JP2625154B2 - プラズマ重合による基体表面コーティング法 - Google Patents
プラズマ重合による基体表面コーティング法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、合成樹脂などの基体表面に優れた親水性お
よび防曇性を付与しうるような、プラズマ重合による基
体表面コーティング法に関する。
よび防曇性を付与しうるような、プラズマ重合による基
体表面コーティング法に関する。
発明の技術的背景ならびにその問題点 防曇性フィルムあるいは親水性フィルムは、かなり大
きな市場を形成しているが、防曇性処理がなされたフィ
ルムの防曇効果はまだ十分なものとは言えない。したが
ってもし性能面の改良がなされれば今後とも市場の拡大
が期待できる。
きな市場を形成しているが、防曇性処理がなされたフィ
ルムの防曇効果はまだ十分なものとは言えない。したが
ってもし性能面の改良がなされれば今後とも市場の拡大
が期待できる。
またフィルム用途以外においても親水性および防曇性
の向上が要望されている多くの分野がある。たとえば親
水性および防曇性が向上された基体は、光学用、医療
用、理化学用などの各種のレンズ、ウインドウ用ガラ
ス、ミラーなどの用途に用いられる。
の向上が要望されている多くの分野がある。たとえば親
水性および防曇性が向上された基体は、光学用、医療
用、理化学用などの各種のレンズ、ウインドウ用ガラ
ス、ミラーなどの用途に用いられる。
ところで従来、フィルムなどに親水性および防曇性を
付与する方法としては、親水性樹脂あるいは界面活性剤
などをその表面に設ける方法が知られている。しかしな
がら親水性樹脂をフィルム表面上に設ける方法では、表
面上に数ミクロンから数十ミクロンの膜厚でコーティン
グ膜を設ける必要があり、このため透明性が低下するな
どの新たな問題点が生じていた。また界面活性剤をフィ
ルム表面上に設ける方法では、親水性効果および防曇性
効果の持久性が悪いなどの問題点があった。
付与する方法としては、親水性樹脂あるいは界面活性剤
などをその表面に設ける方法が知られている。しかしな
がら親水性樹脂をフィルム表面上に設ける方法では、表
面上に数ミクロンから数十ミクロンの膜厚でコーティン
グ膜を設ける必要があり、このため透明性が低下するな
どの新たな問題点が生じていた。また界面活性剤をフィ
ルム表面上に設ける方法では、親水性効果および防曇性
効果の持久性が悪いなどの問題点があった。
また一方基体表面をプラズマ処理することにより親水
性および防曇性を基体表面に付与する方法がいくつか提
案されている。たとえば基体表面を酸素プラズマによっ
て処理する方法が提案されている。しかし、この方法で
は、親水性の付与効果が十分でなく、しかも親水性が経
時的に変化して親水性が急速に消失してしまうという問
題点がある。また有機ガスを用いてプラズマ重合により
基体表面処理を行う方法が知られている。たとえば特開
昭62−243617号公報および特開昭62−260836号公報に
は、ニトロ化合物を用いてプラズマ重合を行なうことに
より基体表面に薄膜を設ける方法が提案されている。し
かし、これらの方法はいずれも処理時間が長くかかるな
どの問題点があり十分満足しうるものとは言えない。
性および防曇性を基体表面に付与する方法がいくつか提
案されている。たとえば基体表面を酸素プラズマによっ
て処理する方法が提案されている。しかし、この方法で
は、親水性の付与効果が十分でなく、しかも親水性が経
時的に変化して親水性が急速に消失してしまうという問
題点がある。また有機ガスを用いてプラズマ重合により
基体表面処理を行う方法が知られている。たとえば特開
昭62−243617号公報および特開昭62−260836号公報に
は、ニトロ化合物を用いてプラズマ重合を行なうことに
より基体表面に薄膜を設ける方法が提案されている。し
かし、これらの方法はいずれも処理時間が長くかかるな
どの問題点があり十分満足しうるものとは言えない。
発明の目的 本発明は、上記のような従来技術における問題点を解
決しようとするものであって、基体表面に優れた親水性
および防曇性を付与し、かつそれらの効果の持久性が良
好であるような基体表面コーティング法を提供すること
を目的とする。
決しようとするものであって、基体表面に優れた親水性
および防曇性を付与し、かつそれらの効果の持久性が良
好であるような基体表面コーティング法を提供すること
を目的とする。
発明の概要 本発明に係るプラズマ重合による基体表面コーティン
グ法は、一般式:R1−ONOまたはR2R3NNOまたはR4−NO
（式中、R1、R2、R3およびR4は炭素原子数１〜10の炭化
水素基である）で表わされるニトロシル化合物を用いて
プラズマ重合により基体表面上に薄膜を形成することを
特徴としている。
グ法は、一般式:R1−ONOまたはR2R3NNOまたはR4−NO
（式中、R1、R2、R3およびR4は炭素原子数１〜10の炭化
