JPS5850944B2 - 窒化けい素系複合焼結体の製造法 - Google Patents
窒化けい素系複合焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS5850944B2 JPS5850944B2 JP50106506A JP10650675A JPS5850944B2 JP S5850944 B2 JPS5850944 B2 JP S5850944B2 JP 50106506 A JP50106506 A JP 50106506A JP 10650675 A JP10650675 A JP 10650675A JP S5850944 B2 JPS5850944 B2 JP S5850944B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- composite sintered
- silicon nitride
- manufacturing
- heat treatment
- Prior art date
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- Expired
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- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は窒化けい素を主成分とした複合焼結体の製造方
法に関する。
法に関する。
窒化けい素S i3N4は焼結性が劣るため窒化けい素
粉末を原料とし粉末冶金法によって焼結体を製造するに
当っては、例えば周期律表第11a族の酸化マグネシウ
ムMgO1或いは酸化イツトリウム¥203など周期律
表第Ma族の金属酸化物を添加配合して複合焼結体を得
ている。
粉末を原料とし粉末冶金法によって焼結体を製造するに
当っては、例えば周期律表第11a族の酸化マグネシウ
ムMgO1或いは酸化イツトリウム¥203など周期律
表第Ma族の金属酸化物を添加配合して複合焼結体を得
ている。
特に周期律表第111a族の金属酸化物を添加した場合
には機械的強度の向上も併せて図りうると云う利点があ
る。
には機械的強度の向上も併せて図りうると云う利点があ
る。
粉末冶金の手段からみれば容易に期待されることながら
、開所るホットプレス法によれば短時間で高緻密な複合
焼結体を製造しうる。
、開所るホットプレス法によれば短時間で高緻密な複合
焼結体を製造しうる。
しかしながら上記によって製造した窒化けい素糸複合焼
結体についてはすぐれた耐熱性をさらに生かすため高温
下でも常に高い機械的強度を維持することが望まれる。
結体についてはすぐれた耐熱性をさらに生かすため高温
下でも常に高い機械的強度を維持することが望まれる。
このため組成分の選択などについてもいろいろ試みられ
ているが尚充分満足しうるに至っていない。
ているが尚充分満足しうるに至っていない。
本発明者らはこのような点に対処して検討を進めた結果
、l[a族の金属酸化物を含む窒化けい素焼粘体にさら
に700℃〜1600℃で加熱し、100′C/分以下
の冷却速度で冷却する再加熱処理を施す事により強度を
高めうる事を見出した。
、l[a族の金属酸化物を含む窒化けい素焼粘体にさら
に700℃〜1600℃で加熱し、100′C/分以下
の冷却速度で冷却する再加熱処理を施す事により強度を
高めうる事を見出した。
本発明はこのような知見に基づき、耐熱性良好で、高温
下でもすぐれた機械的強度を維持するため広い分野で使
用しうる窒化けい素糸焼結体が得られる方法を提供しよ
うとするものである。
下でもすぐれた機械的強度を維持するため広い分野で使
用しうる窒化けい素糸焼結体が得られる方法を提供しよ
うとするものである。
以下本発明の詳細な説明すると、本発明は窒化けい素を
主成分とし、周期律表■a族の金属酸化物を含む窒化け
い素糸焼結体に少なくとも1回700°C〜1600℃
で加熱し、100°C/分以下の冷却速度で冷却する再
加熱処理を施す事を特徴とする窒化けい素を主成分とし
た複合焼結体の製造方法であり、次のように行なわれる
。
主成分とし、周期律表■a族の金属酸化物を含む窒化け
い素糸焼結体に少なくとも1回700°C〜1600℃
で加熱し、100°C/分以下の冷却速度で冷却する再
加熱処理を施す事を特徴とする窒化けい素を主成分とし
た複合焼結体の製造方法であり、次のように行なわれる
。
先ず窒化けい素を主成分とした複合焼結体、flLえば
Y20s −Ce 20aなど周期律表Ha族金属酸化
物の1種以上を10重量係以下含む5i3N4−Y2O
2系、S A3 N4−Y203−A1203系もしく
はS A3 N4 Ce 203系などの複合焼結体
