JPH1196524A

JPH1196524A - ヘッドスタック試験機にヘッドスタック装置を位置決めし固定するための装置

Info

Publication number: JPH1196524A
Application number: JP10140401A
Authority: JP
Inventors: Gajitsuku Neihamu; ネイハム・ガジック
Original assignee: Guzik Technical Enterprises Inc
Current assignee: Guzik Technical Enterprises Inc
Priority date: 1997-05-09
Filing date: 1998-05-08
Publication date: 1999-04-09
Anticipated expiration: 2018-05-08
Also published as: US5872451A; JP2915398B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】試験機上への位置決め及び固定を保証し、試
験中のヘッドスタックの変形や位置の不安定性を生じな
い固定装置を提供する。【解決手段】真空チャックの位置決め表面はヘッドス
タックの位置決め表面に係合し、これにより、ヘッドス
タックにより支持された磁気ヘッドの、試験機のディス
クパックの磁気ディスク１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ
の作業表面Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３に対する性格は位置を決定
する。真空チャックの支持表面はディスクドライブ内で
ヘッドスタックのＺ座標を決定するのに使用されるヘッ
ドスタックの基準面に係合する。もしもヘッドスタック
がへどスタックを固定位置に保持するための信頼性の高
い保持力を生じるに充分な孔断面積を有する貫通孔１０
２を有するならば、ヘッドスタックはそのまま、つまり
アダプターなしで使用され、ヘッドスタックの貫通孔は
封止プラグ１２０で閉鎖される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はコンピュータのヘッ
ドドライブの構成要素の試験に関し、より具体的にはヘ
ッドスタックにおいてハードディスク装置の一部を構成
するヘッドスタックを位置決めし固定するためのシステ
ムに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近のコンピュータはヘッドスタック及
びハードディスクのスタックの形態をしたハードディス
クドライブを具備している。ヘッドスタックは複数個の
記録再生ヘッドを含んでおり、一組のハードディスクと
関連して作働するように重畳（スタック）されている。
これらの装置は周知であり、多くのデータ記憶分野に使
用されている。ヘッドスタックはＳＡＥ・Ｍａｇｎｅｔ
ｉｃ，Ｒｅａｄ−Ｒｉｔｅ，ＩＢＭ，Ｓｅａｇａｔｅ，
その他の会社の多くの会社により製造されている。ヘッ
ドスタックは一般に軸受手段により軸に取りつけられ
る。このような装置ではヘッドスタックは軸上で自由回
転されるが、それはデータ記憶動作（記憶、再生）中に
磁気ヘッドを軸上で回転してそれらをハードディスクに
対して位置付けなければならないからである。ヘッドス
タックは製造後、ハードディスクドライブに組み込む前
に試験しなければならない。こうした試験法ではヘッド
スタックをディスクの作業面に平行な平面（Ｘ−Ｙ面）
内に位置決めするための可動取付板を有する特別な試験
装置を使用し、試験すべきヘッドスタックを強固に支持
するためにヘッドスタック固定機構をこの取付板に取り
つける。試験のためには、ディスクドライブ装置内での
ヘッドスタックの動作状態を模擬するような仕方で、ヘ
ッドスタックを試験機の取付平面に取りつける必要があ
る。これには、磁気ディスクのパックに対してヘッドス
タックの位置を正確に位置決めする必要性が含まれる。
実際、試験機上のヘッドスタックの正確な位置決めには
次の３つの要件を満たす必要がある。ディスクの作業表
面に垂直な軸線に沿ってのディスクに対するヘッドスタ
ックの位置（以下Ｚ軸方向位置）、取付板に対するヘッ
ドスタックの角度位置、及びディスクの平面に平行な平
面上での前記取付板に対するヘッドスタックの座標位置
（Ｘ−Ｙ面内位置）である。各種の設計のヘッドスタッ
クが製造され、異なった製造段階で試験されている。例
えば、ある種のヘッドスタックは軸受け及び軸をそれら
の内部に取りつけた状態で試験され、ある場合にはこれ
らの部品を取りつけない状態で試験される。軸は雄ねじ
延長部、雌ねじ部、貫通孔等を有することができる。部
品の選択あるいは取付は製造業者が行う。試験すべきヘ
ッドスタックは、例えば種々の完成度のような非常に広
範囲な形態で入手でき、またヘッドスタックを試験機に
取付板に固定する種々の取付方法等がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】各種の固定形態及び固
