JPS59107904A - 金属酸化物微粒子の製造法 - Google Patents
金属酸化物微粒子の製造法Info
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- JPS59107904A JPS59107904A JP57215697A JP21569782A JPS59107904A JP S59107904 A JPS59107904 A JP S59107904A JP 57215697 A JP57215697 A JP 57215697A JP 21569782 A JP21569782 A JP 21569782A JP S59107904 A JPS59107904 A JP S59107904A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G23/00—Compounds of titanium
- C01G23/04—Oxides; Hydroxides
- C01G23/047—Titanium dioxide
- C01G23/07—Producing by vapour phase processes, e.g. halide oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
- C01B13/20—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属酸化物微粒子の製造法に係り、さらに詳
しくは、気相法による金属酸化物微粒子の製造法の改良
に関する。
しくは、気相法による金属酸化物微粒子の製造法の改良
に関する。
金属酸化物微粒子は、顔料、セラミックス、触媒、その
他の工業分野において広く利用されてｉるが、近年、粒
径が数ミクロン以下の超微粒子が、大きな比表面積と高
い表面エネルギーを有し、触媒活性、焼結性等において
特異な性質を有するため新しい材料として注目されてい
る。金属酸化物微粒子を製造する方法として、金属酸化
物の粗粉末を機械的に粉砕して微粒子化する方法がある
が、該方法においては、粒子径が小さくなるに従って粒
子の表面エネルギーが増大するため、それに伴って粉砕
エネルギーが増大するため得られる粒子径に限界がちシ
、さらに機械の磨滅およびそれに起因する金属酸化物微
粒子の純度低下があるため高機能材料としての金属酸化
物微粒子の製造法として採用することはできない。これ
に対して、金属酸化物を加熱して蒸発または昇華させて
生ずる蒸気を再凝縮して微粒子とする蒸発−凝縮法、お
よび金属酸化物前駆体を不活性雰囲気下に加熱して蒸発
または昇華させて生ずる蒸気と酸素含有ガスたとえば酸
素、空気等とを気相で反応させて金属酸化物微粒子を得
る気相化学反応法が知られている。前者は生成物の粒径
分布、純度のコントロールには有利であるが連続生産が
困難であシ生産性が低い。一方、後者は粒径分布、純メ
のコントロールが容易であり、かつ、連続生産が可能な
ので生産性の高、い利点を有するが、金属酸化物蒸気を
含有する中に酸化性ガスを導入するに際し、急激に反応
し爆発が起る怖れがあり極めて危険である。また、生成
した金属酸化物微粒子の粒径が極〈小さいためその捕集
が困難でありコットレル等の高価な捕集装置を用いても
せいぜい７０チ程度しか回収できない欠点を有している
○ 本発明は爆発の怖れのない安全な、かつ、高回収率で生
成した金属酸化物微粒子を回収し得る金属酸化物微粒子
の製造法を提供することをその目的とする。
他の工業分野において広く利用されてｉるが、近年、粒
径が数ミクロン以下の超微粒子が、大きな比表面積と高
い表面エネルギーを有し、触媒活性、焼結性等において
特異な性質を有するため新しい材料として注目されてい
る。金属酸化物微粒子を製造する方法として、金属酸化
物の粗粉末を機械的に粉砕して微粒子化する方法がある
が、該方法においては、粒子径が小さくなるに従って粒
子の表面エネルギーが増大するため、それに伴って粉砕
エネルギーが増大するため得られる粒子径に限界がちシ
、さらに機械の磨滅およびそれに起因する金属酸化物微
