JPS59102575A - 研削ホイ−ル - Google Patents
研削ホイ−ルInfo
- Publication number
- JPS59102575A JPS59102575A JP21257883A JP21257883A JPS59102575A JP S59102575 A JPS59102575 A JP S59102575A JP 21257883 A JP21257883 A JP 21257883A JP 21257883 A JP21257883 A JP 21257883A JP S59102575 A JPS59102575 A JP S59102575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- grinding wheel
- grindstone
- workpiece
- wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/18—Wheels of special form
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、シリコン又はガラス等の脆弱加工物の平面を
研削するのに特に適した研削ホイールに関する。
研削するのに特に適した研削ホイールに関する。
従来、シリコン又はガラス等の脆弱加工物の平面を研削
するための研削ホイールとしては、一般に、第１図（ａ
）に図示する如く、円筒状垂下部を有する椀状支持部材
２とこの支持部材２の下端面（即ち円筒状垂下部の下端
面）に配設された円環状平板形態の砥石４とを具備する
型の研削ホイールが使用されていた。然るに、かような
従来の研削ホイールには、主として、砥石４が円環状平
板形態であって実質上垂直に延びる外周面と実質上水平
に延びる下面とを有し、それ故に加工物６の平面研削の
際の砥石４の外周面及び下面と加工物６との接触面積が
かなり大きいことに起因して、摩擦熱の発生が大きく加
工物６に所謂研削焼けが生じたり加工物６が熱膨張して
寸法精度が劣化する、所Ｎｌ切味が悪くて研削効率及び
研削精度が低く、加工物６に研剤割れ等が生ずることも
少なくない等の欠点がある。第１図（ｂ）に図示する如
く、砥石４の底面を径方向内方へ向って上方へ傾斜せし
めた研削ホイールも提案され実用に供されているが、か
ような研削ホイールにおいても、加工物６の平面研削の
際の砥石４の外周面と加工物６との接触面積がかなり大
きく、上述した通りの欠点は充分に解決されていない。
するための研削ホイールとしては、一般に、第１図（ａ
）に図示する如く、円筒状垂下部を有する椀状支持部材
２とこの支持部材２の下端面（即ち円筒状垂下部の下端
面）に配設された円環状平板形態の砥石４とを具備する
型の研削ホイールが使用されていた。然るに、かような
従来の研削ホイールには、主として、砥石４が円環状平
板形態であって実質上垂直に延びる外周面と実質上水平
に延びる下面とを有し、それ故に加工物６の平面研削の
際の砥石４の外周面及び下面と加工物６との接触面積が
かなり大きいことに起因して、摩擦熱の発生が大きく加
工物６に所謂研削焼けが生じたり加工物６が熱膨張して
寸法精度が劣化する、所Ｎｌ切味が悪くて研削効率及び
研削精度が低く、加工物６に研剤割れ等が生ずることも
少なくない等の欠点がある。第１図（ｂ）に図示する如
く、砥石４の底面を径方向内方へ向って上方へ傾斜せし
めた研削ホイールも提案され実用に供されているが、か
ような研削ホイールにおいても、加工物６の平面研削の
際の砥石４の外周面と加工物６との接触面積がかなり大
きく、上述した通りの欠点は充分に解決されていない。
而して、本発明者等の研究及び実験によれば、従来の研
削ホイールに存在する上記欠点を回避するには、砥石の
研削部を支持部材の環状自由端縁から径方向外方に傾斜
して突出する略円錐筒状にせしめ°ることが重要である
ことが判明した。他方、砥石の研削部を上記の通りの略
円錐筒状にせしめた研削ホイールにおいては、一般に、
充分な研削精度を得るためには研削部の厚さを相当薄く
することが重要であるが、特に研削部の厚さを薄くした
場合、研削部の強度及び剛性が低下し、それ故に、研削
の際に研削部に作用する力によって、研削部が振動しこ
れに起因して加工物の研削面にうねりが生成され、或い
は研削部が破損されてしまう１頃向があることも判明し
た。
削ホイールに存在する上記欠点を回避するには、砥石の
研削部を支持部材の環状自由端縁から径方向外方に傾斜
して突出する略円錐筒状にせしめ°ることが重要である
ことが判明した。他方、砥石の研削部を上記の通りの略
円錐筒状にせしめた研削ホイールにおいては、一般に、
充分な研削精度を得るためには研削部の厚さを相当薄く
することが重要であるが、特に研削部の厚さを薄くした