定方法は、ヘッドスタックを試験機の取付板に固定する
に当たって種々の問題を生じる。言い換えれば、ヘッド
スタックを試験機に固定するための標準的な手段や取付
方法が存在しないので、各種のアダプターや固定具をそ
れぞれの特定の応用に応じて使用しなければならない。
現状では一般に、ヘッドスタックを試験機に固定しある
いは位置決めするために２種の主要な方式が使用されい
る。一つの方式はヘッドスタックを貫通孔を通して取り
つける方式、他の方式はヘッドスタックを軸受により固
定する方式である。図１に示した従来技術の方式では、
ヘッドスタックは貫通孔１０を有し、試験機は圧縮バネ
１３によりＺ軸方向に移動可能に装着された枢着腕１２
を装備しており、押圧子１４が常時下方に押されてい
る。試験のためにヘッドスタック１６を試験機に装着す
るには、磁気ディスクの作業面に対する磁気ヘッドの正
確な位置を規定するフランジ２２を備えた位置決め部材
（例えば位置決め柱）１８を取付板２０に固定してお
く。図１の例では３個の磁気ヘッド２４ａ、２４ｂ、２
４ｃがディスク２７ａ、２７ｂ、２７ｃの上側作業面に
接触し、３個の磁気ヘッド２６ａ、２６ｂ、２６ｃがデ
ィスク２７ａ、２７ｂ、２７ｃの下側作業面に接触す
る。取付板２０はヘッドスタックの水平面（Ｘ−Ｙ平
面）内の正確な座標を規定する位置に移動され、またヘ
ッドスタック１６の角度位置も適当なストッパ（図示せ
ず）を使用して固定される。次に押圧子１４が持ち上げ
られ、枢着腕１２がヘッドスタックに整列する位置に枢
動され、そして押圧子１４が釈放され、それにより押圧
子１４はヘッドスタック１６の上面を押圧してそれを試
験のための所定位置に固定する。この方式は、構造が複
雑であり使用が煩雑である欠点を有する。さらにこの方
式はヘッドスタックを変形させてその位置を不安定にす
る。支持軸３０によりヘッドスタック２８を位置決めし
固定する型である図２に示した方式によると、押圧子は
不要であるが、軸の構成要素がヘッドスタックを試験に
必要な位置を定め且つ固定するために使用されている。
例えば、軸３０はねじ孔３４を備えたフランジ３２（ま
たはフランジ３２にねじ突起）を有し、前記ねじ孔３４
を、ヘッドスタックのＺ位置を決める厚さを有する取付
板３７又はアダプタ板に直接設けたねじ突起３６にねじ
結合させる。取付板上のねじ結合の位置は試験機のヘッ
ドスタック２８のＸ−Ｙ位置を決定する。この方式の欠
点は、試験機上のねじ付要素（取付板）をねじ結合する
のに時間がかかり、試験に要する時間コストが非常に高
価になることである。さらに、ねじは正確なＸ−Ｙ位置
決めを行うことができない。従って、本発明の目的はヘ
ッドスタック試験のための改良された装置を提供するこ
と、ヘッドスタックをヘッドスタック試験機の取付板に
対して、ヘッドスタック試験機上でのヘッドスタックの
変形（buckle) や不安定性を生じないで、正確に固定す
る装置を提供することである。本発明の他の目的は迅速
で、便利で、能率的なヘッドスタックの試験機上への位
置決め及び固定を保証するヘッドスタック試験装置を提
供することである。本発明の他の目的及び特徴は添付図
面を参照しての以下の説明から明らかになろう。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、位置決め表面
と支持表面とを有する真空チャックを利用してヘッドス
タック試験機にヘッドスタックを固定し、位置決めする
ための方法及び装置を提供する。真空チャックの位置決
め表面はヘッドスタックの位置決め表面（すなわちディ
スクドライブにおいてヘッドスタックを位置決めするた
めに使用されるヘッドスタックの表面）に係合する。こ
の係合により、ヘッドスタックにより支持されている磁
気ヘッドの、試験機のディスクパックの磁気ディスクの
作業表面（Ｘ−Ｙ面内位置）に対する正確な位置が決定
する。真空チャックの支持表面はヘッドスタックの基準
面に係合する。基準面はディスクドライブ中にあってヘ
ッドスタックのＺ座標を決めるために使用される。真空
チャックの支持表面に対するヘッドスタックの基準面の
係合は、真空チャックの真空室を封止するのに使用され
ると同時に、ディスクパックのディスクに対するヘッド
スタックのＺ座標位置を決めるために使用される。もし
もヘッドスタックが貫通孔を有し、その断面積がヘッド
スタックを固定位置に保持するのに充分な信頼できる保
持力を生じるならば、ヘッドスタックはそのまま（アダ
プターなしに）使用される。ヘッドスタックの貫通孔の
開放端は封止プラグにより閉じられる。ヘッドスタック
の貫通孔の断面積が信頼できる真空保持力を生じるに不
十分なら、ヘッドスタックにアダプターを装備する。ア
ダプターはヘッドスタックの貫通孔を通して相互結合さ
れた２部片の形をしており、ヘッドスタックは２つの部
片の間に締め付けられる。一方の部片は真空チャックの
支持表面及び位置決め表面に係合する上記の基準面及び
位置決め表面を有する。この真空位置決め及び固定方式
によれば、迅速で、一様で、信頼性のある、便利なヘッ
ドスタック位置決め及び工程が可能となり、試験中のヘ
ッドスタックの変形や位置の不安定性を生じることがな
い。

