JPS5896758A - クラツド板の製造方法 - Google Patents
クラツド板の製造方法Info
- Publication number
- JPS5896758A JPS5896758A JP19373281A JP19373281A JPS5896758A JP S5896758 A JPS5896758 A JP S5896758A JP 19373281 A JP19373281 A JP 19373281A JP 19373281 A JP19373281 A JP 19373281A JP S5896758 A JPS5896758 A JP S5896758A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rolling
- plate
- residual stress
- clad plate
- crimped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 108
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 55
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 55
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 9
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 6
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 11
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 8
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000003462 Bender reaction Methods 0.000 description 3
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 3
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
- 241000782205 Guibourtia conjugata Species 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 206010027175 memory impairment Diseases 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229930192033 plastin Natural products 0.000 description 1
- 108010049148 plastin Proteins 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
- H01L21/4842—Mechanical treatment, e.g. punching, cutting, deforming, cold welding
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、特にICリードフレーム用に適するクラツ
ド板の製造方法に関する。
ド板の製造方法に関する。
セラミックパッケージを用いた集積回路(IC)では、
そのリードフレームとして、第1図に示すようなりラッ
ド板1が使用されることが多い。このクラツド板1は、
42 ’%Ni@(42%N1−Fe)やコパール(2
9%Ni −16%Co−Fe)などからなる金属板2
の片側表面に、AtやAgロウなどからなる導電接合部
3をストライプ状に設けた構造をなすものである。そし
て、このクラツド板1に対して打抜きおよび曲げ加工を
楕すことによ1)開開58−96758(2) って、第2図に示すようなリード部4と端子部5とを多
数そなえたICリードフレーム6に成形スる。このIC
リードフレーム6を組込むに際しては、リード部4の各
々先端に有する導電接合部3の部分とSiチップ7と2
At線8でボンディングすると共に、セラミックパッケ
ージ9に対してリード部4をガラス10によって密封す
る。その後、端子部5の下端連続部を切断することによ
って、多数の端子部5を有するセラミックパッケージ型
のICを得る。
そのリードフレームとして、第1図に示すようなりラッ
ド板1が使用されることが多い。このクラツド板1は、
42 ’%Ni@(42%N1−Fe)やコパール(2
9%Ni −16%Co−Fe)などからなる金属板2
の片側表面に、AtやAgロウなどからなる導電接合部
3をストライプ状に設けた構造をなすものである。そし
て、このクラツド板1に対して打抜きおよび曲げ加工を
楕すことによ1)開開58−96758(2) って、第2図に示すようなリード部4と端子部5とを多
数そなえたICリードフレーム6に成形スる。このIC
リードフレーム6を組込むに際しては、リード部4の各
々先端に有する導電接合部3の部分とSiチップ7と2
At線8でボンディングすると共に、セラミックパッケ
ージ9に対してリード部4をガラス10によって密封す
る。その後、端子部5の下端連続部を切断することによ
って、多数の端子部5を有するセラミックパッケージ型
のICを得る。
このようなICの製造において、ワイヤーボンディング
工程の自動化が進んできているため、その溶接位置はあ
らかじめ所定寸法に設定されており、従って、リード部
4の先端位置の寸法精度、例えば第2図における間隔e
、e’等の寸法精度が著しく厳しくなってきている。
工程の自動化が進んできているため、その溶接位置はあ
らかじめ所定寸法に設定されており、従って、リード部
4の先端位置の寸法精度、例えば第2図における間隔e
、e’等の寸法精度が著しく厳しくなってきている。
ところで、上記したようなりラッド板1の製造には、金
属板1の片側表面にAt蒸着によって導電接合部6を形
成する方法や、金属板1の片側表面にAt条を圧延圧着
する方法などがある。これ5頁 らのうち、At蒸着による方法では、製造後のクラッド
板IK残留応力が存在することがないため、その後打抜
きおよび曲げ刀ロエした第2図に示すリードフレーム6
の寸法精度が高く、リード部4の先端位置の寸法精度が
良好であるので、ワイヤーボンディング工程の自動化が
可能であるが、製造コストが高いという欠点を有してい
る。そのため、上記後者の圧延圧着する方法によって製
造コストの低減をはかることが行われているが、この方
法では、金属板2の片側表面に導電接合部となる金属条
6を圧延によって押し込む形となるため、圧延時のひず
み分布が不均一となってクラツド板1に残留応力が残り
、その後打抜きおよび曲げ加工を施した場合にリード部
4に著しいひずみが生じ、リード部4の先端の位置精度
が悪化し、自動化によるワイヤーボンディングが不可能
になるという問題点に有していた。
属板1の片側表面にAt蒸着によって導電接合部6を形
成する方法や、金属板1の片側表面にAt条を圧延圧着
する方法などがある。これ5頁 らのうち、At蒸着による方法では、製造後のクラッド
板IK残留応力が存在することがないため、その後打抜
きおよび曲げ刀ロエした第2図に示すリードフレーム6
の寸法精度が高く、リード部4の先端位置の寸法精度が
良好であるので、ワイヤーボンディング工程の自動化が