を用意する。
Y20s −Ce 20aなど周期律表Ha族金属酸化
物の1種以上を10重量係以下含む5i3N4−Y2O
2系、S A3 N4−Y203−A1203系もしく
はS A3 N4 Ce 203系などの複合焼結体
を用意する。
しかる後この複合焼結体について700〜1600℃の
温度で加熱処理を少なくとも1回施す。
温度で加熱処理を少なくとも1回施す。
しかしてこの加熱処理に際して雰囲気は、処理温度10
00℃までは大気中でもよいが1000°Cを超えた場
合は非酸化性に選ぶのが好しい。
00℃までは大気中でもよいが1000°Cを超えた場
合は非酸化性に選ぶのが好しい。
また処理時間は処理温度複合焼結体の大きさ、形状処理
回数などにより適宜選択されるがいずれの場合も冷却を
急速に行なうことは好しくなく、冷却速度を100℃/
分以下とする必要がある。
回数などにより適宜選択されるがいずれの場合も冷却を
急速に行なうことは好しくなく、冷却速度を100℃/
分以下とする必要がある。
上記の如く、複合焼結体にさらに所定の再加熱処理を施
すことを特徴とする本発明方法によれば上記複合焼結体
が容易に強化される。
すことを特徴とする本発明方法によれば上記複合焼結体
が容易に強化される。
例えば800〜1200°Cにおいて示す曲げ強度につ
いてみると普通焼結法またはホットプレス法で得たまま
の複合焼結体に較べ本発明方法によって強化処理を施し
た場合は6〜20%も曲げ強度が向上している。
いてみると普通焼結法またはホットプレス法で得たまま
の複合焼結体に較べ本発明方法によって強化処理を施し
た場合は6〜20%も曲げ強度が向上している。
本発明方法によれば上記の如く複合焼結体の機械的強度
がさらに改善されるのは次のように考えられる。
がさらに改善されるのは次のように考えられる。
即ち窒化けい素−周期律表第Ha族金属酸化物系の複合
焼結体においては、添加成分としてのHa族金属酸化物
が焼結粒界にガラス質上に残留している。
焼結体においては、添加成分としてのHa族金属酸化物
が焼結粒界にガラス質上に残留している。
しかるに上記焼結体について加熱処理が施されたことに
より、上記残留ガラス状物の一部がガラス質より融点の
高い新化合結晶体に変化する。
より、上記残留ガラス状物の一部がガラス質より融点の
高い新化合結晶体に変化する。
このように相対的に焼結粒界に残留するガラス質が減少
することに伴ない機械的強度の向上、改善が果されると
考えられる。
することに伴ない機械的強度の向上、改善が果されると
考えられる。
次に本発明の実施例を記載する。
実施例 1
¥203を5重量饅およびAl2O3を2重量係合み、
ホットプレス法によって得た窒化けい素糸(s is
N4 Y203 p−il 203 )複合焼結体
片(3×3×36山)を先ず用意した。
ホットプレス法によって得た窒化けい素糸(s is
N4 Y203 p−il 203 )複合焼結体
片(3×3×36山)を先ず用意した。
この複合焼結体片について空気中、昇温速度10°C/
分で1ooo’cに昇温し、この温度で10分間保持し
た後冷却速度10℃/分で冷却する加熱処理を3回施し
た。
分で1ooo’cに昇温し、この温度で10分間保持し
た後冷却速度10℃/分で冷却する加熱処理を3回施し
た。
上記加熱処理した複合焼結体片(試料A)についてX線
回析により焼結体組織(組成→を観察する一方800°
c、1000’C,1200℃の温度下で曲げ強さをそ
れぞれ測定した結果を表二1に示す。
回析により焼結体組織(組成→を観察する一方800°
c、1000’C,1200℃の温度下で曲げ強さをそ
れぞれ測定した結果を表二1に示す。
尚比較のため加熱処理を施す前の複合焼結体片(試料a
)のX線回析による組織(組成)、800℃、1000
℃、1200℃下における曲げ強さを表−1に併せて示
した。
)のX線回析による組織(組成)、800℃、1000
℃、1200℃下における曲げ強さを表−1に併せて示
した。
また上記ホットプレス法で得た窒化けい素糸複合焼結体
片につき昇温速度10℃/分、一定温度での保持10分
間、冷却速度10’C/分による加熱処理を、処理回数
や処理温度を変えて施した場合におけるSi3N4・¥
203の生成状況、および1000’C下での曲げ強さ
をそれぞれ求めた結果を表−2に示す。
片につき昇温速度10℃/分、一定温度での保持10分
間、冷却速度10’C/分による加熱処理を、処理回数
や処理温度を変えて施した場合におけるSi3N4・¥
203の生成状況、および1000’C下での曲げ強さ
をそれぞれ求めた結果を表−2に示す。
尚処理温度1000’Cまでは雰囲気が大気中であり、
1200’C,1500’Cの場合N2雰囲気であった
。
