JPS5865433A - アルカリ型感光性フイルムの現像又ははく離方法および現像又ははく離装置 - Google Patents

アルカリ型感光性フイルムの現像又ははく離方法および現像又ははく離装置

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JPS5865433A
JPS5865433A JP56164764A JP16476481A JPS5865433A JP S5865433 A JPS5865433 A JP S5865433A JP 56164764 A JP56164764 A JP 56164764A JP 16476481 A JP16476481 A JP 16476481A JP S5865433 A JPS5865433 A JP S5865433A
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JP
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soln
developing
stripping
photosensitive film
suspension
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JP56164764A
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Yoshimasa Tomizawa
富沢 良昌
Seiji Kinota
木野田 精二
Eiji Fujita
藤田 「えい」二
Masanori Murata
村田 正則
Toshio Takeuchi
竹内 利雄
Takeshi Ogawa
健 小川
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Hitachi Chemical Co Ltd
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30Imagewise removal using liquid means
    • G03F7/3092Recovery of material; Waste processing

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はアルカリ型感光性フィルムの現像又ははく離去
法および81儂又ははく離装置に関する。
さらに詳しくは本発明は、感光性フィルムのサスベンジ
璽ンを含む現像液又ははく離液中よリサスペンジョンを
7Wツク状に析出させて浮上分離して現像液及びはく離
液として再使用可能にするアルカリ型感光性フィルムの
現像又ははく離去法および3jl儂又ははく離装置に関
する。
従来のアルカリ型感光性フィルムの現像及びはく離は、
アルカリ型感光性フィルムを数−のアルカリ水溶液に浸
漬するか又はこれに数−のアルカリ水溶液をスプレーす
るととによシ、パッチ式又は連続式で行なわれている。
現像に於てはアルカリ型感光性フィルムの未露光部は現
像液中にて懸濁状態のサスペンションとなる。
又、はく離に於ても露光部がはく離液中で懸濁状態のサ
スペンションとなり更にフィルム片も存在する状態とな
る。
従来法の欠点はr過等によりフィルム片を除去出来ても
懸濁状態のサスベンジ1ンをFjlKよシ清じようにす
る事は困難であシ、また濾過面の更新に大きな労力が必
要なため4通常感光性フィルム0.5〜o、rmm7t
を目安として現像液及びはく離液を交換し、使用ずみの
現像液及びはく離液は、アルカリ廃液処理設備で中和処
理されるか、これをドラムづめにして公害処理業者に処
分依頼され、多大の処理費用が使われている。
更にプリント配線板の製造は印刷法から感光性フィルム
法に変りつりあシ、感光性フィルムも溶剤によシjil
儂及びはく離を行なう型からアルカリ水溶液で現像及び
はく離を行なうアルカリ型が増加しつつあシ、アルカリ
廃液が増加する事は廃液処理設備の負荷増大となシ好ま
しくなく、アルカリリサイクル置のアルカリ型感光性フ
ィルムの現像又ははく線装置の要求が強い。
本発明はこのような問題を解消し、効率よく低コストで
微細なJI濁状態の感光性フィルムのサスペンションを
浮上分離する様にしたアルカリ型感光性フィルムの現像
又ははく離方法および装置を提供するものである。
本発明は、アルカリ型感光性フィルムの現像又ははく線
装置よシ感光性フィルムのサスペンションを含む現像液
又ははく離液をとシ出し。
これに薬液及び気体を導入してサスベンジ望ンを70ツ
ク状に析出させてサスペンジョンヲ除去後、現儂液又は
はく離液をアルカリ型感光性フィルムの現像又ははく線
装置に戻すアルカリ型感光性フィルムの現像又ははく離
