JPS58222611A - 輪郭水晶振動子 - Google Patents
輪郭水晶振動子Info
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- JPS58222611A JPS58222611A JP10583582A JP10583582A JPS58222611A JP S58222611 A JPS58222611 A JP S58222611A JP 10583582 A JP10583582 A JP 10583582A JP 10583582 A JP10583582 A JP 10583582A JP S58222611 A JPS58222611 A JP S58222611A
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- crystal
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 9
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 9
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 9
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、フォトエツチング加工に適した輪郭水晶振動
子に関する。
子に関する。
この輪郭水晶振動子としては、Ｘ板の長辺又は短辺振動
子、ＭＴ板、ＣＴ板、ＤＴ板、ＳＬ板、）ＩＴ板、ＧＴ
板及びＺ板の長辺又は短辺振動子などが既に知られてい
るが、エツチング速度が比較的早いＺ軸成分を多く含む
水晶を利用する。
子、ＭＴ板、ＣＴ板、ＤＴ板、ＳＬ板、）ＩＴ板、ＧＴ
板及びＺ板の長辺又は短辺振動子などが既に知られてい
るが、エツチング速度が比較的早いＺ軸成分を多く含む
水晶を利用する。
従来のフォトエツチング加工による長辺振動子としては
、第１図（ａ）に示ずように長辺振動するＭ；分の水晶
板１とその短辺方向で三等分する線上に両側面から引出
部２，３を介して固定部４．５を水晶板１と共に一体的
に形成していた。励振電極６．７は水晶板１の両生面上
に配置し、引出電極８．９として引出部２．３と固定部
４．５にも配置する。なお、励振電極７と引出電極９は
裏側に配置されて見えない。この水晶板１と引出部２゜
３と固定部４．５は第１図（ｂ）に示すようにＹ軸のま
わりに所定の角度Ｏ反回転した後のＸ′軸に垂直な水晶
素板ｌＯからフォトエツチング加工される。この水晶素
板ｌＯは、励振に必要なＸ軸方向の結晶成分と、エツチ
ング速度が比較的早いＺ軸方向の結晶成分を利用してい
るわけであるが、第１図（ａ）に示した水晶板１の短辺
の長さ９．が１ｍｍｍ度必要であって、それ以下に小形
化することが困難であり、更にエツチング速度がｃｏｓ
０分だけ低下していることから、作業能率が悪くなる
欠点があった。
、第１図（ａ）に示ずように長辺振動するＭ；分の水晶
板１とその短辺方向で三等分する線上に両側面から引出
部２，３を介して固定部４．５を水晶板１と共に一体的
に形成していた。励振電極６．７は水晶板１の両生面上
に配置し、引出電極８．９として引出部２．３と固定部
４．５にも配置する。なお、励振電極７と引出電極９は
裏側に配置されて見えない。この水晶板１と引出部２゜
３と固定部４．５は第１図（ｂ）に示すようにＹ軸のま
わりに所定の角度Ｏ反回転した後のＸ′軸に垂直な水晶
素板ｌＯからフォトエツチング加工される。この水晶素
板ｌＯは、励振に必要なＸ軸方向の結晶成分と、エツチ
ング速度が比較的早いＺ軸方向の結晶成分を利用してい
るわけであるが、第１図（ａ）に示した水晶板１の短辺
の長さ９．が１ｍｍｍ度必要であって、それ以下に小形
化することが困難であり、更にエツチング速度がｃｏｓ
０分だけ低下していることから、作業能率が悪くなる
欠点があった。
本発明の目的は、以上の欠点を除去して長辺振動等輪郭
振動する部分の水晶板を小形化すると共に、エツチング
速度を早くして作業能率を向上させた輪郭水晶振動子を
提供することである。以下、本発明を実施例図面を参照
して詳細に説明する。
振動する部分の水晶板を小形化すると共に、エツチング
速度を早くして作業能率を向上させた輪郭水晶振動子を
提供することである。以下、本発明を実施例図面を参照
して詳細に説明する。
第２図＜ａ）は本発明に使用した水晶素板１１の結晶軸
を°示ず。この水晶素板１１は両生面がＺ軸に垂直であ
り、この水晶素板１１から長辺方向をＹ軸、短辺方向を
Ｘ軸にしだ長辺輪郭水晶板１２をフォトエツチング加工
により加工する。この水晶板１２は、第２図（ｂ）に示
すように、引出部１３．１４及び固定部１５．１６と共
に一体的に成形する。引出部１３．１４は水晶板１２か
ら短辺方向で三等分する線上に両側面から引き出した部
分であり、固定部１５．１６はこの引出部１３゜１４の
延長上に位置して、支持固定される部分である。長辺撮
動すべき励振電極１７．１８は水晶板１２の両側面（Ｘ
軸に垂直な平面）に〜置し、引出電極１９．２０として
引出部１３．１４と固定部１５．１６にも配置する。な
お、励振電極１，７は図面上裏側で見えない。
を°示ず。この水晶素板１１は両生面がＺ軸に垂直であ
り、この水晶素板１１から長辺方向をＹ軸、短辺方向を
Ｘ軸にしだ長辺輪郭水晶板１２をフォトエツチング加工
により加工する。この水晶板１２は、第２図（ｂ）に示
すように、引出部１３．１４及び固定部１５．１６と共
に一体的に成形する。引出部１３．１４は水晶板１２か
ら短辺方向で三等分する線上に両側面から引き出した部
分であり、固定部１５．１６はこの引出部１３゜１４の
延長上に位置して、支持固定される部分である。長辺撮