水素基である）で表わされるニトロシル化合物を用いて
プラズマ重合により基体表面上に薄膜を形成することを
特徴としている。
本発明によれば、基体の材質にかゝわらず、その表面
に、優れた親水性および防曇性を有しかつその持久性が
優れた薄膜を設けることができる。さらに本発明によれ
ば、一段階で短時間の処理により基体との密着性が良好
な薄膜を基体上に設けることができ、工業的にも有用で
ある。
に、優れた親水性および防曇性を有しかつその持久性が
優れた薄膜を設けることができる。さらに本発明によれ
ば、一段階で短時間の処理により基体との密着性が良好
な薄膜を基体上に設けることができ、工業的にも有用で
ある。
発明の具体的な説明 以下、本発明に係るプラズマ重合による基体表面コー
ティング法について具体的に説明する。
ティング法について具体的に説明する。
本発明では、一般式R1−ONOまたはR2R3NNOまたはR4−
NOで表わされるニトロシル化合物を用いてプラズマ重合
により基体表面上に薄膜を形成するが、上記一般式中、
Ｒで表わされる基は炭化水素基であり、飽和あるいは不
飽和、直鎖状あるいは分枝状、脂肪族あるいは芳香族の
いずれをも用いることができる。さらにそれらの基に水
酸基、アミノ基、スルホン基などの各種官能基が結合し
たものも用いられるが、炭素原子数は10以下のものが作
業性およびコーティング膜の性能面から望ましい。特に
R1は炭素原子数１〜５であることが好ましく、またR2、
R3およびR4は炭素数１〜６であることが好ましい。
NOで表わされるニトロシル化合物を用いてプラズマ重合
により基体表面上に薄膜を形成するが、上記一般式中、
Ｒで表わされる基は炭化水素基であり、飽和あるいは不
飽和、直鎖状あるいは分枝状、脂肪族あるいは芳香族の
いずれをも用いることができる。さらにそれらの基に水
酸基、アミノ基、スルホン基などの各種官能基が結合し
たものも用いられるが、炭素原子数は10以下のものが作
業性およびコーティング膜の性能面から望ましい。特に
R1は炭素原子数１〜５であることが好ましく、またR2、
R3およびR4は炭素数１〜６であることが好ましい。
このようなニトロシル化合物としては、具体的には、
亜硝酸ブチル、Ｎ−ニトロソジメチルアミン、Ｎ−ニト
ロソジブチルアミン、Ｎ−ニトロソ−Ｎ−メチルアニ
リ、ニトロベンゼンなどが用いられる。これらのうち、
亜硝酸ブチルあるいはＮ−ニトロソジメチルアミンは作
業性および得られる薄膜の性能が優れるので特に好まし
い。またこれらのニトロシル化合物は単独または２種以
上を混合しても使用することができる。
亜硝酸ブチル、Ｎ−ニトロソジメチルアミン、Ｎ−ニト
ロソジブチルアミン、Ｎ−ニトロソ−Ｎ−メチルアニ
リ、ニトロベンゼンなどが用いられる。これらのうち、
亜硝酸ブチルあるいはＮ−ニトロソジメチルアミンは作
業性および得られる薄膜の性能が優れるので特に好まし
い。またこれらのニトロシル化合物は単独または２種以
上を混合しても使用することができる。
本発明において用いられる基体は、材質および形状に
ついて特に限定されず、ポリエステル、ポリアミド、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルなどの合
成樹脂、また、SBR、NBR、IR、天然ゴム、またはこれら
の変性ゴムなどのゴム類が用いられる。さらにガラス、
セラミックス、炭素繊維などの無機材質、およびアルミ
ニウム、銅、鉄などの金属類も用いることができる。こ
のように本発明では広範囲の基体に適用でき、本発明に
よれば、特に合成樹脂およびゴムに適用した場合に優れ
た効果を与えうる。
ついて特に限定されず、ポリエステル、ポリアミド、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルなどの合
成樹脂、また、SBR、NBR、IR、天然ゴム、またはこれら
の変性ゴムなどのゴム類が用いられる。さらにガラス、
セラミックス、炭素繊維などの無機材質、およびアルミ
ニウム、銅、鉄などの金属類も用いることができる。こ
のように本発明では広範囲の基体に適用でき、本発明に
よれば、特に合成樹脂およびゴムに適用した場合に優れ
た効果を与えうる。
プラズマ重合法自体はすでに公知であり、プラズマ発
生のためにはいずれの公知の方法も本発明に適用しう
る。従来、プラズマ発生用電極には容量結合型（有極放
電方式）と誘導結合型（無極放電方式）の２つの方式が
知られているがそのいずれの方式をも本発明では用いる
ことができる。また電源の周波数は一般には13.56MKzの
ラジオ波が利用される。
生のためにはいずれの公知の方法も本発明に適用しう
る。従来、プラズマ発生用電極には容量結合型（有極放
電方式）と誘導結合型（無極放電方式）の２つの方式が
知られているがそのいずれの方式をも本発明では用いる
ことができる。また電源の周波数は一般には13.56MKzの
ラジオ波が利用される。