【０００５】

【発明の実施の形態】

（貫通孔によるヘッドスタックの固定）図３の実施例図３はヘッドスタック１００を軸受のない、つまり貫通
孔１０２を有するヘッドスタック１００を、ヘッドスタ
ック試験機（図示せず）の取付板１０４へ真空固定する
ための本発明の装置の実施例を示す。この実施例では、
ブッシュ１０６が慣用手段（図示せず）により取付板１
０４に固定される。ヘッドスタック１００は複数個の磁
気ヘッド１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、１０９ａ、１
０９ｂ、１０９ｃを支持しており、これらのヘッドは試
験中に作業表面Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を有するそれぞれの磁
気ディスク１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃに接触する。
図面を明瞭にするために、ディスクの作業表面は各ディ
スクの片側にだけあるものとして示した。しかしこれら
の作業表面は各ディスクの下側に存在する磁気ヘッドデ
ィスクにも接触するように両面に存在し得る。ヘッドス
タック１００は試験機の軸（図示せず）により回転自在
に支持される。磁気ヘッド、磁気ディスク、及び磁気ヘ
ッドを磁気ディスクに対して直線的及び角度的に位置決
めするための機構を周知であるのでここでは説明しな
い。ブッシュ１０６は、底部表面１１０が取付板１０４
の表面１１４に封着されているフランジ部１０８と、基
準円筒状外表面１１５を有するスリーブ部とよりなる。
基準円筒状外表面１１５は、ヘッドスタック１００の貫
通孔１０２を基準円筒状外表面１１５に嵌合させた時
に、ブッシュ１０６により形成される真空チャック１０
５の位置決め表面として作用する。貫通孔１０２の内表
面はヘッドスタック１００の位置決め表面として作用す
る。ブッシュ１０６の基準円筒状外表面１１５が貫通孔
１０２の内表面に対して密嵌合をなすことにより、これ
ら両表面はＸ−Ｙ平面内でヘッドスタックの正確な位置
決めを行う。ヘッドスタック１００の下端面はヘッドス
タックの基準面として役立つ。この下端面はフランジ部
１０８の上面１０７に接触して封止接触を行う。表面１
０７はチャックすなわちブッシュ１０６の支持表面とし
て作用し、これにより、ヘッドスタックは適正な垂直位
置（Ｚ位置）が確保でき、ヘッドスタックの磁気ヘッド
は以下に述べるように磁気ディスクの作業表面に適正に
接触するように位置決めされる。取付板１０４内に設け
られた真空源（図示せず）に接続された導管１１６が、
貫通孔１０２により画定される空間及びブッシュ１０６
の内部１１８に通じている。本発明で「真空」とは５０
０〜７００Ｔｏｒｒ程度の空気圧を意味する。上記の空
間は真空空洞として作用し、貫通孔１０２の上縁部によ
り形成される弁座に対して封止された球弁のような球形
プラグ１２０により密封することができる。ヘッドスタ
ック１００を取付板１０４上に試験目的で固定するに
は、ヘッドスタック１００の貫通孔１０２を基準円筒状
外表面１１５に嵌合させることによりヘッドスタック１
００を取付板１０４上に位置決めする。貫通孔１０２と
ブッシュ１０６の内面１１８とで形成される空間は球形
プラグ１２０により封止される。次に上記の空間は排気
され、それによりプラグ１２０は一様な力Ｐ２でその弁
座に向けて引かれる。同時にヘッドスタック１００はフ
ランジ部１０８の上面１０７に対して一様な固定力で気
密的に押される。その結果、ヘッドスタックは外力の作
用により生じることがある変形や歪みを生じないで固定
される。従来装置と同様に、上記の実施例及び以下で述
べる実施例においても、ヘッドスタックは、磁気ヘッド
と磁気ディスクの適正な接触を確保するような所定の高
さに正確に設定されるように固定されなければならな
い。一方、ヘッドスタックが支持軸を有するかあるいは
支持軸のない貫通孔を有するかにかかわらず、試験中の
ヘッドスタックは軸または取付板のブッシュ周りに回転
しないように固定されていなければならない。図３の実
施例では、ヘッドをディスクに対して正確に位置決めす
るという第１の要件は、ブッシュのフランジ１０８の厚
さを（図３のＤ３）適正に選択することにより達成でき
る。第２の要件は試験機の特殊な固定手段により達成さ
れるが本発明の範囲外なので説明しない。これらの要件
は以下のすべての実施例にも当てはまるので繰り返さな
い。

