JPS58112375A - 光起電力装置の製造方法 - Google Patents
光起電力装置の製造方法Info
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- JPS58112375A JPS58112375A JP56211729A JP21172981A JPS58112375A JP S58112375 A JPS58112375 A JP S58112375A JP 56211729 A JP56211729 A JP 56211729A JP 21172981 A JP21172981 A JP 21172981A JP S58112375 A JPS58112375 A JP S58112375A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 14
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 8
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000001017 electron-beam sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
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- H01L31/03921—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate including only elements of Group IV of the Periodic Table
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、非晶質シリコン薄膜の光起電力装置の改良及
びその製造方法に関する。
びその製造方法に関する。
透明絶縁基板上に非晶質シリコン薄膜を設けてなる光起
電力装置が知られている。この種の非晶質シリコン光起
電力装置は、第１図に概略的に示すように、透明絶縁基
板１上に光の透過度の良い透明電極２を形成し、その上
に非晶質シリコン薄膜３を形成し、その上に金属電極４
を形成させてなる構造を持っている。このような光起電
力装置に用いられる透明電極は、一般に、その透過度と
抵抗が反比例関係にあり、透過度が良いと抵抗が高く、
透過度が悪いと抵抗が低い０また、このような光起電力
装置の製造過程において透明電極を大気中に放置すると
抵抗値が変動するため、後続の製造工程を直ちに行なわ
ねばならない。したがって、光を電気に変換させる半導
体に光を効率よく入射させて電気の取出しを多くさせる
ためには装置の光透過度を上げ、透明電極の抵抗値を減
少させることが望まれる。
電力装置が知られている。この種の非晶質シリコン光起
電力装置は、第１図に概略的に示すように、透明絶縁基
板１上に光の透過度の良い透明電極２を形成し、その上
に非晶質シリコン薄膜３を形成し、その上に金属電極４
を形成させてなる構造を持っている。このような光起電
力装置に用いられる透明電極は、一般に、その透過度と
抵抗が反比例関係にあり、透過度が良いと抵抗が高く、
透過度が悪いと抵抗が低い０また、このような光起電力
装置の製造過程において透明電極を大気中に放置すると
抵抗値が変動するため、後続の製造工程を直ちに行なわ
ねばならない。したがって、光を電気に変換させる半導
体に光を効率よく入射させて電気の取出しを多くさせる
ためには装置の光透過度を上げ、透明電極の抵抗値を減
少させることが望まれる。
したがって、本発明の目的は、上述のような欠点を除去
し、より透過度が高く、且つ抵抗の低い透明電極を形成
させた光起電力装置の製造方法を提供することである。
し、より透過度が高く、且つ抵抗の低い透明電極を形成
させた光起電力装置の製造方法を提供することである。
本発明の他の目的は、このような改善された透明電極を
有する光起電力装置の製造工程を同一装置において連続
的に実施することを可能ならしめる方法を提供すること
である。
有する光起電力装置の製造工程を同一装置において連続
的に実施することを可能ならしめる方法を提供すること
である。
ここに、透明絶縁基板と透明電極との間に二酸化けい素
膜を形成するならば、透過度が向上すると共に、抵抗の
低い透明電極を形成でき、これにより光を有効に発電装
置に到達させ、電気の取出しを向上させ得ることがわか
った。
膜を形成するならば、透過度が向上すると共に、抵抗の
低い透明電極を形成でき、これにより光を有効に発電装
置に到達させ、電気の取出しを向上させ得ることがわか
った。
しかして、本発明によれば、透明絶縁基板上に二酸化け
