JP2007098526A - 微小部品の吸着固定装置 - Google Patents
微小部品の吸着固定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007098526A JP2007098526A JP2005293013A JP2005293013A JP2007098526A JP 2007098526 A JP2007098526 A JP 2007098526A JP 2005293013 A JP2005293013 A JP 2005293013A JP 2005293013 A JP2005293013 A JP 2005293013A JP 2007098526 A JP2007098526 A JP 2007098526A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- suction hole
- suction
- plane
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Abstract
【解決手段】
従来例の吸着治具においては、底面2に底面吸着穴5が設けられているだけであった。本発明においては、(A)図に示したX軸吸着穴7及びY軸吸着穴8や、(B)図に示した背面吸着穴9や側面吸着穴10のように、背面3や側面4にも真空吸着穴を設けて、吸着対象物である微小部品(図示省略)を背面3に向けても、側面4に向けても真空吸引して密着させる。
【選択図】図1
Description
説明の便宜上、水平な直交2軸X,Yと垂直なZ軸とから成る直交3軸X,Y,Zを想定する。
(A)は吸着治具1の単品斜視図である。(B)は、微小部品の1例として磁気ディスク用スライダ6を吸着固定した状態の外観斜視図である。
吸着治具1には(A)に示されているように、吸着対象である直方体形状の微小部品を位置決め固定するための底面2と、背面3と、側面4とから成る微小部品吸着座が設けられている。
本例のスライダ6は、最大辺の長さ寸法800マイクロメートル、最小辺の長さ寸法250マイクロメートルという微小部品であるから、吸着治具1も、これに対応する微小な部材である。
スライダ6を所定の位置へ確実に着座させるには、通常、スライダ6を吸着治具1の底面2の上に置くだけでは足りず、該スライダ6を背面3及び側面4に向けて軽く押し付けなければならない。
すなわち、スライダ6を吸着治具1に供給する際、その各稜をX,Y,Z軸に対して高精度で平行に保持しなければならない。これが狂っていると、吸着治具1に載置した微小部品の位置が変化してしまう。
微小部品の吸着固定が不充分であると、吸着治具1を動かしたとき該微小部品の慣性力によって位置決めを狂わせてしまう虞れもある。
本発明は以上に述べた事情に鑑みて為されたものであって、その目的とするところは、吸着治具を改良して、容易にかつ確実に、しかも迅速に自動的に微小部品を高精度で位置決めし得る吸着固定装置を提供するにある。ただし、従来例に比して製造コストを増加させないことを前提としている。
直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面(2)と、X−Z面に沿った背面(3)と、Y−Z面に沿った側面(4)とを具備するとともに、前記の底面に底面吸着穴(5)が設けられているものにおいて、
底面(2)と背面(3)との交線であるX軸の付近にX軸吸着穴(7)が設けられるとともに、底面(2)と側面(4)との交線であるY軸の付近にY軸吸着穴(8)が設けられていることを特徴とする。
上述の座標軸X,Y,Zは発明の構成を説明するための便宜上のものであって、X軸,Y軸,Z軸を相互に変換することもできる。すなわち、本発明の構成を限定するものではない。
微小部品の吸着固定装置であって、
直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面(2)と、X−Z面に沿った背面(3)と、Y−Z面に沿った側面(4)とを具備するとともに、前記の底面に底面吸着穴(5)が設けられているものにおいて、
前記の背面(3)に背面吸着穴(9)が設けられるとともに、前記の側面(4)に側面吸着穴(10)が設けられていることを特徴とする。
微小部品の吸着固定装置であって、直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面(2)と、X−Z面に沿った背面(3)と、Y−Z面に沿った側面(4)とを具備するとともに、前記の底面に底面吸着穴(5)が設けられているものにおいて、
背面(3)と側面(4)との交線であるY軸の付近にZ軸吸着穴(11)が設けられていることを特徴とする。
微小部品の吸着固定装置であって、直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面(2)と、X−Z面に沿った背面(3)と、Y−Z面に沿った側面(4)とを具備しているものにおいて、
底面(2)と背面(3)との交線であるX軸付近にX軸吸着穴(7)が設けられるとともに、底面(2)と側面(4)との交線であるY軸付近にY軸吸着穴(8)が設けられ、
かつ、背面(3)と側面(4)との交線であるZ軸付近にZ軸吸着穴(11)が設けられていることを特徴とする。
微小部品の吸着固定装置であって、
直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面(2)と、X−Z面に沿った背面(3)と、Y−Z面に沿った側面(4)とを具備しているものにおいて、
前記底面(2)と背面(3)と側面(4)とが1点で交わる座標原点付近に隅角吸着穴(12)が設けられていることを特徴とする。
吸着治具1に底面2と背面3と側面4とから成る吸着座が形成されるとともに、上記の底面2に底面吸着穴5が設けられていることは、前掲の図3(A)に示した従来例におけると同様である。
本実施形態においては、底面2と背面3との交線であるX軸付近にX軸吸着穴7を設けてある。さらに、底面2と側面4との交線であるY軸の付近にY軸吸着穴8が設けられている。
「底面2と側面4との交線であるY軸の付近にY軸吸着穴8を設ける」という意味も同様である。