【０００６】図４の実施例図４は貫通孔２０２を有するが、貫通孔２０２にボール
軸受け２０４、２０６を支持する軸２０３を設けてな
る、ヘッドスタック２００を固定する装置を例示する。
この装置は実質的に図３の例と同様であるが、ブッシュ
１０６の基準円筒状外表面１１５が支持軸２０３の孔１
１７に挿入される点で異なる。この装置は図３の装置と
同様な球形プラグ１２０を使用し、同様な方法で動作す
る。

【０００７】図５の実施例図５は図３のヘッドスタックの固定装置の他の例を例示
する。この装置はヘッドスタック１００に対し予め組み
込まれたアダプター２１０を備えたブッシュ２０８を使
用する。ブッシュ２０８は導管２０９により真空源（図
示せず）に接続されている。アダプター２１０はブッシ
ュ２０８の凹所２１４に嵌合するに適した大径部と、ヘ
ッドスタック１００の孔１０２に密封嵌合し得る小径円
筒部２１６とを有する。ねじ付盲孔２１８がアダプター
２１０の小径部２１６側の端面に形成されている。ねじ
付盲孔２１８はブロック２２２の端部に形成されたねじ
付突起２２０にねじ結合をするために使用される。この
ブロックは孔１０２の直径よりも大きい直径を有するフ
ランジ２２４を備えている。従って、フランジ２２４の
下面がヘッドスタック１００の上面に接触するまでねじ
付突起２２０をねじ付目盲孔２１８にねじ込むと、ヘッ
ドスタックはアダプター２１０とブロック２２２との間
にしっかりと挟まれる。ヘッドスタック１００、アダプ
ター２１０、及び封止ブロック２２２よりなる予備組み
立て単位は、固定軸を有するヘッドスタック装置と同様
にしてヘッドスタック試験機（図示せず）に固定され
る。言い換えると、アダプター２１０のフランジ部２１
２はブッシュ２０８の凹所２１４に挿入され、次いで導
管２０９を介してブッシュ２０８の内部２０７が排気さ
れる。その結果、真空力が予備組立体を試験機の取付手
段に固定する。

【０００８】（軸とボール軸受けによるヘッドスタック
の固定）図６の実施例図６はヘッドスタックの孔に取りつけた球軸受け３０
３、３０４により支持された軸３０２によりヘッドスタ
ックを固定する本発明の装置の実施例を例示する。軸３
０６はヘッドスタック３００から突出する端部にフラン
ジ３０６を有する。フランジ３０６はヘッドスタック３
００をディスクドライブ（図示せず）に固定するための
ねじ付盲孔３０７を有する。フランジ３０６の円筒形外
表面は、ブッシュ３１０に形成された凹所３０８の内周
面に接触する位置決め表面として使用され、それにより
ヘッドスタック３００をＸ−Ｙ平面内に正確に位置決め
する。ブッシュ３１０はヘッドスタック試験機（図示せ
ず）の取り付け板３１２に気密的に固定される。真空源
（図示せず）に接続された管路３１４が取付板３１２に
形成され、ブッシュ３１０の内部に通じている。ヘッド
スタック３００を試験のために取付板３１２に取りつけ
るには、フランジ３０６の基準円筒状外表面を凹所３０
６に嵌合させることによりヘッドスタックをブッシュ３
１０に装着する。この位置で軸フランジ３０６により封
止されているブッシュ３１０の内部３１６は導管３１４
を通して排気される。真空によりブッシュ内部から軸フ
ランジ３０６の表面に作用する力は、試験中にヘッドス
タック３００をしっかりと所定位置に保持する。ねじ付
き孔３０７は盲孔であるので、この孔に圧力は真空に影
響しない。その結果、ヘッドスタックは外力により生じ
ることのある変形または歪みを生じることなく固定され
る。

【０００９】図７の実施例図７に示した装置では、ヘッドスタック４００は軸４０
４に貫通孔４０２を有する。その他の構造は図６に示し
たものとほぼ同様である。但し、この例では球状プラグ
４０６の使用を必要とする。動作原理は図６のヘッドス
タック３００の固定の場合と同様である。

