JPH04124907A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH04124907A JPH04124907A JP24657890A JP24657890A JPH04124907A JP H04124907 A JPH04124907 A JP H04124907A JP 24657890 A JP24657890 A JP 24657890A JP 24657890 A JP24657890 A JP 24657890A JP H04124907 A JPH04124907 A JP H04124907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- thin film
- acoustic wave
- coil
- wave device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 abstract 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波装置に関する。
従来、弾性表面波装置の整合用コイルは、弾性
表面波装置とは別に製造され、プリント基板等に実装さ
れていた。
れていた。
上述した従来の弾性表面波装置は、その整合用コイルが
別である為、プリント基板等の実装面積が大きくなり、
しかも整合用コイルを調整する必要があった。
別である為、プリント基板等の実装面積が大きくなり、
しかも整合用コイルを調整する必要があった。
本発明は圧電基板上に金属薄膜により形成された少くと
も1つの交叉指状電極を備える弾性表面波装置において
、前記圧電基板上に金属薄膜により形成されたコイルを
備える。
も1つの交叉指状電極を備える弾性表面波装置において
、前記圧電基板上に金属薄膜により形成されたコイルを
備える。
また、前記圧電基板上に金属薄膜により形成されたグレ
ーティング反射器を含む。
ーティング反射器を含む。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例における弾性表面波共振子を
示す。圧電基板1上に金属薄膜により形成された交叉指
状電極2及びグレーティング反射器3.4により構成さ
れた共振子と、金属薄膜により形成されたコイル5とを
備えている。電圧制御発振器に弾性表面波共振子を用い
る場合、その容量比を下げる為にコイルを付加するが、
この実施例によれば一体で構成することができる。
示す。圧電基板1上に金属薄膜により形成された交叉指
状電極2及びグレーティング反射器3.4により構成さ
れた共振子と、金属薄膜により形成されたコイル5とを
備えている。電圧制御発振器に弾性表面波共振子を用い
る場合、その容量比を下げる為にコイルを付加するが、
この実施例によれば一体で構成することができる。
第2図は本発明の他の実施例における弾性表面波フィル
タを示す。圧電基板11上に金属薄膜により形成された
交叉指状電極12.13により構成されたフィルタと、
金属薄膜により形成されたコイル14.15とを備えて
いる。コイル14゜15はフィルタの挿入損失を低減す
る整合用である。
タを示す。圧電基板11上に金属薄膜により形成された
交叉指状電極12.13により構成されたフィルタと、
金属薄膜により形成されたコイル14.15とを備えて
いる。コイル14゜15はフィルタの挿入損失を低減す
る整合用である。
以上説明したように本発明によれば、圧電基板上に金属
薄膜によりコイルを設けて一体としたので、プリント基
板等に実装する場合に実装面積を小さくでき、しかもコ
イルを詞整する必要がない。
薄膜によりコイルを設けて一体としたので、プリント基
板等に実装する場合に実装面積を小さくでき、しかもコ
イルを詞整する必要がない。
第1図は本発明の一実施例における弾性表面波共振子の
平面図、第2図は本発明の他の実施例における弾性表面
波フィルタの平面図である。 1.11・・・圧電基板、2,12.13・・・交叉指
状電極、3,4・・・グレーティング反射器、5,14
.15・・・コイル。
平面図、第2図は本発明の他の実施例における弾性表面
波フィルタの平面図である。 1.11・・・圧電基板、2,12.13・・・交叉指
状電極、3,4・・・グレーティング反射器、5,14
.15・・・コイル。
Claims (2)
- 1.圧電基板上に金属薄膜により形成された少くとも1
つの交叉指状電極を備える弾性表面波装置において、前
記圧電基板上に金属薄膜により形成されたコイルを備え
ることを特徴とする弾性表面波装置。 - 2.前記圧電基板上に金属薄膜により形成されたグレー
ティング反射器を含むことを特徴とする請求項1記載の
弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24657890A JPH04124907A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24657890A JPH04124907A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04124907A true JPH04124907A (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=17150506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24657890A Pending JPH04124907A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04124907A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5581141A (en) * | 1993-10-08 | 1996-12-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
CN107817456A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-20 | 扬州大学 | 基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器 |
CN107843859A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-27 | 扬州大学 | 基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器 |
-
1990
- 1990-09-17 JP JP24657890A patent/JPH04124907A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5581141A (en) * | 1993-10-08 | 1996-12-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
US5932950A (en) * | 1993-10-08 | 1999-08-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
CN107817456A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-20 | 扬州大学 | 基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器 |
CN107843859A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-27 | 扬州大学 | 基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器 |
CN107817456B (zh) * | 2017-09-28 | 2019-09-13 | 扬州大学 | 基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器 |
CN107843859B (zh) * | 2017-09-28 | 2019-10-11 | 扬州大学 | 基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器 |
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