場合、研削部の強度及び剛性が低下し、それ故に、研削
の際に研削部に作用する力によって、研削部が振動しこ
れに起因して加工物の研削面にうねりが生成され、或い
は研削部が破損されてしまう１頃向があることも判明し
た。
本発明はかかる事実に鑑みてなされたものであり、その
主目的は、砥石の研削部を上記の通りの略円錐筒状にせ
しめた研削ホイールであって、砥石の研削部の厚さを相
当薄くせしめても充分な強度及び剛性が保持され、従っ
て、研削面にうねりが生成され或いは研削部が破損され
てしまうという望ましくない傾向が回避される、改良さ
れた研削ホイールを提供することである。
主目的は、砥石の研削部を上記の通りの略円錐筒状にせ
しめた研削ホイールであって、砥石の研削部の厚さを相
当薄くせしめても充分な強度及び剛性が保持され、従っ
て、研削面にうねりが生成され或いは研削部が破損され
てしまうという望ましくない傾向が回避される、改良さ
れた研削ホイールを提供することである。
本発明者等は、鋭意研究及び実験の結果、砥石の研削部
を周方向に波形形状にせしめると、砥石の研削部の強度
及び剛性が増大せしめられて上記目的が達成されること
を見出した。
を周方向に波形形状にせしめると、砥石の研削部の強度
及び剛性が増大せしめられて上記目的が達成されること
を見出した。
即ち、本発明によれば、塊状自由端縁部を有する支持部
材と、該支持部材の該環状自由端縁から径方向外方に傾
斜して突出する略円錐筒状の研削部を有する砥石とを具
備する、加工物の平面を研削するための研削ホイールに
おいて；該砥石の該研削部は、周方向に波形形状にせし
められている、ことを特徴とする研削ホイールが提供さ
れる。
材と、該支持部材の該環状自由端縁から径方向外方に傾
斜して突出する略円錐筒状の研削部を有する砥石とを具
備する、加工物の平面を研削するための研削ホイールに
おいて；該砥石の該研削部は、周方向に波形形状にせし
められている、ことを特徴とする研削ホイールが提供さ
れる。
以下、本発明に従って構成された研削ホイールの具体例
を図示している第２図及び第３図を参照して、更に詳細
に説明する。
を図示している第２図及び第３図を参照して、更に詳細
に説明する。
第２図は、本発明に従って構成された研削ホイールの一
具体例によって、シリコン又はガラス等の脆弱加工物６
の平面を研削している状態を図示している。図示の研削
ホイールは、支持部材２と砥石４とを具備している。支
持部材２は、円板状上部８とこの円板状上部の周縁から
垂下する円筒状垂下部１０とを有する。垂下部１０の内
面中間には段部が形成されており、垂下部１０の上半部
における内径に比べて垂下部１０の下半部における内径
が幾分大きくせしめられている。垂下部１０の下面は、
垂下部１０の内面に対して傾斜角度θをなして径方向外
方に向って下方へ傾斜せしめられている。砥石４は、円
筒状の取付部１２と略円錐筒状の研削部１４とを有する
。取付部１２は接着等の適宜の方式によって上記支持部
材２の垂下部１０の下半部内面に固着せしめられている
。取付部１２に対して上記傾斜角度θをなして延びる研
削部１４は上記支持部材２の環状自由端縁、即ち垂下部
１０の下端縁を越えて、径方向外方へ向って下方へ傾斜
して突出せしめられている。上記傾斜角度θは適宜に設
定することができるが、一般に、１００度乃至１３５３
５度程加工物６の平面と研削部１４とが形成する角度で
表現すると、１０度乃至４５度程度）であるのが好都合
である。
具体例によって、シリコン又はガラス等の脆弱加工物６
の平面を研削している状態を図示している。図示の研削
ホイールは、支持部材２と砥石４とを具備している。支
持部材２は、円板状上部８とこの円板状上部の周縁から
垂下する円筒状垂下部１０とを有する。垂下部１０の内
面中間には段部が形成されており、垂下部１０の上半部
における内径に比べて垂下部１０の下半部における内径
が幾分大きくせしめられている。垂下部１０の下面は、
垂下部１０の内面に対して傾斜角度θをなして径方向外
方に向って下方へ傾斜せしめられている。砥石４は、円
筒状の取付部１２と略円錐筒状の研削部１４とを有する
。取付部１２は接着等の適宜の方式によって上記支持部
材２の垂下部１０の下半部内面に固着せしめられている
。取付部１２に対して上記傾斜角度θをなして延びる研
削部１４は上記支持部材２の環状自由端縁、即ち垂下部
１０の下端縁を越えて、径方向外方へ向って下方へ傾斜
して突出せしめられている。上記傾斜角度θは適宜に設
定することができるが、一般に、１００度乃至１３５３
５度程加工物６の平面と研削部１４とが形成する角度で
表現すると、１０度乃至４５度程度）であるのが好都合
である。
上記傾斜角度θが過大になると、研削の際の研削抵抗が
過大になり所謂切味が低下する傾向があり、逆に上記傾
斜角度θが過小になると、研削の際に研削部１４に作用
