JPS6339385B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6339385B2 JPS6339385B2 JP58154708A JP15470883A JPS6339385B2 JP S6339385 B2 JPS6339385 B2 JP S6339385B2 JP 58154708 A JP58154708 A JP 58154708A JP 15470883 A JP15470883 A JP 15470883A JP S6339385 B2 JPS6339385 B2 JP S6339385B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- grinding wheel
- grinding
- segment
- flange portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/06—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、シリコン、セラミツク、硬質ガラス
等の硬脆材料、特にシリコンウエハーの研削に用
いるダイヤモンド砥石に関する。
等の硬脆材料、特にシリコンウエハーの研削に用
いるダイヤモンド砥石に関する。
従来のこの種のダイヤモンド砥石は、円環状ベ
ースの下面に多数の略Ｖ形状横断面のダイヤモン
ド砥石セグメントを突設して円上に等間隔に配列
している。ところが、略Ｖ形状横断面のダイヤモ
ンド砥石セグメントは、刃先剛性が充分に高いと
は言い難い。刃先剛性が低いと、刃先が研削抵抗
によつて振動したり変形したりして、研削面が悪
化する。
ースの下面に多数の略Ｖ形状横断面のダイヤモン
ド砥石セグメントを突設して円上に等間隔に配列
している。ところが、略Ｖ形状横断面のダイヤモ
ンド砥石セグメントは、刃先剛性が充分に高いと
は言い難い。刃先剛性が低いと、刃先が研削抵抗
によつて振動したり変形したりして、研削面が悪
化する。
また、ダイヤモンド砥石セグメントは、刃先剛
性のみを考慮して、剛性の高い横断面形状にする
と、研削液による刃先の冷却と研削チツプの排出
が悪化する。
性のみを考慮して、剛性の高い横断面形状にする
と、研削液による刃先の冷却と研削チツプの排出
が悪化する。
本発明の目的は、上記のような従来の状況から
して、刃先剛性が高く、また、刃先の冷却と研削
チツプの排出が良好なダイヤモンド砥石を提供す
ることである。
して、刃先剛性が高く、また、刃先の冷却と研削
チツプの排出が良好なダイヤモンド砥石を提供す
ることである。
本発明は、上記の目的を達成するため、ダイヤ
モンド砥石セグメントを筒状にし、その中心孔に
研削液が流通するようにしたものである。即ち、
ホイールベースにその下端外周縁から中心側に突
出したフランジ部を設け、フランジ部にその上面
と下面間を貫通した多数の通孔を設け、各通孔に
筒状のダイヤモンド砥石セグメントの上端部を嵌
着して、各ダイヤモンド砥石セグメントの中心孔
をフランジ部の上面側に連通する一方、各ダイヤ
モンド砥石セグメントの下端部をフランジ部の下
面から突出したことを特徴とするダイヤモンド砥
石である。
モンド砥石セグメントを筒状にし、その中心孔に
研削液が流通するようにしたものである。即ち、
ホイールベースにその下端外周縁から中心側に突
出したフランジ部を設け、フランジ部にその上面
と下面間を貫通した多数の通孔を設け、各通孔に
筒状のダイヤモンド砥石セグメントの上端部を嵌
着して、各ダイヤモンド砥石セグメントの中心孔
をフランジ部の上面側に連通する一方、各ダイヤ
モンド砥石セグメントの下端部をフランジ部の下
面から突出したことを特徴とするダイヤモンド砥
石である。
本発明のダイヤモンド砥石においては、ダイヤ
モンド砥石セグメントは、筒状をしているので、
略Ｖ形状横断面の従来品に比して、刃先剛性が高
い。また、筒状のダイヤモンド砥石セグメントの
中心孔がホイールベースのフランジ部の上面側に
連通しているので、研削液がフランジ部の上面側
からダイヤモンド砥石セグメントの中心孔に流入
して流通し、ダイヤモンド砥石セグメントの下端
部即ち刃先から流出する。従つて、研削液による
刃先の冷却と研削チツプの排出が良好である。
モンド砥石セグメントは、筒状をしているので、
略Ｖ形状横断面の従来品に比して、刃先剛性が高
い。また、筒状のダイヤモンド砥石セグメントの
中心孔がホイールベースのフランジ部の上面側に
連通しているので、研削液がフランジ部の上面側
からダイヤモンド砥石セグメントの中心孔に流入
して流通し、ダイヤモンド砥石セグメントの下端