可能であるが、製造コストが高いという欠点を有してい
る。そのため、上記後者の圧延圧着する方法によって製
造コストの低減をはかることが行われているが、この方
法では、金属板2の片側表面に導電接合部となる金属条
6を圧延によって押し込む形となるため、圧延時のひず
み分布が不均一となってクラツド板1に残留応力が残り
、その後打抜きおよび曲げ加工を施した場合にリード部
4に著しいひずみが生じ、リード部4の先端の位置精度
が悪化し、自動化によるワイヤーボンディングが不可能
になるという問題点に有していた。
この発明は、金属板の片側表面に異材質の金属条を部分
的に圧延圧着して製造したクラツド板からICリードフ
レームを成形するに際し、この、頁 ICリードフレームの成形ひずみの生成機構を解明する
ことによって、成形後のひずみの発生を防す 止し得るクラツド板の製造法を開発したものであり、こ
の発明によって、製造コストの低減が可能であり、しか
も成形ひずみの極めて小さいICリードフレームとする
ことができるICリードフレーム用クラツド板を得るこ
とを目的としている。
的に圧延圧着して製造したクラツド板からICリードフ
レームを成形するに際し、この、頁 ICリードフレームの成形ひずみの生成機構を解明する
ことによって、成形後のひずみの発生を防す 止し得るクラツド板の製造法を開発したものであり、こ
の発明によって、製造コストの低減が可能であり、しか
も成形ひずみの極めて小さいICリードフレームとする
ことができるICリードフレーム用クラツド板を得るこ
とを目的としている。
次に、ICリードフレームの成形ひずみの生成機構につ
いて解明した結果を説明する。
いて解明した結果を説明する。
残留応力の発生は、まず、金属板2の片側表面に金属条
3を圧延圧着する時に始まる。第4図は金属板2の片側
表面に金属条6を部分的に圧延圧着する状況を示すもの
で、11は金属板2の圧着側表面全研削するワイヤーブ
ラシ、12は金属条6を支持するロール、13は図示し
ない圧延機の圧着側表面の圧延ロール、14は上記圧延
機の非圧着側表面の圧延ロールである。そして、クラツ
ド板1の製造に際しては、金属板2の圧着側表面に対し
てワイヤーブラシ11により表面研削して清浄化ならび
に活性化し念後、金属条3を重ねた状1.7頁 態で両圧延ロール1.’)、14間で圧延圧着する。
3を圧延圧着する時に始まる。第4図は金属板2の片側
表面に金属条6を部分的に圧延圧着する状況を示すもの
で、11は金属板2の圧着側表面全研削するワイヤーブ
ラシ、12は金属条6を支持するロール、13は図示し
ない圧延機の圧着側表面の圧延ロール、14は上記圧延
機の非圧着側表面の圧延ロールである。そして、クラツ
ド板1の製造に際しては、金属板2の圧着側表面に対し
てワイヤーブラシ11により表面研削して清浄化ならび
に活性化し念後、金属条3を重ねた状1.7頁 態で両圧延ロール1.’)、14間で圧延圧着する。
この場合、ワイヤーブラシ11によって研削された圧着
側表面の表面粗さは4〜6μmであり、非圧着側表面の
表面粗さがO02〜帆3μmであるのに比べて著しく粗
となっており、金属条3の重なっていないところでは、
金属板2の研削された表面が圧延ロール13に直接接触
することとなる。
側表面の表面粗さは4〜6μmであり、非圧着側表面の
表面粗さがO02〜帆3μmであるのに比べて著しく粗
となっており、金属条3の重なっていないところでは、
金属板2の研削された表面が圧延ロール13に直接接触
することとなる。
このように、両表面の粗さが著しく異なる金属板2を圧
延すると、一般的には表面粗さの犬である面ではその凹
部に圧延潤滑油が溜り、そのまま圧延ロール16との接
触部に持ち来たされていわゆる潤滑のポケット効果を生
じ、これによって圧着側表面の圧延摩擦係数μmは非圧
着側表面の圧延摩擦係数μ2よりも著しく小さくなる。
延すると、一般的には表面粗さの犬である面ではその凹
部に圧延潤滑油が溜り、そのまま圧延ロール16との接
触部に持ち来たされていわゆる潤滑のポケット効果を生
じ、これによって圧着側表面の圧延摩擦係数μmは非圧
着側表面の圧延摩擦係数μ2よりも著しく小さくなる。
従って、両ロール13.14との接触面内において、各
接触面の中性点nから出側点Oまでの間での圧延摩擦力
は、圧着面側ではμmP(Pは圧延圧力)、非圧着面側
ではμ2Pとなり、圧着面側での圧延摩擦力μ、Pは非
圧着面側での圧延摩擦力μ2Pよりも著しく小さくなる
。この結果、金属板2の微小部分特開昭58−9675
8(3’) 15は圧延後に微小部分16(微小部分17゜18.1
9から成る)の形状に変形する。すなわち、圧延ロール
13.14との接触面近傍では、圧延摩擦力μ、P、μ
2Pによってせん断変形域17゜19を生ずる。このと
き、圧延摩擦力の小さい圧着面側のせん断変形域17は
、非圧着面側のせん断変形域19に比べて小さいため、
板厚方向に生ずる共役せん断応力τ1(二μmP)、τ
2(=μ2p )についても非圧着面側の共役せん断応
力τ2の方が大きくなる。この結果、クラツド板1の全
体としては、大きさが(τ2−τ1)に比例し、その向
きがτ2と反対方向であるせん断残留応力が生ずること
になる。
接触面の中性点nから出側点Oまでの間での圧延摩擦力
は、圧着面側ではμmP(Pは圧延圧力)、非圧着面側
ではμ2Pとなり、圧着面側での圧延摩擦力μ、Pは非
圧着面側での圧延摩擦力μ2Pよりも著しく小さくなる
。この結果、金属板2の微小部分特開昭58−9675
8(3’) 15は圧延後に微小部分16(微小部分17゜18.1
9から成る)の形状に変形する。すなわち、圧延ロール
13.14との接触面近傍では、圧延摩擦力μ、P、μ
2Pによってせん断変形域17゜19を生ずる。このと
き、圧延摩擦力の小さい圧着面側のせん断変形域17は
、非圧着面側のせん断変形域19に比べて小さいため、
板厚方向に生ずる共役せん断応力τ1(二μmP)、τ
2(=μ2p )についても非圧着面側の共役せん断応
力τ2の方が大きくなる。この結果、クラツド板1の全
体としては、大きさが(τ2−τ1)に比例し、その向
きがτ2と反対方向であるせん断残留応力が生ずること
になる。
一方、圧延後のクラツド板1の長さ方向の伸びひずみの
板厚方向の分布は、第4図のS域に示すような傾向を持
つ。すなわち、板厚中心付近の伸びひずみε。に対して
、両表面における伸びひずみは上記圧延摩擦力によって
小さくなるが、これらの中でも圧着側表面の伸びひずみ
ξ1は非圧着側表面の伸びひずみ感□よりも大きくなる
。この−9頁 結果、圧延後のクラツド板1には長さ方向の残留応力が
発生し、第5図に示すように、クラツド板1の表面付近
では引張の残留応力、中心付近では圧縮の残留応力がそ
れぞれ生じ、圧着側表面の残留応力の方が非圧着側表面
のそれに比べて小さくなる。
板厚方向の分布は、第4図のS域に示すような傾向を持
つ。すなわち、板厚中心付近の伸びひずみε。に対して
、両表面における伸びひずみは上記圧延摩擦力によって
小さくなるが、これらの中でも圧着側表面の伸びひずみ
ξ1は非圧着側表面の伸びひずみ感□よりも大きくなる
。この−9頁 結果、圧延後のクラツド板1には長さ方向の残留応力が
発生し、第5図に示すように、クラツド板1の表面付近
では引張の残留応力、中心付近では圧縮の残留応力がそ
れぞれ生じ、圧着側表面の残留応力の方が非圧着側表面
のそれに比べて小さくなる。
次いで、上記のような残留応力金持ったクラツド板1全
用いてリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工を
施すと以下に示すような異常ひずみを生ずる。すなわち