する鉛直方向の力に対する研削部３の強度及び剛性が過
小になって研削部１４が上下に振動し、これに起因して
加工部６の研削面１６にうねりが生成される傾向がある
。
過大になり所謂切味が低下する傾向があり、逆に上記傾
斜角度θが過小になると、研削の際に研削部１４に作用
する鉛直方向の力に対する研削部３の強度及び剛性が過
小になって研削部１４が上下に振動し、これに起因して
加工部６の研削面１６にうねりが生成される傾向がある
。
上記砥石４は、超砥粒（ダイヤモンド砥粒又は立方晶窒
化硼素砥粒）を電着することによって形成されているの
が好ましい。電着以外のメタルボンド、レジンボンド等
によって砥石４を形成する、と、所要の強度が得られな
い傾向がある。砥石４の研削部１４の厚さ１１は、従来
のものよりも相当薄くて０．１乃至０．５ｍ＋であるの
が好ましい。研削部１４の厚さｔｌが０．５ｍを越える
と、研削精度が劣化すると共に加工物に研削割れ（クラ
ック）が発生する１頃向がある。他方、研削部１４の厚
さｔｌが０．１ｍより薄くなると、研削部１４０強度及
び剛性が過小になる傾向がある。
化硼素砥粒）を電着することによって形成されているの
が好ましい。電着以外のメタルボンド、レジンボンド等
によって砥石４を形成する、と、所要の強度が得られな
い傾向がある。砥石４の研削部１４の厚さ１１は、従来
のものよりも相当薄くて０．１乃至０．５ｍ＋であるの
が好ましい。研削部１４の厚さｔｌが０．５ｍを越える
と、研削精度が劣化すると共に加工物に研削割れ（クラ
ック）が発生する１頃向がある。他方、研削部１４の厚
さｔｌが０．１ｍより薄くなると、研削部１４０強度及
び剛性が過小になる傾向がある。
本発明に従って構成された研削ホイールにおいては、第
３図に明確に図示する如（、上記砥石４の研削部１４は
、周方向に波形形状にせしめられていることが重要であ
る。図示の場合、波形形状は鋭い折曲角部を有する三角
山形態であるが、丸味を有する正弦波形態等でもよい。
３図に明確に図示する如（、上記砥石４の研削部１４は
、周方向に波形形状にせしめられていることが重要であ
る。図示の場合、波形形状は鋭い折曲角部を有する三角
山形態であるが、丸味を有する正弦波形態等でもよい。
特に砥石４の研削部１４の厚さｔよを相当薄（した場合
、研削部１４０強度及び剛性が低下し、それ故に、研削
の際に研削部１４に作用する力によって、研削部１４が
振動しこれに起因して加工物６の研削面１６にうねりが
生成され、或いは研削部１４が破損される傾向があるが
、上述した如く研削部１４を周方向に波形形状にせしめ
ると、研削部１４０強度及び剛性が増大せしめられ、そ
れ故に、研削部１４の厚さｔｌを相当小さくしても、研
削部１４の破損を発生せしめることなく、そしてまた加
工物６の研削面１６にうねりを生成せしめることなく、
充分良好な研削面１６を得ることができる。
、研削部１４０強度及び剛性が低下し、それ故に、研削
の際に研削部１４に作用する力によって、研削部１４が
振動しこれに起因して加工物６の研削面１６にうねりが
生成され、或いは研削部１４が破損される傾向があるが
、上述した如く研削部１４を周方向に波形形状にせしめ
ると、研削部１４０強度及び剛性が増大せしめられ、そ
れ故に、研削部１４の厚さｔｌを相当小さくしても、研
削部１４の破損を発生せしめることなく、そしてまた加
工物６の研削面１６にうねりを生成せしめることなく、
充分良好な研削面１６を得ることができる。
上記の通りの研削ホイールによって加工物６の平面を研
削する場合には、研削ホイールの支持部材２（更に詳し
くはその円板上部８の中心部）が研削機の回転軸（図示
していない）に固定され、研削ホイールがその中心軸線
を中心として高速回転せしめられる。そして、研削ホイ
ールと加工物６とが第２図において左右方向に相対的に
移動せしめられ、かくして砥石４の研削部１４の先端部
によって加工物６の平面が所謂切断様式によって研削さ
れる。加工物６の、砥石４の研削部１４の先端部よりも
上方の部分には、自壊作用が生成される。研削深さｔ２
は、必要に応じて適宜に設定することができる（例えば
０．３乃至０．８闇程度）。
削する場合には、研削ホイールの支持部材２（更に詳し
くはその円板上部８の中心部）が研削機の回転軸（図示
していない）に固定され、研削ホイールがその中心軸線
を中心として高速回転せしめられる。そして、研削ホイ
ールと加工物６とが第２図において左右方向に相対的に
移動せしめられ、かくして砥石４の研削部１４の先端部
によって加工物６の平面が所謂切断様式によって研削さ
れる。加工物６の、砥石４の研削部１４の先端部よりも
上方の部分には、自壊作用が生成される。研削深さｔ２
は、必要に応じて適宜に設定することができる（例えば
０．３乃至０．８闇程度）。
以上、第２図及び第３図を参照して、本発明に従って構