【００１０】本発明の方法及び装置は、ヘッドスタック
のヘッドを試験機の磁気ディスクに対して正確に位置決
めすることを可能にし、ヘッドスタックの変形やヘッド
スタック試験機上の位置の不安定性を生じるような圧縮
力を生じることなくヘッドスタックをヘッドスタック試
験機の取付板上に正確に固定することを可能にする。本
発明の装置は、試験機上へのヘッドスタックの迅速で、
能率的な位置決め及び固定を可能にする。本発明は特定
の実施例に関連して説明したが、これらの実施例は本発
明の適用範囲を限定するものと解してはならない。例え
ば、図３のプラグ１２０は球形の代わりに円錐形をして
いても良いし、図６の軸３０２はねじ付盲孔３０７の代
わりにねじ付突起の形をしていても良い。構成部材の材
質、寸法、形状、固定方法は変えることができる。従っ
て例示の実施例の多くの修正や変形が可能である。従っ
て、本発明の範囲は実施例ではなく特許請求の範囲とそ
の均等範囲により決定されなければならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】取付貫通孔を有するが、軸及び軸受けを持たな
い従来のヘッドスタック固定方式を示す断面図である。

【図２】支持軸を有する従来のヘッドスタック固定方式
を示す断面図である。

【図３】取付貫通孔を有するが、軸及び軸受けを持たな
い、本発明の真空式ヘッドスタック固定方式を示す断面
図である。

【図４】取付貫通孔を有し、貫通孔内に軸受けを装着し
た本発明の真空式ヘッドスタック固定方式を示す断面図
である。

【図５】アダプターにより予備組立てした本発明の真空
式ヘッドスタック固定方式を示す断面図である。

【図６】ねじ付盲孔を軸フランジ内に有する支持軸を備
えた本発明の真空式ヘッドスタック固定方式を示す断面
図である。

【図７】貫通孔を有する支持軸を備えた本発明のヘッド
スタック固定方式を示す断面図である。

【符号の説明】

１００、２００、３００、４００ヘッドスタック１０２、２０２貫通孔１０４取付板１０５真空チャック１０６ブッシュ１０７上面１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、１０９ａ、１０９ｂ、
１０９ｃ磁気ヘッド１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ磁気ディスク１０８フランジ部１１０底部表面１１４取付板の表面１１５基準円筒状外表面１１６導管１１７孔１２０球形プラグ２０３軸２０４、２０６ボール軸受け２１０アダプター２０８ブッシュ２０９導管２１４凹所２１６小径円筒部２１８ねじ付盲孔２２０ねじ付突起２２２ブロック２２４フランジ４０４軸４０２貫通孔４０６球状プラグ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個の磁気ヘッドを備え且つ基準面と
位置決め表面とを有するヘッドスタック組立体を、前記
磁気ヘッドに接触すべき複数個の磁気ディスクを有する
ヘッドスタック試験機の試験位置に位置決めし固定する
方法において、真空力を使用して前記ヘッドスタック組立体を前記ヘッ
ドスタック試験機に固定するために、真空源に接続され
る真空空洞と、位置決め表面と、支持表面とを有する真
空チャックを前記ヘッドスタック組立体に設け、前記ヘッドスタック組立体の前記磁気ヘッドが前記試験
機の前記磁気ディスクに関して所定の正確なＸ−Ｙ面内
位置に配置されるように、前記ヘッドスタック組立体
に、該ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位
置決めする位置決め手段を設けると共に、前記試験機の
前記磁気ディスクに関して前記ヘッドスタック組立体の
前記磁気ヘッドを前記Ｘ−Ｙ平面に直交する所定の正確
なＺ方向位置に位置決めする位置決め手段を設け、前記ヘッドスタック組立体の前記Ｘ−Ｙ面内位置決め手
段を前記真空チャックの前記位置決め表面に係合させ、
前記Ｚ方向位置決め手段を前記真空チャックの前記支持
表面に係合させて少なくとも部分的に前記真空チャック
の前記真空空洞を封止し、次いで前記真空空洞を前記真
空源により排気して真空力により前記ヘッドスタック組
立体を前記試験位置に固定することよりなる、複数個の
磁気ヘッドを備え且つ基準面と位置決め表面とを有する
ヘッドスタック組立体を、複数個の磁気ディスクを有す
るヘッドスタック試験機の試験位置に位置決めし固定す
る方法。
【請求項２】前記ヘッドスタック組立体は前記Ｚ方向