、板厚方向のせん断残留応力を有するクラツド板1を打
抜き加工すると、第6図に示すように、板の横断面にお
いて、切口をはさんで相反する方向にせん断残留応力τ
、τ′がはたらき、その大きさは板の耳近くでは圧延時
の幅広がり変形によって緩和されることにより小さくな
るため、幅そりδを生ずることになる。従って、切断後
の1枚のクラツド板について見ると、両方の切口におい
て向きが反対の幅そりδを生ずる。次にこのような残留
応力を持つ板をリードフレームの形状に曲げ加工すると
、第7図に示すよ10 □ う力異常ひずみが表われる。々お、第7図(a)の矢印
Aは圧延方向を示し、第7図(b)は6幅そり側の説明
図、第7図(e)は口幅そり側の説明図である。
用いてリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工を
施すと以下に示すような異常ひずみを生ずる。すなわち
、板厚方向のせん断残留応力を有するクラツド板1を打
抜き加工すると、第6図に示すように、板の横断面にお
いて、切口をはさんで相反する方向にせん断残留応力τ
、τ′がはたらき、その大きさは板の耳近くでは圧延時
の幅広がり変形によって緩和されることにより小さくな
るため、幅そりδを生ずることになる。従って、切断後
の1枚のクラツド板について見ると、両方の切口におい
て向きが反対の幅そりδを生ずる。次にこのような残留
応力を持つ板をリードフレームの形状に曲げ加工すると
、第7図に示すよ10 □ う力異常ひずみが表われる。々お、第7図(a)の矢印
Aは圧延方向を示し、第7図(b)は6幅そり側の説明
図、第7図(e)は口幅そり側の説明図である。
すなわち、所定形状のリードフレーム20となるように
曲げ加工ヲ栴すと、凸1扁そりδ□を持つ切口側は所定
の曲げ幅Wよりも過大に曲がってその幅W1となり、口
幅そりδ2を持った切口側は所定の曲げ幅Wよりも過小
に曲がってその幅W2となり、W□〈W<W2と不拘−
曲げ状態が生ずる。従って、両リード部21a、21b
はその中央部分で切断されているため、6幅そりδ□側
のリード部21aは対向する曲げ@W1に引張られて拡
がるので、リード部21aの間隔e1は太きなものとな
り、口幅そりδ2側のリード部21bは対向する曲げ幅
W2に引張られて狭まるので、リード部21bの間隔e
2は小さなものとなり、e□〉e2と不均一なリード部
間隔を生ずることになる。
曲げ加工ヲ栴すと、凸1扁そりδ□を持つ切口側は所定
の曲げ幅Wよりも過大に曲がってその幅W1となり、口
幅そりδ2を持った切口側は所定の曲げ幅Wよりも過小
に曲がってその幅W2となり、W□〈W<W2と不拘−
曲げ状態が生ずる。従って、両リード部21a、21b
はその中央部分で切断されているため、6幅そりδ□側
のリード部21aは対向する曲げ@W1に引張られて拡
がるので、リード部21aの間隔e1は太きなものとな
り、口幅そりδ2側のリード部21bは対向する曲げ幅
W2に引張られて狭まるので、リード部21bの間隔e
2は小さなものとなり、e□〉e2と不均一なリード部
間隔を生ずることになる。
一方、圧延後のクラツド板1の長さ方向の残留応力の板
厚方向の分布が第5図に示したように板厚中心に対して
非対称である場合に、このクラツ11頁 ド板1を切断加工することによって残留応力を部分的に
解放すると、圧着側表面よりも非圧着側表面の引張残留
応力が太きいため、非圧着側の表面近くの方がより大き
く縮むことになる。この結果、第8図に示すように、板
1に変形を生じて曲がりδ0のカーリングを発生する。
厚方向の分布が第5図に示したように板厚中心に対して
非対称である場合に、このクラツ11頁 ド板1を切断加工することによって残留応力を部分的に
解放すると、圧着側表面よりも非圧着側表面の引張残留
応力が太きいため、非圧着側の表面近くの方がより大き
く縮むことになる。この結果、第8図に示すように、板
1に変形を生じて曲がりδ0のカーリングを発生する。
そこで、このような板1に曲げ加工を施すと、上記曲が
りδ。の方向が変換されて曲がりδ。′を生じようとし
、その結果、板1の長手方向に曲げモーメントMを生じ
て端部の所定の曲げ幅W′f:曲げ幅W3へと小さくす
る作用をなす。
りδ。の方向が変換されて曲がりδ。′を生じようとし
、その結果、板1の長手方向に曲げモーメントMを生じ
て端部の所定の曲げ幅W′f:曲げ幅W3へと小さくす
る作用をなす。
以上のように、板1を打抜きおよび曲げ加工した後の状
態においては、せん断残留応力によるひずみと、板の長
手方向残留応力によるひずみとが重畳して生ずることに
なる。すなわち、第8図に示す曲げモーメン)Mは、第
7図に示す6幅そり側の曲げ幅W1ヲさらに小さくして
間隔e1をより−N拡げる作用をもつと同時に、口幅そ
り側の曲げ幅W2の拡がりすぎが小さくなるように補正
して間隔e2ヲ大きくする作用をもつ。
態においては、せん断残留応力によるひずみと、板の長
手方向残留応力によるひずみとが重畳して生ずることに
なる。すなわち、第8図に示す曲げモーメン)Mは、第
7図に示す6幅そり側の曲げ幅W1ヲさらに小さくして
間隔e1をより−N拡げる作用をもつと同時に、口幅そ
り側の曲げ幅W2の拡がりすぎが小さくなるように補正
して間隔e2ヲ大きくする作用をもつ。
特開昭58−96758(4)
これらの検討結果から、クラツド板に打抜きおよび曲げ
加工を施すことによって発生する異常ひずみは、上記し
たせん断残留応力が主で、さらに上記した板の長手方向
の残留応力により助長されることによって生ずるもので
あり、このような残留応力発生の原因が、板の圧着側表
向と非圧着側表面における圧延摩擦係数の差にあること
を新規に見い出した。したがって、上述したような異常
ひずみの発生を防ぐ方法としては、板のひずみの板厚方
向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくようにする
工程を加えること、板の残留応力の板厚方向分布が板厚
中心面に対して対称形に近づくようなひずみの分布全付
加的に付与する後処理工程を加えること、などの対策を
施すのが良いことが明らかとなった。
加工を施すことによって発生する異常ひずみは、上記し
たせん断残留応力が主で、さらに上記した板の長手方向
の残留応力により助長されることによって生ずるもので
あり、このような残留応力発生の原因が、板の圧着側表
向と非圧着側表面における圧延摩擦係数の差にあること
を新規に見い出した。したがって、上述したような異常
ひずみの発生を防ぐ方法としては、板のひずみの板厚方
向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくようにする
工程を加えること、板の残留応力の板厚方向分布が板厚
中心面に対して対称形に近づくようなひずみの分布全付
加的に付与する後処理工程を加えること、などの対策を
施すのが良いことが明らかとなった。
すなわち、この発明は、金属板の片側表面に異材質の金
属条を部分的に圧延圧着してI CIJ−ドフレーム用
に適するクラツド板全製造するにあたり、板のひずみの
板厚方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくよう
に圧延前処理榮件および13 頁 圧延条件の少なくとも一方または両方を制御する工程と
、板の残留応力の板厚方向分布が板厚中心面に対して対
称形に近づくようなひずみの分布を付与する後処理工程
のうち、少なくともいずれがまたは両方の工程を施し、
ICリードフレームへの成形加工時に残留応力に基く異
