JPS5818713A - 円板物体の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本楯調は円板状のウェハな、欄足＠置、検査ｉｉ＆皺、
又はＩＩ１元＠置寺に載置する―、ウェハな富に所定の
同８に定めるための１Ｚ１１決めｆｌ電に関する。

一般覗；この種の位置決め装置は、ウェハの周一の−Ｓ
ｔ：設けられた切欠８ｖ用いるよう６；佛成されている
０畳過、この切欠きは円板状のウェハのｍａｔ−ｍ−状
迄；切欠いたオリエンテーションフラット（０−ν）と
呼ばれる。

陶、このフラット４：基づいて位置決めすることｔ’＊
ｓ二〇・ｌと呼ぶ。

従来の０・ν方式として、ウニへのフラット１−＊擬着
、Ｍえば尤電的、靜１１Ｅ移重的１＝検出して位置ｖ１
＠ａｏることが知られている。その−ｓｔして、ｑ＃公
８８５５−１９９０１４１ｒｌ［状暢の位置奮わせ方決
」４二光電検出１：よる０・Ｆｌｉ倶が１示されている
。この慎１１１．ｉ二よれは、少なくとも２つの５１：
尤嵩子Ｖ位置會わせすべ＄フラットの位ＩＨ：、対応し
て設け、この受光素子ζ；投光しつつウェハな一転させ
る。

この−転ζ−伴って０例えはウェハの円周−は２つの受
光素子な共（：ｊ＠犬状履Ｃ；シ、フラットが所足位ｌ
１ｌ（二なると２つの９を凭累子減共に等しい電電出力
Ｖ麺生する。４ｔつて、２つの５２光嵩子の充電出力の
伏線を調べること１二よって、ウェハのフラットを所足
位１１４：曾わせることができる。しかしながら、この
方法ではウェハを１ｌａｌｆｔさせて、内えは２つの受
元素子の：＆電出力か共４；等しくなったとき、その回
転を停止させても慣性等のため４；正確なフラットの位
置会わせがで８ない欠点があった。

また、この慣性を考鳳してｉｇ１転遍直な幡とＴことは
、０・ｌ動作７に長時間化することを意味し、ｍ朱的に
ウェハの検量、　ＩＩＩＩＪ足、Ｘは露九飾付は動作の
スループットＶ愚化させる原因ともなっていた。

そこで不尭明は、ウェハ）ｋｊＪ１１転してフラットの
位ｍ決めｔする餘、正−１二かり尚遍６二位厘決めがで
きる装置を提供することｔ−目的と丁も。

本晃明はこの目的なｓ成するために１円板ｌ１ｌＩ体と
してのウェハを一転するための一転手寂と、ウェハの切
欠８を検出する切欠き検出＋寂と、ｉｇ１転手段の回転
１＋＝応じた１Ｎ号な軸生ずるＩＩＩｍ手段と、切欠き
検出手段がウェハの切欠ＩＩを検出してから、ｍ足手段
の備考の入力６；基づいて回転子ｌＲｖ所足童だけ一転
させて停止する制御手段とｔ−設ける。

以下、不発ａｔ−詳細にするが、不抛明の実施例≦ロニ
よる位置決め装置は、基本的ε：墨段階の位置合わせ動
作を行なうこと（二より、正確なＯ＊　Ｆｖ、７１ニ成
するようＧ二倶属されてしする。

すなわち、ｉｓ１段階で、ウェハの中心ｖａ＠中心と一
款させる動作（以下、ｔンタリング動作という）ｖ、第
２ａｌｌＩｆでウェハを一転させてフラットｔ’Ｗｒｊ
ｉ！位置６二曾わせる動作（Ｊａｔ下、Ｏす（〜動作と
いうＪｖ、そしてｗ＆ｓ獣噌でより原書な位置会わせと
して、フラットを■５ｉｉ！された基準鄭材櫨二誦−し
てフラットの微小な傾きを修正する動作域以下、０す…
）動作という）Ｖ頴次行なうように構成されている。

以下９図１を参照して評しくｍ−する。

ｇｌ、２．５図は重置−の実１例【示し。

ｌ１１−は位置決めｌｌ梼鵠の斜視図、第２−は七の機
傳琳の正面図、そして第Ｓ図は一２図のＡ　−Ａ’矢視
断面図である。同、第１．２図中、２点さ麿で貴わした
ウェハ１は、第１段階（二おいて位置会わせされた状聰
（以後、この第１　ＮＨＩ４二ついてはセンタリングと
する。）を示し、そのウェハ１が第５段階（；おいて敢
終的６二位置決めされた状態は夾■で表わす。

まず初めに機械的な構成６二ついて睨嘴する。

ウェハ１は８淋を中空番＝シた円筒状のテーブル２４：
真！畝層されて１ｇ１転する。テーブル２の下ＩＮ二は
全ＭＩＳ二渡って曹２ａが形成されている。セして＊２
ａと噛曾する謹阜４．及び−阜４ｖ−転するモータ５４
二よって、テーブル２は中心０１　（ＤＩＥＡりを矢印
Ｂｚ　　（Ｄ万ｆｌＯｔｃ、時針方向）４ニー転する。

このチーフル２の端面部、すなわちウェハ１の裏面と鍛
着する端面２６の中央４；は一状Ｗ＄２ｃが設（すられ
ている＊　＃１ＩＩ２６はウェハ１ｔ／真！吸層したり
、ウェハ１と９９４＠２ｂとの閲６：エ７ベ７りングを
作るためのエアガイドとして設けられている。

