JPS58225664A - C−mos集積回路 - Google Patents
C−mos集積回路Info
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- JPS58225664A JPS58225664A JP10787282A JP10787282A JPS58225664A JP S58225664 A JPS58225664 A JP S58225664A JP 10787282 A JP10787282 A JP 10787282A JP 10787282 A JP10787282 A JP 10787282A JP S58225664 A JPS58225664 A JP S58225664A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 claims 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
- H01L27/085—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
- H01L27/088—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
- H01L27/092—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate complementary MIS field-effect transistors
- H01L27/0921—Means for preventing a bipolar, e.g. thyristor, action between the different transistor regions, e.g. Latchup prevention
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- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、0−MO8集積回路(以下集積回路を単にI
Cと略す)に於けるラッチアップの防止及びサージ破壊
の防止を目的としたものである。
Cと略す)に於けるラッチアップの防止及びサージ破壊
の防止を目的としたものである。
現在0−M0810の入力端子、即ち外部回路と直結さ
れる電極パッドには、静電気を原因とするサージや電源
ラインからの誘導に依るサージから内部回路の破壊を防
ぐために、電極パッドと内部回路との間に抵抗体を接続
してサージの浸入を阻止すると同時に抵抗体と半導体基
板とで作られるダイオードに依ってサージパルスを吸収
する方法が採用されている。
れる電極パッドには、静電気を原因とするサージや電源
ラインからの誘導に依るサージから内部回路の破壊を防
ぐために、電極パッドと内部回路との間に抵抗体を接続
してサージの浸入を阻止すると同時に抵抗体と半導体基
板とで作られるダイオードに依ってサージパルスを吸収
する方法が採用されている。
例えばP型の抵抗体をN型の基板に形成した場合はこの
PN接合に依って電極パッドに侵入した電源電圧以上の
サージは全て吸収されてしまうように構成されている。
PN接合に依って電極パッドに侵入した電源電圧以上の
サージは全て吸収されてしまうように構成されている。
特に0−MO8構造の場合はサージに対して破壊し易い
ゲートを保護する為に第1図に示すよう彦対策が為され
ている。即ち入力パッド(1)とC−MO3トランジス
タ(2+(3)のゲート(4)との間に直列に2個の抵
抗体(51(6)を接続すると共にこれ等各抵抗体+5
)(61から夫々電源の両端(Ydd )、(VsS)
に対してダイオ−自71(81を接続している。このよ
うな保穫手段を施す事に依って一部の0−M08IOで
はサージパルスに対する破壊レベルがバイポーラICの
それと同等、或いはそれ以上となっているものもある。
ゲートを保護する為に第1図に示すよう彦対策が為され
ている。即ち入力パッド(1)とC−MO3トランジス
タ(2+(3)のゲート(4)との間に直列に2個の抵
抗体(51(6)を接続すると共にこれ等各抵抗体+5
)(61から夫々電源の両端(Ydd )、(VsS)
に対してダイオ−自71(81を接続している。このよ
うな保穫手段を施す事に依って一部の0−M08IOで
はサージパルスに対する破壊レベルがバイポーラICの
それと同等、或いはそれ以上となっているものもある。
然し乍ら斯る構成を採用してもまだまだサージに対する
工0の破壊強度が問題で、■0内部を保護する為に設け
た前述のP型抵抗体のN型基板とのPN接合が電圧値の
低いサージパルスで破壊される場合がしばしば発生した
。
工0の破壊強度が問題で、■0内部を保護する為に設け
た前述のP型抵抗体のN型基板とのPN接合が電圧値の
低いサージパルスで破壊される場合がしばしば発生した
。
また0−M08IOはその構造上、第2図(ム)に示す
ようなPNPN接合を有しており、その為にサイリスタ
動作をするラッチアップ現象を起す場合がある。このラ
ッチアップ現象は、電源内′端子間(Vdd−Vas、
)に過電流が流れて素子が破壊すると云うものである。
ようなPNPN接合を有しており、その為にサイリスタ
動作をするラッチアップ現象を起す場合がある。このラ
ッチアップ現象は、電源内′端子間(Vdd−Vas、
)に過電流が流れて素子が破壊すると云うものである。
