JP5015537B2 - フォトマスクの製造方法及びパターンの転写方法 - Google Patents
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Description
透光性基板の主表面上において、透光性基板の周縁部分を除いた領域に、スパッタリングにより遮光膜が形成され、遮光膜上にレジスト膜が形成されたフォトマスクブランクを用いて、遮光膜に所定のパターンを形成するフォトマスクの製造方法において、レジスト膜にパターン描画を行う工程と、パターン描画されたレジスト膜を現像してレジストパターンを形成する工程と、レジストパターンをマスクとして遮光膜をエッチングすることにより、遮光膜パターンを形成するとともに遮光膜周縁部分を除去する工程を有することを特徴とするものである。
構成1を有するフォトマスクの製造方法において、パターン描画されたレジスト膜を現像してレジストパターンを形成する工程において、レジスト膜の周縁部分を除去することを特徴とするものである。
構成2を有するフォトマスクの製造方法において、レジスト膜にパターン描画を行う工程の前に、又はこの工程と同時に、又はこの工程の後に、レジスト膜の周縁部分を選択的に露光してレジスト膜を感光させることを特徴とするものである。
構成2を有するフォトマスクの製造方法において、レジスト膜にパターン描画を行う工程の前に、又はこの工程と同時に、又はこの工程の後に、透光性基板の裏面側から露光することによって、遮光膜の外周側を透過する光束によってレジスト膜の周縁部分を感光させることを特徴とするものである。
構成2から構成4のいずれかを有するフォトマスクの製造方法において、除去される遮光膜の周縁部分は、膜厚が遮光膜の設定膜厚未満となっている領域の少なくとも一部を含むことを特徴とするものである。
構成1から構成5のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法により製造されたフォトマスクを用いて、このフォトマスクの遮光膜に形成されたパターンを、露光することにより、被転写体に転写することを特徴とするものである。
以下、本発明に係るフォトマスクブランクの製造方法について、各工程順に説明する。なお、本発明に係るフォトマスクブランクの製造方法を実施することによって、本発明に係るフォトマスクブランクが製造される。
図1は、本発明に係るフォトマスクブランクの製造方法を各工程を示す断面図である。
次に、図1中の(b)に示すように、透光性基板1上に成膜された遮光膜2上に、レジスト材料を塗布し、レジスト膜3を形成する。このレジスト膜3の形成領域(レジスト材料の塗布領域)は、遮光膜2の形成領域の全体を含むものとするのが好ましい。すなわち、レジスト膜3は、遮光膜2の全体をカバーして形成され、さらに、遮光膜2の非形成領域上にも形成される。
前述の工程において、レジスト膜3を遮光膜2を覆うように形成した場合には、この工程において、図1中の(c)に示すように、このレジスト膜3の周縁部分を除去する。すなわち、レジスト膜3の周縁部分を除去することによって、このレジスト膜3の下層に形成されている遮光膜2の周縁部分を外方側に露出させる。
以下、本発明に係るフォトマスクの製造方法について、各工程順に説明する。なお、本発明に係るフォトマスク製造方法を実施することによって、本発明に係るフォトマスクが製造される。
前述したフォトマスクブランクを用いて、必要に応じて、レジスト膜3をベークし、その後、所望のパターンに基づき、レジスト膜3上にパターン描画(選択的な露光)を行う。このパターン描画は、例えば、レーザ描画機を用いて行うことができる。
パターン描画を完了したレジスト膜3を現像し、レジストパターンを形成する。また、前述したフォトマスクブランクの製造工程において、レジスト膜3の周縁部分について露光のみが行われており、除去が行われていない場合には、この現像工程において、露光部分が除去される。
次に、不要となったレジスト膜3を、公知の方法により除去する。これによって、透光性基板1上に、パターニングされた遮光膜2が精緻に形成されたフォトマスクが完成する。このフォトマスクは、透光性基板1の主表面の周縁に沿った部分に、遮光膜2の非形成領域を有している。また、この遮光膜2の周縁、すなわち、非形成領域に臨む遮光膜2の周縁の端面は、この遮光膜2の周縁部分に対するエッチング処理がなされた被エッチング領域との界面となっており、透光性基板1の主表面から、この主表面に垂直な方向に、ほぼ垂直に立ち上がった形状となっている。
このパターンの転写方法においては、前述のようにして製造されたフォトマスクを用いて、被転写体に対してパターンを露光する。被転写体は、例えば、液晶ディスプレイ用、または、プラズマディスプレイパネル用のガラス基板や、カラーフィルタなどであり、その用途に制約はない。
2 遮光膜
3 レジスト膜
4 遮光マスク
5 光源
Claims (6)
- 透光性基板の主表面上において、前記透光性基板の周縁部分を除いた領域に、スパッタリングにより遮光膜が形成され、前記遮光膜上にレジスト膜が形成されたフォトマスクブランクを用いて、前記遮光膜に所定のパターンを形成するフォトマスクの製造方法において、
前記レジスト膜にパターン描画を行う工程と、
前記パターン描画されたレジスト膜を現像してレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記遮光膜をエッチングすることにより、遮光膜パターンを形成するとともに遮光膜周縁部分を除去する工程を有することを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 前記パターン描画されたレジスト膜を現像して前記レジストパターンを形成する工程において、前記レジスト膜の周縁部分を除去することを特徴とする請求項1に記載のフォトマスクの製造方法。
- 前記レジスト膜に前記パターン描画を行う工程の前に、又は前記工程と同時に、又は前記工程の後に、前記レジスト膜の周縁部分を選択的に露光して前記レジスト膜を感光させることを特徴とする請求項2に記載のフォトマスクの製造方法。
- 前記レジスト膜に前記パターン描画を行う工程の前に、又は前記工程と同時に、又は前記工程の後に、前記透光性基板の裏面側から露光することによって、前記遮光膜の外周側を透過する光束によって前記レジスト膜の周縁部分を感光させることを特徴とする請求項2に記載のフォトマスクの製造方法。
- 除去される前記遮光膜の周縁部分は、膜厚が前記遮光膜の設定膜厚未満となっている領域の少なくとも一部を含むことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法により製造されたフォトマスクを用いて、このフォトマスクの遮光膜に形成されたパターンを、露光することにより、被転写体に転写することを特徴とするパターンの転写方法。
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