JPS5896758A - クラツド板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、特にＩＣリードフレーム用に適するクラツ
ド板の製造方法に関する。

セラミックパッケージを用いた集積回路（ＩＣ）では、
そのリードフレームとして、第１図に示すようなりラッ
ド板１が使用されることが多い。このクラツド板１は、
４２　’％Ｎｉ＠（４２％Ｎ１−Ｆｅ）やコパール（２
９％Ｎｉ　−１６％Ｃｏ−Ｆｅ）などからなる金属板２
の片側表面に、ＡｔやＡｇロウなどからなる導電接合部
３をストライプ状に設けた構造をなすものである。そし
て、このクラツド板１に対して打抜きおよび曲げ加工を
楕すことによ１）開開５８−９６７５８（２） って、第２図に示すようなリード部４と端子部５とを多
数そなえたＩＣリードフレーム６に成形スる。このＩＣ
リードフレーム６を組込むに際しては、リード部４の各
々先端に有する導電接合部３の部分とＳｉチップ７と２
Ａｔ線８でボンディングすると共に、セラミックパッケ
ージ９に対してリード部４をガラス１０によって密封す
る。その後、端子部５の下端連続部を切断することによ
って、多数の端子部５を有するセラミックパッケージ型
のＩＣを得る。

このようなＩＣの製造において、ワイヤーボンディング
工程の自動化が進んできているため、その溶接位置はあ
らかじめ所定寸法に設定されており、従って、リード部
４の先端位置の寸法精度、例えば第２図における間隔ｅ
、ｅ’等の寸法精度が著しく厳しくなってきている。

ところで、上記したようなりラッド板１の製造には、金
属板１の片側表面にＡｔ蒸着によって導電接合部６を形
成する方法や、金属板１の片側表面にＡｔ条を圧延圧着
する方法などがある。これ５頁 らのうち、Ａｔ蒸着による方法では、製造後のクラッド
板ＩＫ残留応力が存在することがないため、その後打抜
きおよび曲げ刀ロエした第２図に示すリードフレーム６
の寸法精度が高く、リード部４の先端位置の寸法精度が
良好であるので、ワイヤーボンディング工程の自動化が
可能であるが、製造コストが高いという欠点を有してい
る。そのため、上記後者の圧延圧着する方法によって製
造コストの低減をはかることが行われているが、この方
法では、金属板２の片側表面に導電接合部となる金属条
６を圧延によって押し込む形となるため、圧延時のひず
み分布が不均一となってクラツド板１に残留応力が残り
、その後打抜きおよび曲げ加工を施した場合にリード部
４に著しいひずみが生じ、リード部４の先端の位置精度
が悪化し、自動化によるワイヤーボンディングが不可能
になるという問題点に有していた。

この発明は、金属板の片側表面に異材質の金属条を部分
的に圧延圧着して製造したクラツド板からＩＣリードフ
レームを成形するに際し、この、頁 ＩＣリードフレームの成形ひずみの生成機構を解明する
ことによって、成形後のひずみの発生を防す 止し得るクラツド板の製造法を開発したものであり、こ
の発明によって、製造コストの低減が可能であり、しか
も成形ひずみの極めて小さいＩＣリードフレームとする
ことができるＩＣリードフレーム用クラツド板を得るこ
とを目的としている。

次に、ＩＣリードフレームの成形ひずみの生成機構につ
いて解明した結果を説明する。

残留応力の発生は、まず、金属板２の片側表面に金属条
３を圧延圧着する時に始まる。第４図は金属板２の片側
表面に金属条６を部分的に圧延圧着する状況を示すもの
で、１１は金属板２の圧着側表面全研削するワイヤーブ
ラシ、１２は金属条６を支持するロール、１３は図示し
ない圧延機の圧着側表面の圧延ロール、１４は上記圧延
機の非圧着側表面の圧延ロールである。そして、クラツ
ド板１の製造に際しては、金属板２の圧着側表面に対し
てワイヤーブラシ１１により表面研削して清浄化ならび
に活性化し念後、金属条３を重ねた状１．７頁 態で両圧延ロール１．’）、１４間で圧延圧着する。

