JPS5848024A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法Info
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- JPS5848024A JPS5848024A JP56146832A JP14683281A JPS5848024A JP S5848024 A JPS5848024 A JP S5848024A JP 56146832 A JP56146832 A JP 56146832A JP 14683281 A JP14683281 A JP 14683281A JP S5848024 A JPS5848024 A JP S5848024A
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- JP
- Japan
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- photoresist
- mark
- liquid crystal
- metallic
- substrate
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶表示素子の製造方法に関するものである。
従来、液晶表示素子の製造工程はほぼ次の通りになる。
即ち、
■ ガラス基板洗浄
■ 透明導電膜蒸着
■ レジスト印刷
■露光
■現像
■ エツチング
■ 配向膜コート
■ ラビング処理
■ シール剤印刷
［相］ 貼り合わせ
■ 液晶注入
０ 注入口封止
である。
各工程とも自動化が進められているが、［相］貼り合わ
せ工程による２枚のガラス基板を相対向させる作業は今
だに機械化が十分ではない。これは、従来の貼り合わせ
工程が、当りピンが設けられた支持台−にに透明導電膜
が作製されたガラス基板を仮に位置決めし、さらに例え
ば酸化インジウムによる位置合わせマークを肉眼で顕微
鏡により確認し力から手動で微調整を行わねばならなか
ったためである。
せ工程による２枚のガラス基板を相対向させる作業は今
だに機械化が十分ではない。これは、従来の貼り合わせ
工程が、当りピンが設けられた支持台−にに透明導電膜
が作製されたガラス基板を仮に位置決めし、さらに例え
ば酸化インジウムによる位置合わせマークを肉眼で顕微
鏡により確認し力から手動で微調整を行わねばならなか
ったためである。
本発明は、貼り合わせ工程を自動化した製造システムに
して従来法では得られ々い精度及び速度で貼り合わせを
行って、液晶表示素子製作全工程を能率化することを目
的とする。
して従来法では得られ々い精度及び速度で貼り合わせを
行って、液晶表示素子製作全工程を能率化することを目
的とする。
本発明による貼り合わせ工程の構成について述べる。
本発明の貼り合わせ工程では、ガラス基板間の位置合わ
せのためのマークを容易に認識しうるように金属で形成
し、反則マークセンサを導入した。
せのためのマークを容易に認識しうるように金属で形成
し、反則マークセンサを導入した。
反射マークセンサは、ガラス基板−トのマークを感知し
ガラス」Ｎ板の貼り合わせ位置を決定する。であるから
、従来法の透明導電膜ではマークの確認が容易でないた
め位置合わせを人手にたよっていたが、本発明によれば
自動的に行なわれる。
ガラス」Ｎ板の貼り合わせ位置を決定する。であるから
、従来法の透明導電膜ではマークの確認が容易でないた
め位置合わせを人手にたよっていたが、本発明によれば
自動的に行なわれる。
そこで」−述液晶素子の製造工程■乃至■を次の通りに
換えた。金属の例としてインジウムを取り上げたがこれ
に限定するわけではなく錫等の金属を用いることもでき
る。次の（ａ）乃至（ｇ）は図の（ａ）乃至（ｇ）と対
応している。
換えた。金属の例としてインジウムを取り上げたがこれ
に限定するわけではなく錫等の金属を用いることもでき
る。次の（ａ）乃至（ｇ）は図の（ａ）乃至（ｇ）と対
応している。
（ａ） ガラス基板１」二にフォトレジスト２を塗布
する。
する。
（ｂ） フォトマスク３でパターンをつけて紫外光を
照射する。ここで後述するマーク部に金属を蒸着させる
ことが好ましいため、ネガの関係にパターンが形成され
る。
照射する。ここで後述するマーク部に金属を蒸着させる
ことが好ましいため、ネガの関係にパターンが形成され
る。
（ｃ） 現象液中でフォトレジメ１−２の未感応部分
を溶解させ、感応部分２ａのみをガラス基板１」二に残
す。
を溶解させ、感応部分２ａのみをガラス基板１」二に残
す。
Ｃｄ） 全面にヌパッタによって金属インジウム４を
蒸着する。
蒸着する。
（ｅ） フォトレジスト２ａを除去する。ガラス基板
ｌ Ｊ−には、電極用金属インジウム４ａとマーク用金
属インジウム４ｂが付着している。
ｌ Ｊ−には、電極用金属インジウム４ａとマーク用金
属インジウム４ｂが付着している。
（ｆ） マーク用金属インジウム４ｂのみに次の焼成
工程による酸化を防ぐため５ｉ０２等の絶縁膜５を被覆
する。
工程による酸化を防ぐため５ｉ０２等の絶縁膜５を被覆
する。
（ｇ） 焼成する。電極用金属インジウム４ａは酸化
インジウム４ｃに変わり透明導電膜と々る。
インジウム４ｃに変わり透明導電膜と々る。