に貫通する貫通孔と、前記貫通孔の一方の側に配置さ
れ、前記Ｚ方向に対して直交する第１表面と、前記貫通
孔の反対側の配置された前記第１表面に平行な第２表面
とを有し、前記真空チャックはフランジ部とスリーブ部とを有する
ブッシュの形状に作られ、前記真空チャックは前記ヘッ
ドスタック試験機の可動の取付板に固着され、前記磁気
ヘッドを前記正確なＸ−Ｙ面内位置に位置決めするため
に直線的及び回転的に移動し得るものであり、前記ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位置
決めする位置決め手段は前記ヘッドスタック組立体の貫
通孔であり、前記真空チャックの前記位置決め表面は前記スリーブ部
外表面であり、前記ヘッドスタックの前記基準面は前記ヘッドスタック
の前記第２表面であり、前記真空チャックはさらに前記真空チャックを前記貫通
孔の前記第１表面から封止する追加の封止手段を有す
る、請求項１の方法。
【請求項３】前記追加の封止手段は前記貫通孔の第１
表面側の縁部に密封係合する封止プラグよりなる請求項
２の方法。
【請求項４】前記ヘッドスタック組立体は、前記Ｚ方
向に貫通する貫通孔、内表面、一端の第１表面、及び前
記第１表面とは反対端の第２表面を有し、外表面に前記
貫通孔に挿入されたボール軸受けを具備している中空の
支持軸を有し、前記真空チャックはフランジ部とスリーブ部とを有する
ブッシュの形状に作られ、前記スリーブは前記中空支持
軸に挿入されており、前記真空チャックは前記ヘッドスタック試験機の可動の
取付板に固着され、前記磁気ヘッドを前記正確なＸ−Ｙ
面内位置に位置決めするために直線的及び回転的に移動
し得るものであり、前記ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位置
決めする位置決め手段は前記中空支持軸であり、前記真空チャックの前記位置決め表面は前記スリーブ部
の外表面であり、前記ヘッドスタックの前記基準面は前記ヘッドスタック
の前記第２表面であり、前記真空チャックはさらに前記真空チャックを前記貫通
孔の前記第１表面から封止する追加の封止手段を有す
る、請求項１の方法。
【請求項５】前記追加の封止手段は前記貫通孔の第１
表面側の縁部に密封係合する封止プラグよりなる請求項
４の方法。
【請求項６】ヘッドスタック組立体は、前記Ｚ方向に
貫通する貫通孔、前記貫通孔の一端において前記Ｚ方向
に対して直交する第１表面、及び前記第１端面とは反対
端に位置し前記第１表面に平行な第２端面を有し、前記真空チャックは凹所を有するブッシュの形状に作ら
れ、前記真空チャックは前記ヘッドスタック試験機の可動の
取付板に固着され、前記磁気ヘッドを前記正確なＸ−Ｙ
面内位置に位置決めするために直線的及び回転的に移動
し得るものであり、前記ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位置
決めする位置決め手段は、前記第１表面側に位置する第
１アダプター部と、前記第２表面側に位置する第２アダ
プター部と、これらを前記貫通孔を通して結合する手段
とよりなるアダプターの形をなし、前記第２アダプター部は端面と基準円筒状外表面とを有
するフランジ部を有し、前記フランジ部の前記基準円筒
状外表面は前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表
面を構成し、前記フランジ部の前記端面は前記ヘッドスタックの基準
面を構成している、請求項１の方法。
【請求項７】ヘッドスタック組立体は前記ヘッドスタ
ックの前記貫通孔内の軸受けに取りつけた支持軸を有
し、前記支持軸は前記貫通孔から突出するフランジ部を
有し、前記フランジ部は円筒状外側表面を有し、前記真空チャックは凹所を有するブッシュの形状をな
し、前記凹所は円筒状の内表面と平坦面とを有し、前記
円筒状の内表面は前記真空チャックの位置決め表面を構
成しており、前記平坦面は前記真空チャックの前記支持
表面を構成している、請求項１の方法。
【請求項８】複数個の磁気ヘッドを備え且つ貫通孔と
基準面と位置決め表面とを有するヘッドスタック組立体
を、前記磁気ヘッドに接触すべき複数個の磁気ディスク
を有するヘッドスタック試験機の試験位置に位置決めし
固定する方法において、真空力を使用して前記ヘッドスタック組立体を前記ヘッ
ドスタック試験機に固定するために、真空源に接続され
る真空空洞と、位置決め表面と、支持表面とを有する真
空チャックを前記ヘッドスタック組立体に設け、前記ヘッドスタック組立体に第１アダプター部と第２ア