成された研削ホイールの一具体例について詳細に説明し
たが、本発明はかかる具体例に限定されるものではなく
、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正
が可能であることは多言を要しない。
成された研削ホイールの一具体例について詳細に説明し
たが、本発明はかかる具体例に限定されるものではなく
、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正
が可能であることは多言を要しない。
例えば、所望ならば、砥石４の研削部１４にその先端か
らその中間部まで径方向に延びる切欠きを周方向に間隔
を置いて複数個形成することができる。か（した場合に
は、砥石４の内側から径方向外方に冷却水を送給すると
、かかる冷却水が切欠きを通って流出して、研削域から
研削屑を強制的に排除すると共に研削機を冷却し、かく
して研削効率を向上せしめる。切欠きの寸法、個数、間
隔は、適宜に設定することができる。上記切欠きを形成
することに代えて、砥石４の研削部１４に直径０．１乃
至０．２ ｒｒａｎ程度の多数の小孔を放電加工等によ
り穿設することもできる。
らその中間部まで径方向に延びる切欠きを周方向に間隔
を置いて複数個形成することができる。か（した場合に
は、砥石４の内側から径方向外方に冷却水を送給すると
、かかる冷却水が切欠きを通って流出して、研削域から
研削屑を強制的に排除すると共に研削機を冷却し、かく
して研削効率を向上せしめる。切欠きの寸法、個数、間
隔は、適宜に設定することができる。上記切欠きを形成
することに代えて、砥石４の研削部１４に直径０．１乃
至０．２ ｒｒａｎ程度の多数の小孔を放電加工等によ
り穿設することもできる。
また、所望ならば、複数個の砥石を同心状に配列するこ
ともできる。この場合、内側に位置する砥石の研削部の
先端が、外側に位置する砥石の研削部の先端を越えて軸
線方向に突出するようにせしめる。かような研削ホイー
ルによって加工物の平面を研削する際には、最初に最も
外側の砥石の研削部の先端部が加工物に作用して所要研
削深さで研削し、次いで順次に内側の砥石の研削部の先
端部が加工物に作用して夫々所要研削深さで研削し、か
くして相当な総研削深さで加工物の平面を研削すること
ができる。
ともできる。この場合、内側に位置する砥石の研削部の
先端が、外側に位置する砥石の研削部の先端を越えて軸
線方向に突出するようにせしめる。かような研削ホイー
ルによって加工物の平面を研削する際には、最初に最も
外側の砥石の研削部の先端部が加工物に作用して所要研
削深さで研削し、次いで順次に内側の砥石の研削部の先
端部が加工物に作用して夫々所要研削深さで研削し、か
くして相当な総研削深さで加工物の平面を研削すること
ができる。
次に、不発明の実施例及び比較例について述べる。
実施例
第３図に図示する如ぐ砥石の研削部が三角山形態の波形
形状であり、砥石の形削部には周方向に間隔を置いて複
数個の切欠きが存在し、砥石の研削部の厚さく１１）が
夫／ｒ０．１０＋ｏ＋、０．３０１１１１１１．０．５
０ｍ、０．７０ ｗｎである砥石乞、下記共通条件で形
成し、第２図に図示する形態の研ｉ’＋ｉＪポイールを
製作した。
形状であり、砥石の形削部には周方向に間隔を置いて複
数個の切欠きが存在し、砥石の研削部の厚さく１１）が
夫／ｒ０．１０＋ｏ＋、０．３０１１１１１１．０．５
０ｍ、０．７０ ｗｎである砥石乞、下記共通条件で形
成し、第２図に図示する形態の研ｉ’＋ｉＪポイールを
製作した。
砥 粒・・・・・・・・・ダイヤモンド砥粒砥粒粒度・
・・・・・Ｕ、Ｓ、メッシュ番号４００砥粒集中度・・
・・・・１５０ 結合方式・・・・・・電着にッケル） 砥石外径・・・・・・２００ｍ 研削部傾斜角度θ・・・・・・１３５度そして、上記研
削ホイールを使用して、下記研削条件下でシリコンウェ
ーハの片面を研削した。
・・・・・Ｕ、Ｓ、メッシュ番号４００砥粒集中度・・
・・・・１５０ 結合方式・・・・・・電着にッケル） 砥石外径・・・・・・２００ｍ 研削部傾斜角度θ・・・・・・１３５度そして、上記研
削ホイールを使用して、下記研削条件下でシリコンウェ
ーハの片面を研削した。
研削ホイール回転数・・・・・・５０００ ｒｐｍウェ
ーハ送り速度・・・・・・・・・１００ｗａｎ／ｍ研削
深さ・・・・・・・・・３５０μｍ冷却液・・・・・・
・・・上水 冷却液流量・・・・・・５１７ｍ ウェーハ径・・・・・・１０（１ｍ ウェーハ片面の研削状態を検査したところ、下記第１表
の通りであった。
ーハ送り速度・・・・・・・・・１００ｗａｎ／ｍ研削
深さ・・・・・・・・・３５０μｍ冷却液・・・・・・
・・・上水 冷却液流量・・・・・・５１７ｍ ウェーハ径・・・・・・１０（１ｍ ウェーハ片面の研削状態を検査したところ、下記第１表
の通りであった。