粒子の純度低下があるため高機能材料としての金属酸化
物微粒子の製造法として採用することはできない。これ
に対して、金属酸化物を加熱して蒸発または昇華させて
生ずる蒸気を再凝縮して微粒子とする蒸発−凝縮法、お
よび金属酸化物前駆体を不活性雰囲気下に加熱して蒸発
または昇華させて生ずる蒸気と酸素含有ガスたとえば酸
素、空気等とを気相で反応させて金属酸化物微粒子を得
る気相化学反応法が知られている。前者は生成物の粒径
分布、純度のコントロールには有利であるが連続生産が
困難であシ生産性が低い。一方、後者は粒径分布、純メ
のコントロールが容易であり、かつ、連続生産が可能な
ので生産性の高、い利点を有するが、金属酸化物蒸気を
含有する中に酸化性ガスを導入するに際し、急激に反応
し爆発が起る怖れがあり極めて危険である。また、生成
した金属酸化物微粒子の粒径が極〈小さいためその捕集
が困難でありコットレル等の高価な捕集装置を用いても
せいぜい７０チ程度しか回収できない欠点を有している
○ 本発明は爆発の怖れのない安全な、かつ、高回収率で生
成した金属酸化物微粒子を回収し得る金属酸化物微粒子
の製造法を提供することをその目的とする。
本発明者等は前記目的を達成すべく鋭意研究した結果、
金属酸化物前駆体蒸気またはそのガス化した熱分解生成
物と、酸素含有ガスとを水蒸気を導入しながら気相で反
応させることにより、反応が温和に進行し、かつ、反応
生成物を冷却することによる水蒸気の凝縮部中に核とし
て該金属酸化物が取込まれるため、単にコンデンサーを
設けるだけで高収率で回収し得ることを見出し、本発明
を完成した。
金属酸化物前駆体蒸気またはそのガス化した熱分解生成
物と、酸素含有ガスとを水蒸気を導入しながら気相で反
応させることにより、反応が温和に進行し、かつ、反応
生成物を冷却することによる水蒸気の凝縮部中に核とし
て該金属酸化物が取込まれるため、単にコンデンサーを
設けるだけで高収率で回収し得ることを見出し、本発明
を完成した。
本発明は金属酸化物前駆体を不活性雰囲気下において加
熱して蒸発または熱分解させてガス化し、ついで酸素含
有ガスと水蒸気とを導入して気相中で反応させた後、冷
却して水蒸気を凝縮させることを特徴とする金属酸化物
微粒子の製造法である。
熱して蒸発または熱分解させてガス化し、ついで酸素含
有ガスと水蒸気とを導入して気相中で反応させた後、冷
却して水蒸気を凝縮させることを特徴とする金属酸化物
微粒子の製造法である。
本発明において金属酸化物前駆体は、加熱により蒸発、
昇華してガス化するもの、または、熱分解するものであ
ればいかなる金属化合物およびその有機溶剤溶液をも使
用することができる。たとえば塩化亜鉛、四塩化チタン
、四塩化ケイ素、四塩化スズ、塩化アルミニウム、塩化
ジルコニウム、塩化インジウム、塩化鉄（ｎ、ＩＩＩ）
、塩化クロム（［１，ＩＩＩ）、塩化鉛（ＩＩ）、六塩
化タングステン、塩化タノタル、五塩化ニオブ、塩化カ
ルシウム、塩化バリウム、塩化マンガン等の金属ハロダ
ン化物等の無機金属化合物類、これらの金属類のギ酸塩
、酢酸塩等の金属有機酸塩類、アルキルチタネート等の
アルキル金属類、メトキシド、エトキシド、グロポキシ
ド、ブトキシド等の金属アルコキシド類、ＢａＴｉ０．
（ＯＰｒ ）、、ＰｂＴｉ０２（ＯＢｕ ）２等の腹
合オ金属化合物類をガス化するには原料金属化合物類が
液体である場合にはそのまま、また、固体である場合に
は有機溶剤に溶解した溶液として、霧化した後加熱し蒸
発、昇華または熱分解してガス化する。また、原料金属
化合物がかなり大きな蒸気圧を有するものであれば、直
接加熱して蒸発または昇華させガス化することもできる
。
昇華してガス化するもの、または、熱分解するものであ
ればいかなる金属化合物およびその有機溶剤溶液をも使
用することができる。たとえば塩化亜鉛、四塩化チタン
、四塩化ケイ素、四塩化スズ、塩化アルミニウム、塩化
ジルコニウム、塩化インジウム、塩化鉄（ｎ、ＩＩＩ）
、塩化クロム（［１，ＩＩＩ）、塩化鉛（ＩＩ）、六塩
化タングステン、塩化タノタル、五塩化ニオブ、塩化カ
ルシウム、塩化バリウム、塩化マンガン等の金属ハロダ
ン化物等の無機金属化合物類、これらの金属類のギ酸塩