以下、本発明に係るプラズマ重合による基体の処理方
法について具体的に述べる。まず処理を行う基体を装入
した反応器を1torr以下の減圧にする一方、基体状の原
料モノマーであるニトロシル化合物に放電による電気エ
ネルギーを与えプラズマ重合し、この操作を30秒から60
分間行なうと基体表面に薄膜が形成される。この際処理
時間は所望の膜厚に応じて適宜調節する。
法について具体的に述べる。まず処理を行う基体を装入
した反応器を1torr以下の減圧にする一方、基体状の原
料モノマーであるニトロシル化合物に放電による電気エ
ネルギーを与えプラズマ重合し、この操作を30秒から60
分間行なうと基体表面に薄膜が形成される。この際処理
時間は所望の膜厚に応じて適宜調節する。
本発明を実施するために具体的に用いられた装置を第
１図に示す。この装置は、プラズマ重合のための反応
系、原料モノマー供給系、ガス供給系および排気系の４
つのブロックからなっており、プラズマの発生は容量結
合型方式による。第１図において、反応器３は回転真空
ポンプ５により減圧され、圧力は真空計７によりモニタ
ーされている。反応器３内では、電極10と対向するよう
に基体支持台が設けられており、この基体支持台11上に
は被処理基体が置かれている。プラズマ発生のためのRF
電源１はマッチングユニット２を介して、電極10に接続
されている。ついで容器９からのモノマー原料基体（ニ
トロシル化合物）がキャリアガスとともにモノマー導入
口14から反応器３に供給されるようになっている。ボン
ベ８には窒素ガスが入っている。
１図に示す。この装置は、プラズマ重合のための反応
系、原料モノマー供給系、ガス供給系および排気系の４
つのブロックからなっており、プラズマの発生は容量結
合型方式による。第１図において、反応器３は回転真空
ポンプ５により減圧され、圧力は真空計７によりモニタ
ーされている。反応器３内では、電極10と対向するよう
に基体支持台が設けられており、この基体支持台11上に
は被処理基体が置かれている。プラズマ発生のためのRF
電源１はマッチングユニット２を介して、電極10に接続
されている。ついで容器９からのモノマー原料基体（ニ
トロシル化合物）がキャリアガスとともにモノマー導入
口14から反応器３に供給されるようになっている。ボン
ベ８には窒素ガスが入っている。
次に実施方法について説明する。まず反応器３内の圧
力を10-3torrまで減圧にする。次にボンベ８を開口して
窒素ガスをモノマー９とともにモノマー導入口14から反
応器３に供給し所要の圧力にする。このときの圧力はモ
ノマー導入口14に取り付けられているニードルバルブの
操作とガス流量とによって調節する。そしてモノマーの
供給量は調節された真空度により変えることができる。
RF電源１を入力して反応器３内にプラズマを発生させ
る。そこでたとえば出力50ワットで５分間キャリアガス
プラズマおよびモノマープラズマに被処理基体をさら
す。次いでRF電源１を切ってプラズマを消滅させ、キャ
リアガスおよびモノマーの導入を止め、圧力を再び10-3
torrとする。回転ポンプ５を停止し反応器３内の圧力を
大気圧に戻した後に被処理基体を取り出す。
力を10-3torrまで減圧にする。次にボンベ８を開口して
窒素ガスをモノマー９とともにモノマー導入口14から反
応器３に供給し所要の圧力にする。このときの圧力はモ
ノマー導入口14に取り付けられているニードルバルブの
操作とガス流量とによって調節する。そしてモノマーの
供給量は調節された真空度により変えることができる。
RF電源１を入力して反応器３内にプラズマを発生させ
る。そこでたとえば出力50ワットで５分間キャリアガス
プラズマおよびモノマープラズマに被処理基体をさら
す。次いでRF電源１を切ってプラズマを消滅させ、キャ
リアガスおよびモノマーの導入を止め、圧力を再び10-3
torrとする。回転ポンプ５を停止し反応器３内の圧力を
大気圧に戻した後に被処理基体を取り出す。
なお、上記方法において各種ガス（アルゴン、窒素、
酸素）プラズマによる基体の前処理を行ってもよい。
酸素）プラズマによる基体の前処理を行ってもよい。
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが本発
明はこれらの実施例により限定されるものではない。
明はこれらの実施例により限定されるものではない。
実施例１ コーティング処理を行う基体としてポリエステルフィ
ルム（以後PETと記す）（縦5cm、横5cm、厚さ50μｍ）
を用い、またモノマーとして亜硝酸ブチルを用いた。第
１図に示すような装置により、処理条件を、出力50ワッ
ト、反応時間１分、圧力1.1torrおよび0.45torrとして
プラズマ重合を行った。処理をしたPET表面の親水性を
調べるため水に対する接触角を液滴法により測定した。
結果を表１に示す。
ルム（以後PETと記す）（縦5cm、横5cm、厚さ50μｍ）