この場合、ワイヤーブラシ１１によって研削された圧着
側表面の表面粗さは４〜６μｍであり、非圧着側表面の
表面粗さがＯ０２〜帆３μｍであるのに比べて著しく粗
となっており、金属条３の重なっていないところでは、
金属板２の研削された表面が圧延ロール１３に直接接触
することとなる。

このように、両表面の粗さが著しく異なる金属板２を圧
延すると、一般的には表面粗さの犬である面ではその凹
部に圧延潤滑油が溜り、そのまま圧延ロール１６との接
触部に持ち来たされていわゆる潤滑のポケット効果を生
じ、これによって圧着側表面の圧延摩擦係数μｍは非圧
着側表面の圧延摩擦係数μ２よりも著しく小さくなる。

従って、両ロール１３．１４との接触面内において、各
接触面の中性点ｎから出側点Ｏまでの間での圧延摩擦力
は、圧着面側ではμｍＰ（Ｐは圧延圧力）、非圧着面側
ではμ２Ｐとなり、圧着面側での圧延摩擦力μ、Ｐは非
圧着面側での圧延摩擦力μ２Ｐよりも著しく小さくなる
。この結果、金属板２の微小部分特開昭５８−９６７５
８（３’） １５は圧延後に微小部分１６（微小部分１７゜１８．１
９から成る）の形状に変形する。すなわち、圧延ロール
１３．１４との接触面近傍では、圧延摩擦力μ、Ｐ、μ
２Ｐによってせん断変形域１７゜１９を生ずる。このと
き、圧延摩擦力の小さい圧着面側のせん断変形域１７は
、非圧着面側のせん断変形域１９に比べて小さいため、
板厚方向に生ずる共役せん断応力τ１（二μｍＰ）、τ
２（＝μ２ｐ　）についても非圧着面側の共役せん断応
力τ２の方が大きくなる。この結果、クラツド板１の全
体としては、大きさが（τ２−τ１）に比例し、その向
きがτ２と反対方向であるせん断残留応力が生ずること
になる。

一方、圧延後のクラツド板１の長さ方向の伸びひずみの
板厚方向の分布は、第４図のＳ域に示すような傾向を持
つ。すなわち、板厚中心付近の伸びひずみε。に対して
、両表面における伸びひずみは上記圧延摩擦力によって
小さくなるが、これらの中でも圧着側表面の伸びひずみ
ξ１は非圧着側表面の伸びひずみ感□よりも大きくなる
。この−９頁 結果、圧延後のクラツド板１には長さ方向の残留応力が
発生し、第５図に示すように、クラツド板１の表面付近
では引張の残留応力、中心付近では圧縮の残留応力がそ
れぞれ生じ、圧着側表面の残留応力の方が非圧着側表面
のそれに比べて小さくなる。

次いで、上記のような残留応力金持ったクラツド板１全
用いてリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工を
施すと以下に示すような異常ひずみを生ずる。すなわち
、板厚方向のせん断残留応力を有するクラツド板１を打
抜き加工すると、第６図に示すように、板の横断面にお
いて、切口をはさんで相反する方向にせん断残留応力τ
、τ′がはたらき、その大きさは板の耳近くでは圧延時
の幅広がり変形によって緩和されることにより小さくな
るため、幅そりδを生ずることになる。従って、切断後
の１枚のクラツド板について見ると、両方の切口におい
て向きが反対の幅そりδを生ずる。次にこのような残留
応力を持つ板をリードフレームの形状に曲げ加工すると
、第７図に示すよ１０　　□ う力異常ひずみが表われる。々お、第７図（ａ）の矢印
Ａは圧延方向を示し、第７図（ｂ）は６幅そり側の説明
図、第７図（ｅ）は口幅そり側の説明図である。