、酢酸塩等の金属有機酸塩類、アルキルチタネート等の
アルキル金属類、メトキシド、エトキシド、グロポキシ
ド、ブトキシド等の金属アルコキシド類、ＢａＴｉ０．
（ＯＰｒ ）、、ＰｂＴｉ０２（ＯＢｕ ）２等の腹
合オ金属化合物類をガス化するには原料金属化合物類が
液体である場合にはそのまま、また、固体である場合に
は有機溶剤に溶解した溶液として、霧化した後加熱し蒸
発、昇華または熱分解してガス化する。また、原料金属
化合物がかなり大きな蒸気圧を有するものであれば、直
接加熱して蒸発または昇華させガス化することもできる
。
本発明において、原料金属化合物のガス化は、不活性雰
囲気中たとえば、窒素ガス気流中、アルゴンガス気流中
、高真空下等において行い、ついで酸素含有ガスたとえ
ば酸素、空気等と共に水蒸気を導入して、当該金属成分
の酸化反応を気相中で行うことによシ、目的とする金属
酸化物の微粒子が生成する。生成した金属酸化物微粒子
は、反応ガスをコンデンサーを用いて冷却し、水蒸気を
凝縮させることによりその核として取込まれ容易に回収
することができる。本発明の好ましい態様は液状の原料
金属化合物を超音波霧化法、スフレ−法等により不活性
ガスたとえば窒素ガス、アルゴンガス等の気流中に霧化
浮遊させた後、加熱炉に導入して加熱し蒸発、昇華また
は熱分解してガス化し、ついでガス化気流中に酸素含有
ガスおよび水蒸気を導入し、気相反応により金属酸化物
微粒子を生成させる。液状の原料金属化合物を用いるこ
とにより、２種以上の全域を含む複合系金属酸化物たと
えばチタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタ
ン酸鉛、チタンジルコン酸鉛（ＰμＴ）等および混合系
金属酸化物たとえばスズ−アンチモン酸化物、インジウ
ム−スズ酸化物、安定化ジルコニア、ランタン含有チタ
ンジルコン酸鉛（ＰＬＪ！Ｔ ）等を原料段階で混合し
た組成（金属比）と同一の組成の金属酸化物類を容易に
得ることができる。特に液状原料化合物を超音波霧化法
を用いて霧化することにより平均粒径が数百オングスト
ロームないし数ミクロンの粒度分布幅の狭い均一な球型
または楕円型の金属酸化物超微粒子が得られる。
囲気中たとえば、窒素ガス気流中、アルゴンガス気流中
、高真空下等において行い、ついで酸素含有ガスたとえ
ば酸素、空気等と共に水蒸気を導入して、当該金属成分
の酸化反応を気相中で行うことによシ、目的とする金属
酸化物の微粒子が生成する。生成した金属酸化物微粒子
は、反応ガスをコンデンサーを用いて冷却し、水蒸気を
凝縮させることによりその核として取込まれ容易に回収
することができる。本発明の好ましい態様は液状の原料
金属化合物を超音波霧化法、スフレ−法等により不活性
ガスたとえば窒素ガス、アルゴンガス等の気流中に霧化
浮遊させた後、加熱炉に導入して加熱し蒸発、昇華また
は熱分解してガス化し、ついでガス化気流中に酸素含有
ガスおよび水蒸気を導入し、気相反応により金属酸化物
微粒子を生成させる。液状の原料金属化合物を用いるこ
とにより、２種以上の全域を含む複合系金属酸化物たと
えばチタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタ
ン酸鉛、チタンジルコン酸鉛（ＰμＴ）等および混合系
金属酸化物たとえばスズ−アンチモン酸化物、インジウ
ム−スズ酸化物、安定化ジルコニア、ランタン含有チタ
ンジルコン酸鉛（ＰＬＪ！Ｔ ）等を原料段階で混合し
た組成（金属比）と同一の組成の金属酸化物類を容易に
得ることができる。特に液状原料化合物を超音波霧化法
を用いて霧化することにより平均粒径が数百オングスト
ロームないし数ミクロンの粒度分布幅の狭い均一な球型
または楕円型の金属酸化物超微粒子が得られる。
本発明の方法で得られる金属酸化物として、シリカ、ア
ルミナ、チタニア、ジルコニア、マグネシア、イツトリ
ア、酸化ニッケル、酸化クロム、酸化鉄、酸化亜鉛、酸
化スズ等の単一系金属酸化物類、チタン酸バリウム、チ
タン酸ストロンチウム、チタン酸鉛、チタンジルコン酸
鉛等の複合系金属酸化物類、スズ−アンチモン酸化物、
インジウム−スズ酸化物、安定化ジルコニア等の混合物