−万、テーブル２の中！２！部に紘ウェハ１を上下動さ
せるためＣ：円柱状のシリンダＳが配置されており、ウ
ェハ１の＆面とｌｌ＃する端面６二は真窒Ｗｋ着用の畝
気孔６Ｇが設けられている。但し、シリンダＳのｌｌ１
１ｉｌＥｉＩｌは、ウェハ１な上万礁二持ち上げ４時以
外は、第１に示すよう６：、テーブル２のｌＩｌｍＺ−
よりもわずか櫨二沈んでおり、ウェハの裏面事；嶺象し
ないよう１：設けられている。そこでウェハ１をテーブ
ル２Ｃ：載置してＡ？！Ｉｌｋ着にて一定した状履で一
転させればよい訳であるが、Ｗ述のようにウェハ１４ニ
ー＠に伴なう偏心があると、正しいフラットの検出がで
きない、１Ｍ！つてウェハ１ｖ−転する１１１４：をン
タリング動作な行なう。ｔンタリング励作、すなわちウ
ェハ１の中心をチーフル２の中１ｔＪＯｚ　　と−款さ
せるため４：、、ＩＮｌ、２図の如く７本のレバー６ａ
〜６ｇが設けられている＊　　を関ｇｔｍではｍｓの都
電上レバー６Ｊ″、４ｊｔ’省略してる−・）レバー６
６〜６ｇはテーブル２の円周をはば７等分する間隔で中
心０↓　を中心とする円周上４；配置されている０％レ
バーｏＧ〜６ｇは１１４１ｍｇのレバー６ａで代表的ζ
；示すよう４＝。

先ＦＩＩＡｌｉｉがチーフル２に対して揺動進退する如
く、他端ＩＩを＠１９によって軸支されている。

また谷レバー６ａ〜６ｇの先端車の為さは第５図に示す
ようｄ二、テーブル２の１ＩＩｌｆＥｉ　２６のｉＩ６
さＳより、少なくともウェハ１の厚み分以上鳥＜シてお
く、従って、谷レバーの先ｍｓは七の揺動（二よってウ
ェハ１の８周端−【押圧可能となる。南、レバーの先端
部でウェハ１の端間との鍛触邸分（二は酋５Ｊｔ債脂性
のｑ−ラが嘘けられている。このローラについては１に
述する。さらに、レバー６ａ〜６ｇは、各先端部がテー
ブル２の中心０１　　から外ｌｌ４＝開くよう≦ニバネ
８４；よって冨ζ二付勢されている。

さて、レバー６Ｇ〜６ｇの各先ｍｓがウェハ１の４１１
−押圧するとき０％先ｍｓのウェハ１との倣触姉分がテ
ーブル２の中−１（＞（Ｊｌ　　までの谷本−Ｖ略同−
にしつつ変化すれは、中心Ｏ１とウェハ１の中心とな一
部させることができる。このレバー４ａ〜６ｇの抑圧−
作の同一性′４１：保つために、絡１．Ａ図６；示すよ
うな円１１状のカムリング９な設ける。カムリング９線
、テーブル２の中心０．　　を中心とした回転が可能な
ようα：、外周の豪数の位皺−；設Ｃすられたカイトロ
ー５１５４二より支持されている。カムリング９には、
その−転這勤をレバー６ａ〜６ｇの揺１１１Ｎ−変える
ため６二、円周（：、１１１１図の如くカム部９Ｇが設
けられている、陶、拠−は、レバー６ａ〜６ｇ（；対応
してカムリング９＆Ｊ円周には７つのカム―が般け６ｔ
してい６が、ｗｍａ）ｓｔ上＊ｌＩしてある。

この＊＊＊ガに８いて、カム婦９６線カムリング９０円
周を一部えぐること４二よって形成されている。その形
状は７つのカム部で全て同一に形成されてし）る、カム
１１９ｓｌ二は、レバー６９〜６１１の中＠に間転−伍
４二設けられたベアリング７が、バネ８の付勢力６；よ
って誦鋤する。

第１１：示すよう４；、カム部９ａは、カムリング９が
矢印ｋＬ８　の方向（時計方向目二回動したとき、ベア
リング７が中心０１　　方向へ薔動するようなカム面４
＝なっており、そのカムリフト量は７つのカム部とも全
て同一（二だめられている。従って第２図舊；示すよう
４二カムリング９の回動４二より、レバー６ａ〜６ｇの
各先端車はテーブル２の中心０１　　から互い６二等距
離な保ちつつ揺動する。また、カムリング９は、バネ１
１５二よってレバー６α〜６ＩＩの告先趨鄭がバネ８籠
；抗して常（；中心０λ　に向けて亨むよう６：、即ち
０ｗ＃針方向−；付勢されている。そしてこのカムリン
グ９の実際の回動は纂１−舊＝示すモータ１４１：よっ
て制御ＳｔＬ＆、　モー９１４　］＄ｌ：Ｓｉｔ巴１ｊ
ｌ　５ｂＳｒｌＡ’ｉｊｌされ０円板１３６；はモータ
１４の１１１４：、対して偏心した位置−２１ｇ１転１
（Ｅなべγリング１２が軸支されている。このベアリン
グ１２は、カムリング９４；設けられた切欠き９６円し
位置しており、初期位置ではバネ１１の付勢力のため切
欠き９ｈの剛＠９ａｉ’ニー轟徴する。

また１円板１ｓの外周−泌６：は５Ｉ−饅が設けられて
おり、その！ｌ！出鵠と係合すること６二より作動する
スイッチ１６が設けられている、このスイッチ１６はベ
アリング１２と９１１面９−との轟畿状ｍｖ検出するた
め（；設けられている。詳しくは後述するが円Ｉ［１５
の一転籠；伴ってベアリング１２が端一９Ｃからほぼ離
れや時Ａにスイッチ１６の状謙が駅わるよう６二、ベア
リング１２の軸支位置や＊−鄭の形成位置等が＠１１１
８れている。恢って厳＠１：べ７リング１２が＠　＠　
９　ａかｂｍれることを検出したければ、率１；ベアリ
ング１２とカムリング９との電気的な良導、絶縁状１ｌ
ｔ−検知すればよい。