常変形の発生を防止するようにしたことを特徴としてい
る。
属条を部分的に圧延圧着してI CIJ−ドフレーム用
に適するクラツド板全製造するにあたり、板のひずみの
板厚方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくよう
に圧延前処理榮件および13 頁 圧延条件の少なくとも一方または両方を制御する工程と
、板の残留応力の板厚方向分布が板厚中心面に対して対
称形に近づくようなひずみの分布を付与する後処理工程
のうち、少なくともいずれがまたは両方の工程を施し、
ICリードフレームへの成形加工時に残留応力に基く異
常変形の発生を防止するようにしたことを特徴としてい
る。
この発明の一実施態様においては、前記圧延前処理条件
全制御する工程が、金属板の非圧着側表面に、圧着側表
面と同じ圧延摩擦状態(とくに同じ圧延摩擦係数)とな
るような表面処理を施す工程を含むようにする。この場
合の表面処理としては、例えば、ワイヤーブラシによる
研削、砥石による研削、ショットプラスチインクによる
研削などのうちから適宜選択して使用する。また、必要
に応じて耐食や加熱処理などの処理を上記研削と組合わ
せて用いる。このようにすることによって、クラツド板
1を加工した後のICリードフレーム6の不均一ひずみ
をきわめて小さくすることができ、ワイヤーボンディン
グ作業の自動化が容易と4 頁 なる。
全制御する工程が、金属板の非圧着側表面に、圧着側表
面と同じ圧延摩擦状態(とくに同じ圧延摩擦係数)とな
るような表面処理を施す工程を含むようにする。この場
合の表面処理としては、例えば、ワイヤーブラシによる
研削、砥石による研削、ショットプラスチインクによる
研削などのうちから適宜選択して使用する。また、必要
に応じて耐食や加熱処理などの処理を上記研削と組合わ
せて用いる。このようにすることによって、クラツド板
1を加工した後のICリードフレーム6の不均一ひずみ
をきわめて小さくすることができ、ワイヤーボンディン
グ作業の自動化が容易と4 頁 なる。
また、この発明の他の実施態様においては、圧延条件を
制御する工程が、金属板の圧着側表面と非圧着側表面の
圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦係数の大きい側の
圧延ロールの直径を小さくしあるいは圧延ロールの周速
を大きくして圧延する工程を含むようにする。このよう
にすることによっても加工後のI CIJ−ドフレーム
6の不均一ひずみの発生をきわめて小さくおさえること
ができる。
制御する工程が、金属板の圧着側表面と非圧着側表面の
圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦係数の大きい側の
圧延ロールの直径を小さくしあるいは圧延ロールの周速
を大きくして圧延する工程を含むようにする。このよう
にすることによっても加工後のI CIJ−ドフレーム
6の不均一ひずみの発生をきわめて小さくおさえること
ができる。
この発明のさらに他の実施態様においては、圧延条件を
制御する工程が、金属板の圧着側表面と非圧着側表面の
圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦係数の大きい側の
圧延ロールの表面粗さを粗にして圧延する工程を含むよ
うにする。このようにして、板の両表面における圧延摩
擦状態をほぼ同じにすることによって、刀ロエ後のIC
リードフレーム6の不均一ひずみをきわめて小さくする
ことができる。
制御する工程が、金属板の圧着側表面と非圧着側表面の
圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦係数の大きい側の
圧延ロールの表面粗さを粗にして圧延する工程を含むよ
うにする。このようにして、板の両表面における圧延摩
擦状態をほぼ同じにすることによって、刀ロエ後のIC
リードフレーム6の不均一ひずみをきわめて小さくする
ことができる。
この発明のさらに他の実施態様においては、後15
□ 処理工程が、金属板の圧着側表面に圧縮ひずみが加わり
、非圧着側表面に引張ひずみが加わる曲げ加工を施して
残留応力分布の対称化をはかる工程を含むようにする。
□ 処理工程が、金属板の圧着側表面に圧縮ひずみが加わり
、非圧着側表面に引張ひずみが加わる曲げ加工を施して
残留応力分布の対称化をはかる工程を含むようにする。
このようにすることによっても加工後のI CIJ−ド
フレームの不均一ひずみをかなり小さくすることができ
る。
フレームの不均一ひずみをかなり小さくすることができ
る。
以上の各実施態様に示すように、圧延前処理条件を制御
する工程、圧延条件を制御する工程、後処理工程を適宜
選択して組合わせることによって、加工後のI CIJ
−ドフレームの異常ひずみの発生を著しく小さくするこ
とができるが、この発明のさらに他の実施態様において
は、上記工程に加えて、後処理工程として、低温焼な甘
しあるいは低温張力焼なましヲ施して残留応力を低減す
る工程を入れることによって、加工後のICリードフレ
ームの異常ひずみの発生をさらに小さくすることができ
る。
する工程、圧延条件を制御する工程、後処理工程を適宜
選択して組合わせることによって、加工後のI CIJ
−ドフレームの異常ひずみの発生を著しく小さくするこ
とができるが、この発明のさらに他の実施態様において
は、上記工程に加えて、後処理工程として、低温焼な甘
しあるいは低温張力焼なましヲ施して残留応力を低減す
る工程を入れることによって、加工後のICリードフレ
ームの異常ひずみの発生をさらに小さくすることができ
る。
実施例 1
金属板として板厚0.5+mn、板幅30咽の42チN
i鋼帯を用い、金属条(クラツド材)として厚1N開昭
58−96758(5) さ00015 mm 、幅4.7朔のAt条を用いた。
i鋼帯を用い、金属条(クラツド材)として厚1N開昭
58−96758(5) さ00015 mm 、幅4.7朔のAt条を用いた。
供試材扁1として、上記42%Ni鋼帯の圧着側表面の
みをワイヤーブラシによって研削清浄化したのち、直ち
に研削表面に上記11条を部分的(金属板の板幅方向の
ほぼ中央部分)に重ねて板厚0.3 tmに圧延して圧
着した。一方、供試材A2として、上記42%Ni鋼帯
の圧着側表面および非圧着側表面の両方をワイヤーブラ
シによって研削清浄化したのち、その片1011表面の
みに上記At条を部分的に重ねて板厚0゜3叫に圧延し
て圧着した。次いで、これらの圧着帯を600℃×0.
5分の条件で光輝焼なまし処理した後、板厚0.254
wnに仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4諭にスリッ
ト切断した。次に、これらの帯を用いてICリードフレ
ームの形状に打抜きおよび曲げ加工を行った後、第7図
に示すリード部間隔e1. e2の差Δe(=e1−e
2)および曲げ幅W1.W2の差ΔW(=W2−W□)
をそれぞれ各供試材A1,2から加工したもの20個ず
つ測定して平均値を求めたところ、第1表に示す結果が
得られた。
みをワイヤーブラシによって研削清浄化したのち、直ち
に研削表面に上記11条を部分的(金属板の板幅方向の
ほぼ中央部分)に重ねて板厚0.3 tmに圧延して圧
着した。一方、供試材A2として、上記42%Ni鋼帯
の圧着側表面および非圧着側表面の両方をワイヤーブラ
シによって研削清浄化したのち、その片1011表面の
みに上記At条を部分的に重ねて板厚0゜3叫に圧延し
て圧着した。次いで、これらの圧着帯を600℃×0.
