JPS5836971A - 黒色アルミナ焼結体の製造法 - Google Patents
黒色アルミナ焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS5836971A JPS5836971A JP56134205A JP13420581A JPS5836971A JP S5836971 A JPS5836971 A JP S5836971A JP 56134205 A JP56134205 A JP 56134205A JP 13420581 A JP13420581 A JP 13420581A JP S5836971 A JPS5836971 A JP S5836971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- alumina sintered
- black
- manufacture
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は黒色アルミナ焼結体の製造法に関する。
公知の如く、電子部品、特に半導体集積回路用パッケー
ジ等に使用するアル々す焼結体に扛一般的な電気的、機
械的、熱的特性を有しながらも、特に、光を透過させな
い奄のである事が要求される場合も多い。このような要
求を満足させるには、従来法としては主に悪化剤を添加
する組成的内容が一般的であった。
ジ等に使用するアル々す焼結体に扛一般的な電気的、機
械的、熱的特性を有しながらも、特に、光を透過させな
い奄のである事が要求される場合も多い。このような要
求を満足させるには、従来法としては主に悪化剤を添加
する組成的内容が一般的であった。
これに対し本発明は、製造プロセスで悪化を行なう全く
新規のものであり、従来の暗色系アル々す焼結体より、
はるかに光の透過が少ない黒色アル叱す焼結体を提供す
る。
新規のものであり、従来の暗色系アル々す焼結体より、
はるかに光の透過が少ない黒色アル叱す焼結体を提供す
る。
従来のアル電す焼結体悪化法は、ア／Ｉ／ｉす主原料に
０．５〜１０ Ｔｏ ＯＣｒｍ０ｍや’ｒｔｏ＊等の着
色−を添加しそれを焼成する事によって行°なわれてい
た例が多い０ しかし、このような方法では、ＣｒｏｏｍやＴｌＯ＊の
量を厳密にコント冒−ルする必要があり、なおかつそれ
でも光の透過をさえぎるに十分な黒色アルミナ焼結体を
得るのは難しかった。
０．５〜１０ Ｔｏ ＯＣｒｍ０ｍや’ｒｔｏ＊等の着
色−を添加しそれを焼成する事によって行°なわれてい
た例が多い０ しかし、このような方法では、ＣｒｏｏｍやＴｌＯ＊の
量を厳密にコント冒−ルする必要があり、なおかつそれ
でも光の透過をさえぎるに十分な黒色アルミナ焼結体を
得るのは難しかった。
本発明は組成のあまり厳しくなく、かつ十分な黒色アル
建す焼結体の製造法を提供する。つまり、アルミナ焼結
体の焼成工程で高温焼成を経てからの徐冷開始直後から
温変１００℃迄の間１；被焼結アル電すに水蒸気を噴霧
する事を％黴とした黒色ア／Ｉ／Ｊす焼結体の製造法に
関する。
建す焼結体の製造法を提供する。つまり、アルミナ焼結
体の焼成工程で高温焼成を経てからの徐冷開始直後から
温変１００℃迄の間１；被焼結アル電すに水蒸気を噴霧
する事を％黴とした黒色ア／Ｉ／Ｊす焼結体の製造法に
関する。
次に本発明の詳細な説明する。
主成分＊ｌ、ｏ、 ９２チ（重量％、以下同じ）にＳｉ
Ｏ鷹６チ、Ｍｇ０１チ、ＣａＯ１１ｇからなる調合＊
ＥＣｒｔＯｓ４−０ＴｉＯ黛１＊添加シ、可塑剤トＬ、
テＴＢＰ １ ％ 。
Ｏ鷹６チ、Ｍｇ０１チ、ＣａＯ１１ｇからなる調合＊
ＥＣｒｔＯｓ４−０ＴｉＯ黛１＊添加シ、可塑剤トＬ、
テＴＢＰ １ ％ 。
粘結剤としてＰＶＢ ５１１、溶剤どしてトリクロール
エチレン２ｏ嘔、ｎ−ブタノールｌＱ％、パーｐロルエ
チレン８チを加え混練した泥漿をドクターブレード法で
厚さ０．６〜０．８冨鳳に成形した後、６００謳Ｘ９０
０龍に切断した素体なＷＩ１図に曲線Ａで示すような昇
温カーブの焼成工程で還元雰囲気連続炉を用いて焼成し
た。還元雰囲気ガス、とじてＥ Ｈ！ １０１Ｇ ＊Ｎ
、９０％のフォーミングガスを１０ｍ■ｒ、炉内に併結
した。８１図の曲線で５時間かけて予熱ゾーンｆａｔで
脱脂も同時に行ない、１５００℃で１時間本焼成（ｂ）
を行たう。その後は徐冷工程であるが、この徐冷開始直
後Ｃ点から、温度１００℃迄の間に、脱イオン水を用い
て、この水蒸気をアル建すの被焼結体に噴霧させて黒色
アルミナ焼結体を形成した。
エチレン２ｏ嘔、ｎ−ブタノールｌＱ％、パーｐロルエ
チレン８チを加え混練した泥漿をドクターブレード法で
厚さ０．６〜０．８冨鳳に成形した後、６００謳Ｘ９０
０龍に切断した素体なＷＩ１図に曲線Ａで示すような昇
温カーブの焼成工程で還元雰囲気連続炉を用いて焼成し
た。還元雰囲気ガス、とじてＥ Ｈ！ １０１Ｇ ＊Ｎ
、９０％のフォーミングガスを１０ｍ■ｒ、炉内に併結
した。８１図の曲線で５時間かけて予熱ゾーンｆａｔで
脱脂も同時に行ない、１５００℃で１時間本焼成（ｂ）
を行たう。その後は徐冷工程であるが、この徐冷開始直
後Ｃ点から、温度１００℃迄の間に、脱イオン水を用い
て、この水蒸気をアル建すの被焼結体に噴霧させて黒色
アルミナ焼結体を形成した。
この焼結体の光透過率を第２図に示す。第２図において
、曲線、１〜３は本発明法によるアルξす焼結体の光の
透過率特性を示すものであシ、曲線４は徐冷時に水蒸気
を噴霧しカいアルミナ焼結体の光の透過率特性を示すも
のである。いづれも試料を２００μ＋２０ｉｎφに鏡面
研磨し１、測定器（（株）日立製作新製のレコーデング
、スペクトロメータ（ＥＰＳ −３Ｔ型））を用いて測
定した◇それぞれの呈色は、曲線１〜３は黒色であるの
ζ二対し、曲Ｗａ４に濃褐色である。
、曲線、１〜３は本発明法によるアルξす焼結体の光の
透過率特性を示すものであシ、曲線４は徐冷時に水蒸気
を噴霧しカいアルミナ焼結体の光の透過率特性を示すも
のである。いづれも試料を２００μ＋２０ｉｎφに鏡面