動すべき励振電極１７．１８は水晶板１２の両側面（Ｘ
軸に垂直な平面）に〜置し、引出電極１９．２０として
引出部１３．１４と固定部１５．１６にも配置する。な
お、励振電極１，７は図面上裏側で見えない。
このような構成により、本例の輪郭水晶振動子は、その
水晶板１２の短辺方向の長さ９２を９．−〇 、 １
ｍｍまで小さくするこ七ができ、従来品と比較して１０
分の１まで小型化することができる。
水晶板１２の短辺方向の長さ９２を９．−〇 、 １
ｍｍまで小さくするこ七ができ、従来品と比較して１０
分の１まで小型化することができる。
また、直列共振抵抗値も励振電界を直接Ｘ軸にかけるこ
とから、低く押さえることができるし、更に、エツチン
グ面をＺ軸方向にしていることからエツチング速度を早
くし、作業能率を向上させることができる。
とから、低く押さえることができるし、更に、エツチン
グ面をＺ軸方向にしていることからエツチング速度を早
くし、作業能率を向上させることができる。
第３図は本発明の他の実施例を示す斜視図であり、第２
図（ｂ）に示した構成部分と同一のものは同一符号を使
用する。本例では、引出部１３，１４から三等分した水
晶板１２の一方の長辺に沿って延在した脚部２１．２２
とこの２つの脚部２１と２２を連結する基部２３とをそ
れぞれ一体的に形成しており、励振電極１７．１８から
の引出電極２４．２５は、引出部１３．１４、脚部２１
゜２２において全面包囲する様に配置し、基部２３にそ
れぞれ対向しないように配置している。この引出電極２
４．２５の端部はそれぞれ端子２６゜２７に半田付は又
は導電性接着剤により電気的兼機械的に接続される。本
例によれば、引出部１３゜１４を通して伝達する撮動エ
ネルギーを２本の脚部２１．２２と基部２３とで構成さ
れる音叉型の共振系で漸次減衰し、振動子本体である水
晶板１２に対して基部２３を固定端としても機械的影響
を与えないことから、直列共振抵抗値を一層低くすると
共に、安定にすることができる。なお、引出電極２４．
２５は引出部１３．１４と脚部２１゜２２において全面
包囲するように配置していることから、これらの部分で
励振することを抑制している。
図（ｂ）に示した構成部分と同一のものは同一符号を使
用する。本例では、引出部１３，１４から三等分した水
晶板１２の一方の長辺に沿って延在した脚部２１．２２
とこの２つの脚部２１と２２を連結する基部２３とをそ
れぞれ一体的に形成しており、励振電極１７．１８から
の引出電極２４．２５は、引出部１３．１４、脚部２１
゜２２において全面包囲する様に配置し、基部２３にそ
れぞれ対向しないように配置している。この引出電極２
４．２５の端部はそれぞれ端子２６゜２７に半田付は又
は導電性接着剤により電気的兼機械的に接続される。本
例によれば、引出部１３゜１４を通して伝達する撮動エ
ネルギーを２本の脚部２１．２２と基部２３とで構成さ
れる音叉型の共振系で漸次減衰し、振動子本体である水
晶板１２に対して基部２３を固定端としても機械的影響
を与えないことから、直列共振抵抗値を一層低くすると
共に、安定にすることができる。なお、引出電極２４．
２５は引出部１３．１４と脚部２１゜２２において全面
包囲するように配置していることから、これらの部分で
励振することを抑制している。
第４図にもう一つの実施例を示し、本例では基部２３に
その両側面から溝部２８．２９を形成して、基部２３の
長さＱ３を一層小さくしている。
その両側面から溝部２８．２９を形成して、基部２３の
長さＱ３を一層小さくしている。
これは、水晶板１２の振動エネルギーが溝部２８゜２９
により減衰するため、従来のように基部を大きくして徐
々に減衰させるのと違い、溝部２８゜２９が急激に振動
エネルギーを減衰させているからである。
により減衰するため、従来のように基部を大きくして徐
々に減衰させるのと違い、溝部２８゜２９が急激に振動
エネルギーを減衰させているからである。
以上２つの実施例において、長辺据動子古なる水晶板１
２の発振周波数（ｆ＝Ｋ・１／Ｌ）と音叉型共振系の共
振周波数（次数は０次とし、前記発振周波数に応じてｎ
＝１，２．３・・・の次数を定める）七を等しくなる様
に脚部２１．２２の長さ９と幅Ｗとを選定することが好
ましい。
２の発振周波数（ｆ＝Ｋ・１／Ｌ）と音叉型共振系の共
振周波数（次数は０次とし、前記発振周波数に応じてｎ
＝１，２．３・・・の次数を定める）七を等しくなる様
に脚部２１．２２の長さ９と幅Ｗとを選定することが好
ましい。
以上の実施例では、長辺振動子を挙げたが、本発明は短
辺振動子についても同様に実施することができる。なお
、本発明における水晶の結晶軸＜ｘ、ｙ、ｚ＞の許容差
については、実用上±１０度以内であることが好ましい
。
辺振動子についても同様に実施することができる。なお
、本発明における水晶の結晶軸＜ｘ、ｙ、ｚ＞の許容差
については、実用上±１０度以内であることが好ましい
。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は従来の長辺水晶振動子を示す斜視図、第
１図（ｂ）は従来の振動子に使用する水晶板の結晶座標
軸を示す説明図、第２図（ａ）は本発明に使用する水晶
板の結晶座標軸を示す説明図、第２図（ｂ）は本発明に
よる水晶振動子の構造を示す斜視図である。 １１・・・・・・・・・水晶素板、１２・・・・・・・
・・水晶板、１３゜１４・・・・・・・・・引出部、１
７．１８・・・・・・・・・励振電極特許出願人 キ
ンセキ株式会社 手続補正書（自発） ■、事件の表示 昭和５７年特許願第１０５８３５号２
、発明の名称 輪郭水晶振動子 ３、補正°をする者 事件との関係 特許出願人 郵便番号２０１ 電話番号（０３）４８９−２３１１
