JPS5836973A - 黒色アルミナ焼結体の製造法 - Google Patents
黒色アルミナ焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS5836973A JPS5836973A JP56134207A JP13420781A JPS5836973A JP S5836973 A JPS5836973 A JP S5836973A JP 56134207 A JP56134207 A JP 56134207A JP 13420781 A JP13420781 A JP 13420781A JP S5836973 A JPS5836973 A JP S5836973A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- alumina sintered
- black
- present
- black alumina
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は黒色アルミナ焼結体の製造法に関する。
公知の如く、電子部品、特襦二半導体集積回路用パッケ
ージ等に使用するアルミナ焼結体には一般的な電気的、
機械的、熱的特性を有しながらも、特に、光を透過させ
ない亀のである事が要求される場合も多い、。このよう
な要求を満足させるζ;は従来法としては、主に黒化剤
を添加する組成的内容が一般的であった。
ージ等に使用するアルミナ焼結体には一般的な電気的、
機械的、熱的特性を有しながらも、特に、光を透過させ
ない亀のである事が要求される場合も多い、。このよう
な要求を満足させるζ;は従来法としては、主に黒化剤
を添加する組成的内容が一般的であった。
これに対し1本発明は製造ブaセスで黒化な行なう全く
新規のものであり、従来の暗色系アルミナ焼結体より、
はるかに光の透過が少ない黒色アルミナ焼結体を提供す
る。
新規のものであり、従来の暗色系アルミナ焼結体より、
はるかに光の透過が少ない黒色アルミナ焼結体を提供す
る。
従来のアルミナ焼結体黒化法は、アルミナ主原料に0.
5〜10%のCr宜O1やTie、 等の着色剤を添
加しそれを焼成する事によって行なわれていた例が多い
。
5〜10%のCr宜O1やTie、 等の着色剤を添
加しそれを焼成する事によって行なわれていた例が多い
。
しかし、このような方法ではCr、0.やTie、の量
を厳密にコン)a−ルする必要があり、なおかつ、それ
でも光の透過をさえぎるに十分な黒色アルミナ焼結体を
得るのは難しかった。
を厳密にコン)a−ルする必要があり、なおかつ、それ
でも光の透過をさえぎるに十分な黒色アルミナ焼結体を
得るのは難しかった。
本発明は組成にあまり厳しくなく、かつ、十分な黒色ア
ルミナ焼結体の製造法を提供する。つまり、アルミナ焼
結体の焼成工程で高温焼成時に被焼結アルミナに水蒸気
を直接噴霧する事を特徴とした黒色アルミナ焼結体の製
造法に関する。
ルミナ焼結体の製造法を提供する。つまり、アルミナ焼
結体の焼成工程で高温焼成時に被焼結アルミナに水蒸気
を直接噴霧する事を特徴とした黒色アルミナ焼結体の製
造法に関する。
次に本発明の詳細な説明する。なお参考の為に、本発明
によるもの以外のものも併せて説明する。
によるもの以外のものも併せて説明する。
主成分AI、0. I 2%(重量%、以下同じ)に5
i0. 6%、Mg01%、Ca01%からなる調合物
1: Cr、014%、Tie、 1%添加し可塑剤と
して’I’BP1%、粘結剤としてPVBs%、溶剤と
してトリクa−ルエデレン20%%In−フタノールI
O%パークミルエチレン8%を加え混練した泥・漿をド
クターブレード法で厚さ0.6〜0.8■に成形した後
、600箇×900論に切断した嵩体な、第1図に曲線
人で示すような昇温カーブの焼成工程で還元雰囲気連続
炉を用いて焼成した。還元雰囲気ガスとしてはH,10
%、N、90%のフォーtyグガスな10Wl/Hr炉
内に併結した。本発明では5時間かけて予熱ゾーン(a
)で脱脂も同時に行ない、1500℃で1時間本焼成(
b)を行なう、その際の末期に脱イオン水を用いて、こ
の水蒸気をアルミナの被焼結体に噴霧させた。その後、
Cゾーンで徐冷を行なって黒色アルミナ焼結体を形成し
て成る。この焼結体の光透過率を第2図に示す。
i0. 6%、Mg01%、Ca01%からなる調合物
1: Cr、014%、Tie、 1%添加し可塑剤と
して’I’BP1%、粘結剤としてPVBs%、溶剤と
してトリクa−ルエデレン20%%In−フタノールI
O%パークミルエチレン8%を加え混練した泥・漿をド
クターブレード法で厚さ0.6〜0.8■に成形した後
、600箇×900論に切断した嵩体な、第1図に曲線
人で示すような昇温カーブの焼成工程で還元雰囲気連続
炉を用いて焼成した。還元雰囲気ガスとしてはH,10
%、N、90%のフォーtyグガスな10Wl/Hr炉
内に併結した。本発明では5時間かけて予熱ゾーン(a
)で脱脂も同時に行ない、1500℃で1時間本焼成(