研磨し１、測定器（（株）日立製作新製のレコーデング
、スペクトロメータ（ＥＰＳ −３Ｔ型））を用いて測
定した◇それぞれの呈色は、曲線１〜３は黒色であるの
ζ二対し、曲Ｗａ４に濃褐色である。
このように、本発明によると呈色も濃褐色から黒色とな
り、光の透過率も号に少なくなる。また、ＣｒｔＯｓを
２〜４チ、 Ｔｉｅｓを３〜１ｓと変えて’＜−０ｓＳ
％く王０−ち１戸工＜ Ｌａどなもユψ範闇１ｚおいて
列り幕賃恕した場合についても、本発明法によれば、は
ば第２図の曲Ｍ１〜３と同等の光透過率であり、呈色も
黒色となる。この場合、黒色化と共に焼結体の見掛比重
が上り水蒸気を噴霧しない物３．５〜３．６（ｇ／ｃｍ
”）に対し、本発明品は３．７程度と表る０噴霧する水
蒸気の量区、飽和状ＩＩ（二近くする事が望ましい。
り、光の透過率も号に少なくなる。また、ＣｒｔＯｓを
２〜４チ、 Ｔｉｅｓを３〜１ｓと変えて’＜−０ｓＳ
％く王０−ち１戸工＜ Ｌａどなもユψ範闇１ｚおいて
列り幕賃恕した場合についても、本発明法によれば、は
ば第２図の曲Ｍ１〜３と同等の光透過率であり、呈色も
黒色となる。この場合、黒色化と共に焼結体の見掛比重
が上り水蒸気を噴霧しない物３．５〜３．６（ｇ／ｃｍ
”）に対し、本発明品は３．７程度と表る０噴霧する水
蒸気の量区、飽和状ＩＩ（二近くする事が望ましい。
Claims (1)
- アルミナ焼結体の焼成工程において、その徐冷開始の直
後から、温度１００℃の迄の間に被焼結アルきすに水蒸
気を噴霧する事を特徴とする黒色アルミナ焼結体の製造
ｌ法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56134205A JPS5836971A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 黒色アルミナ焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56134205A JPS5836971A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 黒色アルミナ焼結体の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5836971A true JPS5836971A (ja) | 1983-03-04 |
Family
ID=15122874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56134205A Pending JPS5836971A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 黒色アルミナ焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5836971A (ja) |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP56134205A patent/JPS5836971A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB944571A (en) | Improvements in or relating to glass-ceramics and their production and to devices comprising glass-ceramics | |
| JPS6051655A (ja) | セラミックス焼結体の製造方法 | |
| JPS6353151B2 (ja) | ||
| JPS5836971A (ja) | 黒色アルミナ焼結体の製造法 | |
| US2977263A (en) | Magnetic cores and methods of making the same | |
| JPS5836973A (ja) | 黒色アルミナ焼結体の製造法 | |
| JPH06115986A (ja) | 急硬性クリンカー組成物 | |
| JPH0640766A (ja) | 高強度低熱膨張セラミックス | |
| JPS6054977A (ja) | 焼結体の製造方法 | |
| JPS5895640A (ja) | セラミツク製品の製造方法 | |
| JPS62252374A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS59232984A (ja) | 遠赤外線輻射低熱膨脹セラミツクスの製造方法 | |
| JPS62246866A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS6047227B2 (ja) | 耐熱高強度焼結体の製造方法 | |
| JPS6335460A (ja) | セラミツクス成形体の製造方法 | |
| JPH07149539A (ja) | ガラス−セラミックス複合体およびその製造方法 | |
| JPH0450186A (ja) | 窒化アルミニウム基材への金属化層形成方法 | |
| JPS60255677A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS58182894A (ja) | セラミツク配線板の製造方法 | |
| SU1201245A1 (ru) | Стекло | |
| JPS62207767A (ja) | 高温高強度窒化ケイ素セラミツクスおよびその製造方法 | |
| SU482426A1 (ru) | Способ металлизации | |
| JPS6110072A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
| JPH0648774A (ja) | ガラスセラミックス及びその製造方法 | |
| JPH0672786A (ja) | 耐火物素材及びこれを用いた耐火物 |