すなわち、所定形状のリードフレーム２０となるように
曲げ加工ヲ栴すと、凸１扁そりδ□を持つ切口側は所定
の曲げ幅Ｗよりも過大に曲がってその幅Ｗ１となり、口
幅そりδ２を持った切口側は所定の曲げ幅Ｗよりも過小
に曲がってその幅Ｗ２となり、Ｗ□〈Ｗ＜Ｗ２と不拘−
曲げ状態が生ずる。従って、両リード部２１ａ、２１ｂ
はその中央部分で切断されているため、６幅そりδ□側
のリード部２１ａは対向する曲げ＠Ｗ１に引張られて拡
がるので、リード部２１ａの間隔ｅ１は太きなものとな
り、口幅そりδ２側のリード部２１ｂは対向する曲げ幅
Ｗ２に引張られて狭まるので、リード部２１ｂの間隔ｅ
２は小さなものとなり、ｅ□〉ｅ２と不均一なリード部
間隔を生ずることになる。

一方、圧延後のクラツド板１の長さ方向の残留応力の板
厚方向の分布が第５図に示したように板厚中心に対して
非対称である場合に、このクラツ１１頁 ド板１を切断加工することによって残留応力を部分的に
解放すると、圧着側表面よりも非圧着側表面の引張残留
応力が太きいため、非圧着側の表面近くの方がより大き
く縮むことになる。この結果、第８図に示すように、板
１に変形を生じて曲がりδ０のカーリングを発生する。

そこで、このような板１に曲げ加工を施すと、上記曲が
りδ。の方向が変換されて曲がりδ。′を生じようとし
、その結果、板１の長手方向に曲げモーメントＭを生じ
て端部の所定の曲げ幅Ｗ′ｆ：曲げ幅Ｗ３へと小さくす
る作用をなす。

以上のように、板１を打抜きおよび曲げ加工した後の状
態においては、せん断残留応力によるひずみと、板の長
手方向残留応力によるひずみとが重畳して生ずることに
なる。すなわち、第８図に示す曲げモーメン）Ｍは、第
７図に示す６幅そり側の曲げ幅Ｗ１ヲさらに小さくして
間隔ｅ１をより−Ｎ拡げる作用をもつと同時に、口幅そ
り側の曲げ幅Ｗ２の拡がりすぎが小さくなるように補正
して間隔ｅ２ヲ大きくする作用をもつ。

特開昭５８−９６７５８（４） これらの検討結果から、クラツド板に打抜きおよび曲げ
加工を施すことによって発生する異常ひずみは、上記し
たせん断残留応力が主で、さらに上記した板の長手方向
の残留応力により助長されることによって生ずるもので
あり、このような残留応力発生の原因が、板の圧着側表
向と非圧着側表面における圧延摩擦係数の差にあること
を新規に見い出した。したがって、上述したような異常
ひずみの発生を防ぐ方法としては、板のひずみの板厚方
向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくようにする
工程を加えること、板の残留応力の板厚方向分布が板厚
中心面に対して対称形に近づくようなひずみの分布全付
加的に付与する後処理工程を加えること、などの対策を
施すのが良いことが明らかとなった。

すなわち、この発明は、金属板の片側表面に異材質の金
属条を部分的に圧延圧着してＩ　ＣＩＪ−ドフレーム用
に適するクラツド板全製造するにあたり、板のひずみの
板厚方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくよう
に圧延前処理榮件および１３　頁 圧延条件の少なくとも一方または両方を制御する工程と
、板の残留応力の板厚方向分布が板厚中心面に対して対
称形に近づくようなひずみの分布を付与する後処理工程
のうち、少なくともいずれがまたは両方の工程を施し、
ＩＣリードフレームへの成形加工時に残留応力に基く異
常変形の発生を防止するようにしたことを特徴としてい
る。