マーク用金属インジウム４１）は絶縁膜５がマスクして
変化し々い。なお、この焼成手段は酸素中でのレーザ照
射彦ども可能である。−こうしてガラス基板１」二に金
属単体のマーク４ｂと金属酸化物の透明導伝膜４ｃ’に
形成させる。
変化し々い。なお、この焼成手段は酸素中でのレーザ照
射彦ども可能である。−こうしてガラス基板１」二に金
属単体のマーク４ｂと金属酸化物の透明導伝膜４ｃ’に
形成させる。
本発明によれば、ガラス基板を位置合わせするためのマ
ークを、透明導電膜を作製するための金属膜の蒸着工程
を利用［７て同時に作製するため別途にマークを形成す
る必要がなく工程数が少なくなる。捷たマークは金属に
よって作製されているため、光学手段等によって容易に
読み取ることができ、ガラス基板の貼り合わせ工程が完
全に自動化され高精度・高速度の貼り合わせが達成でき
、液晶素子製作の工程の時間短縮、経費節減等の効果が
ある。さらに、今後マルチ化が進んで大型ガラスを使用
する状態となってもガラス公差が問題となら々いので十
分対応できる。
ークを、透明導電膜を作製するための金属膜の蒸着工程
を利用［７て同時に作製するため別途にマークを形成す
る必要がなく工程数が少なくなる。捷たマークは金属に
よって作製されているため、光学手段等によって容易に
読み取ることができ、ガラス基板の貼り合わせ工程が完
全に自動化され高精度・高速度の貼り合わせが達成でき
、液晶素子製作の工程の時間短縮、経費節減等の効果が
ある。さらに、今後マルチ化が進んで大型ガラスを使用
する状態となってもガラス公差が問題となら々いので十
分対応できる。
図（ａ）乃至（ｇ）は本発明による製造方法の各工程を
示す図である。 １・・・ガラスに板、 ２．２ａ・・・フ、ｌ）・レ
ジスト、３・・・フォトマスク、 ４．４ａ、、４ｂ
・・・金属インジウム、 ４ｃ・・・酸化インジウム
、 ５・・・絶縁膜。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦
示す図である。 １・・・ガラスに板、 ２．２ａ・・・フ、ｌ）・レ
ジスト、３・・・フォトマスク、 ４．４ａ、、４ｂ
・・・金属インジウム、 ４ｃ・・・酸化インジウム
、 ５・・・絶縁膜。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ガラス基板上に金属単体のマークを設ける工程と、
該マークを反射マークセンサで検出し、ガラス基板の貼
り合わせ全自動化した工程とを備えてなる液晶表示素子
の製造方法。 ２ 次のフォトプロセスを用いてガラス基板上に金属単
体のマークと金属酸化物の電極を形成することを特徴と
する液晶表示素子の製造方法。 （ａ） カラス基板」二にフォトレジストを塗布する
、（ｂ） フォトレジストにパターンを露光する、（
Ｃ） フォトレジストを現像してマスクを形成する、 （ｄ） スパッタによってガラス基板上に金属単体を
蒸着する、 （ｅ） フォトレジストを除去する、（ｆ） マー
ク部となる金属単体領域のみ絶縁膜で被覆する、 Ｃｇ） 絶縁嘆ヲマスクとして金属単体を焼成して金
属酸化物を形成する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56146832A JPS5848024A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 液晶表示素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56146832A JPS5848024A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 液晶表示素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848024A true JPS5848024A (ja) | 1983-03-19 |
Family
ID=15416524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56146832A Pending JPS5848024A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848024A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60243639A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Seiko Epson Corp | 液晶カラ−表示装置 |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP56146832A patent/JPS5848024A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60243639A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Seiko Epson Corp | 液晶カラ−表示装置 |
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