以下−二動作ｖｌ！明する。

（１）ｔンタリング胸作堪；ついて； このｔンタリングは＄　２１！１１４：示すよう１二。

ウェハ１がべＪレト５０ｉ：歌って＊ａされ、テーブル
２の上−二位置させる動作（以下、ローディング動作と
いうンの餞に竹なわれる。この時第５図のようＣニベＪ
レトロ０の烏さは、テーブル２の１１１ｉ１２６やレバ
ー６ａ〜６ｇの各先端部よりも高（、搬送されてくるウ
ェハ１と９量的Ｃ二干渉しないように疋められている。

そしてウェハ１がテーブル２の上方、ばば中央に位置す
ると、ベルト５０ｖ支えているプーリ５１ｖ降下させて
、ウェハ１ｖテーブル２へ受は渡す、テーブル２は、こ
のセンタリングでは一転せず一１１１１２Ｇからエアを
排気して、ウニへｌｋ面と端面２ｂの関（ニエアベアリ
ングを形成する。

久６；モータ１４が作動してウェハ１のセンタリングを
行なう訳であるが、この彎七−タ１４の一転は、ベアリ
ング１２がバネ１１の付勢力に賊も抗してカムリング９
の端面９Ｇし当徴するような初期位置として円板１５が
１１！１１転するように１１１１Ｉｉ４Ｉされる。すな
わち、４／Ｊ期位置１：おいてカムリング９はバネ１１
の付勢力４二歳も杭したｆｍｍ４二あり、レバー６α〜
６ｖの各先４ｓは外側感二最も−いた状膳にある。

そこでモータ１４が作動すると、カムリング９はバネ１
１の付替力（二従って時針万ｒｉＱ　４二ＩＩＪＷＩＪ
＆始める。一時一二レバー６６〜６ｇの台先瑠都はカム
ｉｌ　９　ａ　＊ベアリング７４：よってテーブル２の
中心Ｏ１６；向けて叩むように薔勤する。そしてウェハ
１のｌｌｌ１１ｍがレバー６８〜６ｇの各先端部６；よ
って屑自から挾み込家れると。

カムリング９の回動は停止する。この時、ウェハの中心
はテーブル２の中心Ｏ１ｉ’ニー葺曾（即ちｔンタリン
グンされたこと（二なる。−万、モータ１４はさ６６二
圓転を続け、ベアリング１２が１Ｉ４ＩｊｉＮ９ｏかｂ
−れて、スイッチ１６の状態が変わると共Ｃ；切欠き９
６円ｖｇＬ転した後、再びｌｌ１ｍ９ａ（：当接する。

この轟秦時から円板１５が初期位置に戻る関（：、レバ
ー６ａ〜６ｇの各先ｍｓは、Ｐ及び外側−：開くように
憂励する。−万、センタリングされた直後、テーブル２
の壽２Ｃからのエフ＃気はスイッチ１６の作動によって
吸気に切替えられて、ウェハ真向の真！２！吸層ＶＭ始
しおり。

テーブル２（−ウェハな吸着するときの位置ずれを畦土
している。

以上の動作（二より、センタリングされたウェハ１はテ
ーブル２にＸ！２吸着（二て固足される。また以上の説
明−二おいて、レバー６Ｇ〜６ｇは７等分した位置（：
設けであるが、これはウェハのフラット及びサブフラッ
トＶ考慮して足りたものである。サブフラットとは第８
図（二示すようζ：位置曾わせのために設けたフラット
（以下、主フラットνとする。）とは別に、ウェハの１
１ｍ１ＩＩＩｉを弐わすために設けた直線状の切欠きｒ
′であり、その切欠き量は”主フラットＰよりも少ない
、またサブフラットＦに対して９０若しくは１５５の方
向に設けられる・ 一般（二重板状のｇＩＪを周囲増面を押圧してセンタリ
ングするの（＝、少なくとも６方向から押圧する必資が
ある。このことから０本発明の’＋（ＮｉＭでは、ウェ
ハ１の王フラット？、サブフラットがどの位置−；あろ
うともＩＩＩ実４：センタリングできる押圧位置として
、ウェハの周ａｖはば７等分した７か所６；定める。こ
こでレバー６ａ〜６ｆｌが７本必儀なの線、主フラット
、サブフラット（２６４１本のレバーが対向したときで
も、Ｓの５＊のレバーによってセンタリングできるから
である。すなわち。

ウェハの外周のうち半周以上に畝ってウェハの円周端面
ｖＰＩＡするようｄ二複数のレバーを等分割した位置に
立てればよい、Ｎ、ウェハ１にサブフラットがない場合
は、ｊｌｌ−を５等分した位置４：５本のレバーを立て
ればよい。

（２）　Ｏ・ｒ（４）動作４一ついて；このとき、王フ
ラットνの検出は第２．５＃Ａ４＝示すようＣ；センタ
リングされたウェハ１の周辺部下方ζ；配ｗＬ８れた′
１つの光電素子３ｓと、ウェハ１の上方より光電素子ｓ
ｓに投光する投光１１４０と、モータ５の棚（：［＠さ
れて０輪の一転数４；比内したパルス練を角生するパル
スジェネレータとが象われる。このＯ・ｒ（４）動作の
電気的側御６二ついては後述する。ｔＩ４０党九累子５
６の受光面は主フラットｒやサブフラットの傾き１；対
して充電出力が変化するよう６：、例えは第２１６＝示
す如くテーブル２の中心Ｏ１４：向けて細長６；形成さ
れている。Ｈ局、七の充電出力ζ；基づいて。

ウェハ１の主フラットｒが光電素子３５の上方４二位置
したとき、テーブル２の（２）転１丁なわちモータ５の
回転な停止することによって０・１に）動作は終了する
。

φ）０１１？−）動作６二ついて； ウェハ１は今光電累子６ｓの上方４：主フラットｒの中
心ｉ１ｖ位置して静止している。ウェハ１の主フラット
ｒの微小な傾きを修正するために基準Ｗ６にとしての固
定ローフ１８Ｇ。