5分の条件で光輝焼なまし処理した後、板厚0.254
wnに仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4諭にスリッ
ト切断した。次に、これらの帯を用いてICリードフレ
ームの形状に打抜きおよび曲げ加工を行った後、第7図
に示すリード部間隔e1. e2の差Δe(=e1−e
2)および曲げ幅W1.W2の差ΔW(=W2−W□)
をそれぞれ各供試材A1,2から加工したもの20個ず
つ測定して平均値を求めたところ、第1表に示す結果が
得られた。
7
−11199.−1,4−−一1頁
第1表
第1表に示すように、圧着側表面のみを研削した供試材
A1の場合には著しいひずみの不拘−全生じているのに
対して、圧着側表面および非圧着側表面の両方を研削し
た供試材A2の場合にはこれらの不均一ひずみはきわめ
て小さくなっており、仕上り状態での板の表面粗さも供
試材A2の場合には両表面間での差がなく、圧延摩擦状
態(圧延摩擦係数)が均一であったことが明らかであり
、これによってワイヤーボンディング作業の自動化を支
障なく行うことが可能であった。なお、そのほか、砥石
による研削やショットプラスチインクによる研削ヲ怖じ
て両表面を同じ圧延摩擦状態としたときにも良好な結果
を得ることができた。
A1の場合には著しいひずみの不拘−全生じているのに
対して、圧着側表面および非圧着側表面の両方を研削し
た供試材A2の場合にはこれらの不均一ひずみはきわめ
て小さくなっており、仕上り状態での板の表面粗さも供
試材A2の場合には両表面間での差がなく、圧延摩擦状
態(圧延摩擦係数)が均一であったことが明らかであり
、これによってワイヤーボンディング作業の自動化を支
障なく行うことが可能であった。なお、そのほか、砥石
による研削やショットプラスチインクによる研削ヲ怖じ
て両表面を同じ圧延摩擦状態としたときにも良好な結果
を得ることができた。
18 □
実施例 2
金属板として板厚0゜5祁、板幅30鴨の46%Ni鋼
帯を用い、金属条(クラツド材)として厚さ0.015
制、r1g4゜7咽のAt条を用いた。そして、46チ
Ni鋼の圧着側表向のみをワイヤーブラシによって研削
清浄化したのち、この研削面に上記AA条を部分的に重
ねて板厚0.3圏に圧延して圧着した。このとき、圧着
圧延機の圧延ロール直径を圧N 側および非圧着101
jとも同じにした(供試社屋3)もの全使用したほか、
非圧着側表面の圧延摩擦係数が大きいことによる圧延材
の伸び過小を補正するために、非圧着側の圧延ロールの
直径を圧着側の圧延ロールの直径よりも小さくした(供
試材A4,5.6)ものを使用して圧延した。次いで、
得られた各圧着帯を600℃×帆5分の条件で焼なまし
処理した後、同じ圧延機で板厚06254簡に仕上げ圧
延し、続いて板幅25゜4洞にスリット切断した。次に
、これらの帯を用いてICリードフレームの形状に打抜
きおよび曲げ加工を行った後、第7図に示すリード部の
間隔差Δe(−〇。
帯を用い、金属条(クラツド材)として厚さ0.015
制、r1g4゜7咽のAt条を用いた。そして、46チ
Ni鋼の圧着側表向のみをワイヤーブラシによって研削
清浄化したのち、この研削面に上記AA条を部分的に重
ねて板厚0.3圏に圧延して圧着した。このとき、圧着
圧延機の圧延ロール直径を圧N 側および非圧着101
jとも同じにした(供試社屋3)もの全使用したほか、
非圧着側表面の圧延摩擦係数が大きいことによる圧延材
の伸び過小を補正するために、非圧着側の圧延ロールの
直径を圧着側の圧延ロールの直径よりも小さくした(供
試材A4,5.6)ものを使用して圧延した。次いで、
得られた各圧着帯を600℃×帆5分の条件で焼なまし
処理した後、同じ圧延機で板厚06254簡に仕上げ圧
延し、続いて板幅25゜4洞にスリット切断した。次に
、これらの帯を用いてICリードフレームの形状に打抜
きおよび曲げ加工を行った後、第7図に示すリード部の
間隔差Δe(−〇。
19
頁
−02)および曲げ幅差ΔW(=W2−W□)をそれぞ
れ各供試付属3〜6から加工したもの20個ずつ測定し
て平均値を求めたところ、第2表に示す結果が得られた
。
れ各供試付属3〜6から加工したもの20個ずつ測定し
て平均値を求めたところ、第2表に示す結果が得られた
。
第 2 表
第2表に示すように、圧延摩擦係数の大きい側すなわち
非圧着側の圧延ロール直径を圧着側の圧延ロール直径よ
りも小さくすることによって、ICリードフレームの不
均一ひずみを小さくすることができる。しかし、非圧着
側の圧延ロール直径を小さくしすぎても不均一ひずみが
大きくなり、この実施例の場合には直径の比を0゜73
4とすることによって不均一ひずみを最も小さくするこ
とができた。
非圧着側の圧延ロール直径を圧着側の圧延ロール直径よ
りも小さくすることによって、ICリードフレームの不
均一ひずみを小さくすることができる。しかし、非圧着
側の圧延ロール直径を小さくしすぎても不均一ひずみが
大きくなり、この実施例の場合には直径の比を0゜73
4とすることによって不均一ひずみを最も小さくするこ
とができた。
特開昭58−96758(6)
実施例 3
金属板として板厚0.5ran、板幅30門の42チN
i鋼帯を用い、金属条(クラツド材)として厚さ帆01
5 rm 、 !@4.7膿のAt条を用いた。そして
、42%Ni鋼帯の圧着側表面のみをワイヤーブラシに
よって研削清浄化したのち、この研削面に上記At条を
部分的に重ねて板厚帆3■に圧延して圧着した。このと
き、互層圧延機の圧延ロールの周速を圧着側および非圧
着側とも同じにした(供試材Al、実施例1参照)もの
を使用したほか、非圧着側表面の圧延摩擦係数が大きい
ことによる圧延材の伸び過小を補正するために、非圧着
側の圧延ロールの周速を圧着側の圧延ロールの周速より
も大きくした(供試材A 7 、8 、9 )ものを使
用して圧延した。次いで、得られた各圧着帯を600℃
X O,5分の条件で焼なまし処理した後、同じ圧延機
で板厚06254謔に仕上げ圧延し、続いて板幅25.
4 tanにスリット切断した。次に、これらの帯を用
いてICリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工
した後、第7図に示すリード部の間隔−、、,21−一
頁 差Δeおよび曲げ幅差ΔWをそれぞれ各供試付属1.7
〜9から加工したもの20個ずつ測定して平均値を求め
たところ、第3表に示す結果が得られた。
i鋼帯を用い、金属条(クラツド材)として厚さ帆01
5 rm 、 !@4.7膿のAt条を用いた。そして
、42%Ni鋼帯の圧着側表面のみをワイヤーブラシに
よって研削清浄化したのち、この研削面に上記At条を
部分的に重ねて板厚帆3■に圧延して圧着した。このと
き、互層圧延機の圧延ロールの周速を圧着側および非圧
着側とも同じにした(供試材Al、実施例1参照)もの
を使用したほか、非圧着側表面の圧延摩擦係数が大きい
ことによる圧延材の伸び過小を補正するために、非圧着
側の圧延ロールの周速を圧着側の圧延ロールの周速より
も大きくした(供試材A 7 、8 、9 )ものを使
用して圧延した。次いで、得られた各圧着帯を600℃
X O,5分の条件で焼なまし処理した後、同じ圧延機
で板厚06254謔に仕上げ圧延し、続いて板幅25.
