JPS5821928B2 - フツ化オレフイン重合体成形物の表面親水化方法 - Google Patents

フツ化オレフイン重合体成形物の表面親水化方法

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JPS5821928B2
JPS5821928B2 JP11971576A JP11971576A JPS5821928B2 JP S5821928 B2 JPS5821928 B2 JP S5821928B2 JP 11971576 A JP11971576 A JP 11971576A JP 11971576 A JP11971576 A JP 11971576A JP S5821928 B2 JPS5821928 B2 JP S5821928B2
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JP
Japan
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olefin polymer
fluorinated olefin
polymer molded
molded product
treated
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JP11971576A
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JPS5345375A (en
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晴夫 田畑
孝彦 森内
英 山本
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Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はフッ化オレフィン重合体成形物の表面親水化方
法に関するものである。
フッ化オレフィン重合体成形物は、電気的特性、耐熱性
、耐薬品性等に著しく秀れてはいるが、表面が不活性で
あるため、接着剤、塗料、インク等の付着性が悪く、か
\る面からの用途の制約が避けられない。
特に、フッ化オレフィン重合体成形物表面の撥水性のた
め、水溶性或いは水分散エマルジョンタイプの接着剤、
塗料、インク等に対しては、その塗着すら困難である。
プラスチック成形物の表面に接着性を賦与する手段とし
ては、物理的な表面粗化やグロー放電処理が知られてい
るが、これらの手段は、フッ化オレフィン重合体成形物
に対しては殆ど効果がない。
このため、フッ化オレフィン重合体成形物の表面処理に
は、金属ナトリウムの如きアルカリ金属をナフタリンと
テトラヒドロフランとの混合液或いは液体アンモニアに
溶解した溶液に、フッ化オレフィン重合体成形物を浸漬
させる方法が用いられているが、この方法では、アルカ
リ金属を用いるために処理中での火災の誘発が懸念され
る、使用済みの処理液の取扱いがやっかいである、処理
面が紫外線や高温に曝されると、処理効果の大巾な低下
が余儀なくされる等の不具合がある。
かNる現状に鑑み、本発明者等は鋭意研究した結果、フ
ッ化オレフィン重谷体成形物をアンモニアガスの雰囲気
下で、かつ雰囲気圧0.0005〜0.5To r r
の条件でスパッタエツチング処理すれば、化学薬品処理
の場合の難点なく、上記成形物の表面を顕著に活性化、
親水化し得ることを見出し、本発明を提案するに至った
本発明により処理されるフッ化オレフィン重合体成形物
としては、4弗化エチレン、3弗化エチレン、6弗化プ
ロピレン等のフッ素系モノマーの重合体、或いはこれら
モノマーとオレフィン類との共重合体を挙げることがで
き、特に、ポリテトラフルオロエチレンの成形物が効果
的に処理され得る。
アンモニアガスとしては、純アンモニアガスの他、アン
モニアガスと他の不活性ガスとの混合気体も使用でき、
この混合比は、スパッタエツチング処理時の放電電力や
処理時間に応じて定められる。
スパッタエツチング処理時の雰囲気圧は上記の通り、0
.0005〜0.5Torrであり、電極間距離は、1
/Sr′P(Pは圧77I′orrである)に比例して
定められる。
雰囲気圧を0.0005〜0.5Torrに限定する理
由は、0.0005 Torr以下ではスパッタエツチ
ング時の放電持続性が損われ、0.5Torr以上では
エツチング速度が著しく低下すると共に放電が不安定と
なるためである。
他のスパッタエツチング条件として、周波数は数百KH
zN数十MHzであり、通常は工業用割当周波数である
13.56MHzが用いられる。
放電電力は0.1〜10W、1t/mである。
処理時間については、放電電力が小となる程長くする必
要があり、実用的には放電電力を犬として処理時間を短
縮することが好ましい。
本発明において、スパッタエツチング装置としては、例
えば、第1図に示す如きものが用いられる。
第1図において、1は減圧容器2内の気体を排気するた
めの真空ポンプ(図示せず)に接続する排気管、3は雰
囲気ガスを減圧容器2内に導入するためのバルブ、4は
フッ化オレフィン重合体シート5をスパッタエツチング
するための電極であり、リード線により外部のマツチン
グボックス6(インピーダンス整合器)に接続されてい
る。
7は高周波電源、8は電極4のシールド用電極である。
9は対向電極であり、高周波電源7のアース側に接続さ
れている。
゛本発明においては、フッ化オレフィン重合体のシ
ート状物を連続的に表面処理することもでき、この場合
は、第2図に示すように、減圧容器2内にシート巻取り
駆動装置が設置される。
第2図において、51はフッ化オレフィン重合体シート
、1−0は供給ロール、11は巻取りロールである。