１８Ｌ１８ａ　が設けられている。固定ローラ１８ｇ、
１８＆　　の外周は主フラットＰ４：共毫；轟嶺するよ
う様、互−二−転棚の間隔が定められている。セしてｌ
１ｉｌｌ定日−ラ１Ｂａ　μ、園疋ローラ１８ａ、１ｔ
＄６　　に刈して約９０″の角Ｊ［ｖなした位置に一転
［に輪重されているＰ同。

０・Ｆ（４）動作の終了ｌ＃＆：は０ｗＩ定ローラ１８
（１〜１ｅ３＋　　はウェハ１と歯徴していない、そし
て、固定ローラ１８ｇ、１８＆　　の外周に主フラット
Ｆｌ、固定ロープ１８ｇ　　の外周にウェハ１の円周ｊ
１１面ｔ／轟畿させることシ：よって、厳密な侃１決わ
が終了する。ウェハ１ｖ崗足ローラ１８（１〜１８ａ　
　４”：、＃ｆｌＷｋさせるために　＠１゜２図６＝示
すようζ；泣を決めレバー１９が設けられている０位置
決めレバー１９は過Ｘｔンタリングされたウェハ１の外
周よりも遣方４：退避していて、この００Ｆ　ＣＢ）−
作時に不−示のエアシリンダ４二よってウェハのｔｍｒ
ｉｓ＊押圧するよう駆動される。

＠２．３図菟；示すようｓニー　ｏ　・ｙｔｉｓ）＋ｅ
ｕｙ＋が終了すると、ウェハ１の中心は、テーブル２の
中心Ｏ１からシリンダ５のはば中心υ亀　家で参製して
いる。換貫丁れに、００１棒）動作中感二おけるウェハ
１の中心と０・１（６）−作終了時のウェハ１の中心と
の匍夢に対応して。

中心Ｏ１と中心０露　とをずらすよう６ニテーブル２と
シリンダ６を配置することが望ましＩ／Ｘ。

陶、第２図中、固定ローラ１Ｂ＆　　の近傍Ｃ二は光電
素子６４が配置されている。この光電素子６４は、主フ
ラットＰが正しく固定ローラＩ　Ｂａ、　１８６　　の
両方ｔニーａｍしているか否かを検出するために設けら
れている。もちろん。

第３１１ｇ（：ｌ−示した投光器４０と同様の投光−１
＝よって上方から投光されている。そのため光電素子６
４の受光面は、王フラットｒの鵡き（ｌＩｉＩＩ屋ロー
ラ１８ａ、１８６　　のうち、いずれか−万が王フラッ
ト１と層れている状ＷＩＡ）が充電出力の変化として生
じるように、１１えは位置決めされるべき主フラット１
の［ｉ１方向１；沿って１１；形成されている。この光
電素子５４の作用４二ついては後述の制御動作−二おい
て説明する。

第４図は、７本のレバー６α〜６１の先−悌を具体的瘍
：示した拠施ガである。前述のよう一二各レバーの先端
淋、ウェハ１の１１ＩＩＩ＃Ａと酸触する部分鑞二は合
成ｍｍ性のロー５５２が設けられている。１１１１示の
ようロレバー６の先端４：ハ、ウェ八１の平面と略平行
な面で約１８０回励するよりシ；バー５１の軸端が＠ｓ
　ｏｔ−介して＠叉されている。ざらにローラ５２はバ
ー５１のｉｍ層ζ：輪５５を介して１転目在櫨ニー支さ
れている。矢印Ｍはレバー６の揺一方向’４（示１．．
．バー５１が；Ｃ０）１１１１ａ万ＮＩ：８って約１８
σ回帥すること（二よって、ローラ５２ｔ＃レバー６に
対して夷−と点−で示した２つの位置（；麓めることが
できる。このよう（ニローラ５２を２つの位置（：切誓
えるとさ、２つの位置（二″Ｊ６４するウェハ１との級
ｍ位置のｒれｄ’ｔ’ｆＦＩｌえば１インチ６二して８
くと、　［１ｍが４インチのウェハと、５インチのウェ
ハとの両刀がｆえること砿：なる、このように、先端の
ロープ５２Ｖ：変位可能とすること舊：よって、レバー
６はウェハ１の平圓（；対して富ζニー区な［１１でπ
ンタリングすることが可馳となる。

このことは、第１１ｉＡ４：ボしたカムリング９の一転
なウェハ１の大ささにかかわらず冨６：−建（二するこ
とを本体するものであり、カム鄭９ａ、切欠き９６等を
ウェハの大き８を考慮して何ら変更する必賛かないとい
う利点がある。陶、ローラ５２は一転ではなく直巌的移
ＩＩＩＪ町馳にし、屈中でクプンプするよう４；シても
良い。

以上に述べてきた徐械的＃１１ｉｔによれば、センタリ
ング動作のと８１ニレパ一４ａ〜６ｇはウェハ１のＪＩ
ｉＩｌｆＩｍ面ζ二当澱するだけである力為ら。

ウェハのシリコン粉の発磁やワエＡＨｍ布されたレジス
トの剥１ｌＩｌｖ非富４；少なくすることができる。ま
た、ウェハ１は１−プル２との間に設けられたエアベア
リング−よって支えられてセンタリングされるが、レバ
ー６α〜６ｇがウェハ１のＪ１１＋２ＩＩＩＩｉｌｉ４
；鋤澱した伏線でエアベアリングはＸ空ｔｍｍｔ：切替
えられるから。

ウェハ１のセンタリングは憔めてＩＩＩＩＩ稽にに達成
できる。

＃＆５図は本Ｓ！！明の央抛例による位置決め装置全体
のシーケンスを示すフローチ？−？ｌｌである０本装置
では、このシーケンス６二従ってベルト６ＫＪの搬送、
モータ５．モータ１４゜テーブル２０１ｋ＃気及びシリ
ンダ６の畝婢気等の動作は全てマイクロ・コンピュータ
（以下率にマイコンとする。）によって制御され４、−
１／Ｒ（１）マイコンと同様０本装置のマイコンにも、
シーケンスを進行するためのプログラムを納めたメモリ
鄭と１％種演算や条件判断をするための演算凪纏鄭と、
側御対象からの情報な入力したり、演算、’Ｎ＃＃釆の
情報な側Ｉｉ＆１対象へ出力するための入娼刀制御鵠と
が設けＰ）れている、しかしながら本装置のシーケンス
６二従明Ｔるにあたり、マイコン８鄭のプログラムに僅
っだ評しい動作４二ついての説明、ｆｉえは中央地場ユ
ニット（ＯＦυ）の違い七よる円Ｓ動作の量＾等につい
ては説明を省略する。