4 tanにスリット切断した。次に、これらの帯を用
いてICリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工
した後、第7図に示すリード部の間隔−、、,21−一
頁 差Δeおよび曲げ幅差ΔWをそれぞれ各供試付属1.7
〜9から加工したもの20個ずつ測定して平均値を求め
たところ、第3表に示す結果が得られた。
第3表に示すように、圧延摩擦係数の大きい側すなわち
非圧着側の圧延ロールの周速を圧着側の圧延ロールの周
速よりも大きくすることによって、ICリードフレーム
の不均一ひずみを小さくすることができる。しかし、非
圧着側の圧延ロールの間遠を大きくしすぎても不均一ひ
ずみが大きくなり、この実施例の場合にはロール周速の
比を1.3としたときに不均一ひずみを最も小さくする
ことができた。
非圧着側の圧延ロールの周速を圧着側の圧延ロールの周
速よりも大きくすることによって、ICリードフレーム
の不均一ひずみを小さくすることができる。しかし、非
圧着側の圧延ロールの間遠を大きくしすぎても不均一ひ
ずみが大きくなり、この実施例の場合にはロール周速の
比を1.3としたときに不均一ひずみを最も小さくする
ことができた。
2
1.− 頁
実施例 4
金属板として板厚0.5+m+、板幅30mのコバール
(29%Ni−16%Co−Fe)’r用い、金属条(
クラツド材)として厚さ帆015 mm 、幅4.7調
のA/、条を用いた。そして、コバールの圧着側表面の
みをワイヤーブラシによって研削清浄化した。
(29%Ni−16%Co−Fe)’r用い、金属条(
クラツド材)として厚さ帆015 mm 、幅4.7調
のA/、条を用いた。そして、コバールの圧着側表面の
みをワイヤーブラシによって研削清浄化した。
この状態での表面粗さは、板の圧着側表面で4〜6μ、
非圧着側表面で0.2〜0.3μであった。次いで、金
属板の圧着側表面に上記1を条を部分的に重ねて板厚0
.3 wnに圧延して圧着した。このとき、圧着王延機
の圧延ロールの表面粗さを圧着側および非IE唐側とも
同じにした(供試材A10)ものを使用したほか、非圧
着側表面の圧延摩擦係数が大きいことによる圧延材の伸
び過小を補正するために、非圧着側の圧延ロールの表面
粗さを2〜3μとし、圧着側の圧延ロールの表面粗さ0
.2〜0゜3μより大きくした(供試材&11)ものを
使用して圧延した。次いで、得られた各圧着帯を600
℃×0.5分の条件で焼なまし処理した後、板厚0.2
54111II+に仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4
、−23〜11.−1 爺にスリット切断した。次に、これらの帯を用いてIC
リードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工した後、
第7図に示すリード部の間隔差Δeおよび曲げ幅差ΔW
をそれぞれ各供試材10゜11から加工したもの20個
ずつ測定して平均値を求めたところ、第4表に示す結果
が得られた。
非圧着側表面で0.2〜0.3μであった。次いで、金
属板の圧着側表面に上記1を条を部分的に重ねて板厚0
.3 wnに圧延して圧着した。このとき、圧着王延機
の圧延ロールの表面粗さを圧着側および非IE唐側とも
同じにした(供試材A10)ものを使用したほか、非圧
着側表面の圧延摩擦係数が大きいことによる圧延材の伸
び過小を補正するために、非圧着側の圧延ロールの表面
粗さを2〜3μとし、圧着側の圧延ロールの表面粗さ0
.2〜0゜3μより大きくした(供試材&11)ものを
使用して圧延した。次いで、得られた各圧着帯を600
℃×0.5分の条件で焼なまし処理した後、板厚0.2
54111II+に仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4
、−23〜11.−1 爺にスリット切断した。次に、これらの帯を用いてIC
リードフレームの形状に打抜きおよび曲げ加工した後、
第7図に示すリード部の間隔差Δeおよび曲げ幅差ΔW
をそれぞれ各供試材10゜11から加工したもの20個
ずつ測定して平均値を求めたところ、第4表に示す結果
が得られた。
第4表に示すように、金属板の両表面における圧延摩擦
状態が同じになるように圧延ロールの表面粗さを調整す
ることによって、加工後のI CIJ−ドフレームの異
常ひずみの発生をおさえることができる。
状態が同じになるように圧延ロールの表面粗さを調整す
ることによって、加工後のI CIJ−ドフレームの異
常ひずみの発生をおさえることができる。
実施例 5
実施例1の供試材扁1のものにおいて、板厚帆254篩
に仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4胡にスリット切断
した帯材に対して、圧着側が凹形に特開昭58−967
58(7) なりかつ非圧着側が凸形になるような方向に三本のロー
ルベンダーによる曲げ加工を施した。すなわち、スリッ
ト切断した帯材は、第9図(a)に示すように、圧着側
表面の伸びひずみ6.が非圧着側表面の伸びひずみε2
よりも大きい状態となっている。そこで、上記したロー
ルベンダーによる曲げ加工f ’Hgjすと、第9図(
b)に示すように、圧着側に圧縮ひずみCが加わり(t
は降伏点伸びを示す)、非圧着側に引張ひずみTが加わ
るため、これらが合成された端絡状態に訃いてld、第
9図(c)に示すように、前記曲げ加工が道連である場
合に、板の長さ方向のひずみの、1反厚方向の分布が板
厚中心面に対して対称となる。そこで、残留応力分布の
対称化をはかり得るように、第5表に示すごとき異なる
曲率半径で三本のロールベンダーによる曲げ加工を行っ
たのち、ICリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ
加工を施し、次いで第7図に示すリード部の間隔差Δe
および曲げ幅差Δw−4それぞれ各供試材につき20個
ずつ測定して平均値を求めたところ、第5表に示す結果
が・市られた。
に仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4胡にスリット切断
した帯材に対して、圧着側が凹形に特開昭58−967
58(7) なりかつ非圧着側が凸形になるような方向に三本のロー
ルベンダーによる曲げ加工を施した。すなわち、スリッ
ト切断した帯材は、第9図(a)に示すように、圧着側
表面の伸びひずみ6.が非圧着側表面の伸びひずみε2
よりも大きい状態となっている。そこで、上記したロー
ルベンダーによる曲げ加工f ’Hgjすと、第9図(
b)に示すように、圧着側に圧縮ひずみCが加わり(t
は降伏点伸びを示す)、非圧着側に引張ひずみTが加わ
るため、これらが合成された端絡状態に訃いてld、第
9図(c)に示すように、前記曲げ加工が道連である場
合に、板の長さ方向のひずみの、1反厚方向の分布が板
厚中心面に対して対称となる。そこで、残留応力分布の
対称化をはかり得るように、第5表に示すごとき異なる
曲率半径で三本のロールベンダーによる曲げ加工を行っ
たのち、ICリードフレームの形状に打抜きおよび曲げ
加工を施し、次いで第7図に示すリード部の間隔差Δe
および曲げ幅差Δw−4それぞれ各供試材につき20個
ずつ測定して平均値を求めたところ、第5表に示す結果
が・市られた。
−−翻−0,−9頁
第5表
第5表に示すように、三本のロールベンダーによる曲げ
加工を施すことによって、ICリードフレームの異常ひ
ずみの発生を曲げ加工を加えない場合に比べてかなり小
さくすることができる。しかし、曲げ加工の際の曲率半
径が小さすぎるとかえって反対方向のひずみを発生して
異常ひずみを生ずることとなり、この実施例の場合には
曲率半径1) 25 Or@とじたときに異常ひずみヲ
最も小さくすることができた。