このように構成すると、(図3(B)を併せて参照)吸着治具1に吸着させた微小部品(例えばスライダ6)が、X軸吸着穴7に吸引されて背面3に密着するとともに、Y軸吸着穴8に吸引されて側面4に密着して、正確に位置決めされる。
この作用は人手を要せず、自動的に瞬時に行なわれる。
前記の実施形態と異なる点を抽出して説明すると次の通りである。
X軸吸着穴7に代えて、背面吸着穴9を背面3に設ける。
Y軸吸着穴8に代えて、側面吸着穴10を側面4に設ける。
このように構成しても、吸着対象物である微小部品が、背面吸着穴9に吸引されて背面3に密着し、かつ側面吸着穴10に吸引されて側面4に密着する。
以上のようにして、微小部品が人手を要せず自動的に、正確に位置決め固定される。
背面3と側面4との交線であるZ軸付近にZ軸吸着穴11が設けられている。すなわち、このZ軸吸着穴11は背面3と側面4とに跨がっている。
このように構成しても、吸着対象物である微小部品が、Z軸吸着穴11に吸引されて背面3及び側面4に密着する。
以上のようにして、微小部品が人手を要せず自動的に、正確に位置決め固定される。
この実施形態におけるZ軸吸着穴11は、前掲の図2(A)に示した実施形態のZ軸吸着穴11と同様の構成部分であり、
この実施形態におけるX軸吸着穴7及びY軸吸着穴8は前掲の図1に示したX軸吸着穴7及びY軸吸着穴8と同様の構成部分である。
しかし、この実施形態が前記いずれの実施形態に比しても特徴的であるのは、「従来例の吸着治具において不可欠であった底面吸着穴5」を省略したことである。
上記底面吸着穴5を省略し得る理由は次のとおりである。
X軸吸着穴7による真空吸引の方向およびY軸吸着穴8による真空吸引の方向は、それぞれ斜め下方である。すなわち、下向き成分を含んでいる。従って、これらの吸着穴7,8の真空吸引によって、微小部品(図外)は底面2にも背面3にも側面4にも引き付けられる。
この例の吸着治具1は、底面2と背面3と側面4とが1点で交わる箇所付近に1個の隅角吸着穴12が設けられている。このように構成しても、吸着対象物である微小部品(図外)を底面2にも背面3にも側面4にも密着させて吸着固定することができる。
本実施形態のようにマイクロメートルオーダーの微小部品を対象とする場合、吸着治具1は極めて微小な部材となり、これを作成するには高度の熟練と多大の労力とを要する。このような事情を考察すると、本図2(C)の実施形態(請求項5)のように、吸着穴の設置個数が少ないことの実用的価値は大きい。
Claims (5)
- 微小部品の吸着固定装置であって、
直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面と、X−Z面に沿った背面と、Y−Z面に沿った側面とを具備するとともに、前記の底面に底面吸着穴が設けられているものにおいて、
底面と背面との交線であるX軸の付近にX軸吸着穴が設けられるとともに、底面と側面との交線であるY軸の付近にY軸吸着穴が設けられていることを特徴とする、微小部品の吸着固定装置。 - 微小部品の吸着固定装置であって、直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面と、X−Z面に沿った背面と、Y−Z面に沿った側面とを具備するとともに、前記の底面に底面吸着穴が設けられているものにおいて、
前記の背面に背面吸着穴が設けられるとともに、前記の側面に側面吸着穴が設けられていることを特徴とする、微小部品の吸着固定装置。 - 微小部品の吸着固定装置であって、直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面と、X−Z面に沿った背面と、Y−Z面に沿った側面とを具備するとともに、前記の底面に底面吸着穴が設けられているものにおいて、
背面と側面との交線であるY軸の付近にZ軸吸着穴が設けられていることを特徴とする、微小部品の吸着固定装置。 - 微小部品の吸着固定装置であって、直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面と、X−Z面に沿った背面と、Y−Z面に沿った側面とを具備しているものにおいて、
底面と背面との交線であるX軸付近にX軸吸着穴が設けられるとともに、底面と側面との交線であるY軸付近にY軸吸着穴が設けられ、
かつ、背面と側面との交線であるZ軸付近にZ軸吸着穴が設けられていることを特徴とする、微小部品の吸着固定装置。 - 微小部品の吸着固定装置であって、
直交3軸X,Y,Zを想定して、X−Y面に沿った底面と、X−Z面に沿った背面と、Y−Z面に沿った側面とを具備しているものにおいて、
前記底面と背面と側面とが1点で交わる座標原点付近に隅角吸着穴が設けられていることを特徴とする、微小部品の吸着固定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005293013A JP2007098526A (ja) | 2005-10-05 | 2005-10-05 | 微小部品の吸着固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005293013A JP2007098526A (ja) | 2005-10-05 | 2005-10-05 | 微小部品の吸着固定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007098526A true JP2007098526A (ja) | 2007-04-19 |
Family
ID=38025968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005293013A Pending JP2007098526A (ja) | 2005-10-05 | 2005-10-05 | 微小部品の吸着固定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007098526A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1978216A2 (en) | 2007-04-04 | 2008-10-08 | Nissan Motor Co., Ltd. | Method and apparatus for controlling engine exhaust sound for vehicles |