比較例
比較のため、砥石の研削部が波形形状ではない点を除け
ば実施例と実質上同一の研削ホイールを製作し、実施例
と同一の研削条件でシリコンウェーハの片面を研削し、
研削状態を検査した。その結果は下記第１表の通りであ
った。
ば実施例と実質上同一の研削ホイールを製作し、実施例
と同一の研削条件でシリコンウェーハの片面を研削し、
研削状態を検査した。その結果は下記第１表の通りであ
った。
第１表
上記第１表から、砥石の研削部を波形形状にせしめると
、研削部の強度及び剛性が増大せしめられて、研削面に
おけるうねりが低減せしめられることが理解される。
、研削部の強度及び剛性が増大せしめられて、研削面に
おけるうねりが低減せしめられることが理解される。
第１図（ａ）及び（ｂ）は、従来の研削ホイールを示す
断面図。 第２図は、本発明に従って構成された研削ホイールの一
具体例によって加工物を研削している状態を示す断面図
。 第３図は、第２図の研削ホイールにおける砥石の研削部
を示す部分斜面図。 ２・・・・・・支持部材 ４・・・・・・砥 石 １４・・・・・・砥石の研削部 第１図 （ａ） 第２図 （ｂ） 茅３図
断面図。 第２図は、本発明に従って構成された研削ホイールの一
具体例によって加工物を研削している状態を示す断面図
。 第３図は、第２図の研削ホイールにおける砥石の研削部
を示す部分斜面図。 ２・・・・・・支持部材 ４・・・・・・砥 石 １４・・・・・・砥石の研削部 第１図 （ａ） 第２図 （ｂ） 茅３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 環状自由端縁を有する支持部材と、該支持部材の該
環状自由端縁から径方向外方に傾舶して突出する略円錐
筒状の研削部を有する砥石とを具備する、加工物の平面
を研削するための研削ホイールにおいて； 該砥石の該研削部は、周方向に波形形状にせしめられて
いる、ことを特徴とする研削ホイール０ ２ 該砥石は、超砥粒を電着することによって形成され
ている、特許請求の範囲第１項記載の研削ホイール。 ３ 該砥石の該研削部の厚さは、０．１乃至０．５ ｒ
ｒａｎである、特許請求の範囲第２項記載の研削ホイー
ル。 ４、該砥石の該研削部には、周方向に間隔を置いて複数
個の切欠きが形成されている、特許請求の範囲第１項か
ら第３項までのいずれかに記載の研削ホイール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21257883A JPS59102575A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 研削ホイ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21257883A JPS59102575A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 研削ホイ−ル |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55010887A Division JPS6017664B2 (ja) | 1967-09-02 | 1980-02-01 | 研削ホィ−ル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59102575A true JPS59102575A (ja) | 1984-06-13 |
| JPH0227117B2 JPH0227117B2 (ja) | 1990-06-14 |
Family
ID=16625017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21257883A Granted JPS59102575A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 研削ホイ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59102575A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6335577U (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | ||
| JPH03131478A (ja) * | 1989-10-09 | 1991-06-05 | Seiichiro Ichikawa | 石材研磨用ダイヤモンド砥石 |
| WO2025188983A1 (en) * | 2024-03-07 | 2025-09-12 | Wolfspeed, Inc. | Grind wheel design for low edge-roll grinding |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021190A (ja) * | 1973-06-26 | 1975-03-06 | ||