加工を施すことによって、ICリードフレームの異常ひ
ずみの発生を曲げ加工を加えない場合に比べてかなり小
さくすることができる。しかし、曲げ加工の際の曲率半
径が小さすぎるとかえって反対方向のひずみを発生して
異常ひずみを生ずることとなり、この実施例の場合には
曲率半径1) 25 Or@とじたときに異常ひずみヲ
最も小さくすることができた。
26−頁
実施例 6
実施例1の供試付属2のものにおいて、板厚00254
畷に仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4恒にスリット切
断した帯材に対して、さらに600℃×O85分の条件
で光輝低温焼なましを行い、その後ICリードフレーム
の形状に加工し、第7図に示すリード部の間隔差Δeお
よび曲げ幅差Δwを20個測定してその平均値を求めた
ところ、第6表に示す結果が得られた。
畷に仕上げ圧延し、続いて板幅25゜4恒にスリット切
断した帯材に対して、さらに600℃×O85分の条件
で光輝低温焼なましを行い、その後ICリードフレーム
の形状に加工し、第7図に示すリード部の間隔差Δeお
よび曲げ幅差Δwを20個測定してその平均値を求めた
ところ、第6表に示す結果が得られた。
第6表に示すように、仕上げ圧延後スリット切断し、さ
らに低温焼なましを施すことによって、ICリードフレ
ームの異常ひずみをさらに小さくすることができる。
らに低温焼なましを施すことによって、ICリードフレ
ームの異常ひずみをさらに小さくすることができる。
なお、−E記実施例においては、金属板が高Ni、27
.−一丁 鋼あるいはコバールからなり、金属条がktからなる組
合わせのクラツド板について説明したが、そのほか、金
属板が軟鋼、ステンレス鋼からなり、金属条(クラツド
材)がCu、CuAg合金、At合金からなるものであ
っても同様にすぐれた結果を得ることができる。
.−一丁 鋼あるいはコバールからなり、金属条がktからなる組
合わせのクラツド板について説明したが、そのほか、金
属板が軟鋼、ステンレス鋼からなり、金属条(クラツド
材)がCu、CuAg合金、At合金からなるものであ
っても同様にすぐれた結果を得ることができる。
以上酸1明してきたように、この発明によれば、金属板
の片側表面に異材質の金属条を部分的に圧延圧着してリ
ードフレーム用クラツド板全製造するにあたり、板のひ
ずみの板厚方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づ
くように圧延前処理条件および圧延条件の少なくとも一
方を制御する工程と、板の残留応力の板厚方向分布が板
厚中心面に対して対称形に近づくようなひずみの分布を
付与する後処理工程のうち、少なくともいずれかの工程
を施し、リードフレームへの成形加工時に残留応力に基
く変形の発生を防止するようにしたから、寸法精度の高
いリードフレームの製造が低コストで可能となり、ワイ
ヤーボンディング作業の自動化を容易に実現することが
できるなどの非常1網I]g 58−96758(8) にすぐれた効果全有する。
の片側表面に異材質の金属条を部分的に圧延圧着してリ
ードフレーム用クラツド板全製造するにあたり、板のひ
ずみの板厚方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づ
くように圧延前処理条件および圧延条件の少なくとも一
方を制御する工程と、板の残留応力の板厚方向分布が板
厚中心面に対して対称形に近づくようなひずみの分布を
付与する後処理工程のうち、少なくともいずれかの工程
を施し、リードフレームへの成形加工時に残留応力に基
く変形の発生を防止するようにしたから、寸法精度の高
いリードフレームの製造が低コストで可能となり、ワイ
ヤーボンディング作業の自動化を容易に実現することが
できるなどの非常1網I]g 58−96758(8) にすぐれた効果全有する。
第1図はこの発明により製造されるクラツド板の一構造
例を示す部分斜了す1説明図、第2図は第1図のクラツ
ド板を打抜きおよび曲げ加工して成形したICリードフ
レームの一構造例を示す斜面説明図、第3図はセラミッ
クパッケージ型ICの縦断面説明財、第4図は金属板の
片側表面に金属条を部分的に圧延圧着する状況を示す斜
滉説明図、第5図は圧延後の板厚方向と残留応力との関
係を示すグラフ、第6図は板厚方向のせん断残留応力を
有するクラツド板を打抜きnD工した後の変形状態を示
す斜面説明図、第7図(a) (b) (c)は尤6図
に示す残留応力を持つ板f IJ−ドフレームの形状に
曲げ加工した後の状態を示し、図(a)は全体斜面説明
図、図(b)は凸1隔そり(1+11の曲げ前後の説明
図、図(e)は口幅そり側の曲げ前後の説明図、第8図
は長さ方向の残留応力の板厚方向の分布が板厚中心に対
して非対称である板金切断した後の変形状態を示す斜面
説明図、第9図(a)は仕上げ圧延後の板の伸、 、、
2p−−頁 びひすみ分布を示す説明図、第9図(b)は板に対して
曲げ加工を施すことにより付加した曲げひずみ分布を示
す説明図、第9図(C)は第9図(a)および(b)の
ひずみを合成した最終ひずみ分布を示す説明図である。 1・・・クラツド板、2・・・金属板、3・・・金属条
、6・・・ICリードフレーム、11・・・ワイヤーブ
ラシ、13.14・・・圧延ロール。 特許出願人 大同特殊鋼株式会社 代理人弁理士 小 塩 豊谷、−3−( へ゛留忘力(Kgf/−rnrn’ )(C) 第9図 (C)
例を示す部分斜了す1説明図、第2図は第1図のクラツ
ド板を打抜きおよび曲げ加工して成形したICリードフ
レームの一構造例を示す斜面説明図、第3図はセラミッ
クパッケージ型ICの縦断面説明財、第4図は金属板の
片側表面に金属条を部分的に圧延圧着する状況を示す斜
滉説明図、第5図は圧延後の板厚方向と残留応力との関
係を示すグラフ、第6図は板厚方向のせん断残留応力を
有するクラツド板を打抜きnD工した後の変形状態を示
す斜面説明図、第7図(a) (b) (c)は尤6図
に示す残留応力を持つ板f IJ−ドフレームの形状に
曲げ加工した後の状態を示し、図(a)は全体斜面説明
図、図(b)は凸1隔そり(1+11の曲げ前後の説明
図、図(e)は口幅そり側の曲げ前後の説明図、第8図
は長さ方向の残留応力の板厚方向の分布が板厚中心に対
して非対称である板金切断した後の変形状態を示す斜面
説明図、第9図(a)は仕上げ圧延後の板の伸、 、、
2p−−頁 びひすみ分布を示す説明図、第9図(b)は板に対して
曲げ加工を施すことにより付加した曲げひずみ分布を示
す説明図、第9図(C)は第9図(a)および(b)の
ひずみを合成した最終ひずみ分布を示す説明図である。 1・・・クラツド板、2・・・金属板、3・・・金属条
、6・・・ICリードフレーム、11・・・ワイヤーブ
ラシ、13.14・・・圧延ロール。 特許出願人 大同特殊鋼株式会社 代理人弁理士 小 塩 豊谷、−3−( へ゛留忘力(Kgf/−rnrn’ )(C) 第9図 (C)
Claims (7)
- (1)金属板の片側表面に異材質の金属条を部分的に圧
延圧着してリードフレーム用クラツド板を製造するにあ
たり、板のひずみの板厚方向分布が板厚中心面に対して
対称形に近づくように圧延前処理条件および圧延条件の
少なくとも一方を制御する工程と、板の残留応力の板厚
方向分布が板厚中心面に対して対称形に近づくようなひ
ずみの分布を付与する後処理工程のうち、少なくともい
ずれかの工程を施し、リードフレームへの成形加工時に
残留応力に基く変形の発生を防止するようにしたことを
特徴とするクラツド板の製造方法。 - (2)圧延前処理条件を制御する工程が、金属板の非圧
着側表面に、圧着側表面と同じ圧延摩擦状態となるよう
な表面処理を施す工程を含む特許請求の範囲第(1)項
記載のクラツド板の製造方法。 - (3)表面処理が、ワイヤーブラシによる研削。 2頁 砥石による研削、ショットブラスティングによる研削の