即ちN型の基板叫をベースとし、P型M0Bトランジス
タQ1)のP型のドレイン印をエミッタとし、P型つェ
/I/Q3)をコレクタとするN型のりチラルトランジ
スタ圓が形成され、またN型基板00)をエミッタとし
、P型つェ/I/(131をベースとし、該P型つェ/
v(13)内に形成さしIF−NfJMOBトランジス
タ05)のソーXQ61ヲ:’+1/クタとするP型の
バーチカルトランジスタ0ηとが形成され、これ等のト
ランジスタ(141Q71が第2図(B)の等価回路に
示す如く接続された状態となる。
タQ1)のP型のドレイン印をエミッタとし、P型つェ
/I/Q3)をコレクタとするN型のりチラルトランジ
スタ圓が形成され、またN型基板00)をエミッタとし
、P型つェ/I/(131をベースとし、該P型つェ/
v(13)内に形成さしIF−NfJMOBトランジス
タ05)のソーXQ61ヲ:’+1/クタとするP型の
バーチカルトランジスタ0ηとが形成され、これ等のト
ランジスタ(141Q71が第2図(B)の等価回路に
示す如く接続された状態となる。
尚(181ハ(V d d )とラテラルトランジスタ
圓のベースとの間に位置するベース抵抗で、N型基板0
0)の存在に依って構成されておシ、またa9)はパー
チカ/l/ l−ランジスタ07)のベースと(Vss
)との間に存在するベース抵抗で、P型つェ)V (1
3)に依って形成されている。
圓のベースとの間に位置するベース抵抗で、N型基板0
0)の存在に依って構成されておシ、またa9)はパー
チカ/l/ l−ランジスタ07)のベースと(Vss
)との間に存在するベース抵抗で、P型つェ)V (1
3)に依って形成されている。
この第2図(B)で示す回路に於て両トランジスタ(1
4)(1ηのhreの積が1以上であると、何れかのト
ランジスタに電流が流れる事に依り、各々のコレクタ電
流がベース電流を供給し合う事になシ、回路内に存在す
る抵抗分に依って制限が起るまで、又は破壊するまで電
流を流し続ける事になる。
4)(1ηのhreの積が1以上であると、何れかのト
ランジスタに電流が流れる事に依り、各々のコレクタ電
流がベース電流を供給し合う事になシ、回路内に存在す
る抵抗分に依って制限が起るまで、又は破壊するまで電
流を流し続ける事になる。
これはPNPN構造のサイリスタ動作と考える事が出来
る。この内部回路の等価サイリスクを導通させる要因は
、種々考えられるが、何れの場合も基板QO)、或いは
P型つェ1v(131内に電流が流れ、第2図に示す各
直列抵抗(181Qalに依る電圧降下がトラ
“1ンジスタ04)(17+のVbeに等しくなる
点を限界としてこの限界を起えた場合にラッチアップが
生じる。
る。この内部回路の等価サイリスクを導通させる要因は
、種々考えられるが、何れの場合も基板QO)、或いは
P型つェ1v(131内に電流が流れ、第2図に示す各
直列抵抗(181Qalに依る電圧降下がトラ
“1ンジスタ04)(17+のVbeに等しくなる
点を限界としてこの限界を起えた場合にラッチアップが
生じる。
本発明はこのようなラッチアップ現象並びにサージ破壊
を防止せんとしたもので、第6図にその詳細が示されて
いる。α0)はN型の基板、01)はP型MO8)ラン
ジスタ、03:;はP型ウェル、(15)はN型M08
トランジスタで、第2図のものと同じである。本発明の
特徴とするところは、P型つェルαJの周囲をP型の領
域(4))でとシ囲むと同時に、このP型頭域にとP型
つェ/I/(131との間隔に絶縁膜を介してゲート電
極に)を設け、これ等のP型頭域■とP型ウェル03)
とゲート電極(21)とで並列MO8)ランジスタ(支
)を形成して該並列M08トランジスタ(支)をP型ウ
ェル0(ト)内のN型MO8)ランジスタ叩と並列に接
続せしめたところにある。斯る構成の等価回路を第4図
に示す。尚、この第4図に於て(23)ハP型M08
)ヲンジスタ(111のPfiソーストN型の基板叫と
の間で構成される寄生ダイオードである。
を防止せんとしたもので、第6図にその詳細が示されて
いる。α0)はN型の基板、01)はP型MO8)ラン
ジスタ、03:;はP型ウェル、(15)はN型M08
トランジスタで、第2図のものと同じである。本発明の
特徴とするところは、P型つェルαJの周囲をP型の領
域(4))でとシ囲むと同時に、このP型頭域にとP型
つェ/I/(131との間隔に絶縁膜を介してゲート電
極に)を設け、これ等のP型頭域■とP型ウェル03)
とゲート電極(21)とで並列MO8)ランジスタ(支
)を形成して該並列M08トランジスタ(支)をP型ウ
ェル0(ト)内のN型MO8)ランジスタ叩と並列に接
続せしめたところにある。斯る構成の等価回路を第4図
に示す。尚、この第4図に於て(23)ハP型M08
)ヲンジスタ(111のPfiソーストN型の基板叫と
の間で構成される寄生ダイオードである。
斯る構成の結果並列MO8)ランジスタ(支)と寄生ダ
イオード(ハ)とに依って出力端子(OUT)から侵入
するサージをバイパスしてサージ破壊を防止すると同時
に、P型頭域■でP型つェル(13)を囲繞する事に依
って、第2図(B)の等価回路に示したラテラルトラン
ジスタ圓のコレクタとバーチカルトランジスタ07)の
ベースとの間の抵抗値が増加し、基板00)或いはP型
つェ)vQ31内を流れる電流を制限する。従って両ベ
ース抵抗(II (19jに依る電圧降下が小さくな如
、ラッチアップを起しにくくする。そしてP型頭域(イ
))の抵抗値を大きくすればベース抵抗(1B)Q9!