| JPS50150088A (ja) * | 1974-05-22 | 1975-12-01 | ||
| JPS50150080A (ja) * | 1974-05-22 | 1975-12-01 |
-
1983
- 1983-11-14 JP JP21257883A patent/JPS59102575A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021190A (ja) * | 1973-06-26 | 1975-03-06 | ||
| JPS50150088A (ja) * | 1974-05-22 | 1975-12-01 | ||
| JPS50150080A (ja) * | 1974-05-22 | 1975-12-01 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6335577U (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | ||
| JPH03131478A (ja) * | 1989-10-09 | 1991-06-05 | Seiichiro Ichikawa | 石材研磨用ダイヤモンド砥石 |
| WO2025188983A1 (en) * | 2024-03-07 | 2025-09-12 | Wolfspeed, Inc. | Grind wheel design for low edge-roll grinding |
| US12533767B2 (en) | 2024-03-07 | 2026-01-27 | Wolfspeed, Inc. | Grind wheel design for low edge-roll grinding |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0227117B2 (ja) | 1990-06-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6017664B2 (ja) | 研削ホィ−ル | |
| JP4657318B2 (ja) | フライス工具 | |
| CN101522372B (zh) | 在磨削操作中冷却剂动态压力释放方法、利用该释放方法的磨削方法以及在该磨削方法中使用的砂轮 | |
| JP5701211B2 (ja) | 研磨剤を含浸する電鋳製薄型カッティングソー及びコアドリル | |
| US5941759A (en) | Lapping method using upper and lower lapping turntables | |
| JPS6312741B2 (ja) | ||
| JPS59102575A (ja) | 研削ホイ−ル | |
| JP3664691B2 (ja) | Ｃｍｐ加工用ドレッサ | |
| JPH11207636A (ja) | カップ型砥石 | |
| JP2015129056A (ja) | ガラス基板の切断方法及び磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
| JPS58143948A (ja) | ウエハ研削装置 | |
| JP2000326236A (ja) | 縦軸研削用砥石 | |
| JPS6339385B2 (ja) | ||
| JPH11188642A (ja) | ディスク状研削ホイール | |
| CN217860791U (zh) | 一种碳化硅衬底片用减薄磨轮 | |
| JPH08243928A (ja) | セグメント型砥石車及びその製造方法 | |
| JPH03294160A (ja) | 研削砥石および研削装置 | |
| JPS62251081A (ja) | 研削装置および研削砥石 | |
| JP4388858B2 (ja) | シリコンウエハの加工方法 | |
| CN212399122U (zh) | 一种新型磨盘 | |
| JP2002301645A (ja) | 研削装置 | |
| JP2003285273A (ja) | 切断用ホイール | |
| JPH06226640A (ja) | 平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片 | |
| JP2001334469A (ja) | ガラス基板加工用ダイヤモンドホイール及びガラス基板の加工法 | |
| JP4020811B2 (ja) | 研磨工具 |