次
Claims (1)
- （１） ニッケル粉末７０〜９９重量％と、鉄、アル
ミニウム、及びタンタルの内の少なくとも１種からなる
付加粉末０．５〜２９．９ ”Ｉ量％と、ガラスフリッ
ト０．１〜２０重量％と、で１００重量％となる基本組
成物と、 ペースト状態にするための適当量のビヒクルと、から成
る焼付型導電性ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22542982A JPS59114703A (ja) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | 焼付型導電性ペ−スト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22542982A JPS59114703A (ja) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | 焼付型導電性ペ−スト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59114703A true JPS59114703A (ja) | 1984-07-02 |
| JPS628882B2 JPS628882B2 (ja) | 1987-02-25 |
Family
ID=16829227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22542982A Granted JPS59114703A (ja) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | 焼付型導電性ペ−スト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59114703A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61121205A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-09 | 太陽誘電株式会社 | 導電ペ−スト |
| US5374829A (en) * | 1990-05-07 | 1994-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum chuck |
| US7817402B2 (en) * | 2005-03-31 | 2010-10-19 | Tdk Corporation | Multilayer ceramic electronic device and method of production of the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5262695A (en) * | 1975-11-19 | 1977-05-24 | Trw Inc | Terminal for electric resistor and method of manufacture thereof |
-
1982
- 1982-12-21 JP JP22542982A patent/JPS59114703A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5262695A (en) * | 1975-11-19 | 1977-05-24 | Trw Inc | Terminal for electric resistor and method of manufacture thereof |
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| US5374829A (en) * | 1990-05-07 | 1994-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum chuck |
| US7817402B2 (en) * | 2005-03-31 | 2010-10-19 | Tdk Corporation | Multilayer ceramic electronic device and method of production of the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS628882B2 (ja) | 1987-02-25 |
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