本発明により処理されたフッ化オレフィン重合体成形物
表面の活性度は、Zismann により定義された臨
界表面張力(rc)で評価でき、表面活性度が高い程、
(rc)は大となる。
この表面活性度は、雰囲気ガス中のアンモニアガスの分
圧により変化し、この分圧を大とする程、犬となる。
本発明により、フッ化オレフィン重合体成形物表面を処
理すると、物理的には、表面が微細な針状凹凸に形成さ
れ、この凹凸によっても、表面が良接着性に改善される
この凹凸度は、処理時間と処理電力との積の増大によっ
て、促される。
上記の表面活性度(rc’)は、雰囲気ガス中のアンモ
ニアガス量の増加に伴って増大され、アンモニアガス量
を90%以上にすれば、処理表面を完全に水で濡らし得
る状態にできる。
次に本発明の実施例について説明する。
実施例 1 厚み0.2111Bの切削ポリテトラフルオロエチレン
(以下PTFEと称す)シートを第1図番こ示す如き装
置にセットしく電極間距離110iit)、真空ポンプ
により容器内を1×10′−5Torr以下にした後、
アンモニアガスをバルブより導入して、雰囲気圧を5X
10 Torrに保持した。
次に、13.56MHzの高周波電圧を印加し、放電電
力4.0Watt/cr/kI)もとで、25秒間スパ
ッタエツチング処理し、電源遮断後、容器内にバルブよ
り空気を入れて常圧に戻し、片面処理シートを得た。
得られた処理シートの処理面の状態は、第3図の写真(
倍率4000倍)に示す通りである。
上記のように処理されたPTFEシートを水に浸漬した
ところ、処理面は完全に水ζこ濡れたが、非処理面は撥
水性であった。
処理面の水に対する接触角を測定したところ10’であ
り、濡れ指数標準液(和光紬薬(株)製)で処理面の臨
界表面張力(rc)を求めたところ54 dyne/c
IIL以上であった。
これに対し、未処理のPTFEシートの(rc’)は3
1 dyne/]以下であった。
また、巾19朋のポリエチレンテレフタレートを支持体
とする感圧性接着テープ(日東電気工業社製NO31B
)に、上記の片面処理シートを処理面において貼り付け
、300 j!I/minの速度で180°でピーリン
グテストを行ったところ、接着剤が凝集破壊を呈し、そ
の剥離力は2500gであった。
これに対し、未処理のPTFEシートにつき、同様のピ
ーリングテストを行ったところ、剥離力は78gであっ
た。
180°ピーリングテストは、第4図に示すごとく、試
料Aを矢印方向に引張試験機(東洋ボールデング社製テ
ンシロンUTM−4−100)で引張ることにより行っ
た。
第4図中、Xは試料A(片面処理シート)の処理面、B
はポリエチレンテレフタレート支持体、Cは感圧性接着
剤である。
実施例 2〜9 厚み、第1表に示す各PTFEシートを、第1表に示す
それぞれの条件でスパッタエツチング処理した。
実施例2〜9により得られた表面処理シートの諸特性を
実施例1と同様にして測定したところ、第2表の通りで
あった。
第2表中、実施例3並びに9の1800ビーリングテス
トにおいて、感圧性粘着テープの粘着剤が凝集破壊した
【図面の簡単な説明】
第1図並びに第2図は本発明において使用されるスパッ
タエツチング装置を示す説明図、第3図は本発明により
処理されたフッ化オレフィン重合体シートの180°ピ
ーリングテストを示す説明図、第4図は本発明(こより
処理されたフッ化オレフィン重合体シートの処理面を示
す顕微鏡写真である。 図において、4並びに9は電極、5並びに51はフッ化
オレフィン重合体シートである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 フッ化オレフィン重合体成形物を、雰囲気ガスとし
    てアンモニアガスを用い、雰囲気圧0.0005〜0.
    5 Torrの条件下でスパッタエツチングすることを
    特徴とするフッ化オレフィン重合体成形物の表面親水化
    方法。
JP11971576A 1976-10-04 1976-10-04 フツ化オレフイン重合体成形物の表面親水化方法 Expired JPS5821928B2 (ja)

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JP11971576A JPS5821928B2 (ja) 1976-10-04 1976-10-04 フツ化オレフイン重合体成形物の表面親水化方法

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Publication Number Publication Date
JPS5345375A JPS5345375A (en) 1978-04-24
JPS5821928B2 true JPS5821928B2 (ja) 1983-05-04

Family

ID=14768305

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59207939A (ja) * 1983-05-13 1984-11-26 Nok Corp フツ素樹脂成形品の表面処理方法
JPS61171740A (ja) * 1985-10-03 1986-08-02 Nitto Electric Ind Co Ltd 合成樹脂成形物の表面親水化方法
JP4024636B2 (ja) * 2002-09-20 2007-12-19 富士通株式会社 有機系絶縁膜のエッチング方法及び半導体装置の製造方法

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JPS5345375A (en) 1978-04-24

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