系金属酸化物類を挙げることができる。
ルミナ、チタニア、ジルコニア、マグネシア、イツトリ
ア、酸化ニッケル、酸化クロム、酸化鉄、酸化亜鉛、酸
化スズ等の単一系金属酸化物類、チタン酸バリウム、チ
タン酸ストロンチウム、チタン酸鉛、チタンジルコン酸
鉛等の複合系金属酸化物類、スズ−アンチモン酸化物、
インジウム−スズ酸化物、安定化ジルコニア等の混合物
系金属酸化物類を挙げることができる。
本発明において、気相酸化反応を水蒸気の存在下に行う
ことにより、反応は温和に進行し、爆発等の危険がなく
、また、生成した金属酸化物微粒子の回収に当り、冷却
して水蒸気を凝縮させることによシ凝縮液滴と共に効率
よく回収される。また、液状の金属酸化物前駆体を超音
波霧化法によシ処理することにより平均粒径が小さくか
つ、粒度分布幅の狭い金属酸化物超微粒子が得られる。
ことにより、反応は温和に進行し、爆発等の危険がなく
、また、生成した金属酸化物微粒子の回収に当り、冷却
して水蒸気を凝縮させることによシ凝縮液滴と共に効率
よく回収される。また、液状の金属酸化物前駆体を超音
波霧化法によシ処理することにより平均粒径が小さくか
つ、粒度分布幅の狭い金属酸化物超微粒子が得られる。
本発明で得られる金属酸化物超微粒子は平均粒径が小さ
く、かつ粒度分布幅が狭いため、低圧成型、低温焼結が
可能であり、かつ高品質の焼結体が得られることが期待
され、また触媒活性等その他の種々の性質において特異
性を有するものと期待される。
く、かつ粒度分布幅が狭いため、低圧成型、低温焼結が
可能であり、かつ高品質の焼結体が得られることが期待
され、また触媒活性等その他の種々の性質において特異
性を有するものと期待される。
本発明は気相酸化反応法による金属酸化物微粒子の製造
法において爆発の危険のない、かつ生成微粒子を高い回
収率で回収できる金属酸化物微粒子の製造法を提供する
ものであり、その産業的意義は極めて大きい。
法において爆発の危険のない、かつ生成微粒子を高い回
収率で回収できる金属酸化物微粒子の製造法を提供する
ものであり、その産業的意義は極めて大きい。
以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。
ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない
。
。
実施例１
原料に四塩化チタンを使用した。四塩化チタンを窒素雰
囲気下で超音波式霧滴発生器（市販の超音波加湿器と同
等の装置で耐腐蝕対策を行なったもの、周波数的１．７
メガヘルツ）に注入する。一方項状電気炉（炉の部分太
さ３．０ｃｒｎ、長さ３０ｃ１ｎ）を２台用意し、連続
的に接続し、はじめの電気炉（電気炉（１）とする）の
炉心管を霧滴発生器に接続する。電気炉（１）と２台目
の電気炉（電気炉（２）とする）の炉心管接続部分に酸
素ガスおよび水蒸気を導入する管をつける。電気炉（２
）の炉心管出口にはガラス製のコンデンサーおよび大型
フラスコヲ接続し捕集装置とする。
囲気下で超音波式霧滴発生器（市販の超音波加湿器と同
等の装置で耐腐蝕対策を行なったもの、周波数的１．７
メガヘルツ）に注入する。一方項状電気炉（炉の部分太
さ３．０ｃｒｎ、長さ３０ｃ１ｎ）を２台用意し、連続
的に接続し、はじめの電気炉（電気炉（１）とする）の
炉心管を霧滴発生器に接続する。電気炉（１）と２台目
の電気炉（電気炉（２）とする）の炉心管接続部分に酸
素ガスおよび水蒸気を導入する管をつける。電気炉（２
）の炉心管出口にはガラス製のコンデンサーおよび大型
フラスコヲ接続し捕集装置とする。
実験操作はまず超音波霧滴発生器に予め乾燥した窒素ガ
スを流しながら霧滴を発生させる。発生した霧滴はキャ
リヤーガスである窒素ガスにより電気炉（１）に導かれ
る。予め電気炉（１）温度を５００℃にセットしておき
、ここで霧滴をガス化する。更に電気炉（２） （１０
００℃にセットしておく）に入ると同時に導入された酸
素ガスおよび水蒸気と混合され反応する。その後これら
をコンデンサーを通してガラスフラスコ中に導入し凝縮
水と共に微粒子を捕集した。
スを流しながら霧滴を発生させる。発生した霧滴はキャ
リヤーガスである窒素ガスにより電気炉（１）に導かれ