この発明の一実施態様においては、前記圧延前処理条件
全制御する工程が、金属板の非圧着側表面に、圧着側表
面と同じ圧延摩擦状態（とくに同じ圧延摩擦係数）とな
るような表面処理を施す工程を含むようにする。この場
合の表面処理としては、例えば、ワイヤーブラシによる
研削、砥石による研削、ショットプラスチインクによる
研削などのうちから適宜選択して使用する。また、必要
に応じて耐食や加熱処理などの処理を上記研削と組合わ
せて用いる。このようにすることによって、クラツド板
１を加工した後のＩＣリードフレーム６の不均一ひずみ
をきわめて小さくすることができ、ワイヤーボンディン
グ作業の自動化が容易と４ 頁 なる。

また、この発明の他の実施態様においては、圧延条件を
制御する工程が、金属板の圧着側表面と非圧着側表面の
圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦係数の大きい側の
圧延ロールの直径を小さくしあるいは圧延ロールの周速
を大きくして圧延する工程を含むようにする。このよう
にすることによっても加工後のＩ　ＣＩＪ−ドフレーム
６の不均一ひずみの発生をきわめて小さくおさえること
ができる。

この発明のさらに他の実施態様においては、圧延条件を
制御する工程が、金属板の圧着側表面と非圧着側表面の
圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦係数の大きい側の
圧延ロールの表面粗さを粗にして圧延する工程を含むよ
うにする。このようにして、板の両表面における圧延摩
擦状態をほぼ同じにすることによって、刀ロエ後のＩＣ
リードフレーム６の不均一ひずみをきわめて小さくする
ことができる。

この発明のさらに他の実施態様においては、後１５　　
□ 処理工程が、金属板の圧着側表面に圧縮ひずみが加わり
、非圧着側表面に引張ひずみが加わる曲げ加工を施して
残留応力分布の対称化をはかる工程を含むようにする。

このようにすることによっても加工後のＩ　ＣＩＪ−ド
フレームの不均一ひずみをかなり小さくすることができ
る。

以上の各実施態様に示すように、圧延前処理条件を制御
する工程、圧延条件を制御する工程、後処理工程を適宜
選択して組合わせることによって、加工後のＩ　ＣＩＪ
−ドフレームの異常ひずみの発生を著しく小さくするこ
とができるが、この発明のさらに他の実施態様において
は、上記工程に加えて、後処理工程として、低温焼な甘
しあるいは低温張力焼なましヲ施して残留応力を低減す
る工程を入れることによって、加工後のＩＣリードフレ
ームの異常ひずみの発生をさらに小さくすることができ
る。

実施例　１ 金属板として板厚０．５＋ｍｎ、板幅３０咽の４２チＮ
ｉ鋼帯を用い、金属条（クラツド材）として厚１Ｎ開昭
５８−９６７５８（５） さ０００１５　ｍｍ　、幅４．７朔のＡｔ条を用いた。

供試材扁１として、上記４２％Ｎｉ鋼帯の圧着側表面の
みをワイヤーブラシによって研削清浄化したのち、直ち
に研削表面に上記１１条を部分的（金属板の板幅方向の
ほぼ中央部分）に重ねて板厚０．３　ｔｍに圧延して圧
着した。一方、供試材Ａ２として、上記４２％Ｎｉ鋼帯
の圧着側表面および非圧着側表面の両方をワイヤーブラ
シによって研削清浄化したのち、その片１０１１表面の
みに上記Ａｔ条を部分的に重ねて板厚０゜３叫に圧延し
て圧着した。次いで、これらの圧着帯を６００℃×０．
５分の条件で光輝焼なまし処理した後、板厚０．２５４
　ｗｎに仕上げ圧延し、続いて板幅２５゜４諭にスリッ
ト切断した。次に、これらの帯を用いてＩＣリードフレ
ームの形状に打抜きおよび曲げ加工を行った後、第７図
に示すリード部間隔ｅ１．　ｅ２の差Δｅ（＝ｅ１−ｅ
２）および曲げ幅Ｗ１．Ｗ２の差ΔＷ（＝Ｗ２−Ｗ□）
をそれぞれ各供試材Ａ１，２から加工したもの２０個ず
つ測定して平均値を求めたところ、第１表に示す結果が
得られた。