ダプター部とを設け、前記貫通孔を通して前記第１及び
第２アダプターを連結することにより前記ヘッドスタッ
ク組立体を前記第１及び第２アダプターの間で締めつ
け、ここに前記第２アダプターは前記貫通孔の外側に位
置するフランジ部と前記貫通孔に密嵌合する円筒状小径
部とを有する円筒形の挿入部材の形状をなし、前記フラ
ンジ部は端面と外表面とを有し、前記フランジ部の前記
外表面は前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表面
を構成し、前記フランジ部の前記端面は前記真空チャッ
クの前記支持表面に係合する前記ヘッドスタック組立体
の基準面を構成しており、前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表面を前記真
空チャックの前記位置決め表面に係合させ、そして、前
記フランジ部の前記端面を前記真空チャックの前記支持
表面に封止させ、そして前記真空空洞を前記真空源を用
いて排気して前記ヘッドスタック組立体を前記試験位置
に位置決めすることよりなる、複数個の磁気ヘッドを備
え且つ貫通孔と基準面と位置決め表面とを有するヘッド
スタック組立体を、前記磁気ヘッドに接触すべき複数個
の磁気ディスクを有するヘッドスタック試験機の試験位
置に位置決めし固定する方法。
【請求項９】複数個の磁気ヘッドを備え且つ基準面と
位置決め表面とを有するヘッドスタック組立体を、前記
磁気ヘッドに接触すべき複数個の磁気ディスクを有する
ヘッドスタック試験機の試験位置に位置決めし固定する
装置において、真空力を使用して前記ヘッドスタック組立体を前記ヘッ
ドスタック試験機に固定するために、真空源に接続され
る真空空洞と、位置決め表面と、支持表面とを有する真
空チャック、前記ヘッドスタック試験機の、真空チャックを支持する
ための可動板であって、前記ヘッドスタック組立体の磁
気ヘッドが前記試験機の前記磁気ディスクに対して正確
なＸ−Ｙ面内位置に配置されるように、前記真空チャッ
ク並びにそれに保持した前記ヘッドスタック組立体をＸ
−Ｙ面内で移動できる可動板、及び前記試験機の前記磁
気ディスクに関して前記ヘッドスタック組立体の前記磁
気ヘッドを前記Ｘ−Ｙ平面に直交する所定の正確なＺ方
向位置に位置決めする高さに配置された前記真空チャッ
クの前記支持表面、よりなる複数個の磁気ヘッドを備え
且つ基準面と位置決め表面とを有するヘッドスタック組
立体を、前記磁気ヘッドに接触すべき複数個の磁気ディ
スクを有するヘッドスタック試験機の試験位置に位置決
めし固定する装置。
【請求項１０】前記ヘッドスタック組立体は、前記Ｚ
方向に貫通する貫通孔と、前記貫通孔の一方の側に配置
され、前記Ｚ方向に対して直交する第１表面と、前記貫
通孔の反対側の配置された前記第１表面に平行な第２表
面とを有し、前記真空チャックはフランジ部とスリーブ部とを有する
ブッシュの形状に作られ、前記真空チャックは前記ヘッ
ドスタック試験機の可動の取付板に固着され、前記磁気
ヘッドを前記正確なＸ−Ｙ面内位置に位置決めするため
に直線的及び回転的に移動し得るものであり、前記ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位置
決めする前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表面
は、前記ヘッドスタック組立体の前記貫通孔の前記表面
であり、前記真空チャックの前記位置決め表面は前記スリーブ部
の前記外表面であり、前記ヘッドスタックの前記基準面は前記ヘッドスタック
の前記第２表面であり、前記真空チャックはさらに前記真空チャックを前記貫通
孔の前記第１表面から封止する追加の封止手段を有す
る、請求項９の装置。
【請求項１１】前記追加の封止手段は前記貫通孔の第
１表面側の縁部に密封係合する封止プラグよりなる請求
項１０の装置。
【請求項１２】前記ヘッドスタック組立体は、前記Ｚ
方向に貫通する貫通孔を有し、さらに内表面、第１端
面、及び前記第１端面とは反対端の第２端面を有する中
空の支持軸を有し、前記中空の支持軸は外表面に前記貫
通孔に挿入されたボール軸受けを支持しており、前記真空チャックはフランジ部とスリーブ部とを有する
ブッシュの形状に作られ、前記スリーブは前記中空支持
軸に挿入されており、前記真空チャックは前記ヘッドスタック試験機の前記可
動板に固着され、前記磁気ヘッドを前記正確なＸ−Ｙ面
内位置に位置決めするために直線的及び回転的に移動し