方法および現像又ははく線装置に接続された感光性フィ
ルムのサスペンションを含む現像液又ははく離液を収容
する原水タンク、該現像液又ははく離液に供給される薬
剤を収容する薬剤タンク、当該現像液又ははく離液に気
体を供給するフロア−及びフロック状とされたサスペン
ションを浮上原水タンクに移動された当該現像液又はは
く離に薬剤及び気体を導入後浮上槽においてサスペンシ
ョンをフロック状として浮上させ、サスペンションの除
かれた現像液又ははく離液を現像又ははく線装置に戻す
ようにし九アルカリ性感光フィルムの現像又ははく線装
置に関する。
本発明が適用されるアルカ1711感光性フイルムの現
像又ははくA11装置としては、感光性フィルムを貼合
後露光完了した基板や、前述の基板をエツチング又はメ
ッキ処理した基板をバッジ式にて浸漬処理する装置、連
続式にローラーコンベヤ上にこれらの基板を供給し、ス
プレ一式で処理する装置等がある。
Jill1図は従来の一般的なスプレ一連続式アルカリ
型感光性フィルムの現像装置の断面図であり、第2図は
そのスプレ一連続式アルカリ型感光性フィルムの現像装
置に於けるアルカリ処理部の70−シートである。
第1図に於て基板は矢印す方向に手動又は自動で供給さ
れ基板般送ロール1によシ順次出ロ側へ定速で送られる
。装置内に人つ九基板はアルカリ処理部でスプレー2よ
ジアルカリ水溶液のスプレーを受け、アルカリ型感光性
フィルムの未露光部は溶解、脱落し、ついで水スプレー
3によシ水洗され、中和処理液スプレー4により中和処
理液をスプレーされ更に水スプレー5により水洗リンス
され、しぼりロール6によシ水切りされ、乾燥F7によ
シ乾燥され矢印C方向に送り出され手動又は自動で受取
られgL儂処理が完了する。
図に於て−8はアルカリ水溶液のタンク、9は水タンク
、10は中和液タンク、11は現像装置のフレーム、1
2は排気ダクトである。スプレ一連続式アルカリ型感光
性フィルムのはく離装置の場合でも#1は同じレイアウ
トとされる。
第2図はスプレ一連続式アルカリ型感光性フィルムの現
像装置に於けるアルカリ処理部のフローシートであシ、
1の基板絞込ロール、2のアルカリ水溶液スプレー、8
のアルカリ液タンク、11の現像装置のフレームは第1
図と同じものであシ、8のアルカリ水溶液タンク部に於
て第1図矢印す方向に対して垂直な断面図を示している
。ポンプ39によシカアルカリ水溶液タンク内のアルカ
リ水溶液はフィルター13を通ってアルカリ水溶液スプ
レーに送られる。30は圧力針、31はバルブを示す。
第3図は本発明の一実施例になるサスペンション浮上分
離装置付アルカリ型感光性フィルムの現像装置である。
第3図において、ポンプ14によシ感光性フィルムのサ
スペンションを含んだアルカリ現儂液を抜き取シ原水タ
ンク22に貯える。原水タンク22の液面は、レベルセ
ンサー21によ)検知され液面制御盤32によシ流量調
整弁33によりレベル制御される。
ボ/プ15,16によ如内部仕切板34及び35により
仕切られ九原水を夫々循環し攪拌すル、更ニサスペンジ
冒ンをフロック状に析出させ且つ気泡の発生及び接着を
促進させる薬剤を注入する薬剤タンク27と薬剤注入ポ
ンプ19  。
が偏見られる。
ポンプ17により浮上槽23内に原水の一定量が抜き取
られ、原水槽内の仕切板34及び350間を矢印aの方
向に原水は移動する。仕切板34.35は必ずしも必要
ではない。
ポンプ17の吸込側に於てブロアー29によシ気体を薬
剤タンク28内の薬剤をポンプ20により注入する。薬
剤はポンプのサクション側から注入することが好ましい
。気体と薬剤はポンプ17により原水と混合攪拌され浮
上槽23内に導入される。仕切板36をこえて矢印dの
方向に液は移動し、サスペンションはフ四ツク状となっ
て浮上しスキマー・25によシ槽外に排出される。
更に液はポンプ18によシ次の浮上槽24に導入される
が、この時ポンプ18にょジグUワー29によシ注入さ
れ九気体と薬液ポンプ2゜によシ注入され丸薬剤とが最
初の浮上槽から抜き取られた液に混合攪拌される。これ
にょシ浮上槽24内の仕切板37をこえて矢印C方向に
液は移動し、残存のサスベンジ37本フロック状となっ
て浮上し槽外にスキマー25により排出される。仕切板
36.37は必ずしも必要でない。
浮上槽はフロックの分離効率により複数の場合もあるが
1つとしてもよい。浮上槽の底部と処理液タンク26は
連通管39により連通していることが好ましく、内部仕
切板38をこえて液は移動し処理液タンクとアルカリ水
溶液タンクとの液面差によってアルカリ水溶液タンク8
に戻される。仕切板38は必ずしも必要でない。
ポンプ17.18の抜取量のバランスがくずれて4浮上
槽と原水タンクとの関に連通管40を設ければ浮上槽2
4と浮上槽23との間に連通管41を設ければ液面のバ
ランスをとることができる。なお、連通管40.41は