７ −１１１９９．−１，４−−一１頁 第１表 第１表に示すように、圧着側表面のみを研削した供試材
Ａ１の場合には著しいひずみの不拘−全生じているのに
対して、圧着側表面および非圧着側表面の両方を研削し
た供試材Ａ２の場合にはこれらの不均一ひずみはきわめ
て小さくなっており、仕上り状態での板の表面粗さも供
試材Ａ２の場合には両表面間での差がなく、圧延摩擦状
態（圧延摩擦係数）が均一であったことが明らかであり
、これによってワイヤーボンディング作業の自動化を支
障なく行うことが可能であった。なお、そのほか、砥石
による研削やショットプラスチインクによる研削ヲ怖じ
て両表面を同じ圧延摩擦状態としたときにも良好な結果
を得ることができた。

１８　　□ 実施例　２ 金属板として板厚０゜５祁、板幅３０鴨の４６％Ｎｉ鋼
帯を用い、金属条（クラツド材）として厚さ０．０１５
制、ｒ１ｇ４゜７咽のＡｔ条を用いた。そして、４６チ
Ｎｉ鋼の圧着側表向のみをワイヤーブラシによって研削
清浄化したのち、この研削面に上記ＡＡ条を部分的に重
ねて板厚０．３圏に圧延して圧着した。このとき、圧着
圧延機の圧延ロール直径を圧Ｎ　側および非圧着１０１
ｊとも同じにした（供試社屋３）もの全使用したほか、
非圧着側表面の圧延摩擦係数が大きいことによる圧延材
の伸び過小を補正するために、非圧着側の圧延ロールの
直径を圧着側の圧延ロールの直径よりも小さくした（供
試材Ａ４，５．６）ものを使用して圧延した。次いで、
得られた各圧着帯を６００℃×帆５分の条件で焼なまし
処理した後、同じ圧延機で板厚０６２５４簡に仕上げ圧
延し、続いて板幅２５゜４洞にスリット切断した。次に
、これらの帯を用いてＩＣリードフレームの形状に打抜
きおよび曲げ加工を行った後、第７図に示すリード部の
間隔差Δｅ（−〇。

１９ 頁 −０２）および曲げ幅差ΔＷ（＝Ｗ２−Ｗ□）をそれぞ
れ各供試付属３〜６から加工したもの２０個ずつ測定し
て平均値を求めたところ、第２表に示す結果が得られた
。

第　　２　　表 第２表に示すように、圧延摩擦係数の大きい側すなわち
非圧着側の圧延ロール直径を圧着側の圧延ロール直径よ
りも小さくすることによって、ＩＣリードフレームの不
均一ひずみを小さくすることができる。しかし、非圧着
側の圧延ロール直径を小さくしすぎても不均一ひずみが
大きくなり、この実施例の場合には直径の比を０゜７３
４とすることによって不均一ひずみを最も小さくするこ
とができた。

特開昭５８−９６７５８（６） 実施例　３ 金属板として板厚０．５ｒａｎ、板幅３０門の４２チＮ
ｉ鋼帯を用い、金属条（クラツド材）として厚さ帆０１
５　ｒｍ　、　！＠４．７膿のＡｔ条を用いた。そして
、４２％Ｎｉ鋼帯の圧着側表面のみをワイヤーブラシに
よって研削清浄化したのち、この研削面に上記Ａｔ条を
部分的に重ねて板厚帆３■に圧延して圧着した。このと
き、互層圧延機の圧延ロールの周速を圧着側および非圧
着側とも同じにした（供試材Ａｌ、実施例１参照）もの
を使用したほか、非圧着側表面の圧延摩擦係数が大きい
ことによる圧延材の伸び過小を補正するために、非圧着
側の圧延ロールの周速を圧着側の圧延ロールの周速より
も大きくした（供試材Ａ　７　、８　、９　）ものを使
用して圧延した。次いで、得られた各圧着帯を６００℃
Ｘ　Ｏ，５分の条件で焼なまし処理した後、同じ圧延機
で板厚０６２５４謔に仕上げ圧延し、続いて板幅２５．
４　ｔａｎにスリット切断した。次に、これらの帯を用
いてＩＣリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工
した後、第７図に示すリード部の間隔−、、，２１−一
頁 差Δｅおよび曲げ幅差ΔＷをそれぞれ各供試付属１．７
〜９から加工したもの２０個ずつ測定して平均値を求め
たところ、第３表に示す結果が得られた。