JP2010269415A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 真空チャック装置及び加工装置 |
CN103878713A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-06-25 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种产品夹紧装置 |
KR101578195B1 (ko) * | 2015-04-03 | 2015-12-16 | 장진희 | 공작물용 정위치 지그장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0794535A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Nec Corp | 半導体ペレット位置決め装置 |
JPH11288956A (ja) * | 1998-04-06 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の位置ずれ補正装置 |
JP2002158240A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装方法 |
-
2005
- 2005-10-05 JP JP2005293013A patent/JP2007098526A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0794535A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Nec Corp | 半導体ペレット位置決め装置 |
JPH11288956A (ja) * | 1998-04-06 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の位置ずれ補正装置 |
JP2002158240A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1978216A2 (en) | 2007-04-04 | 2008-10-08 | Nissan Motor Co., Ltd. | Method and apparatus for controlling engine exhaust sound for vehicles |
JP2010269415A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 真空チャック装置及び加工装置 |
CN103878713A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-06-25 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种产品夹紧装置 |
KR101578195B1 (ko) * | 2015-04-03 | 2015-12-16 | 장진희 | 공작물용 정위치 지그장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102146731B1 (ko) | 시험용 캐리어 및 캐리어 조립장치 | |
JP4984259B2 (ja) | サンプル保持機構 | |
JPH03104300A (ja) | Ic実装装置及びその方法 | |
WO2016056115A1 (ja) | 吸着ノズル | |
JP2014212306A (ja) | 電子構成要素又は光学構成要素を基板上に組み付ける方法及び装置 | |
JP2007098526A (ja) | 微小部品の吸着固定装置 | |
JP2008080413A (ja) | ワーク取付具及びワークの加工方法 | |
JP6266386B2 (ja) | 半導体試験システム | |
JPH1196524A (ja) | ヘッドスタック試験機にヘッドスタック装置を位置決めし固定するための装置 | |
JPH03141700A (ja) | 部品実装方法 | |
JP2002059328A (ja) | 磁性体保持装置 | |
JP2009202294A (ja) | フローティングチャック装置及びフローティングチャックユニット | |
CN101587850B (zh) | 承载结构以及测试装置 | |
JP2005345262A (ja) | 半導体検査装置およびこれに用いる被検査部品トレー | |
JP6341693B2 (ja) | 基板保持装置および基板検査装置 | |
JP4473072B2 (ja) | 電子部品の実装装置 | |
JP4397967B1 (ja) | 吸着装置 | |
JPS63302377A (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP2002160187A (ja) | 保持装置、搬送装置、ic検査装置、保持方法、搬送方法及びic検査方法 | |
WO2005026754A1 (ja) | 半導体試験システム | |
JP5507526B2 (ja) | 検査治具 | |
JP2023183722A (ja) | 保持治具及び被加工部材の保持方法 | |
JP2019082362A (ja) | 基板検査装置 | |
JPH11300564A (ja) | 部品の位置決め方法及び位置決め装置 | |
JP5292088B2 (ja) | ボール搭載装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081002 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110831 |