る。予め電気炉（１）温度を５００℃にセットしておき
、ここで霧滴をガス化する。更に電気炉（２） （１０
００℃にセットしておく）に入ると同時に導入された酸
素ガスおよび水蒸気と混合され反応する。その後これら
をコンデンサーを通してガラスフラスコ中に導入し凝縮
水と共に微粒子を捕集した。
実験条件、結果は次の通９゜
四塩化チタン消費量（３０分間）２０１窒素ガス流量
２００ ｍｔ／ｍ酸素ガス流量
４００ ｍｌ／ｍ水蒸気流量 ２００
ｍ１／ｌａｎ収 量
７．Ｏｆ収 率
８３．５％生成物を分析した結果次のことが分かっ
た。
２００ ｍｔ／ｍ酸素ガス流量
４００ ｍｌ／ｍ水蒸気流量 ２００
ｍ１／ｌａｎ収 量
７．Ｏｆ収 率
８３．５％生成物を分析した結果次のことが分かっ
た。
粒径分布（９５チ重量分布） ７００−１５０ＯＡ（
電子顕微鏡） 平均粒径 １０００ Ａ結
晶 ｆナターゼ型形 状
楕円球体 実施例２ 原料にテトラメトキシシランを用いた。
電子顕微鏡） 平均粒径 １０００ Ａ結
晶 ｆナターゼ型形 状
楕円球体 実施例２ 原料にテトラメトキシシランを用いた。
装置及び操作は実施例１と同じである。
実験条件及び結果は次の通シであった。
テトラメトキシシラン消費量（３０分間）２３ １窒素
ガス流量 ２ｏｏｍｔ／＝酸素ガス流量
６００−／ｍ水蒸気流量 ３
００ｍ１／”収 量
７．４２収 率
８１．０％生成物粒径分布（９５％重量分布） ８０
０−２００ＯＸ平均粒径 １２０ＯＡ 結 晶 形 非晶質形 状
頃日球体 実施例３ 原料として四塩化スズ（無水）及び塩化アンチモンを使
用し複合酸化物を生成した。
ガス流量 ２ｏｏｍｔ／＝酸素ガス流量
６００−／ｍ水蒸気流量 ３
００ｍ１／”収 量
７．４２収 率
８１．０％生成物粒径分布（９５％重量分布） ８０
０−２００ＯＸ平均粒径 １２０ＯＡ 結 晶 形 非晶質形 状
頃日球体 実施例３ 原料として四塩化スズ（無水）及び塩化アンチモンを使
用し複合酸化物を生成した。
窒素雰囲気下で四塩化スズ２８．２ を及び塩化アンチ
モン１．２４ ｆをフラスコに取り加熱しながらカクハ
ンする。温度が約閣℃に達すると固体の塩化アンチモン
が溶解し均一透明溶液が得られこれを原料溶液とする。
モン１．２４ ｆをフラスコに取り加熱しながらカクハ
ンする。温度が約閣℃に達すると固体の塩化アンチモン
が溶解し均一透明溶液が得られこれを原料溶液とする。
実験中原料溶液はカ℃を維持する。
装置及び操作は実施例１と同じ、但し電気炉温度を（１
）６００℃、（２） １ｏｏｏ ｃに設定した。
）６００℃、（２） １ｏｏｏ ｃに設定した。
実験条件及び結果は次の通りであった。
原料溶液
塩化１ンチモン １．２４ ０−００−０Ｏ５４
４０，０５０原料溶液消費量（３０分） １５
．３ ｒ窒素ガス流量 ２００１ｎｔ／ｍ＊
酸素ガス流量 ４００ ｄ、／６＋水蒸気流量
２００ ｍｔｔｌ頗収 量
１４．６０ ？収
率 ８７．ｏ ％生成物粒径分
布（９５％重Ｊｉ分布） ７ｏｏ −１６００Ｘ平均粒
径 ９５０ Ａ 組 成 比 ８ｂ／ａｎ ４９／１０
０結 晶 形 正方晶形
状 楕円球体 実施例４ 実施例１と同一の装置を用い、原料および条件を変えて
各種金属酸化物微粒子を製造した。製造争件および結果
を第１表中に示す。
４０，０５０原料溶液消費量（３０分） １５
．３ ｒ窒素ガス流量 ２００１ｎｔ／ｍ＊
酸素ガス流量 ４００ ｄ、／６＋水蒸気流量
２００ ｍｔｔｌ頗収 量
１４．６０ ？収
率 ８７．ｏ ％生成物粒径分
布（９５％重Ｊｉ分布） ７ｏｏ −１６００Ｘ平均粒
径 ９５０ Ａ 組 成 比 ８ｂ／ａｎ ４９／１０
０結 晶 形 正方晶形
状 楕円球体 実施例４ 実施例１と同一の装置を用い、原料および条件を変えて
各種金属酸化物微粒子を製造した。製造争件および結果
を第１表中に示す。
２５１０２７２０２−４Ｇ
３０１００ ７２０２−４ Ｇ
３７１０２７２０２−４Ｇ ４９１０２７２０２−４Ｇ ５３１０４ ７２０２−４ Ｇ０
発 明 者 菊池一部 横浜市金沢区並木１丁目１７番１３ １４０３
３７１０２７２０２−４Ｇ ４９１０２７２０２−４Ｇ ５３１０４ ７２０２−４ Ｇ０
発 明 者 菊池一部 横浜市金沢区並木１丁目１７番１３ １４０３
