JPS58123844A - 半導体機器のリ−ド材用銅合金 - Google Patents
半導体機器のリ−ド材用銅合金Info
- Publication number
- JPS58123844A JPS58123844A JP708582A JP708582A JPS58123844A JP S58123844 A JPS58123844 A JP S58123844A JP 708582 A JP708582 A JP 708582A JP 708582 A JP708582 A JP 708582A JP S58123844 A JPS58123844 A JP S58123844A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体V要素とする機器のリード材用銅合金、
特にリード材として価格が安く、従来のコパールと間等
i上の強度及び耐熱性v脅し、はるかに優れた導電性及
び熱伝導性を有する銅合金に関するものである。
特にリード材として価格が安く、従来のコパールと間等
i上の強度及び耐熱性v脅し、はるかに優れた導電性及
び熱伝導性を有する銅合金に関するものである。
一般にIC,L8I%の半導体を要素とする機器は何れ
も半導体ペレット、アイランドリード(リードフレーム
)及びポンディングワイヤーによって構成されたものを
八−メチツクシール、セラミックシール又はプラス−ツ
クシールにより封止したもので1種々の型式のものか用
いられており、これ等機器のリード材には次のような特
性が要求されている。
も半導体ペレット、アイランドリード(リードフレーム
)及びポンディングワイヤーによって構成されたものを
八−メチツクシール、セラミックシール又はプラス−ツ
クシールにより封止したもので1種々の型式のものか用
いられており、これ等機器のリード材には次のような特
性が要求されている。
(1) 熱及び電気め伝導性が良いこと。
(2) 耐熱性が優わていること。
(3: 曲げ加工性が良いこと。
(4) 強度が優れていること。
従来半導体機器のリード材にはコパール(Cu−Ni−
Co合金)、4270((Fe−N1合金)。
Co合金)、4270((Fe−N1合金)。
Cu−8m−P合金、70 K 194 (Cm−Fe
−Zn−P合金)等が用いられ、コパール及び42アロ
イは強−及び耐熱性が優れている反面、導電性及び熱伝
導性が劣り、価格が高いものであり、Cu−8n−P合
金及びアロイ194は導電性及び熱伝導性が優れ、価格
も比較的安い反面、強度及び耐熱性が劣るものであった
。
−Zn−P合金)等が用いられ、コパール及び42アロ
イは強−及び耐熱性が優れている反面、導電性及び熱伝
導性が劣り、価格が高いものであり、Cu−8n−P合
金及びアロイ194は導電性及び熱伝導性が優れ、価格
も比較的安い反面、強度及び耐熱性が劣るものであった
。
近年、半導体集子及び集積回路の分野における封止技術
功進歩により、リード材には価格の高いコパールや42
70イから比較的価格の安い銅系材料への転換が行なわ
れているが、前記Cu−8n−P合金やアロイ1G4を
始め、何れも強度及び耐熱性が劣るため、その改善が強
く望まれている。
功進歩により、リード材には価格の高いコパールや42
70イから比較的価格の安い銅系材料への転換が行なわ
れているが、前記Cu−8n−P合金やアロイ1G4を
始め、何れも強度及び耐熱性が劣るため、その改善が強
く望まれている。
本発9はこれに鑑み種々研究の結果、価格が安く、従来
のコパールと同等以上の強度と耐熱性を有し、はるかに
優れた導電性と熱伝導性の優れた半導体機器の5一ド材
用銅合金を開発したもので、zno、s−3,6wt%
(以下wt%を単に%と略記) 、8fi1.6〜3.
0%、 yeo、s〜3LO%、Po、005〜0.2
%。
のコパールと同等以上の強度と耐熱性を有し、はるかに
優れた導電性と熱伝導性の優れた半導体機器の5一ド材
用銅合金を開発したもので、zno、s−3,6wt%
(以下wt%を単に%と略記) 、8fi1.6〜3.