を用い、またモノマーとして亜硝酸ブチルを用いた。第
１図に示すような装置により、処理条件を、出力50ワッ
ト、反応時間１分、圧力1.1torrおよび0.45torrとして
プラズマ重合を行った。処理をしたPET表面の親水性を
調べるため水に対する接触角を液滴法により測定した。
結果を表１に示す。
また接触角の経時変化を試験した結果、少なくとも１
ケ月間は変化がなかった。さらに防曇性試験を行った。
ケ月間は変化がなかった。さらに防曇性試験を行った。
その結果を表２に示す。
実施例２ モノマーとしてＮ−ニトロソジメチルアミンを用い、
圧力条件0.45torrおよび0.3とした以外は実施例１と同
様にしてプラズマ重合処理を行った。このようにして得
たPET表面の水に対する接触角の測定結果を表１に示
す。
圧力条件0.45torrおよび0.3とした以外は実施例１と同
様にしてプラズマ重合処理を行った。このようにして得
たPET表面の水に対する接触角の測定結果を表１に示
す。
実施例３ モノマーとしてＮ−ニトロソ−Ｎ−メチルアニリンを
用い、圧力を0.45torr、反応時間を３分とした以外は実
施例１と同様にしてプラズマ重合処理を行った。
用い、圧力を0.45torr、反応時間を３分とした以外は実
施例１と同様にしてプラズマ重合処理を行った。
接触角の測定経過を表１に示す。
実施例４ モノマーとしてＮ−ニトロソジブチルアミンを用い、
圧力を0.45torr、反応時間２分とした以外は実施例１と
同様にしてプラズマ重合処理を行った。
圧力を0.45torr、反応時間２分とした以外は実施例１と
同様にしてプラズマ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表１に示す。
比較例１ 実施例１で用いたと同じ基体のPETについて、プラズ
マ重合処理を行なわずに、水に対する接触角を測定し
た。結果を表１に示す。
マ重合処理を行なわずに、水に対する接触角を測定し
た。結果を表１に示す。
比較例２ モノマーとしてジエチルアミンを用い、圧力を0.6tor
rとした以外は実施例１と同様にしてプラズマ重合処理
を行った。
rとした以外は実施例１と同様にしてプラズマ重合処理
を行った。
接触角の測定結果を表１に示す。さらに防曇性試験を
行った結果を表２に示す。
行った結果を表２に示す。
比較例３ モノマーとしてトリエチルアミンを用い、圧力を0.6t
orrとした以外は実施例１と同様にしてプラズマ重合処
理を行った。
orrとした以外は実施例１と同様にしてプラズマ重合処
理を行った。
接触角の測定結果を表１に示す。
表１より明らかなように、ニトロシル化合物を用いて
プラズマ重合により表面処理をしたものは処理なしのも
のおよびモノアミン処理のものに比較し、水に対する接
触角が小さい値を示す。すなわちニトロシル化合物を用
いてプラズマ重合処理された基体には高度の親水性が付
与されたことが認められる。
プラズマ重合により表面処理をしたものは処理なしのも
のおよびモノアミン処理のものに比較し、水に対する接
触角が小さい値を示す。すなわちニトロシル化合物を用
いてプラズマ重合処理された基体には高度の親水性が付
与されたことが認められる。
防曇性試験方法： 試料を通常の環境下（温度20〜25℃、湿度60〜65％）
に24時間放置した後、所定温度に設定した恒温試験器に
10分間入れる。その後取り出して曇り度を次のように判
定する。
に24時間放置した後、所定温度に設定した恒温試験器に
10分間入れる。その後取り出して曇り度を次のように判
定する。
○：曇らない △：やゝ曇る ×：曇る 上表の結果より、亜硝酸ブチルを用いてプラズマ重合
処理された基体は高度の防曇性が付与されるが、未処理
の基体はほとんど防曇性を有していない。
処理された基体は高度の防曇性が付与されるが、未処理
の基体はほとんど防曇性を有していない。
実施例５ 処理をする基体としてポリエチレン樹脂（以後PEと記
す）を用いた。その他の条件は実施例１と同様にしてプ
ラズマ重合処理を行った。処理を終ったPE表面の水に対
する接触角を測定した。
す）を用いた。その他の条件は実施例１と同様にしてプ
ラズマ重合処理を行った。処理を終ったPE表面の水に対
する接触角を測定した。
結果を表３に示す。
比較例４ 実施例５で用いたと同じ基体のPEについてのプラズマ
重合処理を行なわずに水に対する接触角を測定した。
重合処理を行なわずに水に対する接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例６ 基体としてポリ塩化ビニル樹脂（以後PVCと記す）を
用い、反応時間を２分とした以外は、実施例２と同様に
してプラズマ重合処理を行った。
用い、反応時間を２分とした以外は、実施例２と同様に
してプラズマ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例５ 実施例６で用いたと同じ基体のPVCについて、プラズ
