JPS58102668A - 超精密研削装置 - Google Patents
超精密研削装置Info
- Publication number
- JPS58102668A JPS58102668A JP10076382A JP10076382A JPS58102668A JP S58102668 A JPS58102668 A JP S58102668A JP 10076382 A JP10076382 A JP 10076382A JP 10076382 A JP10076382 A JP 10076382A JP S58102668 A JPS58102668 A JP S58102668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- grinding wheel
- chuck
- grinding tool
- eccentric rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、被加工物を超精密に仕上加工する装置に係
り、さらに詳細には、主として、被加工物の溝、凹部あ
るいは孔などの加工部を仕上加工する装置に関するもの
である。
り、さらに詳細には、主として、被加工物の溝、凹部あ
るいは孔などの加工部を仕上加工する装置に関するもの
である。
一般に、複雑な形状の孔あるいは溝などの加工部を有す
る金型等は、放電加工機によって加工が行なわれた後に
、極めて高精度に仕上加工されるものである。上記のご
とき精密な仕上加工は、従来は、超音波研磨装置等によ
り手作業によＯて行なわれていたので、極めて非能率的
であり、かつ均一性に欠けるきらいがあった。
る金型等は、放電加工機によって加工が行なわれた後に
、極めて高精度に仕上加工されるものである。上記のご
とき精密な仕上加工は、従来は、超音波研磨装置等によ
り手作業によＯて行なわれていたので、極めて非能率的
であり、かつ均一性に欠けるきらいがあった。
この発明は上記のごとき従来の問題に鑑み発明したもの
で、被加工物における加工部と研削工具との方向性が多
少ずれているような場合であっても自動的に修正され、
超精密な仕上加工を能率よく行ない得る超精密研削装置
を提供しようとするものである。
で、被加工物における加工部と研削工具との方向性が多
少ずれているような場合であっても自動的に修正され、
超精密な仕上加工を能率よく行ない得る超精密研削装置
を提供しようとするものである。
以下、図面を用いて本発明の一実施例について詳細に説
明する。
明する。
第１図に示すように、本発明に係る超精密研削装置１に
おけるベース〈基台）３上には、周壁５ａを形成するこ
とにより凹部５ｂを備えた円形状の機台５がボルト等に
より一体的に固定しである。
おけるベース〈基台）３上には、周壁５ａを形成するこ
とにより凹部５ｂを備えた円形状の機台５がボルト等に
より一体的に固定しである。
この機台５の凹部５ｂ内には、被加工物（ワーク）Ｗを
支持するスライドテーブル７が水平に移動かつ旋回自在
に収容されている。上記スライドテーＩルアの移動およ
び旋回を極めて円滑にするために、本実論例においては
、減摩手段として、スライドテーブル７の底面と凹部５
ｂの底面との間に多数のボール９が配置しである。した
がって、スライドテーブル７は、機台５に対して前後左
右等適宜方向へ極めて円滑に移動かつ旋回できるもので
ある。
支持するスライドテーブル７が水平に移動かつ旋回自在
に収容されている。上記スライドテーＩルアの移動およ
び旋回を極めて円滑にするために、本実論例においては
、減摩手段として、スライドテーブル７の底面と凹部５
ｂの底面との間に多数のボール９が配置しである。した
がって、スライドテーブル７は、機台５に対して前後左
右等適宜方向へ極めて円滑に移動かつ旋回できるもので
ある。
前記ボール９は、円盤状のリテーナ１１に適宜間隔形成
した多数の保持孔１１ａ内に回転自在に保持されている
ものである。また、リテーナ１１は、前記スライドテー
ブル７の底面に形成した円状の凹部７ａ内に遊隙を持っ
て収容されている。
した多数の保持孔１１ａ内に回転自在に保持されている
ものである。また、リテーナ１１は、前記スライドテー
ブル７の底面に形成した円状の凹部７ａ内に遊隙を持っ
て収容されている。
したがって、機台５に対してスライドテーブル７が移動
しても、スライドテーブル７が多数のボール９から離れ
ることのないように、リテーナ１１は常にスライドテー
ブル７の下側に保持されているものである。
しても、スライドテーブル７が多数のボール９から離れ
ることのないように、リテーナ１１は常にスライドテー
ブル７の下側に保持されているものである。
前記スライドテーブル７の周囲には、移動によって前記