0%、 yeo、s〜3LO%、Po、005〜0.2
%。
残部Cuからなることな特徴とするものである。
即ち、本発明は通常のCu地金にza、 Sn、 re
v添加することにより強度及び耐熱性を向上せしめ、こ
れにPf添加して合金の鋳塊品質を向上し、かつ導電率
の1復を計り、リード材として要求される導電性と熱伝
導性を得たものである。
v添加することにより強度及び耐熱性を向上せしめ、こ
れにPf添加して合金の鋳塊品質を向上し、かつ導電率
の1復を計り、リード材として要求される導電性と熱伝
導性を得たものである。
このような本発明合金においで7.n%5nJ’e及び
Pの含有量を上記の如く限定したのは次の理田によるも
のである。 ′ 即ちZn含有量を0.5〜3.0%、81!含[量&1
.6〜3.0%及びF@含有量を015−4.0%とし
たのは、これ等添加元素の祠れかの含有量が下限未満で
は所望の耐熱性が得られず、また上限を越えると導電性
及び熱伝導性の低下が著しくなるためである。
Pの含有量を上記の如く限定したのは次の理田によるも
のである。 ′ 即ちZn含有量を0.5〜3.0%、81!含[量&1
.6〜3.0%及びF@含有量を015−4.0%とし
たのは、これ等添加元素の祠れかの含有量が下限未満で
は所望の耐熱性が得られず、また上限を越えると導電性
及び熱伝導性の低下が著しくなるためである。
またP含有量をo、o o s^02%としたのは、P
含有量が0.0051%未満では健全な鋳塊が得らhず
。
含有量が0.0051%未満では健全な鋳塊が得らhず
。
かつ導電性及び熱伝導性の回復が認められず、0.2%
を越えると合金の加工性が著しく撫娃れるためである。
を越えると合金の加工性が著しく撫娃れるためである。
以下1本発明合金を実施例について詳細に説明する。
黒鉛ルツボな用いてCuv溶解し、その湯面な木炭粉末
で被覆した状態で2−8n及びF・母合金?順次添加し
、最後にP母合金vs加し、これを鋳造してIJ1表に
示す組成の中1508、厚Ω細長さ20DlllI4F
)鋳塊を得た。これ等鋳塊を一面あたり1s■面削した
後、カラーチェック法による、小。
で被覆した状態で2−8n及びF・母合金?順次添加し
、最後にP母合金vs加し、これを鋳造してIJ1表に
示す組成の中1508、厚Ω細長さ20DlllI4F
)鋳塊を得た。これ等鋳塊を一面あたり1s■面削した
後、カラーチェック法による、小。
表面状況から鋳塊←゛質を判定し、その結果を第1表に
併記した。尚、表面欠陥のないものt。
併記した。尚、表面欠陥のないものt。
印、その他のものVX印で表わした。
また画側した鋳塊tそれぞれ再加熱して熱間圧延により
厚さ8m、巾150■とし、これを冷間圧延と焼鈍な繰
返1.*#終加工率40%の犀さ0.3■の仮に仕上げ
、これ等の板書一つXIXて曲げ性、耐熱性、引張強さ
、導電率を測定した。
厚さ8m、巾150■とし、これを冷間圧延と焼鈍な繰
返1.*#終加工率40%の犀さ0.3■の仮に仕上げ
、これ等の板書一つXIXて曲げ性、耐熱性、引張強さ
、導電率を測定した。
これ等の結果な一2表に示す、尚、比較のためs1表に
示す従来のリード材1:ついて同様σ)特性を測定し、
その結果VjiR表に併記した。
示す従来のリード材1:ついて同様σ)特性を測定し、
その結果VjiR表に併記した。
導電率及び引張強さの測定は、 JI8−HO505、
JI8−Z2!41に基づいて行なった。また耐熱性は
藺紀圧絃板よりJI8−Z22011:示されろ弓1#
に試験片を切龜)出し、これをアルゴン雰囲気中で50
0℃の温1Itc s分間加熱処理した後、61張試験
な行ない、その引張強さが加熱処理前の81!強さに比
較して低下率が20%以内のものを1熱性が良好という
ことで0E4J、それ以外のものV耐熱性が悪いという
ことでx印により表わした。また曲げ加工性は前記圧延
板より中lO■、長さ50簡の短冊型試験片を切り出し
、その中央部で180°の密着曲げ試験を行ない1曲げ
部の伏動ヲ観察して割れやしわのない平滑なものな曲げ
性が良好ということで0印1割れ等の欠陥が発生したも
のを曲げ性が悪いということでx印、その中間のものを
Δ印で表わした。
JI8−Z2!41に基づいて行なった。また耐熱性は
藺紀圧絃板よりJI8−Z22011:示されろ弓1#
に試験片を切龜)出し、これをアルゴン雰囲気中で50
0℃の温1Itc s分間加熱処理した後、61張試験
な行ない、その引張強さが加熱処理前の81!強さに比
較して低下率が20%以内のものを1熱性が良好という
ことで0E4J、それ以外のものV耐熱性が悪いという
ことでx印により表わした。また曲げ加工性は前記圧延
板より中lO■、長さ50簡の短冊型試験片を切り出し
、その中央部で180°の密着曲げ試験を行ない1曲げ
部の伏動ヲ観察して割れやしわのない平滑なものな曲げ
性が良好ということで0印1割れ等の欠陥が発生したも
のを曲げ性が悪いということでx印、その中間のものを
Δ印で表わした。
第1表
142表
111表及び第2表から明らかなように1本発明合金4
1〜肩10は何れも鋳塊品質が良好で、曲げ性及び耐熱
性が優れておe)、引張強さは6ト7011f/id、
導電率は30〜40%lAC3? 示シ、 従来のアロ
イ194(420)及び燐青銅(421)と比較し、導
電率は劣るも曲げ性、耐熱性及び強度が著しく改善され
、特に従来のコパールと比較しても同等の曲げ性及び耐
熱性を示し、かつ同等以上の強度とはるかに優れた導電
性(熱伝導性)を有することが判る。
1〜肩10は何れも鋳塊品質が良好で、曲げ性及び耐熱