マ重合処理を行なわずに接触角を測定した。
マ重合処理を行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例７ 基体としてABS樹脂（以後ABSと記す）を用い、反応時
間を２分とした以外は、実施例２と同様にしてプラズマ
重合処理を行った。
間を２分とした以外は、実施例２と同様にしてプラズマ
重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例６ 実施例７で用いたと同じ基体のABSについて、プラズ
マ重合処理行なわずに接触角を測定した。
マ重合処理行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例８ 基体としてポリメチルメタアクリレート樹脂（以後PM
MAと記す）を用い、反応時間２分とした以外は、実施例
２と同様にしてプラズマ重合処理を行った。
MAと記す）を用い、反応時間２分とした以外は、実施例
２と同様にしてプラズマ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例７ 実施例８で用いたと同じ基体のPMMAについて、プラズ
マ重合処理を行なわずに接触角を測定した。
マ重合処理を行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例９ 基体としてポリプロピレン樹脂（以後PPと記す）を用
い、反応時間を２分とした以外は、実施例２と同様にし
てプラズマ重合処理を行った。
い、反応時間を２分とした以外は、実施例２と同様にし
てプラズマ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例８ 実施例９で用いたと同じ基体のPPについて、プラズマ
重合処理を行なわずに接触角を測定した。
重合処理を行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例10 基体としてポリスチレン樹脂（以後PSと記す）を用
い、反応時間を２分とした以外は、実施例２と同様にし
てプラズマ重合処理を行った。
い、反応時間を２分とした以外は、実施例２と同様にし
てプラズマ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例９ 実施例10で用いたと同じ基体のPSについて、プラズマ
重合処理を行なわずに接触角を測定した。
重合処理を行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例11 基体としてベークライト樹脂（以後BKLと記す）を用
い、反応時間を２分とした以外は実施例２と同様にして
プラズマ重合処理を行った。
い、反応時間を２分とした以外は実施例２と同様にして
プラズマ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例10 実施例11で用いたと同じ基体のBKLについて、プラズ
マ重合処理を行なわずに接触角を測定した。
マ重合処理を行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
実施例12 基体としてウレタンゴム（以後PUと記す）を用い、反
応時間を２分とした以外は実施例２と同様にしてプラズ
マ重合処理を行った。
応時間を２分とした以外は実施例２と同様にしてプラズ
マ重合処理を行った。
接触角の測定結果を表３に示す。
比較例11 実施例12で用いたと同じ基体のPUについて、プラズマ
重合処理を行なわずに接触角を測定した。
重合処理を行なわずに接触角を測定した。
結果を表３に示す。
上表より、PE等の合成樹脂およびゴムにＮ−ニトロソ
ジメチルアミンを用い、プラズマ重合による表面処理を
ほどこすことによって、水に対する接触角の減少が顕著
である。すなわち親水性の付与効果が優れていることが
わかる。
ジメチルアミンを用い、プラズマ重合による表面処理を
ほどこすことによって、水に対する接触角の減少が顕著
である。すなわち親水性の付与効果が優れていることが
わかる。
発明の効果 本発明は、ニトロシル化合物を用いてプラズマ重合に
より基体表面に薄膜を形成しているので、次のような優
れた効果が得られる。
より基体表面に薄膜を形成しているので、次のような優
れた効果が得られる。
（１）基体の材質にかかわらずその表面に優れた親水性
および防曇性を付与することができ、かつその持久性に
優れる。
および防曇性を付与することができ、かつその持久性に
優れる。
（２）モノマーの重合による薄膜の形成を一段階で、か
つ短時間に行うことができる。
つ短時間に行うことができる。
（３）基体と薄膜の密着性が良い。
（４）基体上に設けられる薄膜の膜圧は、プラズマ重合
処理時間を変化させることにより簡単に調節できる。
処理時間を変化させることにより簡単に調節できる。