1200’C,1500’Cの場合N2雰囲気であった
。
さらに上記ホットプレス法で得た窒化けい素糸複合焼結
体片に対し加熱処理温度を1000℃、10分間保持と
し、昇温速度および冷却速度と813 N4 、 Y2
03の生成状況、1000℃下での曲げ強さとの関係を
求めたところ表−3に示す如くであった。
体片に対し加熱処理温度を1000℃、10分間保持と
し、昇温速度および冷却速度と813 N4 、 Y2
03の生成状況、1000℃下での曲げ強さとの関係を
求めたところ表−3に示す如くであった。
しかして複合焼結体に対する加熱処理が700℃未満で
は所要効果即ち強度の向上が認められない。
は所要効果即ち強度の向上が認められない。
実施例 2
Y2O2を10重量咎およびAl2O3を2重量係合み
ホットプレス法によって得た窒化けい素糸(s ls
N4 Y203 p−i 203)複合焼結体片(
3X3X36mffl)を用意した。
ホットプレス法によって得た窒化けい素糸(s ls
N4 Y203 p−i 203)複合焼結体片(
3X3X36mffl)を用意した。
この複合焼結体片についてX線回析により5i3N4−
Y2O2相の有無を検討したところ存在量はtress
程度で、また1000’C下での曲げ強さは71 kg
/miiであつた。
Y2O2相の有無を検討したところ存在量はtress
程度で、また1000’C下での曲げ強さは71 kg
/miiであつた。
一方上記複合焼結体片につき昇温速度1 o’c、z+
1000°Cまで昇温し20分保持、冷却速度7℃/分
の条件で1回加熱処理を施した。
1000°Cまで昇温し20分保持、冷却速度7℃/分
の条件で1回加熱処理を施した。
上記加熱処理した複合焼結体片につきX線回析により5
i3N4・Y2O3相の有無を検討したところその存在
量は十〜++であり、また1000℃下での曲げ強さは
82kg/miであった。
i3N4・Y2O3相の有無を検討したところその存在
量は十〜++であり、また1000℃下での曲げ強さは
82kg/miであった。
またホットプレス法の代りに普通焼結したものも同一傾
向を見せた。
向を見せた。
熱処理(昇温速度5℃/分、1100℃で415分保持
、冷却速度5℃/分)をしたものは、熱処理前の100
0℃に於ける曲げ強度36kg/maに対し、約11咎
向上した4 0 kg/yra7tであった。
、冷却速度5℃/分)をしたものは、熱処理前の100
0℃に於ける曲げ強度36kg/maに対し、約11咎
向上した4 0 kg/yra7tであった。
実施例 3
Ce203を10重量饅含み、ホットプレスによって得
た窒化けい素糸(S 13N4Ce 203 )複合焼
結体片を用意し、この複合焼結体について、アルゴン雰
囲気中、昇温速度7℃/分、1100℃、10分間保持
、冷却速度5°C/分の条件で加熱処理を施した。
た窒化けい素糸(S 13N4Ce 203 )複合焼
結体片を用意し、この複合焼結体について、アルゴン雰
囲気中、昇温速度7℃/分、1100℃、10分間保持
、冷却速度5°C/分の条件で加熱処理を施した。
上記加熱処理した複合焼結体につきX線回析により5i
3N、・Ce2O3相の有無を検討したところ813
N4・Ce2O3生成、存在が確認された。
3N、・Ce2O3相の有無を検討したところ813
N4・Ce2O3生成、存在が確認された。
しかして1000℃下における曲げ強さは77kg/w
?tで加熱処理前の70kg/m7?Lに対し10%向
上していた。
?tで加熱処理前の70kg/m7?Lに対し10%向
上していた。
また上記においてCe2O3の代りにDy2O3■O重
量φを含む、ホットプレス焼結体を同上条件で加熱処理
を行なった。
量φを含む、ホットプレス焼結体を同上条件で加熱処理
を行なった。
加熱処理した複合焼結体はX線回析により結晶相5i−
DY−0−N化合物が認められた。
DY−0−N化合物が認められた。
曲げ強度の向上は加熱処理前の1000’Cにおける7
0 kg/vuAに対し、79kim4であった。
0 kg/vuAに対し、79kim4であった。
さらに上記Ce 20sの代りにSm2O3を10重量
最多含むアルゴン中でのホットプレス複合焼結体も、加
熱処理の効果は同じく新結晶相(Si−8m−ON化合
物)が認められ、1000℃の曲げ強度73 kg/1
1L7?tで加熱処理前66kg/vu?tに対し、約
9咎の向上があった。
最多含むアルゴン中でのホットプレス複合焼結体も、加
熱処理の効果は同じく新結晶相(Si−8m−ON化合
物)が認められ、1000℃の曲げ強度73 kg/1
1L7?tで加熱処理前66kg/vu?tに対し、約
9咎の向上があった。
Claims (1)
- 1 窒化けい素を主成分とし、周期律表111a族の金
属酸化物を含む焼結体に、少なくとも1回、700°G