第３表に示すように、圧延摩擦係数の大きい側すなわち
非圧着側の圧延ロールの周速を圧着側の圧延ロールの周
速よりも大きくすることによって、ＩＣリードフレーム
の不均一ひずみを小さくすることができる。しかし、非
圧着側の圧延ロールの間遠を大きくしすぎても不均一ひ
ずみが大きくなり、この実施例の場合にはロール周速の
比を１．３としたときに不均一ひずみを最も小さくする
ことができた。

２ １．−　　頁 実施例　４ 金属板として板厚０．５＋ｍ＋、板幅３０ｍのコバール
（２９％Ｎｉ−１６％Ｃｏ−Ｆｅ）’ｒ用い、金属条（
クラツド材）として厚さ帆０１５　ｍｍ　、幅４．７調
のＡ／、条を用いた。そして、コバールの圧着側表面の
みをワイヤーブラシによって研削清浄化した。

この状態での表面粗さは、板の圧着側表面で４〜６μ、
非圧着側表面で０．２〜０．３μであった。次いで、金
属板の圧着側表面に上記１を条を部分的に重ねて板厚０
．３　ｗｎに圧延して圧着した。このとき、圧着王延機
の圧延ロールの表面粗さを圧着側および非ＩＥ唐側とも
同じにした（供試材Ａ１０）ものを使用したほか、非圧
着側表面の圧延摩擦係数が大きいことによる圧延材の伸
び過小を補正するために、非圧着側の圧延ロールの表面
粗さを２〜３μとし、圧着側の圧延ロールの表面粗さ０
．２〜０゜３μより大きくした（供試材＆１１）ものを
使用して圧延した。次いで、得られた各圧着帯を６００
℃×０．５分の条件で焼なまし処理した後、板厚０．２
５４１１１ＩＩ＋に仕上げ圧延し、続いて板幅２５゜４
、−２３〜１１．−１ 爺にスリット切断した。次に、これらの帯を用いてＩＣ
リードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工した後、
第７図に示すリード部の間隔差Δｅおよび曲げ幅差ΔＷ
をそれぞれ各供試材１０゜１１から加工したもの２０個
ずつ測定して平均値を求めたところ、第４表に示す結果
が得られた。

第４表に示すように、金属板の両表面における圧延摩擦
状態が同じになるように圧延ロールの表面粗さを調整す
ることによって、加工後のＩ　ＣＩＪ−ドフレームの異
常ひずみの発生をおさえることができる。