に依る電圧降下がトランジスタ圓(1ηのVbeを起え
る可能性は非常に小さくなる。
イオード(ハ)とに依って出力端子(OUT)から侵入
するサージをバイパスしてサージ破壊を防止すると同時
に、P型頭域■でP型つェル(13)を囲繞する事に依
って、第2図(B)の等価回路に示したラテラルトラン
ジスタ圓のコレクタとバーチカルトランジスタ07)の
ベースとの間の抵抗値が増加し、基板00)或いはP型
つェ)vQ31内を流れる電流を制限する。従って両ベ
ース抵抗(II (19jに依る電圧降下が小さくな如
、ラッチアップを起しにくくする。そしてP型頭域(イ
))の抵抗値を大きくすればベース抵抗(1B)Q9!
に依る電圧降下がトランジスタ圓(1ηのVbeを起え
る可能性は非常に小さくなる。
本発明は以上の説明から明らかな如く、P型つェルをP
型の領域で囲繞すると同時にこのP型頭域とP型ウェル
とゲート電極とで構成されるP型M08トランジスタを
P型つェル内のNmM08トランジスタに並列に接続し
ているので、0−M08IOの欠点であったラッチアッ
プを防止する事が出来、また出力端子の耐サージ性能も
飛躍点に向上せしめる事が出来る。
型の領域で囲繞すると同時にこのP型頭域とP型ウェル
とゲート電極とで構成されるP型M08トランジスタを
P型つェル内のNmM08トランジスタに並列に接続し
ているので、0−M08IOの欠点であったラッチアッ
プを防止する事が出来、また出力端子の耐サージ性能も
飛躍点に向上せしめる事が出来る。
第1図は従来のサージ対策を施した回路図、第2図(A
)(B)はその具体的な内部構成を示す断面回路図、並
びにその等価回路図、第6図は本発明ICの構成を示す
断面回路図、第4図はその等価回路図であって、α■は
基板、(11)UP型MO8トランジスタ、(131伏
F型ウエル、(lΦはラテラルトランジスタ、Q5)ハ
N型M08トランジスタ、Q7)ハバーチカルトランジ
スタ、Q8i叩はベース抵L CiDはP型領域、(2
2)は並列MO8)ランジスタ、ヲ夫々示している。 凶巧 第2図 手 続 補 正 書(自発) 昭和58年1月す日 昭和57年特許願第107872号 2、発明の名称 C−MO町集積回路 6、補正をする者 特許出願人 住所 守口市京阪本通2丁目18番地 名称(188)三洋電機株式会社 代表者 井 植 薫 4、代理人 住所 守口型京阪本通2了目18番地 連絡先:電話(東京) 835−111L特許センター
駐在鎌田翫 補正の対象 (1)明細書の、発明の詳細な説明、の欄(2)図 面 6、補正の内容 (1−1> 明細書第3頁第14行目から同頁第19
行目まで下記の通り補正します。 記 [のソースf13をエミッタとし、P型のウェル03を
コレクタとするPIP型のラテラルトランジスタ(lΦ
が形成され、またN型基板ilGをコレクタとし、P型
のウェル(131をベースとし、該P型ウェル0:1内
に形成されたN型MOβトランジスター51のソース・
(11をエミッタとするNPN型のバーチカルトランジ
スタ0ηとが」 (1−2) 明細書第4頁最終行にある、「・・・を
起えた・・・」とあるのを、[・・・を越えた・・・」
と補正します。 (2)図面中、第2図を別紙の通り補正します。 以上
)(B)はその具体的な内部構成を示す断面回路図、並
びにその等価回路図、第6図は本発明ICの構成を示す
断面回路図、第4図はその等価回路図であって、α■は
基板、(11)UP型MO8トランジスタ、(131伏
F型ウエル、(lΦはラテラルトランジスタ、Q5)ハ
N型M08トランジスタ、Q7)ハバーチカルトランジ
スタ、Q8i叩はベース抵L CiDはP型領域、(2
2)は並列MO8)ランジスタ、ヲ夫々示している。 凶巧 第2図 手 続 補 正 書(自発) 昭和58年1月す日 昭和57年特許願第107872号 2、発明の名称 C−MO町集積回路 6、補正をする者 特許出願人 住所 守口市京阪本通2丁目18番地 名称(188)三洋電機株式会社 代表者 井 植 薫 4、代理人 住所 守口型京阪本通2了目18番地 連絡先:電話(東京) 835−111L特許センター
駐在鎌田翫 補正の対象 (1)明細書の、発明の詳細な説明、の欄(2)図 面 6、補正の内容 (1−1> 明細書第3頁第14行目から同頁第19
行目まで下記の通り補正します。 記 [のソースf13をエミッタとし、P型のウェル03を
コレクタとするPIP型のラテラルトランジスタ(lΦ
が形成され、またN型基板ilGをコレクタとし、P型
のウェル(131をベースとし、該P型ウェル0:1内
に形成されたN型MOβトランジスター51のソース・
(11をエミッタとするNPN型のバーチカルトランジ
スタ0ηとが」 (1−2) 明細書第4頁最終行にある、「・・・を
起えた・・・」とあるのを、[・・・を越えた・・・」
と補正します。 (2)図面中、第2図を別紙の通り補正します。 以上
Claims (1)
- 1)N型半導体基板にP型M08トランジスタを形成す
ると共に該N型基板にP型ウェルを設け、該P型つェル
内にNmMOSトランジスタを形成して成る0−MO8
集積回路に於て、上記P型つ工IV近(骨に該ウェルを
囲繞する如くP型領域を設けると共に該P型領域とP型
ウェルとの間隔に絶縁膜を介してゲート電極を設け、こ
れ等のP型領域とP型ウェルとゲート電極とで形成され