部即ち刃先から流出する。従つて、研削液による
刃先の冷却と研削チツプの排出が良好である。
次に、本発明の実施例について説明する。
本例のダイヤモンド砥石は、第１図に示すよう
に、アルミニユウム製のホイールベース１を、外
周部を下側に傾斜した円輪板状の基板部２とその
下端外周縁から中心側に突出したフランジ部４か
ら構成し、第１図と第２図に示すように、ホイー
ルベースのフランジ部４にその傾斜上面と水平下
面間を貫通した多数の通孔５を３個の同芯円錐面
上に等間隔に配置して設け、各通孔５の下端部を
大径の砥石セグメント取付孔６に形成し、各通孔
５の残部を研削液通路７にし、各通孔の砥石セグ
メント取付孔６に円筒状のダイヤモンド砥石セグ
メント８の上端部を嵌合して接着し、各ダイヤモ
ンド砥石セグメントの中心孔９を各通孔の研削液
通路７を経てフランジ部４の上面側に連通し、各
ダイヤモンド砥石セグメント８の下端部即ち刃先
をフランジ部４の下面から外周側に傾斜して突出
し、各ダイヤモンド砥石セグメント８の傾斜下端
面を同一水平面内に配置している。なお、ダイヤ
モンド砥石セグメント８は、電着法によつてニツ
ケルの母材に多数のダイヤモンド粒子を分散して
含有させたものであり、内径が1.5〜2.5mmで、肉
厚が0.2〜0.5mmである。
に、アルミニユウム製のホイールベース１を、外
周部を下側に傾斜した円輪板状の基板部２とその
下端外周縁から中心側に突出したフランジ部４か
ら構成し、第１図と第２図に示すように、ホイー
ルベースのフランジ部４にその傾斜上面と水平下
面間を貫通した多数の通孔５を３個の同芯円錐面
上に等間隔に配置して設け、各通孔５の下端部を
大径の砥石セグメント取付孔６に形成し、各通孔
５の残部を研削液通路７にし、各通孔の砥石セグ
メント取付孔６に円筒状のダイヤモンド砥石セグ
メント８の上端部を嵌合して接着し、各ダイヤモ
ンド砥石セグメントの中心孔９を各通孔の研削液
通路７を経てフランジ部４の上面側に連通し、各
ダイヤモンド砥石セグメント８の下端部即ち刃先
をフランジ部４の下面から外周側に傾斜して突出
し、各ダイヤモンド砥石セグメント８の傾斜下端
面を同一水平面内に配置している。なお、ダイヤ
モンド砥石セグメント８は、電着法によつてニツ
ケルの母材に多数のダイヤモンド粒子を分散して
含有させたものであり、内径が1.5〜2.5mmで、肉
厚が0.2〜0.5mmである。
本例のダイヤモンド砥石を使用する場合、ホイ
ールベース１を、その基板部２に貫設した複数個
の取付孔３を利用して、図示しない研削機の主軸
の下端に取付け、ホイールベース１内に研削液供
給パイプを配置し、主軸を回転すると共に研削液
を供給して、ダイヤモンド砥石セグメント８の傾
斜下端面をテーブル上のシリコンウエハーの上面
に当接する。すると、ダイヤモンド砥石セグメン
ト８の傾斜下端面がシリコンウエハーの上面を摺
動して研削する一方、研削液がフランジ部４の上
面側から研削液通路７を経てダイヤモンド砥石セ
グメントの中心孔９に流入して流通し、ダイヤモ
ンド砥石セグメント８の下端面の中心孔９から流
出する。従つて、研削液がダイヤモンド砥石セグ
メントの中心孔９を流通するので、研削により発
熱したダイヤモンド砥石セグメント８の刃先が充
分に冷却され、また、研削液がダイヤモンド砥石
セグメントの下端面の中心孔９から流出するの
で、研削により生じたダイヤモンド砥石セグメン
ト８下端面とシリコンウエハー上面間の研削チツ
プが確実に排出される。
ールベース１を、その基板部２に貫設した複数個
の取付孔３を利用して、図示しない研削機の主軸
の下端に取付け、ホイールベース１内に研削液供
給パイプを配置し、主軸を回転すると共に研削液
を供給して、ダイヤモンド砥石セグメント８の傾
斜下端面をテーブル上のシリコンウエハーの上面
に当接する。すると、ダイヤモンド砥石セグメン
ト８の傾斜下端面がシリコンウエハーの上面を摺
動して研削する一方、研削液がフランジ部４の上
面側から研削液通路７を経てダイヤモンド砥石セ
グメントの中心孔９に流入して流通し、ダイヤモ
ンド砥石セグメント８の下端面の中心孔９から流
出する。従つて、研削液がダイヤモンド砥石セグ
メントの中心孔９を流通するので、研削により発
熱したダイヤモンド砥石セグメント８の刃先が充
分に冷却され、また、研削液がダイヤモンド砥石
セグメントの下端面の中心孔９から流出するの
で、研削により生じたダイヤモンド砥石セグメン
ト８下端面とシリコンウエハー上面間の研削チツ
プが確実に排出される。
上記の図示実施例のダイヤモンド砥石は、ダイ
ヤモンド砥石を３列に配列しているが、１列又は
２列若しくは４列に配列してもよい。また、３列
に配列したダイヤモンド砥石セグメントがほぼ同