第５図−二おいて、賛め礁二マイコンμワエハをベルト
３０１；よってｇＩｉ送するローディング動作６０を真
打する。これはベルト６０′に電制す６１）Ｃモータ＄
４：、マイコンの入出力ｔＳＳ部（以下、Ｉｌｏ　ｇ　
−）　トするＰ）から＊＊＊号を送ること４二よって行
なわれる。このとさ。

ウェハはベルト５０４二載ってテーブル２の上刃まで軽
動してくるが、ウェハが虐足位置に運したか否かは、＠
２図に示した光電センサ６２によって逐次モニタされて
いる、すなわち、ウェハの円周端面鄭が光電センサ６２
の真上にくると、″ｊｔ、′砥甘ンＴ５せの光電出力が
変１こする。マイコンはとの光電出力の情報を１７０ボ
ートを介して読み込み０次の条件分妓処埴６１を喪？Ｔ
Ｔる。条件分岐処埴で光電センサ６２の尤電出力感＝基
づいて、ウェハが光電でンサ６２まで運していないとき
はローディング動作６０ｔ−続行するようζ二判断し、
ウェハが光電πンサ６２まで這していれば。

五／υホードからベルト６０１に駆動するＤＣ七−夕へ
出力されていた躯ｗＪ備考を中断する。

そして、ベルト６０の埴送が停止してワエ）への中＊部
がチーフル２の上刃に位置すると。

マイコンは、第２−に示した７−リ５１ｖ降下させるた
めの指令Ｖ　Ｉ１０ボートから出力する。この指令に基
づいて、プーリ３１が支持される不図示の支ＷＩｓ材會
モータ、又はエフシリンダ等（二より所定位ａｌｔで降
下させる、この動作（二よって、ウェハはテーブル２４
：受は渡されると共−；、マイコンは久のセンタリング
動作６２を実行する。ｔノタリノグ励作６２は、テーブ
ル２の３１１１ｄＩＪ２６とウェハ裏面との関（：前述
の如くエアベアリングを［Ｅｆることから始められる。

このため、マイコンはテーブル２の酵２Ｃからエフを排
気するよう１：不図示のパルプｔ”　１ｔｌ１１１する
ための（−令馨出力する。しかる俵、センタリングを行
なうためのモータ１４（二駆動偏号ン出力する。このと
きマイコンは、センタリングの１戚時点。

すなわち第１図Ｃ二本したようＣ；ベアリング１２がカ
ムリング９のｍ’ｔＪ９；からはば−れるときＣ二状島
が嵐１じするスイッチ１６の−閉時点ｖｌＩＩみ取って
＊　＃　２　ｃからの排気Ｖ吸気に切誓えるためのＭ＋
を出力する。

せンタリング動作６２が終了すると、マイコンは次の０
・Ｆ　（Ａ）動作６５ｖ％行する。この０・Ｆ（４）動
作６５は、ウェハの王フラットＦｔ′検出する光電素子
５６の光電出力と、モータ５の回転４二伴って発生する
パルスジェネレータ（以下、ＰＧとする。）のパルス備
考とｄ；晶づいて、モータ５の回転【制−することによ
って行なわれる。陶、詳しくは８１４６゜７Ｗ４二基づ
いて恢述する。

次に、マイコンは０・！（切動作６４ｔ／夷行する。こ
のとき０・ｒに）輪作６Ｂ１；おいてテーブル２４；真
ｑａｍされていた９エバは、ｔンタリングのときとｌＷ
ｌｍｌ−８び工７べ７りフグ４二よって支Ｈされる。マ
イコンは、Ｖυホードｔ−介して壽２０からエア＆排気
するようζニバルプＩＩ＃を制御する殉會を出力し、久
４二位置決めレバー１９ｖ駆励−「るためのＩ１１曾馨
出力して、ウェハの端一を押圧する。

次６；マイコンは１Ｉ２１１１１：、示した光電素子ｓ
４０光亀出力の情報ｖＩ１０ボートを介して貌み込み０
条件分舷Ｊ６，１１６５ｔ’ｌ１行する。このとき、マ
イコンは光電素子６４の光電出力が砲手０着しくははば
零であるととＶ検知すると、王フプットνｓ：、ｍｓか
ないものと判断して次のリフト動作６６へ興行ｖＳす、
もし光電出力が所定値以上であると検知されると。

マイコンは位置決めレバー１９の抑圧動作を解除して、
再びｔンタリング動作６２から上述のよう４：くり返し
興行する。

条件分絃処１１６５でＹｉ１８　　と判断されると。

マイコンはリフト動作６６としてシリンダ６を上昇する
ための指令な不図示のシリンダ上下動ｌｌｌＩ４二出力
する。同時櫨；位置決めレバー１９の抑圧動作を解除す
るための指令と、シリンダ５の歇気孔６・から獣気して
ウェハ裏ｗＡ＆シリンダ５（；具９歓層するための指令
を出力する。この励作区；よってウェハの中心−はシリ
ンダＳの端面６；一定されて、ウェハは上方の所定位置
まで桜鯛する。