機台５０周壁５ａに万が一当接したときの衝撃を緩和す
るウレタンゴムのごときａｌｌｌｌ材厚３付けである。
機台５０周壁５ａに万が一当接したときの衝撃を緩和す
るウレタンゴムのごときａｌｌｌｌ材厚３付けである。
また、スライドテーブル７の上面にはり−クＷを収容す
るワーク収容凹部７ｂが形成してあり、このワーク収容
凹部７ｂの底部には多数の螺子孔１５が適宜間隔に穿設
しである。
るワーク収容凹部７ｂが形成してあり、このワーク収容
凹部７ｂの底部には多数の螺子孔１５が適宜間隔に穿設
しである。
そして、ワーク収容凹部７ｂ内には、複数のボルト１７
および１字形の固定具１９によりワークＷが１ｉ１２可
能に固定しである。したがって、ワークＷはスライドテ
ーブル７と一体的になり、機台５に対して移動かつ旋回
自在なものである。
および１字形の固定具１９によりワークＷが１ｉ１２可
能に固定しである。したがって、ワークＷはスライドテ
ーブル７と一体的になり、機台５に対して移動かつ旋回
自在なものである。
前記ベース３の一側部付近には円柱状のガイドボスト２
１が立設してあり、このガイドボスト２１には十字継手
状のアームサポート２３が上下位冒講節および回動調節
可能に支持されており、調節用レバー２５によって適宜
に固定されている。 ゛前記アームサポート２３に
は支持アーム２７が水平にかつ長手方向の位置調節可能
に支持されており、支持アーム２７は調節用ハンドル２
９によりアームサポート２３に固定されている。前記支
持アーム２７の先端部は前記機台５の上方に延伸してあ
り、この先端部には加工ヘッド装置３１が装着しである
。この加工ヘッド１ｉｌ１３１には下方向へ突出した回
転軸３３が設けられており、この回転軸３３は、調節用
ハンドル３５を回転することにより上下方向へ移動調節
されるものである。回転軸３３はモータのごとき回転駆
動装置３７によって回転°されるものであり、この回転
軸３３の下端部には適宜の連結装置１３９を介してコレ
ットチャックのごときチャック４１が微小鰻だけ偏心し
て取付けである。したがって、回転駆動装置３７により
回転軸３３を回転すると、チャック４１は微振動、より
詳細には微小の偏心鰻を半径として偏心回動することと
なる。よって、このチャック４１に着脱交換自在に装着
した研削工具４３はチャック４１と一体的に偏心回動す
ることとなるものである。上記研削工具４３は、例えば
砥石あるいは通常の工具材料・等よりなるものであって
、゛その断面形状は、ワークＷに形成した溝あるいは穴
等の加工部Ｗａに係合するように予め対応して形成しで
あるものである。
１が立設してあり、このガイドボスト２１には十字継手
状のアームサポート２３が上下位冒講節および回動調節
可能に支持されており、調節用レバー２５によって適宜
に固定されている。 ゛前記アームサポート２３に
は支持アーム２７が水平にかつ長手方向の位置調節可能
に支持されており、支持アーム２７は調節用ハンドル２
９によりアームサポート２３に固定されている。前記支
持アーム２７の先端部は前記機台５の上方に延伸してあ
り、この先端部には加工ヘッド装置３１が装着しである
。この加工ヘッド１ｉｌ１３１には下方向へ突出した回
転軸３３が設けられており、この回転軸３３は、調節用
ハンドル３５を回転することにより上下方向へ移動調節
されるものである。回転軸３３はモータのごとき回転駆
動装置３７によって回転°されるものであり、この回転
軸３３の下端部には適宜の連結装置１３９を介してコレ
ットチャックのごときチャック４１が微小鰻だけ偏心し
て取付けである。したがって、回転駆動装置３７により
回転軸３３を回転すると、チャック４１は微振動、より
詳細には微小の偏心鰻を半径として偏心回動することと
なる。よって、このチャック４１に着脱交換自在に装着
した研削工具４３はチャック４１と一体的に偏心回動す
ることとなるものである。上記研削工具４３は、例えば
砥石あるいは通常の工具材料・等よりなるものであって
、゛その断面形状は、ワークＷに形成した溝あるいは穴
等の加工部Ｗａに係合するように予め対応して形成しで
あるものである。
以上のごとき構成において、加工ヘッド１ｉｌｆ３１を
機台５の上方からずれた側方位置に位−するか、あるい
は調節用ハンドル３５によりチャック４１を１袢せしめ
ておき、スライドテーブル７にワークＷを固定する。そ
の後に、チャック４１に研削工具４３を装着し、加工ヘ
ッド装置３１の位置を適宜に調節して、研削工具４３を
ワークＷの加工部Ｗａに係合する。そして、必要により
、加工部Ｗａにラップ剤等を供給した後に、回転駆動装
置３７により回転軸３３を回転して、ワークＷにおける
加工部Ｗａの超精密仕上加工を行なうものである。