得るものであり、前記ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位置
決めする位置決め手段は前記中空支持軸の前記内表面で
あり、前記真空チャックの前記位置決め表面は前記スリーブ部
の外表面であり、前記ヘッドスタックの前記基準面は前記中空の支持軸の
第２端面であり、前記真空チャックはさらに前記真空チャックを前記貫通
孔の前記第１端面から封止する追加の封止手段を有す
る、請求項９の装置。
【請求項１３】前記追加の封止手段は前記貫通孔の第
１端面の縁部に密封係合する封止プラグよりなる請求項
１２の装置。
【請求項１４】ヘッドスタック組立体は、前記Ｚ方向
に貫通する貫通孔、前記貫通孔の一端において前記Ｚ方
向に対して直交する第１表面、及び前記第１端面とは反
対端に位置し前記第１表面に平行な第２端面を有し、前記真空チャックは凹所を有するブッシュの形状に作ら
れ、前記真空チャックは前記ヘッドスタック試験機の可動の
取付板に固着され、前記磁気ヘッドを前記正確なＸ−Ｙ
面内位置に位置決めするために直線的及び回転的に移動
し得るものであり、前記ヘッドスタック組立体を前記真空チャック内に位置
決めする位置決め手段は、前記第１表面側に位置する第
１アダプター部と、前記第２表面側に位置する第２アダ
プター部と、これらを前記貫通孔を通して結合する手段
とよりなるアダプターの形をなし、前記第２アダプター部は端面と基準円筒状外表面とを有
するフランジ部を有し、前記フランジ部の前記基準円筒
状外表面は前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表
面を構成し、前記ヘッドスタックの前記基準面は前記フランジ部の前
記端面であり、前記凹所の壁は前記真空鵜チャックの前記位置決め表面
であり、前記フランジ部は前記磁気ヘッドの正確な前記Ｚ方向の
位置付け手段である、請求項９の装置。
【請求項１５】ヘッドスタック組立体は前記ヘッドス
タックの前記貫通孔内の軸受けに取りつけた支持軸を有
し、前記支持軸は前記貫通孔から突出するフランジ部を
有し、前記フランジ部は円筒状外側表面を有し、前記真空チャックは凹所を有するブッシュの形状をな
し、前記凹所は円筒状の内表面と平坦面とを有し、前記
円筒状の内表面は前記真空チャックの位置決め表面を構
成しており、前記平坦面は前記真空チャックの前記支持
表面を構成している、請求項９の装置。
【請求項１６】前記支持軸は貫通孔を有し、前記真空
チャックは前記真空チャックの反対側から前記支持軸の
貫通孔を封止する追加の封止手段を有する請求項１０の
装置。
【請求項１７】複数個の磁気ヘッドを備え且つ貫通孔
と基準面と位置決め表面とを有するヘッドスタック組立
体を、前記磁気ヘッドに接触すべき複数個の磁気ディス
クを有するヘッドスタック試験機の試験位置に位置決め
し固定する装置において、前記ヘッドスタック試験機の可動板であって、前記試験
位置にある前記磁気ディスクに対して後記真空チャック
並びにそれに支持された前記ヘッドスタック組立体が正
確なＸ−Ｙ面内位置に移動できるよう可動板、前記可動板に固定され、真空力により前記ヘッドスタッ
ク試験機内に前記ヘッドスタック組立体を固定すること
を意図した真空チャックにして、真空源に接続される真
空空洞と、位置決め表面と、支持表面とを有する真空チ
ャック、及び前記ヘッドスタック組立体を間に挟持する
第１アダプター部と、第２アダプター部と、前記第１及
び第２アダプターを前記貫通孔を通して連結するための
手段とよりなるアダプター手段、よりなり、ここに、前記第２アダプターが前記貫通孔の外側に位置
するフランジ部と前記貫通孔に密嵌合する円筒状小径部
とを有する円筒形の挿入部材の形状をなし、前記フラン
ジ部は端面と外表面とを有し、前記フランジ部の前記外
表面は前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表面を
構成し、前記フランジ部の前記端面は前記真空チャック
の前記支持表面に係合する前記ヘッドスタック組立体の
基準面を構成しており、前記ヘッドスタック組立体の前記位置決め表面は、前記
真空チャックの前記位置決め表面に係合でき、そして、
前記フランジ部の前記端面は前記真空チャックの前記支
持表面に封止できる、複数個の磁気ヘッドを備え且つ貫通孔と基準面と位置決
め表面とを有するヘッドスタック組立体を、前記磁気ヘ
ッドに接触すべき複数個の磁気ディスクを有するヘッド
スタック試験機の試験位置に位置決めし固定する装置。