JPS5848024A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS5848024A JPS5848024A JP56146832A JP14683281A JPS5848024A JP S5848024 A JPS5848024 A JP S5848024A JP 56146832 A JP56146832 A JP 56146832A JP 14683281 A JP14683281 A JP 14683281A JP S5848024 A JPS5848024 A JP S5848024A
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- JP
- Japan
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- photoresist
- mark
- liquid crystal
- metallic
- substrate
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶表示素子の製造方法に関するものである。
従来、液晶表示素子の製造工程はほぼ次の通りになる。
即ち、
■ ガラス基板洗浄
■ 透明導電膜蒸着
■ レジスト印刷
■露光
■現像
■ エツチング
■ 配向膜コート
■ ラビング処理
■ シール剤印刷
[相] 貼り合わせ
■ 液晶注入
0 注入口封止
である。
各工程とも自動化が進められているが、[相]貼り合わ
せ工程による2枚のガラス基板を相対向させる作業は今
だに機械化が十分ではない。これは、従来の貼り合わせ
工程が、当りピンが設けられた支持台−にに透明導電膜
が作製されたガラス基板を仮に位置決めし、さらに例え
ば酸化インジウムによる位置合わせマークを肉眼で顕微
鏡により確認し力から手動で微調整を行わねばならなか
ったためである。
せ工程による2枚のガラス基板を相対向させる作業は今
だに機械化が十分ではない。これは、従来の貼り合わせ
工程が、当りピンが設けられた支持台−にに透明導電膜
が作製されたガラス基板を仮に位置決めし、さらに例え
ば酸化インジウムによる位置合わせマークを肉眼で顕微
鏡により確認し力から手動で微調整を行わねばならなか
ったためである。
本発明は、貼り合わせ工程を自動化した製造システムに
して従来法では得られ々い精度及び速度で貼り合わせを
行って、液晶表示素子製作全工程を能率化することを目
的とする。
して従来法では得られ々い精度及び速度で貼り合わせを
行って、液晶表示素子製作全工程を能率化することを目
的とする。
本発明による貼り合わせ工程の構成について述べる。
本発明の貼り合わせ工程では、ガラス基板間の位置合わ
せのためのマークを容易に認識しうるように金属で形成
し、反則マークセンサを導入した。
せのためのマークを容易に認識しうるように金属で形成
し、反則マークセンサを導入した。
反射マークセンサは、ガラス基板−トのマークを感知し
ガラス」N板の貼り合わせ位置を決定する。であるから
、従来法の透明導電膜ではマークの確認が容易でないた
め位置合わせを人手にたよっていたが、本発明によれば
自動的に行なわれる。
ガラス」N板の貼り合わせ位置を決定する。であるから
、従来法の透明導電膜ではマークの確認が容易でないた
め位置合わせを人手にたよっていたが、本発明によれば
自動的に行なわれる。
そこで」−述液晶素子の製造工程■乃至■を次の通りに
換えた。金属の例としてインジウムを取り上げたがこれ
に限定するわけではなく錫等の金属を用いることもでき
る。次の(a)乃至(g)は図の(a)乃至(g)と対
応している。
換えた。金属の例としてインジウムを取り上げたがこれ
に限定するわけではなく錫等の金属を用いることもでき
る。次の(a)乃至(g)は図の(a)乃至(g)と対
応している。
(a) ガラス基板1」二にフォトレジスト2を塗布
する。
する。
(b) フォトマスク3でパターンをつけて紫外光を
照射する。ここで後述するマーク部に金属を蒸着させる
ことが好ましいため、ネガの関係にパターンが形成され
る。
照射する。ここで後述するマーク部に金属を蒸着させる
ことが好ましいため、ネガの関係にパターンが形成され
る。
(c) 現象液中でフォトレジメ1−2の未感応部分
を溶解させ、感応部分2aのみをガラス基板1」二に残
す。
を溶解させ、感応部分2aのみをガラス基板1」二に残
す。
Cd) 全面にヌパッタによって金属インジウム4を
蒸着する。
蒸着する。
(e) フォトレジスト2aを除去する。ガラス基板
l J−には、電極用金属インジウム4aとマーク用金
属インジウム4bが付着している。
l J−には、電極用金属インジウム4aとマーク用金
属インジウム4bが付着している。
(f) マーク用金属インジウム4bのみに次の焼成
工程による酸化を防ぐため5i02等の絶縁膜5を被覆
する。
工程による酸化を防ぐため5i02等の絶縁膜5を被覆
する。
(g) 焼成する。電極用金属インジウム4aは酸化
インジウム4cに変わり透明導電膜と々る。
インジウム4cに変わり透明導電膜と々る。
マーク用金属インジウム41)は絶縁膜5がマスクして