実施例　５ 実施例１の供試材扁１のものにおいて、板厚帆２５４篩
に仕上げ圧延し、続いて板幅２５゜４胡にスリット切断
した帯材に対して、圧着側が凹形に特開昭５８−９６７
５８（７） なりかつ非圧着側が凸形になるような方向に三本のロー
ルベンダーによる曲げ加工を施した。すなわち、スリッ
ト切断した帯材は、第９図（ａ）に示すように、圧着側
表面の伸びひずみ６．が非圧着側表面の伸びひずみε２
よりも大きい状態となっている。そこで、上記したロー
ルベンダーによる曲げ加工ｆ　’Ｈｇｊすと、第９図（
ｂ）に示すように、圧着側に圧縮ひずみＣが加わり（ｔ
は降伏点伸びを示す）、非圧着側に引張ひずみＴが加わ
るため、これらが合成された端絡状態に訃いてｌｄ、第
９図（ｃ）に示すように、前記曲げ加工が道連である場
合に、板の長さ方向のひずみの、１反厚方向の分布が板
厚中心面に対して対称となる。そこで、残留応力分布の
対称化をはかり得るように、第５表に示すごとき異なる
曲率半径で三本のロールベンダーによる曲げ加工を行っ
たのち、ＩＣリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ
加工を施し、次いで第７図に示すリード部の間隔差Δｅ
および曲げ幅差Δｗ−４それぞれ各供試材につき２０個
ずつ測定して平均値を求めたところ、第５表に示す結果
が・市られた。

−−翻−０，−９頁 第５表 第５表に示すように、三本のロールベンダーによる曲げ
加工を施すことによって、ＩＣリードフレームの異常ひ
ずみの発生を曲げ加工を加えない場合に比べてかなり小
さくすることができる。しかし、曲げ加工の際の曲率半
径が小さすぎるとかえって反対方向のひずみを発生して
異常ひずみを生ずることとなり、この実施例の場合には
曲率半径１）　２５　Ｏｒ＠とじたときに異常ひずみヲ
最も小さくすることができた。

２６−頁 実施例　６ 実施例１の供試付属２のものにおいて、板厚００２５４
畷に仕上げ圧延し、続いて板幅２５゜４恒にスリット切
断した帯材に対して、さらに６００℃×Ｏ８５分の条件
で光輝低温焼なましを行い、その後ＩＣリードフレーム
の形状に加工し、第７図に示すリード部の間隔差Δｅお
よび曲げ幅差Δｗを２０個測定してその平均値を求めた
ところ、第６表に示す結果が得られた。

第６表に示すように、仕上げ圧延後スリット切断し、さ
らに低温焼なましを施すことによって、ＩＣリードフレ
ームの異常ひずみをさらに小さくすることができる。

なお、−Ｅ記実施例においては、金属板が高Ｎｉ、２７
．−一丁 鋼あるいはコバールからなり、金属条がｋｔからなる組
合わせのクラツド板について説明したが、そのほか、金
属板が軟鋼、ステンレス鋼からなり、金属条（クラツド
材）がＣｕ、ＣｕＡｇ合金、Ａｔ合金からなるものであ
っても同様にすぐれた結果を得ることができる。