るP型MO8)ランジスタをP型つェル内に形成される
N型M08トランジスタと並列に接続した事を特徴とす
る0−MO8集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10787282A JPS58225664A (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | C−mos集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10787282A JPS58225664A (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | C−mos集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58225664A true JPS58225664A (ja) | 1983-12-27 |
Family
ID=14470220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10787282A Pending JPS58225664A (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | C−mos集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58225664A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4791316A (en) * | 1986-09-26 | 1988-12-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Latch-up protection circuit for integrated circuits using complementary MOS circuit technology |
US4791317A (en) * | 1986-09-26 | 1988-12-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Latch-up protection circuit for integrated circuits using complementary mos circuit technology |
JPH03501669A (ja) * | 1987-12-23 | 1991-04-11 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | ラツチアツプ保護回路を有する集積回路 |
JPH03501792A (ja) * | 1987-12-23 | 1991-04-18 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 相補性mos回路技術による“ラツチアツプ”保護回路を有する集積回路 |
JP2007151064A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Renei Kagi Kofun Yugenkoshi | 静電気放電(esd)保護回路を具えた差動入力/出力装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5098791A (ja) * | 1973-12-27 | 1975-08-06 | ||
JPS5146933U (ja) * | 1974-10-03 | 1976-04-07 | ||
JPS5238890A (en) * | 1975-09-23 | 1977-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
-
1982
- 1982-06-22 JP JP10787282A patent/JPS58225664A/ja active Pending
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JPH03501669A (ja) * | 1987-12-23 | 1991-04-11 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | ラツチアツプ保護回路を有する集積回路 |
JPH03501792A (ja) * | 1987-12-23 | 1991-04-18 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 相補性mos回路技術による“ラツチアツプ”保護回路を有する集積回路 |
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JP2007151064A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Renei Kagi Kofun Yugenkoshi | 静電気放電(esd)保護回路を具えた差動入力/出力装置 |
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