以上のシーケンス１：より本装置の０・２１９１作は死
重するか、以後ウェハは、爵元ｔＩ装置。

検ＩＥ装置、又は側足装置等のウェハ載置台へ王フラッ
トの向きが位置決めされた状謙で搬込される。

次に本発明の実１において、ｌｑ述の０・Ｆ（６）動作
６３ｔ／行なうための具体的な制御系４；ついての１１
！３ｍガな、第６．７１１Ｑ４：基づいてＩＭ！明す４
．第６ｔ１！Ｊは（Ｊ　＠　Ｆ（ＡＪｌｉ１作６５１：
必畳なｌｌｌ１＃−路のブロック１１ｇを示し、第７図
４その制御回路の台傭号の様子を示したタイミングナヤ
ート図である。Ｓａ述のよう櫨二本輌筺のシーケンスは
全てマイコン１００４二より制御されており、テーブル
２のＸ９！１ｋｊ１．工７べｌリングの形成動作、シリ
ンダ６の具璧執層及び上下動の動作、モータ１４の駆動
０位置決めレバー１９の抑圧動作、尤ｔＩＬ系子６４の
光電出力のモニタ、ベルト６０の駆動、そしてｔνす６
２の光電出力のモニタ等紘全てマイコン１００のＶＯボ
ートからのパスライン１２０ｖ介して情報のやり堆りが
行なわれる。

陶、以下の睨明において、マイコン１００のＩ１０ボー
トのＩ？＠は実際はｊ５１ｒ建のインターフェイスを介
し【外部の装置とやり堆りされるが０便宜上、Ｉ１０ボ
ート６：代表して説明する。

第６図６＝おいて、光電素子３６の光電出力は７ンブ１
１０４＝よって増幅され、その出カイぎ号Ｍ、　は次の
バンドパスフィルタ１１１（以下、　ＢＰν１１１とす
る。Ｊ−＝よって微分され心、そしてＢｐｌ？　１１１
の出力値号麓島　は。

王フラットのみな検出するための１１１ｗ１Ｌ出−路１
１２と、生フラットとサブフラットの切欠きの中心鄭の
装置を検出するための纂２検出ｉｌｌ！Ｉｗ１１１３と
の両方６二人力する。第１検出１ｇ１ｗ＆１１２．Ｍ２
検ｍ１ｉＡ１６１１５ｃＤ％ｔＢ刀１１１４１Ｎ５．ｂ
４はデジタル化された２ａｌ１４＃として発生し、マイ
コン１００のＩｌｏ　ｊＫ−トのうち０人力動作Ｖ竹な
うポートｌｘ＊１ｍＷそれぞれ入力する。

−万、モータ５は、ｉ１列ｍｇされた２つのトランジス
タ（以下、　Ｔｒ　　とする、７１１７゜１１８によっ
て駆動と急停止が制御されるや七のためＴｒ、１１７，
１１８の缶ベースは。

マイコン１００の１１０ホードのうち、串力卿作を行な
５ボート’ＩＩ　ｅ　’４かｂデジタル信号な入力する
。冑、モータ５は、エミッタな電源４：ｉｌｊ絖したｐ
ｎｐ　Ｔデ　１１７のみが導通すること４：よってコレ
クタから給電される。モしてモータ５の急停止は、モー
タ５の端子に韮＾ｌｌ絖されたｎｐルＴｒ１１８のみな
導通することによって、モータ５の端子を短絡する。

し１わゆるダイナミック−プレー亭ｉ二より行なわれる
。そして、モータ５４；給電される電源電圧はスイッチ
１１６４二より高電圧Ｈマ　と低亀比しマ　とａ：切替
え可能であり、モータ５の一転遮Ｋｖ２１１ＬＮ４：遥
択できる。このスイッチ１１６はマイコン１００のＩ１
０ホードのうち、出力製作な行なうボートＰ、　　から
のデジタルｇＩ″Ｉｔ、　？Ｉえば細、ｔｌ　ｌ−ＭＪ
　、　　「ＬＪζ；よって切替え動作を行なう。

またモータ５の回転＊ｔ：ｉｉ＊シたＰＧのパルス９Ｈ
ＪＩｔｔ、　ｘインチ１１！ｂ’ｔ’介してカウンタ１
１４４：、入力する。そしてカウンタ１１４はこのパル
ス備考のパルス数を針数すると共に。

そのＩｆｆ数値なマイコン１００ａ）１１０ボートのう
ちボートＤ−６：送り出す、真、カウンタ１１４はボー
トＤ臀　を介してマイコン１００から任意のデジタル値
をプリセット可能である。また、スイッチ１１５はＰＧ
　　のパルス値号をカウンタ１１４へ入力するか否かを
切替えるため舊；マイコン１００のＩ１０ボートのうち
出力製作を行なうホードｒＩ　からのデジタル備考、−
履ｒＨＪ、ｒｌＪによって制御される。

以上の構成のもと砿；、謳７図な用いて不装置の０・ｌ
に）動作における制御系の動作Ｙ：ｌｌ！ｉａする。ｏ
　’Ｉ　ｙｃｕｓｕ’ｐがＮｊ！！１１！−れ６　胴ｔ
＝、、マイコン１００はボートＤ＃　　を介して所蔵の
デジタル値をカウンタ１１４にプリセットＴる。

このデジタル１直は、ここでは−例として纂１〜３図で
示したテーブル２が１−転、すなわち吸着−足されたク
エへが１−転する間にｐｏ　から出力されるパルス数と
同じ値とする。

次にマイコン１００はボートに’ｚ　　ｉ；洞えは論壊
「ム」を出力してスイッチ１１５ｖＨｆ！−ボー１’Ｐ
ａ　　に論１１ｒｉＮｔ−出力して、スイッチ１１（Ｓ
ｔ’高電圧Ｈｖ１４１１にし１本−１”　ｐｓ　＃Ｐａ
　　（ニーＨ１ｒＬＪを出力してモータ５の高速ＩＢＪ
転な開始する。