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、金属酸化物前駆体を不活性雰囲気中において加熱し
て蒸発、昇化または熱分解させてガス化し、ついで酸素
含有ガスと水蒸気とを導入して気相中で反応させた後、
冷却して水蒸気を凝縮させることを特徴とする金属酸化
物微粒子の製造法。 ２、液状の金属酸化物前駆体を不活性ガス気流中に霧化
浮遊させて加熱し、蒸発、昇華または熱分解させガス化
する特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、液状の金属酸化物前駆体の霧化を超音波霧化法によ
り行う特許請求の範囲第２項記載の方法。 ４、液状の金属酸化物前駆体が金属ハロゲン化物、金属
有機酸塩、アルキル金属、金属アルコキシド、複合オキ
ジアルコキシド、または金属キレート化合物もしくはそ
れらの有機溶剤溶液である特許請求の範囲第２項ないし
第３項記載の方法。 ５、金属酸化物前駆体が２種以上の金属を含む混合物、
化合物またはそれらの有機溶剤溶液である特許請求の範
囲第１項ないし第４項記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57215697A JPS59107904A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 金属酸化物微粒子の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57215697A JPS59107904A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 金属酸化物微粒子の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107904A true JPS59107904A (ja) | 1984-06-22 |
Family
ID=16676653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57215697A Pending JPS59107904A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 金属酸化物微粒子の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107904A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186418A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-21 | Hiroyoshi Inoue | 超微粒子状酸化チタンの製造方法 |
| JPH01503294A (ja) * | 1987-05-18 | 1989-11-09 | コンパニー・ユーロペンヌ・ドユ・ジルコニウム・セジユス | 所定の比表面積または粒度を有する金属（ジルコニウム、ハフニウム、チタン）酸化物の微粉体の製造方法 |
| EP0401999A2 (en) * | 1989-06-03 | 1990-12-12 | Tioxide Group Limited | Stabilized metal oxide powder compositions |
| EP0640565A1 (en) * | 1993-08-30 | 1995-03-01 | General Electric Company | Process for gas phase conversion of diethylzinc to zinc oxide powder |
| JP2000178018A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-27 | Jgc Corp | 多結晶シリコンの製造方法および高純度シリカの製造方法 |
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