第１図は本発明を実施するための装置の構成図である。
図中の数字は、 １……RF電源、２……マッチング機構 ３……反応器、４……トラップ ５……回転ポンプ、６……基体加熱用電源 ７……真空計、８……ボンベ ９……モノマー、10……電極 11……基体支持台、12……ガスボンベ 13……流量計、14……モノマー導入口
図中の数字は、 １……RF電源、２……マッチング機構 ３……反応器、４……トラップ ５……回転ポンプ、６……基体加熱用電源 ７……真空計、８……ボンベ ９……モノマー、10……電極 11……基体支持台、12……ガスボンベ 13……流量計、14……モノマー導入口
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−14247（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−141563（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−177071（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−243617（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−207567（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】一般式:R1−ONOまたはR2R3NNOまたはR4−N
O（式中、R1、R2、R3およびR4は炭素原子数１〜10の炭
化水素基である）で表わされるニトロシル化合物を用い
てプラズマ重合により基体表面上に薄膜を形成すること
を特徴とするプラズマ重合による基体表面コーティング
法。 - 【請求項２】ニトロシル化合物が亜硝酸ブチルまたはＮ
−ニトロソジメチルアミンであることを特徴とする請求
項第１項に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13413088A JP2625154B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-06-01 | プラズマ重合による基体表面コーティング法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12728288 | 1988-05-25 | ||
| JP63-127282 | 1988-05-25 | ||
| JP13413088A JP2625154B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-06-01 | プラズマ重合による基体表面コーティング法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0270767A JPH0270767A (ja) | 1990-03-09 |
| JP2625154B2 true JP2625154B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=26463270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13413088A Expired - Fee Related JP2625154B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-06-01 | プラズマ重合による基体表面コーティング法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2625154B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015184492A1 (en) * | 2014-06-05 | 2015-12-10 | University Of South Australia | Bacteriostatic surfaces |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP13413088A patent/JP2625154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015184492A1 (en) * | 2014-06-05 | 2015-12-10 | University Of South Australia | Bacteriostatic surfaces |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0270767A (ja) | 1990-03-09 |
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