い素膜を形成し、その二酸化けい素膜上に透明電極を形
成し、次いで非晶質シリコン膜を形成した後、適当な金
属電極を形成することからなる非晶質シリコン光起電力
装置の製造方法が提供される。
い素膜を形成し、その二酸化けい素膜上に透明電極を形
成し、次いで非晶質シリコン膜を形成した後、適当な金
属電極を形成することからなる非晶質シリコン光起電力
装置の製造方法が提供される。
本発明の方法で用いることのできる透明絶縁基板として
は、この種の光起電力装置の製造に用いられる各種の基
板があげられる。例えば、透明セラミック系（例えは、
コランダム、サファイアなどのアルミナ系、ジルコン系
など）、各種の透明ガラスなどを用いることができる。
は、この種の光起電力装置の製造に用いられる各種の基
板があげられる。例えば、透明セラミック系（例えは、
コランダム、サファイアなどのアルミナ系、ジルコン系
など）、各種の透明ガラスなどを用いることができる。
透明絶縁基板上への二酸化けい素膜の形成は、気相形成
法、スパッタ、リング法などによって行なわれる。特に
好ましい方法は、アルゴン雰囲気下でのスパッタリング
法である。二酸化けい素膜は、好ましくは数百〜数千＾
の厚さで形成される。
法、スパッタ、リング法などによって行なわれる。特に
好ましい方法は、アルゴン雰囲気下でのスパッタリング
法である。二酸化けい素膜は、好ましくは数百〜数千＾
の厚さで形成される。
次いで、上記のように形成された二酸化けい素膜上に透
明電極が形成される。これは、好ましくは透明な金属酸
化物皮膜である。例えば、ＳｎＱ□。
明電極が形成される。これは、好ましくは透明な金属酸
化物皮膜である。例えば、ＳｎＱ□。
ＴｉＯ２，８ｂを含む５ｉ０２． Ｉｎ２Ｏ３，５ｎ０
２− ｒｒ＋２０３＋Ｚｎ８などがあげられる。これら
の皮膜は、スパッタリング法、塗布法などにょシ形成さ
せることができる。特に好ましい方法は、アルゴン雰囲
気下でのスパッタリング法である。
２− ｒｒ＋２０３＋Ｚｎ８などがあげられる。これら
の皮膜は、スパッタリング法、塗布法などにょシ形成さ
せることができる。特に好ましい方法は、アルゴン雰囲
気下でのスパッタリング法である。
次いで透明電極上に非晶質シリコン膜が形成さレル。コ
レハ、水素雰囲気下でのプラズマ気相成長法、スパッタ
リング法などによって形成される。
レハ、水素雰囲気下でのプラズマ気相成長法、スパッタ
リング法などによって形成される。
非晶質シリコン膜の厚さは、一般に０・３〜λ、０．ｌ
ｔ−％好ましくはθ・ｔ〜／Ｊｃｔ−次である。
ｔ−％好ましくはθ・ｔ〜／Ｊｃｔ−次である。
非晶質シリコン膜上への金属電極の形成ｌｄ、周知の方
法、例えば電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などに
より行なうことができる。用いられる金属は、好ましく
は金、銀、Ｍなどである。
法、例えば電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などに
より行なうことができる。用いられる金属は、好ましく
は金、銀、Ｍなどである。
以下、本発明の好ましい具体例を第２図を参照しながら
説明する。
説明する。
スパッタリング装置に透明絶縁基板１を装入し、アルゴ
ン雰囲気下にまず二酸化けい素膜５をスパッタリングに
より成長させる。厚さは数百〜数千Ｘの間であるように
する。次いで透明電極（Ｉｎ２Ｏ３） ２ ｆニア ル
ー１ン雰囲気下にスパッタリングにより成長させ、次に
装置の雰囲気を水素に変えてシリコンをスパッタリング
することにより、非晶質シリコン膜３を形成させる。次
いで、そのようにして形成された組立体を取り出し、金
属電極（金）４を蒸着法により形成させ、光起電力装置
が製造される。以上のように、同一装置で連続製造を行
なえば、汚染が少なく、清浄な操作ができる。
ン雰囲気下にまず二酸化けい素膜５をスパッタリングに
より成長させる。厚さは数百〜数千Ｘの間であるように
する。次いで透明電極（Ｉｎ２Ｏ３） ２ ｆニア ル
ー１ン雰囲気下にスパッタリングにより成長させ、次に
装置の雰囲気を水素に変えてシリコンをスパッタリング
することにより、非晶質シリコン膜３を形成させる。次
いで、そのようにして形成された組立体を取り出し、金
属電極（金）４を蒸着法により形成させ、光起電力装置
が製造される。以上のように、同一装置で連続製造を行
なえば、汚染が少なく、清浄な操作ができる。
本発明の方法に従って、透明絶縁基板と透明電極との間
に二酸化けい素膜を形成させることにより、透明電極の
抵抗は約５０％減少させることができ、さらに二層構造
により透過度も相当に向上した０ 本発明は主として光起電力装置に関連させて説明したが
、本発明の方法は表示素子の電極形成法にも応用できる
。