機台５の上方からずれた側方位置に位−するか、あるい
は調節用ハンドル３５によりチャック４１を１袢せしめ
ておき、スライドテーブル７にワークＷを固定する。そ
の後に、チャック４１に研削工具４３を装着し、加工ヘ
ッド装置３１の位置を適宜に調節して、研削工具４３を
ワークＷの加工部Ｗａに係合する。そして、必要により
、加工部Ｗａにラップ剤等を供給した後に、回転駆動装
置３７により回転軸３３を回転して、ワークＷにおける
加工部Ｗａの超精密仕上加工を行なうものである。
上記のごとく回転軸３３を回転すると、チャック４１が
微小饅傷心して取付けられているために、チャック４１
および研削工具４３は微小半径の偏心回動（微振動）を
行なうこととなる。研削工具４３の偏心回動により、研
削工具４３が、例えば第１図において左右方向に変位す
ると、ワークＷは、研削工具４３に追従して左右方向に
変位することとなる。すなわち、ワークＷは研削工具４
３の変位に追従、順応するものであり、その追従、順応
は、ボール９等の介在により迅速に行なわれるものであ
る。
微小饅傷心して取付けられているために、チャック４１
および研削工具４３は微小半径の偏心回動（微振動）を
行なうこととなる。研削工具４３の偏心回動により、研
削工具４３が、例えば第１図において左右方向に変位す
ると、ワークＷは、研削工具４３に追従して左右方向に
変位することとなる。すなわち、ワークＷは研削工具４
３の変位に追従、順応するものであり、その追従、順応
は、ボール９等の介在により迅速に行なわれるものであ
る。
したがって、第２図（ａ）、（ｂ）に示すように、研削
工員４３が矢印Ａで示す反時計回り方向へ微小半径でも
って偏心回動を行なうとき、研削工具４３の一部とワー
クＷの加工部Ｗａとが整合せずに一点Ｂで当接するよう
な場合には、ワークＷは矢印Ｃ方向へ自動的に回動され
て、研削工具４３とワークＷの加工部Ｗａの方向性が一
致し、自動的に正確に整合するものである。よって、初
期の設定時にワークＷの加工部Ｗａに対する研削工具４
３の方向性が正確に一致していないような場合Ｃあって
も、自動的に修正されて、精度の良い精密仕上加工が行
なわれるものである。 なお、例えばワークＷの加工部
Ｗａの形状が長方形状の穴であり、研削工具４３の断面
形状が、長方形状の短辺に等しい辺のなす正方形状であ
る場合、研削１具４３の微小偏心回動時における加工部
Ｗａの長手方向に対し直交する方向の変位は、ワークＷ
が機台５に対して微動することにより吸収され、研削工
具４３はワークＷに対し加工部Ｗａの長手方向へ微振動
している態様となる。したがって、研削工具４３に対し
てワークＷを加工部Ｗａの長手方向へ移動することによ
り、加工部Ｗａの精密仕上加工が行なわれるものである
。このとき、ワークＷの移動が加工部Ｗａの長手方向に
対して多少交差する方向へ指向されるような場合であっ
ても、前述のごとく自動的に修正されて加工部Ｗａと研
削工具４３の整合が正確に行なわれるものであり、精密
仕上加工が容易に行なわれ得るものである。なお、研削
工具４３の微小偏心回動は、回転駆動装置の制御回路に
タイマー等を用いて周期的に正逆回転することが望まし
いのである。
工員４３が矢印Ａで示す反時計回り方向へ微小半径でも
って偏心回動を行なうとき、研削工具４３の一部とワー
クＷの加工部Ｗａとが整合せずに一点Ｂで当接するよう
な場合には、ワークＷは矢印Ｃ方向へ自動的に回動され
て、研削工具４３とワークＷの加工部Ｗａの方向性が一
致し、自動的に正確に整合するものである。よって、初
期の設定時にワークＷの加工部Ｗａに対する研削工具４
３の方向性が正確に一致していないような場合Ｃあって
も、自動的に修正されて、精度の良い精密仕上加工が行
なわれるものである。 なお、例えばワークＷの加工部
Ｗａの形状が長方形状の穴であり、研削工具４３の断面
形状が、長方形状の短辺に等しい辺のなす正方形状であ
る場合、研削１具４３の微小偏心回動時における加工部
Ｗａの長手方向に対し直交する方向の変位は、ワークＷ
が機台５に対して微動することにより吸収され、研削工
具４３はワークＷに対し加工部Ｗａの長手方向へ微振動
している態様となる。したがって、研削工具４３に対し
てワークＷを加工部Ｗａの長手方向へ移動することによ
り、加工部Ｗａの精密仕上加工が行なわれるものである
。このとき、ワークＷの移動が加工部Ｗａの長手方向に
対して多少交差する方向へ指向されるような場合であっ
ても、前述のごとく自動的に修正されて加工部Ｗａと研
削工具４３の整合が正確に行なわれるものであり、精密
仕上加工が容易に行なわれ得るものである。なお、研削
工具４３の微小偏心回動は、回転駆動装置の制御回路に
タイマー等を用いて周期的に正逆回転することが望まし
いのである。
