JPH0246105Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0246105Y2 JPH0246105Y2 JP1983031221U JP3122183U JPH0246105Y2 JP H0246105 Y2 JPH0246105 Y2 JP H0246105Y2 JP 1983031221 U JP1983031221 U JP 1983031221U JP 3122183 U JP3122183 U JP 3122183U JP H0246105 Y2 JPH0246105 Y2 JP H0246105Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- leg
- longitudinal direction
- vibrating
- sides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、フオトエツチング加工に適した輪郭
水晶振動子の構造に関する。
水晶振動子の構造に関する。
輪郭振動子としては、Ｘ板の長辺または短辺振
動子やMT板、CT板、DT板、SL板、HT板、
GT板及びＺ板の長辺または短辺振動子が知られ
ているが、エツチング速度の速いＺ軸成分を多く
含む水晶が多く利用されている。
動子やMT板、CT板、DT板、SL板、HT板、
GT板及びＺ板の長辺または短辺振動子が知られ
ているが、エツチング速度の速いＺ軸成分を多く
含む水晶が多く利用されている。
従来の振動子では、フオトリソグラフイ法によ
り一枚の水晶板から多数個の振動子を加工するた
め、エツチング寸法のむらが出来、振動部を支え
る連結部に寸法むらが生じ、漏れ振動による特性
劣化があつた。
り一枚の水晶板から多数個の振動子を加工するた
め、エツチング寸法のむらが出来、振動部を支え
る連結部に寸法むらが生じ、漏れ振動による特性
劣化があつた。
第１図は、従来よりあるＺ板による1MHzの長
辺振動子であり、長辺振動すべき振動部１を二等
分する両側面に連結部２，２′があり、これと振
動部１と平行に延びる脚部３につながり、さら
に、脚部３は振動部１の長手方向で両脚部を共通
固定する基部４と接続されている。なお、振動部
１、連結部２，２′、脚部３，３′、基部４は一体
構造となつている。振動部１の両側面には、励振
のための励振電極５，５′が配置されており、こ
れと電気的に接続される引出電極６，６′が連結
部２，２′、脚部３，３′、基部４に配置されてい
る。振動子として組み立てる際には、基部４に端
子７，７′をハンダ等で固着されている。
辺振動子であり、長辺振動すべき振動部１を二等
分する両側面に連結部２，２′があり、これと振
動部１と平行に延びる脚部３につながり、さら
に、脚部３は振動部１の長手方向で両脚部を共通
固定する基部４と接続されている。なお、振動部
１、連結部２，２′、脚部３，３′、基部４は一体
構造となつている。振動部１の両側面には、励振
のための励振電極５，５′が配置されており、こ
れと電気的に接続される引出電極６，６′が連結
部２，２′、脚部３，３′、基部４に配置されてい
る。振動子として組み立てる際には、基部４に端
子７，７′をハンダ等で固着されている。
第２図は、フオトエツチングで成形された長辺
振動子の連結部２，２′付近の部分拡大図である。
振動部１、連結部２，２′と脚部３，３′のそれぞ
れの接続部にはエツチングむら８，８′，８″，
８″″が残つている。これは、主に結晶軸の方向性
によるものであり、振動子の左右アンバランスな
エツチングむらが生じてしまう。このため、基部
４でバランスよく端子７，７′と固着しても連結
部２，２′付近の寸法がアンバランスなため、定
在波により振動部１の振動を阻害することにな
る。その結果、発振の安定が損なわれ、周波数の
安定度が低下し、かつ発振出力も低下する。
振動子の連結部２，２′付近の部分拡大図である。
振動部１、連結部２，２′と脚部３，３′のそれぞ
れの接続部にはエツチングむら８，８′，８″，
８″″が残つている。これは、主に結晶軸の方向性
によるものであり、振動子の左右アンバランスな
エツチングむらが生じてしまう。このため、基部
４でバランスよく端子７，７′と固着しても連結
部２，２′付近の寸法がアンバランスなため、定
在波により振動部１の振動を阻害することにな
る。その結果、発振の安定が損なわれ、周波数の
安定度が低下し、かつ発振出力も低下する。
そこで第３図のように脚部３，３′の連結部２，
２′との接続点において、脚部３，３′と基部４と
の接続点における脚部幅Ｗとし、連結部２，２′
との接続点において狭小部９，９′を設け、脚部
幅W1が前述した脚部幅Ｗより小さくしている。
脚部幅をＷ＞W1とすると連結部２，２′の寸法が
長くなりエツチングむらによる残査が連結部２，
２′の長さに比べて比率が小さくなる寸法むらの
影響を少なくなる。
２′との接続点において、脚部３，３′と基部４と
の接続点における脚部幅Ｗとし、連結部２，２′
との接続点において狭小部９，９′を設け、脚部
幅W1が前述した脚部幅Ｗより小さくしている。
脚部幅をＷ＞W1とすると連結部２，２′の寸法が
長くなりエツチングむらによる残査が連結部２，
２′の長さに比べて比率が小さくなる寸法むらの
影響を少なくなる。
しかしまだ十分とはいえない場合には、さらに
対策が必要である。
対策が必要である。
そこで本考案では、励振すべき電極を配置した
振動部の両側面の長手方向の二等分する線上から
連結部を設け、該振動部の両側に長手方向と平行
に延びる該連結部と接続された２本の脚部と該２
本の脚部と該振動部の長手方向において共通固定
する基部とを有する輪郭水晶振動子において、該
基部と該連結部の間の該脚部に該基部と接する脚
部幅Ｗより小さい寸法の狭小部を複数個持つこと
を主構成として、前述した欠点を除去することを
目的としている。
振動部の両側面の長手方向の二等分する線上から
連結部を設け、該振動部の両側に長手方向と平行
に延びる該連結部と接続された２本の脚部と該２
本の脚部と該振動部の長手方向において共通固定
する基部とを有する輪郭水晶振動子において、該
基部と該連結部の間の該脚部に該基部と接する脚
部幅Ｗより小さい寸法の狭小部を複数個持つこと
を主構成として、前述した欠点を除去することを
目的としている。
第４図、第５図は、本考案の実施例であり、第
４図では脚部の幅W1の狭小部９，９′の他にもう
１つ幅W2の寸法を持つ狭小部１０，１０′を設け
ている。このように連結部から基部までの間の脚
部に複数個の狭小部を持つことにより、脚部３，
３′において振動部１から伝わつてくる振動を減
衰させている。
４図では脚部の幅W1の狭小部９，９′の他にもう