変化し々い。なお、この焼成手段は酸素中でのレーザ照
射彦ども可能である。−こうしてガラス基板1」二に金
属単体のマーク4bと金属酸化物の透明導伝膜4c’に
形成させる。
変化し々い。なお、この焼成手段は酸素中でのレーザ照
射彦ども可能である。−こうしてガラス基板1」二に金
属単体のマーク4bと金属酸化物の透明導伝膜4c’に
形成させる。
本発明によれば、ガラス基板を位置合わせするためのマ
ークを、透明導電膜を作製するための金属膜の蒸着工程
を利用[7て同時に作製するため別途にマークを形成す
る必要がなく工程数が少なくなる。捷たマークは金属に
よって作製されているため、光学手段等によって容易に
読み取ることができ、ガラス基板の貼り合わせ工程が完
全に自動化され高精度・高速度の貼り合わせが達成でき
、液晶素子製作の工程の時間短縮、経費節減等の効果が
ある。さらに、今後マルチ化が進んで大型ガラスを使用
する状態となってもガラス公差が問題となら々いので十
分対応できる。
ークを、透明導電膜を作製するための金属膜の蒸着工程
を利用[7て同時に作製するため別途にマークを形成す
る必要がなく工程数が少なくなる。捷たマークは金属に
よって作製されているため、光学手段等によって容易に
読み取ることができ、ガラス基板の貼り合わせ工程が完
全に自動化され高精度・高速度の貼り合わせが達成でき
、液晶素子製作の工程の時間短縮、経費節減等の効果が
ある。さらに、今後マルチ化が進んで大型ガラスを使用
する状態となってもガラス公差が問題となら々いので十
分対応できる。
図(a)乃至(g)は本発明による製造方法の各工程を
示す図である。 1・・・ガラスに板、 2.2a・・・フ、l)・レ
ジスト、3・・・フォトマスク、 4.4a、、4b
・・・金属インジウム、 4c・・・酸化インジウム
、 5・・・絶縁膜。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦
示す図である。 1・・・ガラスに板、 2.2a・・・フ、l)・レ
ジスト、3・・・フォトマスク、 4.4a、、4b
・・・金属インジウム、 4c・・・酸化インジウム
、 5・・・絶縁膜。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ガラス基板上に金属単体のマークを設ける工程と、
該マークを反射マークセンサで検出し、ガラス基板の貼
り合わせ全自動化した工程とを備えてなる液晶表示素子
の製造方法。 2 次のフォトプロセスを用いてガラス基板上に金属単
体のマークと金属酸化物の電極を形成することを特徴と
する液晶表示素子の製造方法。 (a) カラス基板」二にフォトレジストを塗布する
、(b) フォトレジストにパターンを露光する、(
C) フォトレジストを現像してマスクを形成する、 (d) スパッタによってガラス基板上に金属単体を
蒸着する、 (e) フォトレジストを除去する、(f) マー
ク部となる金属単体領域のみ絶縁膜で被覆する、 Cg) 絶縁嘆ヲマスクとして金属単体を焼成して金
属酸化物を形成する。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56146832A JPS5848024A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 液晶表示素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56146832A JPS5848024A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 液晶表示素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5848024A true JPS5848024A (ja) | 1983-03-19 |
Family
ID=15416524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56146832A Pending JPS5848024A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5848024A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60243639A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Seiko Epson Corp | 液晶カラ−表示装置 |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP56146832A patent/JPS5848024A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60243639A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Seiko Epson Corp | 液晶カラ−表示装置 |
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