〜1600℃で加熱し、100’C/分以下の冷却速度
で冷却する再加熱処理を施すことを特徴とする窒化けい
素糸複合焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50106506A JPS5850944B2 (ja) | 1975-09-04 | 1975-09-04 | 窒化けい素系複合焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50106506A JPS5850944B2 (ja) | 1975-09-04 | 1975-09-04 | 窒化けい素系複合焼結体の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5230811A JPS5230811A (en) | 1977-03-08 |
JPS5850944B2 true JPS5850944B2 (ja) | 1983-11-14 |
Family
ID=14435301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50106506A Expired JPS5850944B2 (ja) | 1975-09-04 | 1975-09-04 | 窒化けい素系複合焼結体の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5850944B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5418816A (en) * | 1977-07-14 | 1979-02-13 | Tokyo Shibaura Electric Co | Sintered members having good corrosionn resistance to gallium phosphide and gallium arsenide |
US4280850A (en) * | 1978-06-15 | 1981-07-28 | Gte Laboratories, Incorporated | S13N4 Having high temperature strength and method |
DE2966700D1 (en) * | 1978-06-15 | 1984-03-29 | Gte Laboratories Inc | High strength silicon nitride |
JPS5855375A (ja) * | 1981-09-28 | 1983-04-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素複合焼結体 |
JPS6191067A (ja) * | 1984-10-10 | 1986-05-09 | 株式会社東芝 | 摺動部材 |
JPS6296368A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-02 | 日本特殊陶業株式会社 | 高耐食性窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
JPS63303867A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-12-12 | Ngk Insulators Ltd | 窒化珪素セラミックス部品の製造法 |
JPH0776131B2 (ja) * | 1987-09-29 | 1995-08-16 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結部材 |
JP2512061B2 (ja) * | 1987-11-26 | 1996-07-03 | 日本碍子株式会社 | 均質窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
US5188781A (en) * | 1988-09-10 | 1993-02-23 | Hoechst Aktiengesellschaft | Silicon nitride ceramic and a process for its preparation |
-
1975
- 1975-09-04 JP JP50106506A patent/JPS5850944B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5230811A (en) | 1977-03-08 |
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