じ粒径のダイヤモンドを含有しているが、外周側
の列のダイヤモンド砥石セグメントを粒径の大き
いダイヤモンドを含有した荒研削用のものとし、
中心側の列のダイヤモンド砥石セグメントを粒径
の小さいダイヤモンドを含有した仕上研削用のも
のとして、荒研削と仕上研削を一工程で行うよう
にしてもよい。
ヤモンド砥石を３列に配列しているが、１列又は
２列若しくは４列に配列してもよい。また、３列
に配列したダイヤモンド砥石セグメントがほぼ同
じ粒径のダイヤモンドを含有しているが、外周側
の列のダイヤモンド砥石セグメントを粒径の大き
いダイヤモンドを含有した荒研削用のものとし、
中心側の列のダイヤモンド砥石セグメントを粒径
の小さいダイヤモンドを含有した仕上研削用のも
のとして、荒研削と仕上研削を一工程で行うよう
にしてもよい。
第１図は本発明の実施例のダイヤモンド砥石の
一部縦断正面図、第２図は同ダイヤモンド砥石の
一部斜視図である。 １：ホイールベース、４：フランジ部、５：通
孔、８：ダイヤモンド砥石セグメント、９：中心
孔。
一部縦断正面図、第２図は同ダイヤモンド砥石の
一部斜視図である。 １：ホイールベース、４：フランジ部、５：通
孔、８：ダイヤモンド砥石セグメント、９：中心
孔。
Claims (1)
- １ ホイールベースにその下端外周縁から中心側
に突出したフランジ部を設け、フランジ部にその
上面と下面間を貫通した多数の通孔を設け、各通
孔に筒状のダイヤモンド砥石セグメントの上端部
を嵌着して、各ダイヤモンド砥石セグメントの中
心孔をフランジ部の上面側に連通する一方、各ダ
イヤモンド砥石セグメントの下端部をフランジ部
の下面から突出したことを特徴とするダイヤモン
ド砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15470883A JPS6048262A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | ダイヤモンド砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15470883A JPS6048262A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | ダイヤモンド砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6048262A JPS6048262A (ja) | 1985-03-15 |
| JPS6339385B2 true JPS6339385B2 (ja) | 1988-08-04 |
Family
ID=15590216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15470883A Granted JPS6048262A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | ダイヤモンド砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6048262A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10012073B4 (de) * | 2000-03-14 | 2004-12-16 | Krebs & Riedel Schleifscheibenfabrik Gmbh & Co. Kg | Diamant-Schleifsegment und Schleifwerkzeug zur Oberflächenbearbeitung von Werkstücken |
| JP6367614B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-08-01 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールの製造方法 |
| JP2017056522A (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール及び研削方法 |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP15470883A patent/JPS6048262A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6048262A (ja) | 1985-03-15 |
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