少なくともいずれかであり、必要に応じて酸素および加
熱処理の少なくとも一方を組合わせる処理である特許請
求の範囲第(2)項記載のクラツド板の製造方法。 - (4)圧延条件を制御する工程が、金属板の圧着側表面
と非圧着側表向の圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦
係数の大きい側の圧延ロールの直径を小さくしあるいは
圧延ロールの周速を大きくして圧延する工程を含む特許
請求の範囲第(1)項、第(2)項または第(3)項記
載のクラツド板の製造方法。 - (5)圧延条件を制御する工程が、金属板の圧着側表面
と非圧着側表向の圧延摩擦係数の差に応じて、圧延摩擦
係数の大きい側の圧延ロールの表面粗さを粗にして圧延
する工程を含む特許請求の範囲第(1)項、第(2)項
、第(3)項または第(4)項記載のクラツド板の製造
方法。 - (6)後処理工程が、金属板の圧着f[111表面に圧
縮ひずみが加わり、非圧着側表面に引張ひずみが加わる
曲げ加工を施して残留応力分布の対称化をは3 頁 かる工程を含む特許請求の範囲第(1)項、第(2)項
。 第(3)項、第(4)項または第(5)項記載のクラツ
ド板の製造方法。 - (7)後処理工程が、低温焼なましあるいは低温張力焼
なましを施して残留応力を低減する工程を含む特許請求
の範囲第(1)項、第(2)項、第(3)項、第(4)
項、第(5)項または第(6)項記載のクラツド板の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19373281A JPS5896758A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | クラツド板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19373281A JPS5896758A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | クラツド板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5896758A true JPS5896758A (ja) | 1983-06-08 |
JPH0142799B2 JPH0142799B2 (ja) | 1989-09-14 |
Family
ID=16312881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19373281A Granted JPS5896758A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | クラツド板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5896758A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS629653A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-17 | Daido Steel Co Ltd | リ−ドフレ−ム用帯材の製造方法 |
US4750262A (en) * | 1986-05-01 | 1988-06-14 | International Business Machines Corp. | Method of fabricating a printed circuitry substrate |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49111859A (ja) * | 1973-02-26 | 1974-10-24 | ||
JPS5073867A (ja) * | 1973-11-01 | 1975-06-18 |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP19373281A patent/JPS5896758A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49111859A (ja) * | 1973-02-26 | 1974-10-24 | ||
JPS5073867A (ja) * | 1973-11-01 | 1975-06-18 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS629653A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-17 | Daido Steel Co Ltd | リ−ドフレ−ム用帯材の製造方法 |
US4750262A (en) * | 1986-05-01 | 1988-06-14 | International Business Machines Corp. | Method of fabricating a printed circuitry substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0142799B2 (ja) | 1989-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100699424B1 (ko) | 철-니켈계 합금 박판 스트립의 제조 방법 | |
US2860409A (en) | Solid-phase bonding of metals | |
US2040442A (en) | Method of treating sheet metal | |
JPS5896758A (ja) | クラツド板の製造方法 | |
CN109852825A (zh) | 一种低制耳率黄铜带的生产工艺 | |
JP6975391B2 (ja) | Fe−Ni系合金薄板の製造方法およびFe−Ni系合金薄板 | |
US3456332A (en) | Method of manufacturing bimetallic wire | |
JP3288499B2 (ja) | 異形断面帯板の製造方法 | |
JP3266053B2 (ja) | 自由鍛造用金敷 | |
JP3303639B2 (ja) | 半導体用銅系リード材の製造方法 | |
JP3073930B2 (ja) | ばね用ステンレス鋼帯あるいは冷間圧延ステンレス鋼帯の製造方法 | |
JPS61103637A (ja) | 金属材料の鍜錬方法 | |
JP2921121B2 (ja) | Icリードフレーム材の製造方法 | |
JPH0134717B2 (ja) | ||
JPH0853726A (ja) | ロール成形用純チタン薄板およびその製造方法 | |
JP2775910B2 (ja) | リードフレーム材の残留歪み除去方法 | |
JP2812879B2 (ja) | 電気電子部品用板条材及びその製造方法 | |
JPS60211966A (ja) | リ−ドフレ−ム素材の製造方法 | |
JP2002043498A (ja) | 半導体用銅系リード材およびその製造方法 | |
JPS63179023A (ja) | 導電性クラツドバネ材の製造方法 | |
JP2002144051A (ja) | 非対称クラッド材の製造方法 | |
JP2007021537A (ja) | 金属帯の形状矯正方法 | |
JP3369352B2 (ja) | チタン板のポケットウェーブ防止方法 | |
SU820934A1 (ru) | Способ прокатки листового материала | |
JPH10166097A (ja) | 異形断面条の製造方法 |