に二酸化けい素膜を形成させることにより、透明電極の
抵抗は約５０％減少させることができ、さらに二層構造
により透過度も相当に向上した０ 本発明は主として光起電力装置に関連させて説明したが
、本発明の方法は表示素子の電極形成法にも応用できる
。
第１図は、従来技術に従う光起電力装置の断面図である
。 第２図は、本発明の方法により製造される光起電力装置
の断面図である。 ここで、１は透明絶縁基板、２は透明電極、３は非晶質
シリコン膜、４は金属電極、５は二酸化けい素膜。 特許出願人 株式会社富士電機総合研究所同
富士電機製造株式会社 箋１図 洛２メ
。 第２図は、本発明の方法により製造される光起電力装置
の断面図である。 ここで、１は透明絶縁基板、２は透明電極、３は非晶質
シリコン膜、４は金属電極、５は二酸化けい素膜。 特許出願人 株式会社富士電機総合研究所同
富士電機製造株式会社 箋１図 洛２メ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１透明絶縁基板上に二酸化けい素膜を形成し、その
二酸化けい素膜上に透明電極を形成し、次いで非晶質シ
リコン膜を形成した後、適当な金属電極を形成すること
からなる非晶質シリコン光起電力装置の製造方法。 （２、特許請求の範囲第１項記載の製造方法において、
二酸化けい素膜がアルゴン雰囲気下にスパッタリング法
によって形成されることを特徴とする製造方法。 （３）特許請求の範囲第１又は２項記載の製造方法にお
いて、二酸化けい素膜が数百〜数千オングストロームの
厚さで形成されることを特徴とする製造方法。 （４）特許請求の範囲第１項記載の製造方法において、
透明絶縁基板上に二酸化けい素膜をアルゴン雰囲気下に
スパッタリング法で形成する工程、次いで透明電極をア
ルゴン雰囲気下にスパッタリング法で形成する工程、次
いで水素雰囲気に変えてシリコンのスパッタリングによ
り非晶質シリコン膜を形成する工程を同一の装置におい
て連続的に実施することを特徴とする製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211729A JPS58112375A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 光起電力装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211729A JPS58112375A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 光起電力装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58112375A true JPS58112375A (ja) | 1983-07-04 |
| JPS6246075B2 JPS6246075B2 (ja) | 1987-09-30 |
Family
ID=16610628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56211729A Granted JPS58112375A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 光起電力装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58112375A (ja) |
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-
1981
- 1981-12-25 JP JP56211729A patent/JPS58112375A/ja active Granted
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147175A (ja) * | 1984-01-12 | 1985-08-03 | Canon Inc | フォトセンサ |
| JPS60147174A (ja) * | 1984-01-12 | 1985-08-03 | Canon Inc | フォトセンサ |
| JPH0334866B2 (ja) * | 1984-01-12 | 1991-05-24 | Canon Kk | |
| JPH0433145B2 (ja) * | 1984-01-12 | 1992-06-02 | Canon Kk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6246075B2 (ja) | 1987-09-30 |
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