性が優れておe)、引張強さは6ト7011f/id、
導電率は30〜40%lAC3? 示シ、 従来のアロ
イ194(420)及び燐青銅(421)と比較し、導
電率は劣るも曲げ性、耐熱性及び強度が著しく改善され
、特に従来のコパールと比較しても同等の曲げ性及び耐
熱性を示し、かつ同等以上の強度とはるかに優れた導電
性(熱伝導性)を有することが判る。
これに対し、an、Zn%pcの何れかの含有量が本発
明合金の組成範囲より少ない比較合金AIl〜A13で
は所望の耐熱性が得られず、特に急激に軟化する軸向を
示し、8fi、ZIl、Feの何れかの含有量が本発明
合金の組成範囲より多い比較合金415−417では曲
げ加工性が急く、導電性::1 も低下している。またP含有量が本発明合金の組成範囲
より少ない比較合金、414及び多い比較合金l618
では何れも曲げ性及び耐熱性が悪く、導電性も低下し、
特にP含有量の少ない比較合金414では鋳塊品質も悪
いことが判る。
明合金の組成範囲より少ない比較合金AIl〜A13で
は所望の耐熱性が得られず、特に急激に軟化する軸向を
示し、8fi、ZIl、Feの何れかの含有量が本発明
合金の組成範囲より多い比較合金415−417では曲
げ加工性が急く、導電性::1 も低下している。またP含有量が本発明合金の組成範囲
より少ない比較合金、414及び多い比較合金l618
では何れも曲げ性及び耐熱性が悪く、導電性も低下し、
特にP含有量の少ない比較合金414では鋳塊品質も悪
いことが判る。
このように本発明合金は価格が安く、従来のコバールと
同等以上の特性1有し、特に導電性ははるかに優れてお
り、半導体機器のリード材として顕著な効果を奏するも
のである。
同等以上の特性1有し、特に導電性ははるかに優れてお
り、半導体機器のリード材として顕著な効果を奏するも
のである。
Claims (1)
- (11Zna!r−:10wt%、 8m 1ト34)
Wt %、peo8Dwt %、PQJ)O2N2.2
vt%、!l IB Cm tp & ナル半II I
EII器(Dリード材用銅合金。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP708582A JPS58123844A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 半導体機器のリ−ド材用銅合金 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP708582A JPS58123844A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 半導体機器のリ−ド材用銅合金 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58123844A true JPS58123844A (ja) | 1983-07-23 |
JPS6367539B2 JPS6367539B2 (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=11656247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP708582A Granted JPS58123844A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 半導体機器のリ−ド材用銅合金 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58123844A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61186441A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-20 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 高力高耐熱性銅合金の製造方法 |
JPS6299429A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Kobe Steel Ltd | 剪断加工性に優れるリ−ドフレ−ム材 |
-
1982
- 1982-01-20 JP JP708582A patent/JPS58123844A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61186441A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-20 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 高力高耐熱性銅合金の製造方法 |
JPH0413421B2 (ja) * | 1985-02-13 | 1992-03-09 | Sumitomo Metal Mining Co | |
JPS6299429A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Kobe Steel Ltd | 剪断加工性に優れるリ−ドフレ−ム材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6367539B2 (ja) | 1988-12-26 |
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