一万、ウェハのｇ＆４＝伴って、７ンプ１１０のｆＩＩ
１１号Ｍ　は纂７図のように変１とする。向。

＠７図はｗ＠ｔ一時間４＝、板軸な電位として定めであ
る。モータ５が時８ｔｏ　で高速回転を始め、その恢ウ
ニへのサブフラットの中心部が光電素子６５の真上１：
位置すると、７ンプ１１０は＃１Ａｔｚ４二おいて信号
ｎｌ　が他大値となるピーク＆Ｉａ　を軸先する。畜ｂ
１ニウェハの回転が醜くと、王フラットの中心−が光電
素子３ｓの臭上舊；位置する時１ｉｌｙｓ　　において
。

アンプ１１０は信号８１　が最大値となるピークＦＭ　
　ｖ発生する。先にも述べたよう１；王フラットの切欠
き童はサブフラットよりも多いので、ｗｋ７Ｔｍの如く
ピークｌ’Ｍ　ａ）訳＾籠の万がピークＰ１　　よりも
大きくなる。＊つてピークｌ’Ｍ　のみｔ−４４Ｊ別し
て検出することによってウェハの王フプット一対する０
・ｒが正確６；行なわれる。しかしながら、ウニハコ；
＠転６二伴う傷心が生じていると、１１号Ｍ、　　は纂
７−のようにきれいに鋪庄せず、クエへの円周部分で生
じる信号ｍ、ＩＤ［１１Ｅ電位が儂心砿；伴って変動し
てしまい、最蟲の場合ピークＰＩ　。

１’Ｍ　　のｌＩ＆慣の関係が連署；なってしまうこと
もある０本ａｍでほこの点Ｖ考厘してゐらかじめπンタ
リング動作によりウェハの偏心な堆り除いであるので、
１つの元１１Ｌ累子５５で十分フラットのｊｆ４Ｊ別慎
出が可能となる。

そして、上述の１ｏｓＦｇｌＡ号ｍｌ　ｊｉｉｌＰＦ　
１１１によって微分されて、纂７１１１１のような信号
ｊ！＝　　１−得る。１［号１１１　ｒ−Ｐ−が主じル
ト、領号ＩＡ＊　　４：、は単振動的な過渡応答ｍＴＩ
　か生じ。

ピークｐＭ　が生じると、過渡応答ａ［ＴＩ　　よりも
儀動か大きい過渡応答［ＴＭ　　が生じる、この応答＠
ＴへＴＭ　の畿動中心は、ピークＰＳ。

ｐＭ　　の波高値の１Ｈ１１，ｔｓ　　４：、対応して
いる。

この備考ｊｉ、　　は第１検出ｉｇ回路１１２に入力し
て、所足のスライスレベルＶｒ　　を比Ｉ２すると共１
：、振動の大きな応答ｉ［７Ｍ　のみな検出して時刻ｇ
ｓ　　の閾後でパルスＤｌ　　な生じるような慣号Ｍｓ
　　な発生する。さ＆（：：１１号８霞　は１１２検出
關賂１１５ζ二人力して、応答波Ｔｓ。

Ｔ菖の煽動中心である零クロス点なウィンド・コノパレ
ータ等で検出して６時４　ｇｚａ　＃ｊ１においてパル
スＤ露、Ｄ、な生じるような１１ｇＮ４　　を発生する
。

さてマイコン１００は、モータ５か回転し始めた１しＯ
かｂホー？　ｌｘ　、　Ｉｓ書書入人力る＊ｇｍｓ、　
ｋｉａ　　Ｉ’ｌｌ！み込み”Ｏ＠ｓ、＋ＲＩ１ｍ算処
ｍ＠４：？、１Ｇｌｉｌｌ１号の７ントを演算している
。

健って偏’ｔ　ｈａ　ｅ　ｊ！４　は与剤の７シＦ−路
で演算して、その結果【マイコン１００に入力してもよ
い、そして時刻ｔａ　　Ｗおいて、パルスＤ、　　とパ
ルスＤ、　　とで７ントかとれると、すなわちウェハの
一転中に主フラットの中心−が光電素子５５の真上ζ；
位置したとき、マイコン１００はホーｔ’Ｐｚ　　に麹
層ｉ　１１Ｊ　ｔ−出力してスイッチ１１５ｖ閉じると
共４＝、ホードＤ８　　ｔ＃入力動作にしてカウンタ１
１４のデジタル値の読み込みｖＮ始する。そして１１７
１１１の如（ｌＩ刻黍烏　　からＰＧ　のパルス信号墓
νはカウンタ１１４４：、入力し、カウンタ１１４はそ
のパルスｖｍ述の如くプリセットされたデジタル値から
朧次減算していく、マイコン１００ハＩＰ１１１　Ｌｍ
　ＪＡＬｍ、　力’）：Ｊ　９１１４　ａｆｔａｉｍの
み６二基づいて王フラットの位置Ｖ定める。すなわち、
マイコン１００はボートＤＩから計数ＩＩｖ逐次読み込
み９内湯の演算几履琳でその籠が零になったことｔ−検
出したとき。

モータ５ｔ−急停止するよう（：、１１作する。

評しく述べるなら、マイコン１００は針叙値が苓４；近
づいた所屋罐になったことＶ検知したとき、カえは一７
図で時刻ｔ５　　のときポートＰｇ４：論１７ｍ［１−
Ｊ　ｔ’ｆｆｉ刀り、　２４ツチ１１６ｔ’ｔ４Ｃ圧Ｌ
Ｖ　ｉｌｌ二切１１ｆｐＬテモ−９５に低速１転にする
０丁なわ）、ウェハが時刻ｔａ　　から１１ｇ１転を終
了する罰−＝ウェハの回転を減速して、慣性によるイー
バランの影４１１を防止する。さらＣ二その拭動で、マ
イコン１０口は釘数値が零直二なったか否かを判廻しつ
つ。