以上酸１明してきたように、この発明によれば、金属板
の片側表面に異材質の金属条を部分的に圧延圧着してリ
ードフレーム用クラツド板全製造するにあたり、板のひ
ずみの板厚方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づ
くように圧延前処理条件および圧延条件の少なくとも一
方を制御する工程と、板の残留応力の板厚方向分布が板
厚中心面に対して対称形に近づくようなひずみの分布を
付与する後処理工程のうち、少なくともいずれかの工程
を施し、リードフレームへの成形加工時に残留応力に基
く変形の発生を防止するようにしたから、寸法精度の高
いリードフレームの製造が低コストで可能となり、ワイ
ヤーボンディング作業の自動化を容易に実現することが
できるなどの非常１網Ｉ］ｇ　５８−９６７５８（８） にすぐれた効果全有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明により製造されるクラツド板の一構造
例を示す部分斜了す１説明図、第２図は第１図のクラツ
ド板を打抜きおよび曲げ加工して成形したＩＣリードフ
レームの一構造例を示す斜面説明図、第３図はセラミッ
クパッケージ型ＩＣの縦断面説明財、第４図は金属板の
片側表面に金属条を部分的に圧延圧着する状況を示す斜
滉説明図、第５図は圧延後の板厚方向と残留応力との関
係を示すグラフ、第６図は板厚方向のせん断残留応力を
有するクラツド板を打抜きｎＤ工した後の変形状態を示
す斜面説明図、第７図（ａ）　（ｂ）　（ｃ）は尤６図
に示す残留応力を持つ板ｆ　ＩＪ−ドフレームの形状に
曲げ加工した後の状態を示し、図（ａ）は全体斜面説明
図、図（ｂ）は凸１隔そり（１＋１１の曲げ前後の説明
図、図（ｅ）は口幅そり側の曲げ前後の説明図、第８図
は長さ方向の残留応力の板厚方向の分布が板厚中心に対
して非対称である板金切断した後の変形状態を示す斜面
説明図、第９図（ａ）は仕上げ圧延後の板の伸、　、、
２ｐ−−頁 びひすみ分布を示す説明図、第９図（ｂ）は板に対して
曲げ加工を施すことにより付加した曲げひずみ分布を示
す説明図、第９図（Ｃ）は第９図（ａ）および（ｂ）の
ひずみを合成した最終ひずみ分布を示す説明図である。 １・・・クラツド板、２・・・金属板、３・・・金属条
、６・・・ＩＣリードフレーム、１１・・・ワイヤーブ
ラシ、１３．１４・・・圧延ロール。 特許出願人　　大同特殊鋼株式会社 代理人弁理士　　　小　　塩　　　　　豊谷、−３−（ へ゛留忘力（Ｋｇｆ／−ｒｎｒｎ’　）（Ｃ） 第９図 （Ｃ）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）金属板の片側表面に異材質の金属条を部分的に圧
   延圧着してリードフレーム用クラツド板を製造するにあ
   たり、板のひずみの板厚方向分布が板厚中心面に対して
   対称形に近づくように圧延前処理条件および圧延条件の
   少なくとも一方を制御する工程と、板の残留応力の板厚
   方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくようなひ
   ずみの分布を付与する後処理工程のうち、少なくともい
   ずれかの工程を施し、リードフレームへの成形加工時に
   残留応力に基く変形の発生を防止するようにしたことを
   特徴とするクラツド板の製造方法。
2. （２）圧延前処理条件を制御する工程が、金属板の非圧
   着側表面に、圧着側表面と同じ圧延摩擦状態となるよう
   な表面処理を施す工程を含む特許請求の範囲第（１）項
   記載のクラツド板の製造方法。
3. （３）表面処理が、ワイヤーブラシによる研削。 ２頁 砥石による研削、ショットブラスティングによる研削の
   少なくともいずれかであり、必要に応じて酸素および加
   熱処理の少なくとも一方を組合わせる処理である特許請
   求の範囲第（２）項記載のクラツド板の製造方法。
4. （４）圧延条件を制御する工程が、金属板の圧着側表面
   と非圧着側表向の圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦
   係数の大きい側の圧延ロールの直径を小さくしあるいは
   圧延ロールの周速を大きくして圧延する工程を含む特許
   請求の範囲第（１）項、第（２）項または第（３）項記
   載のクラツド板の製造方法。
5. （５）圧延条件を制御する工程が、金属板の圧着側表面
   と非圧着側表向の圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦
   係数の大きい側の圧延ロールの表面粗さを粗にして圧延
   する工程を含む特許請求の範囲第（１）項、第（２）項
   、第（３）項または第（４）項記載のクラツド板の製造
   方法。
6. （６）後処理工程が、金属板の圧着ｆ［１１１表面に圧
   縮ひずみが加わり、非圧着側表面に引張ひずみが加わる
   曲げ加工を施して残留応力分布の対称化をは３　頁 かる工程を含む特許請求の範囲第（１）項、第（２）項
   。 第（３）項、第（４）項または第（５）項記載のクラツ
   ド板の製造方法。
7. （７）後処理工程が、低温焼なましあるいは低温張力焼
   なましを施して残留応力を低減する工程を含む特許請求
   の範囲第（１）項、第（２）項、第（３）項、第（４）
   項、第（５）項または第（６）項記載のクラツド板の製
   造方法。