b)を行なう、その際の末期に脱イオン水を用いて、こ
の水蒸気をアルミナの被焼結体に噴霧させた。その後、
Cゾーンで徐冷を行なって黒色アルミナ焼結体を形成し
て成る。この焼結体の光透過率を第2図に示す。
第2図において曲線1〜3は本発明法によるアルミナ焼
結体であり、4曲線は比較試料として形成した従来の方
法である徐冷時に水蒸気を噴霧しないアルミナ焼結体で
ある。いづれも試料を200μ2011@φに鏡面研磨
し、測定器((株)日立捩作所製のレコーデング・スペ
クトロメータ(llipH−3T型))を用いて測定し
た。それぞれの呈色は曲線る。
結体であり、4曲線は比較試料として形成した従来の方
法である徐冷時に水蒸気を噴霧しないアルミナ焼結体で
ある。いづれも試料を200μ2011@φに鏡面研磨
し、測定器((株)日立捩作所製のレコーデング・スペ
クトロメータ(llipH−3T型))を用いて測定し
た。それぞれの呈色は曲線る。
このように、本発明によると呈色も濃褐色から黒色とな
り、光の透過率も1/3に少なくなる。
り、光の透過率も1/3に少なくなる。
ぼ第2図の曲線1〜3と同等の光透過率であり、呈色も
黒色となる。この場合、黒色化と共に焼結体の誘電率(
I M’Hz )が小さくなり水蒸気を噴霧しない物9
〜10菟;対し、本発明品では7〜8程度となる。
黒色となる。この場合、黒色化と共に焼結体の誘電率(
I M’Hz )が小さくなり水蒸気を噴霧しない物9
〜10菟;対し、本発明品では7〜8程度となる。
噴霧する水蒸気の量は、飽和状態に近くする事が望まし
い。
い。
第1図は本発明黒色アルミナ焼結体の焼結温度を時間と
伴って変化させることを示す焼結温間の曲線図、第2図
は本発明製造法とこれを用いない製造法で形成したそれ
ぞれの黒色アルミナ焼結体の光透過率を測定した特性白
線図である。
伴って変化させることを示す焼結温間の曲線図、第2図
は本発明製造法とこれを用いない製造法で形成したそれ
ぞれの黒色アルミナ焼結体の光透過率を測定した特性白
線図である。
Claims (1)
- アルミナ焼結体の高温焼成時に被焼結アルミナに水蒸気
を噴霧する事を特徴とする黒色アルミナ焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56134207A JPS5836973A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 黒色アルミナ焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56134207A JPS5836973A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 黒色アルミナ焼結体の製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5836973A true JPS5836973A (ja) | 1983-03-04 |
Family
ID=15122918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56134207A Pending JPS5836973A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 黒色アルミナ焼結体の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5836973A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62189718U (ja) * | 1986-05-23 | 1987-12-02 | ||
JPH0477915U (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-07 | ||
US6290009B1 (en) | 1996-08-20 | 2001-09-18 | Yanmar Diesel Engine Co., Ltd. | Swivel working vehicle |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP56134207A patent/JPS5836973A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62189718U (ja) * | 1986-05-23 | 1987-12-02 | ||
JPH0477915U (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-07 | ||
US6290009B1 (en) | 1996-08-20 | 2001-09-18 | Yanmar Diesel Engine Co., Ltd. | Swivel working vehicle |
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