１つ幅W2の寸法を持つ狭小部１０，１０′を設け
ている。このように連結部から基部までの間の脚
部に複数個の狭小部を持つことにより、脚部３，
３′において振動部１から伝わつてくる振動を減
衰させている。
さらに第６図に示すようにそれぞれW1，W2，
W3の幅を持つ狭小部９，９′，１０，１０′，１
１，１１′と多数個設け、基部４への振動漏れを
防止することが出来る。
W3の幅を持つ狭小部９，９′，１０，１０′，１
１，１１′と多数個設け、基部４への振動漏れを
防止することが出来る。
以上述べた通り、脚部において脚部と接続する
脚部幅Ｗよりも狭い幅を持つ狭小部を複数個持つ
ことにより、振動部の漏れ振動を基部に伝えにく
くする効果があり、安定な周波数の振動子を得ら
れるようになつた。
脚部幅Ｗよりも狭い幅を持つ狭小部を複数個持つ
ことにより、振動部の漏れ振動を基部に伝えにく
くする効果があり、安定な周波数の振動子を得ら
れるようになつた。
本実施例においてＺ板の長辺振動子について述
べたが、他のカツト角による輪郭振動子において
も効果を発揮することはもちろんである。
べたが、他のカツト角による輪郭振動子において
も効果を発揮することはもちろんである。
第１図は、従来の振動子を示す斜視図、第２図
は第１図の連結部付近の部分拡大図、第３図は従
来の振動子の正面図、第４図、第５図、第６図は
本考案の実施例を示す正面図である。 １……振動部、２，２′……連結部、３，３′…
…脚部、４……基部、５，５′……励振電極、９，
９′，１０，１０′，１１，１１′……狭小部。
は第１図の連結部付近の部分拡大図、第３図は従
来の振動子の正面図、第４図、第５図、第６図は
本考案の実施例を示す正面図である。 １……振動部、２，２′……連結部、３，３′…
…脚部、４……基部、５，５′……励振電極、９，
９′，１０，１０′，１１，１１′……狭小部。
Claims (1)
- 励振すべき電極を配置した振動部の両側面の長
手方向の二等分する線上から連結部を設け、該振
動部の両側に長手方向と平行に延びる該連結部と
接続された２本の脚部と該２本の脚部と該振動部
の長手方向において共通固定する基部とを有する
輪郭水晶振動子において、該基部と該連結部の間
の該脚部に該基部と接する脚部幅Ｗより小さい寸
法の狭小部を複数個持つことを特徴とする輪郭水
晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3122183U JPS59137629U (ja) | 1983-03-04 | 1983-03-04 | 輪郭水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3122183U JPS59137629U (ja) | 1983-03-04 | 1983-03-04 | 輪郭水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59137629U JPS59137629U (ja) | 1984-09-13 |
| JPH0246105Y2 true JPH0246105Y2 (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=30162077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3122183U Granted JPS59137629U (ja) | 1983-03-04 | 1983-03-04 | 輪郭水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59137629U (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0828639B2 (ja) * | 1987-07-17 | 1996-03-21 | セイコー電子工業株式会社 | 縦水晶振動子 |
| JP2696104B2 (ja) * | 1987-08-24 | 1998-01-14 | セイコー電子工業株式会社 | 縦水晶振動子 |
| JP2592280B2 (ja) * | 1988-02-18 | 1997-03-19 | セイコー電子工業株式会社 | 縦水晶振動子 |
| JP2010119128A (ja) * | 2003-08-19 | 2010-05-27 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片 |
| JP5779354B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2015-09-16 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5585119A (en) * | 1978-12-21 | 1980-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator of profile oscillation mode |
| JPS55140313A (en) * | 1979-04-18 | 1980-11-01 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Small-size piezoelectric vibrator of outline vibration mode |
-
1983
- 1983-03-04 JP JP3122183U patent/JPS59137629U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5585119A (en) * | 1978-12-21 | 1980-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator of profile oscillation mode |
| JPS55140313A (en) * | 1979-04-18 | 1980-11-01 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Small-size piezoelectric vibrator of outline vibration mode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59137629U (ja) | 1984-09-13 |
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