４、補正命令の日付 自 発 ５、補正の対象 （１） 明細書の発明の詳細な説明の欄（２）明細書
全文 ６、補正の内容 （１） 明細書第５貞第９行目１溝２８，２９を形成し
てＪを１溝部２８．２９を形成して艶鋪止する。 （２） 明細書全文（浄書） 別紙の通り
１図（ｂ）は従来の振動子に使用する水晶板の結晶座標
軸を示す説明図、第２図（ａ）は本発明に使用する水晶
板の結晶座標軸を示す説明図、第２図（ｂ）は本発明に
よる水晶振動子の構造を示す斜視図である。 １１・・・・・・・・・水晶素板、１２・・・・・・・
・・水晶板、１３゜１４・・・・・・・・・引出部、１
７．１８・・・・・・・・・励振電極特許出願人 キ
ンセキ株式会社 手続補正書（自発） ■、事件の表示 昭和５７年特許願第１０５８３５号２
、発明の名称 輪郭水晶振動子 ３、補正°をする者 事件との関係 特許出願人 郵便番号２０１ 電話番号（０３）４８９−２３１１
４、補正命令の日付 自 発 ５、補正の対象 （１） 明細書の発明の詳細な説明の欄（２）明細書
全文 ６、補正の内容 （１） 明細書第５貞第９行目１溝２８，２９を形成し
てＪを１溝部２８．２９を形成して艶鋪止する。 （２） 明細書全文（浄書） 別紙の通り
Claims (1)
- （１） 両生面がＺ軸に垂直である水晶素板から長辺
方向をＹ軸、短辺方向をＸ軸にして四辺形状に加工した
°水晶板の両側面上に輪郭振動すべき励振電極を配置し
、該水晶板の重心を通り、かつ三等分する線上に該水晶
板の両側面端部から引き出した２つの引出部を該水晶板
と共に一体的に形成し、該引出部の延長上を支持するこ
とを特徴とする輪郭水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10583582A JPS58222611A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | 輪郭水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10583582A JPS58222611A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | 輪郭水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58222611A true JPS58222611A (ja) | 1983-12-24 |
Family
ID=14418089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10583582A Pending JPS58222611A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | 輪郭水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58222611A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6451816A (en) * | 1987-08-24 | 1989-02-28 | Seiko Electronic Components | Longitudinal crystal resonator |
| JPS6451814A (en) * | 1987-08-24 | 1989-02-28 | Seiko Electronic Components | Longitudinal crystal resonator |
| JPH02132913A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH02149115A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-07 | Seiko Electronic Components Ltd | 温度センサ用水晶長辺縦振動子 |
| US5156460A (en) * | 1990-11-05 | 1992-10-20 | Sundstrand Corporation | Crystal temperature transducer |
-
1982
- 1982-06-18 JP JP10583582A patent/JPS58222611A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6451816A (en) * | 1987-08-24 | 1989-02-28 | Seiko Electronic Components | Longitudinal crystal resonator |
| JPS6451814A (en) * | 1987-08-24 | 1989-02-28 | Seiko Electronic Components | Longitudinal crystal resonator |
| JPH02132913A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH02149115A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-07 | Seiko Electronic Components Ltd | 温度センサ用水晶長辺縦振動子 |
| US5156460A (en) * | 1990-11-05 | 1992-10-20 | Sundstrand Corporation | Crystal temperature transducer |
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