以上のごとき実施例の説明より廊解されるように、要す
るにこの発明の要旨は特許請求の範囲に記載のとおりの
構成であるから、ワーク（被加工物）における加工部の
方向性と研削工具の方向性とが正確に一致していないよ
うな場合であっても、研削工具の変位にワークが迅速に
追従、順応して自動的に修正されるので、研削工具とワ
ークの加］部との整合が正確なものとなり、精度の良い
超精密研削仕上加工を極めて容易に行なうことができる
ものである。よって、初期の設定は比較的粗雑でよいこ
ととなり、作業能率が向上するものである。
るにこの発明の要旨は特許請求の範囲に記載のとおりの
構成であるから、ワーク（被加工物）における加工部の
方向性と研削工具の方向性とが正確に一致していないよ
うな場合であっても、研削工具の変位にワークが迅速に
追従、順応して自動的に修正されるので、研削工具とワ
ークの加］部との整合が正確なものとなり、精度の良い
超精密研削仕上加工を極めて容易に行なうことができる
ものである。よって、初期の設定は比較的粗雑でよいこ
ととなり、作業能率が向上するものである。
なお、本発明は前述のごとき実施例のみに限定されるも
のではなく、適宜の設計的変更を行なうことにより、そ
の他の態様で実施し得るものである。
のではなく、適宜の設計的変更を行なうことにより、そ
の他の態様で実施し得るものである。
、第１図はこの発明に係るＶ７ｔｌの一部を断面した正
面図、第２図（ａ）、（ｂ）はワークと研削工員の整合
作用の説明図である。 （図面の主要な部分を表わす符号の説明）３・・・基台
、 ９・・・ボール４３・・・研削工具
Ｗ・・・ワーク第１図 第２図
面図、第２図（ａ）、（ｂ）はワークと研削工員の整合
作用の説明図である。 （図面の主要な部分を表わす符号の説明）３・・・基台
、 ９・・・ボール４３・・・研削工具
Ｗ・・・ワーク第１図 第２図
Claims (2)
- （１） 基台の上方に配置した研削工具を微震動自在
に設け、上記研削工具と係合する加工部を備えた被加工
物を、前記基台上に水平な任意の方向へ移動自在かつ旋
回自在に載置してなることを特徴とする超精密研削装置
。 - （２） 前記被加工物は、複数のボールを介して前記
基台上に移動自在に載置したスライドテーブル上に載置
しであることを特徴とする特許請求の範囲（１）に記載
の超精密研削装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10076382A JPS58102668A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 超精密研削装置 |
| US06/478,324 US4563837A (en) | 1982-06-14 | 1983-03-24 | Ultra-precision grinding machine |
| DE19833321208 DE3321208A1 (de) | 1982-06-14 | 1983-06-11 | Ultrapraezisionsschleifmaschine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10076382A JPS58102668A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 超精密研削装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56193852A Division JPS5944182B2 (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | ラツプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102668A true JPS58102668A (ja) | 1983-06-18 |
Family
ID=14282541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10076382A Pending JPS58102668A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 超精密研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58102668A (ja) |
-
1982
- 1982-06-14 JP JP10076382A patent/JPS58102668A/ja active Pending
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