他の液面制御の方法によれば省略する事が出来る。処理
液の抜取量は中仕切板38をせき構造とすれば調整する
ことができる。処理液タンクは、処理液のサンプリング
及び透明度2着色、あわ立ち等を目視観察するために設
けられるが、必ずしも必要ではない。
本発明の詳細な説明する。
実施例1 現像液(2%NaC0,水溶液)に対しアルカ9 m感
光性フィルム日立化成製PHT 860 AFTが0、
5 m”/11となる迄現像され、懸濁状態になった現
俸液を連続的に抜き取シ第3図の装置を用いて感光性フ
ィルムのサスペンションを連続的に分離し友。各種の容
量は801.浮上槽は2槽、処理液タンク付とした。
運転条件は原水抜取量Q、95m”/hr 原水50e
eK薬剤(FM剤)注入量は0.511(体積比)。
薬剤(Y)注入量は1チ(体積比)とし、気泡注入量は
浮上槽の液面がバブリング直前として分離効率は95−
以上であう九。
実施例2 はく離液(5%NaOH水溶液)に対しアルカリ減感光
性フィルム日立化成裏PHT 860 AFTが0.5
 ml/11となる迄処理してJl濁状惑になったはく
離液を連続的に抜き取り第3図の装置を用いて感光性フ
ィルムのサスペンションを連続的に分離出来九、各種の
容量占数は実施例1と同一とじ九。
運転条件は、原水抜取量0.05 m” / h r原
水50CCに薬剤(FM剤)注入量はα5%(体積比)
薬剤(Y剤)注入量は1m(体積比)とし、気泡注入量
は、浮上槽の液がバブリング直前とした。
分離効率は95−以上であった。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のスプレ一連続式アルカリ型感光8:フィ
ルムのi像装置の断面図、JI2図は第1図のスプレ一
連続式アルカリ型感光性フィルムの現俸装置に於けるア
ルカリ部のフローシート及び第3図は本発明の一実施例
になるスプレ一連続式アルカリ型感光性フィルムの現俸
装置の70−シートである。 符号の説明 1・・・基板絞込ロール 2・・・アルカリ水溶液スプ
レー3・・・水スプレー  4・・・中和処理液スプレ
ー5・・・水スプレー  6・・・しばりロール7・・
・乾燥炉(熱風吹出し式) 8・・・アルカリ水溶液タンク 9・・・水タンク   10・・・中和液タンク11・
・・現像装置のフレーム 12・・・排気ダクト  13・・・フィルター14、
15.16.17.1g、 19.20・・・ポンプ2
1・・・レベルセンサー 22・・・原水タンク  23.24・・・浮上槽25
・・・スキマー   26・・・処理液タンク27・・
・薬剤タンク(FM剤) 28・・・薬剤タンク(Y剤) 29・・・ブロアー  30・・・圧力針31・・・パ
ルプ    32・・・液面制御盤33・・・流量調整
弁 34、35.36.37.38・・・中仕切板39.4
0;41・・・連通管 手続補正書(自発) !57 7  20 、昭和  年  月  日 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和56年特許願第164764号 2、発明の名称 事件との関停     特許小軸人 名 称 f4451日立化成工業株式会社4、代 理 
人 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 アルカリ型感光性フィルムの現像又ははく離装置
    よシ感光性フィルムのサスペンションを含む現像液又は
    はく離液をとシ出し、これに薬液及び気体を導入してサ
    スペンションをフロック状に析出させてサスペンション
    を除去後、lA像液又ははく離液をアルカリ型感光性フ
    ィルムの現像又ははく離装置に戻すことを特′黴とする
    アルカリ型感光性フィルムの現像又ははく離去法。 2、現像又ははく離装置に接続された感光性フィルムの
    サスペンションを含む現像液又はは−く−液を収容する
    原水タンク、当該現像液又ははく離液に供給される薬剤
    を収容する薬剤タンク、@該現像液又ははく離液に気体
    を供給するブロアー及びフロック状とされたサスペンシ
    ョンを浮上させる浮上槽を備え、現像当該現像液又はは
    く離に薬剤及び気体を導入後浮上槽においてサスペンシ
    ョンをフロック状として浮上させ、サスペンションの除
    かれ九Jjl儂液又ははく離液を現像又ははく離装置に
    戻すようKしたアルカリ性感光フィルムの現像又ははく
    離装置。
JP56164764A 1981-10-14 1981-10-14 アルカリ型感光性フイルムの現像又ははく離方法および現像又ははく離装置 Pending JPS5865433A (ja)

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