時刻！４　において零のとき小−トＰａｎ　Ｐ４　　か
ら共に鍮１１ｒＨＪｔ’出力してｉ°ｒ１１７［不導過
に、　Ｔｒ　１１８Ｖ＊造状］１！６１１４二切替える
。

これにより七−夕５の逆起１力はＴｒ１１８で短ＭａＪ
して、ウェハの回転は急停止する。

従ってウェハの主フラットの中心部は０時刻ｔ８　　か
ら正−≦：、ＩＩｇ１転した故０光電嵩子６５の真上感
二ｉｇ、ｆ曾わせされる。

このように０本発明の制御系の央ｍガ４二おいては、ウ
ェハの王フラットな５ｔ１１Ｅ的に検出する鵬６二、ウ
ェハは＾、１ｉｌｌ（二１１２１転されるから。

信号ｌｘ　のピークｐＨ，ｐｍ　が鈍ることなく。

比獣的鋭い披Ｓｖ得ることができる。従って王フラット
の中心部は梢直よく検出できると共（二、ピーク五″輩
のピーク点からＰＱのパルスＷＸｖ針数してモータ５を
減速させた畿、急停止を行なうので、主フラットの位置
合ゎせは他めて正確なものとなる。また１本笑施ガでは
、主フラットの中心部が光電素子６５の真上になるよう
に位置合ゎせされているが。

カウンタ１１４へのプリセツト値をｆ、すること盛；よ
って、王フラットの向！’ｌ’ｆＥｋの位置（；酋わせ
ることができる。さらζ二、王フラットの位置を検出す
るの６＝、従来のよう（：２つの光電素子を設けて、２
つの光電素子の出方が主フラット（＝よって共１；最大
ＩＩ（＝なったとさや、王フラットによって静電容量が
歳も沢化したときにカウンタ１１４の欲算１ｔｌｌ［ｔ
−Ｍ縮するよう（ニジてもよい、 陶、第６図において、＠１検出回路１１２は、早４：ｓ
ｌａｖＭｌ　ｔ’入７］シ”Ｃ、ヒ−’７１’Ｍ　４Ｄ
みを所にのスライスレベルと比較してパルスＤ、　　Ｖ
発磁するコンパレータ等６：より構成できることは言う
までもない、また、カウンタ１１・４はマイコン１００
のＦ’ｊｌｉ４二あら力島じめ偏えられた演算用のレジ
スタ等ｔ’ｓつてもよく、この鳴音ＰＧのパルス備考は
＃ＬｇＩｋマイコン１００のＩ１０ボートから飲み込む
よう４＝する。そしてプログラム上で０ｗ＃刻ｉｓ　か
らＰＧのパルスをレジスタ円のデジタル値から減算する
ようにすればよい。

災砿；、レバー６ａ〜６ｇ　は必ずしもテーブル２の中
心（ｈ　　ｔ’中心とする円周上に配置する必ｌＩ！は
なく、ここから多少ずれていてもカムｔｍ９ａのカムリ
フト童なこのずれに応じてｓｕｉすれは前述ｔｒＩＪ様
の作用が得られる。

陶９以上欧明した実Ｍ　９１１４：　１４いて、ＩＩ［
数のレバーはウェハの円周６二沿って等分納した位置艦
二設けられている。これはベルト５０で搬送されてくる
ウェハのフラットの方向が一定していないため、フラッ
トの方向がどちｂ＜＝向いていてもかならずｔンタリン
グできるように等分割としである。

以上Ｉ５！明したよう６；１本発明６；よれば８板管体
としてのウェハは、切欠１！【検出してから所定量だけ
回転した後停止するから切欠きｔ検出したｍ号のみＣ；
基づいて円板物体の回転を停止するよりも正確な位置決
めか這成できる。さら１＝不発明では円板一体の最終的
な回転停止位置は切欠きを検出した軟のｌ１ｉｌ＆量４
＝よって制御されているから、少なくとも切欠き音検出
するまで線比獣的馬遍（；−転させることかでさ、この
ため切欠８のＩＩＲ出ＩＩ号も憔めて積置よく得られる
という効果もある。

【図面の簡単な説明】

３１ｗ１Ｊは本発明の実施ガＣ；よる位置決め装置を示
すｆｐ１社壇であり、１Ｂ２−線、纂１図を上方よりみ
た正ｍ図、第６図はその回部謝自一を示し、第４１１Ｑ
は、レバー６Ｇ〜６ａの先端部の笑施＊ｔ’示す鱗視鳳
、１１５−は６本彊筺の動作のシーケンスを示すフロー
ナ？−１−図、第６図は本装置の制御系の回部を示す回
ｗＩ＆園、＠７図は纂６図６；示した囲路の各電位ヲ表
わしたタイムチャート図、そして５ａａａはウニへのフ
ラットｖ表わしたｆｌ＋１１１Ｉａである。 〔主ｌＩｓ分の符号のｌＲ明〕 １・・・・・・・・・・・・ウェハ（円板１体）２・・
・・・・・・・・・・テーブル（ｍ１転手ＩＲＪＰＧ・
・・・・・・・・・・・パネルジエネレータ、？６図 オゴ図 オ８図 Ｈ′ 手続補正書（方式） ％式％ ｌ事件の表示昭和５６年特　許願第１１５８７８号３、
補正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　　東京都千代田区丸の内６丁目２番３号％、ｊ　
　　（４１１）日本光学工業株式会社４、代理人 ５、補正命令の日付　　　　　昭和５６年１１月５日（
発送日：昭和５６年１１月２４日） （１）別紙の如く、委任状１通を提出致します。 （２）別紙の如く、印書せる明細書１通を提出致します
。 （３）別紙の如く、正式図面１通を提出致します。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １４咄の−ＩＮ二切欠きを設けた円板一体を回転する回
   転９１段と；その１に応じて切欠きを検知して検知信号
   を発生する切欠き検知回路と；前記Ｉｇ１転手段の一転
   重一二応じた信号を発生する測定手段と；咳＠１定手段
   の信号の入力に基づいて、ｙｍ記検出僅号ｖｇｔ偏した
   ときから前記−転手ＩＲｖ？ｙｒに菫だけ一転させて停
   止する制御９ＩＲとを備え０円板一体の切欠８をＦｉｇ
   の向き６＝位置決めすることｖｑ＃黴とする円板書体の
   位置決めｊ！蝋。